JPS63107182A - Ｙａｇレ−ザ装置 - Google Patents
Ｙａｇレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS63107182A JPS63107182A JP25430186A JP25430186A JPS63107182A JP S63107182 A JPS63107182 A JP S63107182A JP 25430186 A JP25430186 A JP 25430186A JP 25430186 A JP25430186 A JP 25430186A JP S63107182 A JPS63107182 A JP S63107182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- laser
- laser beam
- power supply
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10038—Amplitude control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＹＡＧレーザ装置の安全機構に関する。
従来、ＹＡＧレーザ装置では、シャッタの開閉によって
レーザ光の出射、遮断を行っていたが、これまでの利用
形態からして開閉頻度は少く、このためシャッタの信頼
性が安全上問題になることは少く、特別の安全機構を必
要としていなかった。
レーザ光の出射、遮断を行っていたが、これまでの利用
形態からして開閉頻度は少く、このためシャッタの信頼
性が安全上問題になることは少く、特別の安全機構を必
要としていなかった。
ＹＡＧレーザ装置の用途が拡大するにつれて、シャッタ
の開閉それも高頻度の開閉によってレーザ光の出射１遮
断の制御を行うことが多くなって来た。たとえば、レー
ザ半田付装置では１〜２秒に１回の開閉が行なわれ、１
年間の開閉回数が数百ガロに達するものがある。
の開閉それも高頻度の開閉によってレーザ光の出射１遮
断の制御を行うことが多くなって来た。たとえば、レー
ザ半田付装置では１〜２秒に１回の開閉が行なわれ、１
年間の開閉回数が数百ガロに達するものがある。
一方、過度のレーザ光は人体にとって危険であり、レー
ザ光の安全管理には最大限の注意を払う必要がある。特
に、目に見えないＹＡＧレーザ装置においては、レーザ
光の出射を制御するシャッタには非常に高い信頼性が要
求されることになる。
ザ光の安全管理には最大限の注意を払う必要がある。特
に、目に見えないＹＡＧレーザ装置においては、レーザ
光の出射を制御するシャッタには非常に高い信頼性が要
求されることになる。
このシャッタには電磁ソレノイド、エアシリンダー等が
用いられるが、電気信号により機械的に開閉されるシャ
ッタにおいて故障を階無にすることは困難である。従っ
て、不意のシャッタ故障の場合、出射されるレーザ光を
抑制することによシ人体および物品を保護するための安
全機構を考案することが必要となった。
用いられるが、電気信号により機械的に開閉されるシャ
ッタにおいて故障を階無にすることは困難である。従っ
て、不意のシャッタ故障の場合、出射されるレーザ光を
抑制することによシ人体および物品を保護するための安
全機構を考案することが必要となった。
本発明の目的は、従来全く検討されていなかったレーザ
装置シャッタに関する安全機構を提供することにある。
装置シャッタに関する安全機構を提供することにある。
本発明は、シャッタの故障を検出してレーザ発振を停止
させる機構を備えたＹＡＧレーザ装置にあり、シャツタ
閉を指示する電気信号を検出するシャッタ信号検出部と
、レーザ光出射の有無を検出するレーザ光検出部と有し
、シャツタ閉の信号が出力されているにもかかわらず、
レーザ光検出部でレーザ光が検出された場合、制御部か
らレーザ発振を抑制するだめの信号を出力してレーザ発
振を停止させる機能を有している。
させる機構を備えたＹＡＧレーザ装置にあり、シャツタ
閉を指示する電気信号を検出するシャッタ信号検出部と
、レーザ光出射の有無を検出するレーザ光検出部と有し
、シャツタ閉の信号が出力されているにもかかわらず、
レーザ光検出部でレーザ光が検出された場合、制御部か
らレーザ発振を抑制するだめの信号を出力してレーザ発
振を停止させる機能を有している。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。
図において、本実施例のＹＡＧレーザ装置は励起ランプ
およびＹＡＧロッドを収容する集光器ｌと１対のミラー
２，２′との間で発振したレーザ光３の全反射側ミラー
２から洩れ出て来る微量のレーザ光を光検出器５で検出
する。共振器内に設置されたシャッタ６はシャッタ駆動
電源７の出力によって開閉される。シャッタの開時には
レーザ光を発振させ出射させることが出来るが、閉時に
はレーザ発振が行われない。したがって被加工物８に対
してレーザ光の出射・遮断の制御をシャッタの開閉に応
じて行うことが出来る。ここで、制御部９にシャツタ閉
の信号がシャッタ駆動電源７から供給されているにもか
かわらず光検出器５からレーザ光重の信号が送られてい
ると、制御部９はシャッタの故障と判断し、レーザ電源
１０に対して励起ランプの消灯を指示し、レーザ発振を
完全に停止させる。
およびＹＡＧロッドを収容する集光器ｌと１対のミラー
２，２′との間で発振したレーザ光３の全反射側ミラー
２から洩れ出て来る微量のレーザ光を光検出器５で検出
する。共振器内に設置されたシャッタ６はシャッタ駆動
電源７の出力によって開閉される。シャッタの開時には
レーザ光を発振させ出射させることが出来るが、閉時に
はレーザ発振が行われない。したがって被加工物８に対
してレーザ光の出射・遮断の制御をシャッタの開閉に応
じて行うことが出来る。ここで、制御部９にシャツタ閉
の信号がシャッタ駆動電源７から供給されているにもか
かわらず光検出器５からレーザ光重の信号が送られてい
ると、制御部９はシャッタの故障と判断し、レーザ電源
１０に対して励起ランプの消灯を指示し、レーザ発振を
完全に停止させる。
第２図は本発明の別の実施例を示すブロック図である。
この実施例では一対のミラー２，２′で構成される光共
振器の光軸上の外部に設置されたシャッタ１２の開閉に
よって被加工物８に対するレーザ光の出射・遮断の制御
が行われる。レーザ光の検出は、シャッタ１２と反射ミ
ラー１３との間のレーザ光路上に設置されたビームスプ
リッタ４を反射して光検出器５に入射するレーザ光によ
シ行われる。
振器の光軸上の外部に設置されたシャッタ１２の開閉に
よって被加工物８に対するレーザ光の出射・遮断の制御
が行われる。レーザ光の検出は、シャッタ１２と反射ミ
ラー１３との間のレーザ光路上に設置されたビームスプ
リッタ４を反射して光検出器５に入射するレーザ光によ
シ行われる。
シャッタ１２の故障はシャッタ駆動電源１１から出力さ
れる閉信号と光検出器５から出力される信号を制御部９
が受けここで判定され、故障時すなわち閉信号があるに
もかかわらず光検出出力がある時には、光共振器内に設
置されたシャッタ６の駆動電源７ヘレーザ発振停止すな
わちシャツタ閉の信号を出すことによってレーザ発振を
安全に停止させる。
れる閉信号と光検出器５から出力される信号を制御部９
が受けここで判定され、故障時すなわち閉信号があるに
もかかわらず光検出出力がある時には、光共振器内に設
置されたシャッタ６の駆動電源７ヘレーザ発振停止すな
わちシャツタ閉の信号を出すことによってレーザ発振を
安全に停止させる。
以上の２例で述べたように、本実施例はレーザ光路上の
シャッタの位置および機構を制限するものではなく、ま
た光検出器についてもその位置および機構を制限するも
のではない。さらに目的とするレーザ発振の停止につい
てもその方法を制限するものではなく、それぞれのＹＡ
Ｇレーザ装置の形ｍＫ応じて適切な方法を採用すること
を許容するものである。本実施例は光検出器５とシャッ
タ駆動電ｖＪＡ７ｆｉυよυ得られる信号を比較するこ
とによシ、共振器内に設置されたシャッタ６（１ツがシ
ャツタ閉信号にもかかわらず閉じないという故障を検出
し、即レーザ励起のためのランプ電源を遮断又は別のシ
ャッタを閉じ、レーザ光が不要に出射されることを防止
する安全機構を提示するものである。
シャッタの位置および機構を制限するものではなく、ま
た光検出器についてもその位置および機構を制限するも
のではない。さらに目的とするレーザ発振の停止につい
てもその方法を制限するものではなく、それぞれのＹＡ
Ｇレーザ装置の形ｍＫ応じて適切な方法を採用すること
を許容するものである。本実施例は光検出器５とシャッ
タ駆動電ｖＪＡ７ｆｉυよυ得られる信号を比較するこ
とによシ、共振器内に設置されたシャッタ６（１ツがシ
ャツタ閉信号にもかかわらず閉じないという故障を検出
し、即レーザ励起のためのランプ電源を遮断又は別のシ
ャッタを閉じ、レーザ光が不要に出射されることを防止
する安全機構を提示するものである。
〔１発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、レーザ装置の故障
を知らすに人間がレーザ光に接近したため事故が発生す
るという事態を防止する安全管理上重要な施策を提供す
るものであると同時に、ＹＡＧレーザ装置を用いた生産
ラインにおいて不要のレーザ光出射による被加工物の損
傷を防止する効果をも有する。
を知らすに人間がレーザ光に接近したため事故が発生す
るという事態を防止する安全管理上重要な施策を提供す
るものであると同時に、ＹＡＧレーザ装置を用いた生産
ラインにおいて不要のレーザ光出射による被加工物の損
傷を防止する効果をも有する。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図、第２図は他
の実施例を示すブロック図である。 １・・・・・・ＹＡＧロッドと励起ランプを含む集光器
、２．２′・・・・・・元振器を構成する１対のミラー
、５・・・・・・レーザ光検出器、６・・・・・・共振
器内シャッタ、７・・・・・・シャッタ駆動電源、９・
・・・・・シャッタの異常を判定しアラーム信号を出力
する制御部、１２・・・・・・光共振器外に備えられた
シャッタ、１１・・・・・・シャッタ駆動電源。
の実施例を示すブロック図である。 １・・・・・・ＹＡＧロッドと励起ランプを含む集光器
、２．２′・・・・・・元振器を構成する１対のミラー
、５・・・・・・レーザ光検出器、６・・・・・・共振
器内シャッタ、７・・・・・・シャッタ駆動電源、９・
・・・・・シャッタの異常を判定しアラーム信号を出力
する制御部、１２・・・・・・光共振器外に備えられた
シャッタ、１１・・・・・・シャッタ駆動電源。
Claims (1)
- レーザ光を出射、遮断するために開閉するシャッタ機構
が光軸上に配置されたＹＡＧレーザ装置において、前記
レーザ光の出射、遮断を検出する検出機構と、前記シャ
ッタの開閉状態を検出する機構と、シャッタの動作異常
の判定を行いレーザ発振を停止させる制御機構と、を備
えたことを特徴とするＹＡＧレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25430186A JPS63107182A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Ｙａｇレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25430186A JPS63107182A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Ｙａｇレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107182A true JPS63107182A (ja) | 1988-05-12 |
Family
ID=17263081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25430186A Pending JPS63107182A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Ｙａｇレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63107182A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002067390A1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
| JP2006343749A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-21 | Trumpf Laser Gmbh & Co Kg | 固体レーザ装置のための入力結合装置 |
| JP2013201216A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Tdk Corp | レーザ照射方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5659211A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | Laser apparatus |
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60233878A (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-20 | Tokyo Optical Co Ltd | レ−ザの安全装置 |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP25430186A patent/JPS63107182A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5659211A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | Laser apparatus |
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60233878A (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-20 | Tokyo Optical Co Ltd | レ−ザの安全装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002067390A1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
| JPWO2002067390A1 (ja) * | 2001-02-22 | 2004-06-24 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
| JP2006343749A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-21 | Trumpf Laser Gmbh & Co Kg | 固体レーザ装置のための入力結合装置 |
| JP4705521B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2011-06-22 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 入力結合装置 |
| JP2013201216A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Tdk Corp | レーザ照射方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6047634A (en) | Fail-safe automatic sliding operation control apparatus for press | |
| US5584319A (en) | Electro-optical valve-status supervision switch circuit for fire protection | |
| US4663520A (en) | Fail-safe laser apparatus including main and safety shutters for laser | |
| CN208399891U (zh) | 一种安全控制系统及一种光刻机曝光系统 | |
| JPH0235288Y2 (ja) | ||
| US20220407280A1 (en) | Beam shutter, laser arrangement and associated operating method | |
| JPS63107182A (ja) | Ｙａｇレ−ザ装置 | |
| MXPA02007362A (es) | Interbloqueo de seguridad para dispositivo de cierre accionado mecanicamente. | |
| JPS6321357B2 (ja) | ||
| CA1183236A (en) | Self-checking flame failure controls | |
| US8970852B2 (en) | Laser projector for chassis alignment | |
| JP2004281888A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH11312831A (ja) | レーザビーム漏れ検知システム | |
| JPWO2002067390A1 (ja) | レーザ装置 | |
| JP3542359B2 (ja) | パルスレーザ装置および該装置を用いた露光装置 | |
| JP3140927B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| EP0791831B1 (en) | Motor revolution stop confirmation sensor | |
| JPH10202378A (ja) | 光ファイバ伝送によるレーザ溶接方法及び溶接装置 | |
| JPH05157510A (ja) | レーザセンサの安全装置 | |
| JP3099248B2 (ja) | 測距式侵入者検知器 | |
| JPH06120589A (ja) | レーザの安全装置 | |
| JPS601351Y2 (ja) | プレス機械の安全装置 | |
| JPH0411358B2 (ja) | ||
| JP2521505B2 (ja) | 視野妨害監視機構を備えた受動型赤外線防犯センサ | |
| JP3570519B2 (ja) | 光線式安全装置のセルフチェックシステム |