JPH02266581A - レーザビームシャッターの異常検出機構 - Google Patents
レーザビームシャッターの異常検出機構Info
- Publication number
- JPH02266581A JPH02266581A JP8893389A JP8893389A JPH02266581A JP H02266581 A JPH02266581 A JP H02266581A JP 8893389 A JP8893389 A JP 8893389A JP 8893389 A JP8893389 A JP 8893389A JP H02266581 A JPH02266581 A JP H02266581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter plate
- shutter
- signal
- light
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 title claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 16
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ等のレーザ発振器
に設けられるメカニカルシャッタ機構に関し、特にシャ
ッター板の異常を判断するための機構に関する。
に設けられるメカニカルシャッタ機構に関し、特にシャ
ッター板の異常を判断するための機構に関する。
従来、大出力のＣＣｈ、ＹＡＧレーザ等のレーザ発振器
におけるメカニカルシャッターは、金属板あるいはガラ
ス等の表面に金メツキや金蒸着あるいは誘電体多層膜を
付けたものをロータリンレノイドやリニアトランスレー
タ等を駆動源としてそれぞれ回転させたり、並進運動さ
せたりすることにより、光共振器の出力鏡より取り出さ
れたレーザ光を前記シャッター板の表面でヒートシンり
に反射させレーザ光をしゃへいしていた。
におけるメカニカルシャッターは、金属板あるいはガラ
ス等の表面に金メツキや金蒸着あるいは誘電体多層膜を
付けたものをロータリンレノイドやリニアトランスレー
タ等を駆動源としてそれぞれ回転させたり、並進運動さ
せたりすることにより、光共振器の出力鏡より取り出さ
れたレーザ光を前記シャッター板の表面でヒートシンり
に反射させレーザ光をしゃへいしていた。
ここで、大出力（＞１００Ｗ）のレーザ光をシャッター
板に当てる場合、シャッター板表面に付けられた反射膜
の劣化等によりシャツタ板の材質が熱されて割れたり、
溶けたりすることがある。
板に当てる場合、シャッター板表面に付けられた反射膜
の劣化等によりシャツタ板の材質が熱されて割れたり、
溶けたりすることがある。
あるいは機械的振動から来る金属疲労や衝撃力からシャ
ツタ板がぜん断することがしばしばある。
ツタ板がぜん断することがしばしばある。
大出力レーザにおいてこのシャツタ板が壊れることによ
るレーザ装置自体又は設備環境に与える被害が大きいの
は云うまでもなく、安全上フェイルセーフ（ｆａｉｌ−
ｓａｆｅ）としてシャツタ板に異常がないかをシャツタ
板をはさんでおかれたフォトインタラプタ等の光センサ
ーを用いて監視することが多かった。
るレーザ装置自体又は設備環境に与える被害が大きいの
は云うまでもなく、安全上フェイルセーフ（ｆａｉｌ−
ｓａｆｅ）としてシャツタ板に異常がないかをシャツタ
板をはさんでおかれたフォトインタラプタ等の光センサ
ーを用いて監視することが多かった。
上述した従来の光センサ−（フォトインタラプタ）を用
いたシャッター板の異常検出法を第５図（ａ） 、 （
ｂ）に示す。同図において、シャツタ板１の存在を確認
するためのセンサー３，４はできるだけシャツタ板にお
いてレーザ光をしゃ断している部分に近いところに設置
するべきであることは自明である。しかしながら、シャ
ッター板１の設置される場所は、通常、レーザ発振器の
ヘッド内の出射光窓の直後に位置することが多く、あま
り余裕のある空間が与えられないことが普通である。
いたシャッター板の異常検出法を第５図（ａ） 、 （
ｂ）に示す。同図において、シャツタ板１の存在を確認
するためのセンサー３，４はできるだけシャツタ板にお
いてレーザ光をしゃ断している部分に近いところに設置
するべきであることは自明である。しかしながら、シャ
ッター板１の設置される場所は、通常、レーザ発振器の
ヘッド内の出射光窓の直後に位置することが多く、あま
り余裕のある空間が与えられないことが普通である。
又大出力のレーザ発振器のシャッター板は、冷却が必要
であることが多く、そのための水冷のための配管等でシ
ャッター機構のまわりに光センサー並びに発光素子を設
置するにはかなりの困難が共なうことが多い。さらにた
とえばＣＯ，レーザ等においては、出力鏡付近に２０ｋ
Ｖを超える高電圧が印加されていることも多く、この付
近にセンサーを設置することは、センサーに誤動作を生
じさせることもある。又、電気的絶縁上の観点から考え
てもセンサーあるいはこのセンサーの配線は一定の距離
だけ離す必要があり、必然的にシャッターの位置まで制
限を受けることがある。
であることが多く、そのための水冷のための配管等でシ
ャッター機構のまわりに光センサー並びに発光素子を設
置するにはかなりの困難が共なうことが多い。さらにた
とえばＣＯ，レーザ等においては、出力鏡付近に２０ｋ
Ｖを超える高電圧が印加されていることも多く、この付
近にセンサーを設置することは、センサーに誤動作を生
じさせることもある。又、電気的絶縁上の観点から考え
てもセンサーあるいはこのセンサーの配線は一定の距離
だけ離す必要があり、必然的にシャッターの位置まで制
限を受けることがある。
この他にも、このシャッターや出力鏡まわりの部品はレ
ーザ発振器の中でも最もメインテナンスの必要な箇所の
１つであり、この折、この付近にセンサー等の設置のた
めの設置台、電気的配線が存在するのはこのメインテナ
ンス上大変不便となることが多い。
ーザ発振器の中でも最もメインテナンスの必要な箇所の
１つであり、この折、この付近にセンサー等の設置のた
めの設置台、電気的配線が存在するのはこのメインテナ
ンス上大変不便となることが多い。
本発明は、上述した従来のシャッター板異常検出器に対
し、シャッター板にさえぎられることによりシャッター
板の有無の検出をするための発光素子−受光センサーは
一切用いないという相違点を有する。
し、シャッター板にさえぎられることによりシャッター
板の有無の検出をするための発光素子−受光センサーは
一切用いないという相違点を有する。
本発明のシャッター板の異常検出機構は、シャッター板
を０Ｎ１０ＦＦしているための信号と、シャッター板に
て出力鏡から出射された光をさえぎるために、通常鉛直
下方に反射されるところに設置しであるヒートシンクの
受光部に簡単な熱電対等のセンサーを組み込み、これか
ら得られる信号の合計２箇所の信号のみによりシャッタ
ー板が破損したときを判断するための論理回路を有して
いる。
を０Ｎ１０ＦＦしているための信号と、シャッター板に
て出力鏡から出射された光をさえぎるために、通常鉛直
下方に反射されるところに設置しであるヒートシンクの
受光部に簡単な熱電対等のセンサーを組み込み、これか
ら得られる信号の合計２箇所の信号のみによりシャッタ
ー板が破損したときを判断するための論理回路を有して
いる。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１実施例の構成図である。
同図において、１０はレーザ光共振器、１はレーザビー
ム（レーザ出力鏡から取り出されたもの）。
ム（レーザ出力鏡から取り出されたもの）。
２はシャッター板、３はヒートシンク部、４は増幅器２
５はシャッタ０Ｎ１０ＦＦ信号発生器、６は論理回路（
制御回路部）、７はインターロック制御部、８はロータ
リンレノイドである。
５はシャッタ０Ｎ１０ＦＦ信号発生器、６は論理回路（
制御回路部）、７はインターロック制御部、８はロータ
リンレノイドである。
本発明の実施例において、シャツタ板が正常なときと異
常なときの各場合におけるシャツタ０Ｎ１０ＦＦ信号発
生器５からのシャッタＯＮ信号とヒートシンク部３から
の光（熱）検出信号の間の真理値表を考えると第２図の
ようになる。但し、シャッタＯＮ信号がＯＮ（Ｈｉｇｈ
）になると、シャッタ２が０ＰＥＮＩ、、レーザビーム
１がシャッタで反射されないとする。又、ヒートシンク
としてのパワー検出部３の信号はレーザ光が入射された
とき（シャツタ板から反射されたとき）にＨｉｇｈにな
るとする。そして、インターロックへの入力は正論理と
する。さらにシャッタ板２の異常とは、シャッター板自
身が折れるか、折九なくとも表面のコーティング等の劣
化により反射率が極端に下がり、ヒートシンクとしての
パワー検出部３にレーザビームが導入されなくなった状
態を指す。
常なときの各場合におけるシャツタ０Ｎ１０ＦＦ信号発
生器５からのシャッタＯＮ信号とヒートシンク部３から
の光（熱）検出信号の間の真理値表を考えると第２図の
ようになる。但し、シャッタＯＮ信号がＯＮ（Ｈｉｇｈ
）になると、シャッタ２が０ＰＥＮＩ、、レーザビーム
１がシャッタで反射されないとする。又、ヒートシンク
としてのパワー検出部３の信号はレーザ光が入射された
とき（シャツタ板から反射されたとき）にＨｉｇｈにな
るとする。そして、インターロックへの入力は正論理と
する。さらにシャッタ板２の異常とは、シャッター板自
身が折れるか、折九なくとも表面のコーティング等の劣
化により反射率が極端に下がり、ヒートシンクとしての
パワー検出部３にレーザビームが導入されなくなった状
態を指す。
第２図の真理値表において異常な場合を示す論理ハ、シ
ャッタＯＮ信号をＡ、ヒートシンクとしてのパワー検出
部３の出力信号なりとするときＸσＢ （ＥＸＮＯＲ）
である。即ち本発明の第１実施例における論理回路部６
の内部は第３図のようにＮＡＮＤゲートのみを用いた簡
単な論理回路で実現できる。ところで第２図に示した真
理値表において状態３はシャッター２をｏｐｅｎにする
ための駆動系、たとえばロータリンレノイド等の故障を
示しており、第２図の状態４が本発明が行なおうとする
ところのシャッター板そのものの異常の場合である。こ
のように本発明の第一実施例ではシャッター板自身の異
常の他に、ロータリンレノイド等のシャツタ板の駆動系
の異常も同時に検出できる特徴を有する。
ャッタＯＮ信号をＡ、ヒートシンクとしてのパワー検出
部３の出力信号なりとするときＸσＢ （ＥＸＮＯＲ）
である。即ち本発明の第１実施例における論理回路部６
の内部は第３図のようにＮＡＮＤゲートのみを用いた簡
単な論理回路で実現できる。ところで第２図に示した真
理値表において状態３はシャッター２をｏｐｅｎにする
ための駆動系、たとえばロータリンレノイド等の故障を
示しており、第２図の状態４が本発明が行なおうとする
ところのシャッター板そのものの異常の場合である。こ
のように本発明の第一実施例ではシャッター板自身の異
常の他に、ロータリンレノイド等のシャツタ板の駆動系
の異常も同時に検出できる特徴を有する。
尚、ヒートシンクに設けた熱検出器がこわれた場合、シ
ャツタ板に異常がなくとも、第２図における状態４にあ
てはまり異常信号が出力されることになるが、レーザ装
置のインターロックの性質上、検出器が異常になり装置
が停止するのであるから問題はない。即ち、状態４にて
作動したとき、シャッター板を調べて異常がない場合、
検知器の不具合が生じたという判断をすればよいだけで
ある。
ャツタ板に異常がなくとも、第２図における状態４にあ
てはまり異常信号が出力されることになるが、レーザ装
置のインターロックの性質上、検出器が異常になり装置
が停止するのであるから問題はない。即ち、状態４にて
作動したとき、シャッター板を調べて異常がない場合、
検知器の不具合が生じたという判断をすればよいだけで
ある。
第４図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の実施例２のシャッ
ター板の駆動系を示したものである。図において、１は
入射レーザ光、２はシャツタ板、３はロータリンレノイ
ド、４はエアーシリンダー ５はＬＭガイド、６はセン
サー（光センサ、磁気センサー等）である。図において
、（ａ）はロータリンレノイド３を用いた回転型のシャ
ッターの代表例を示し、（ｂ）はエアシリンダー４を駆
動源とした並進型のシャッターの代表例を示している０
本実施例においては、シャツタ板がそれぞれ動いたとき
、それを確認するためのセンタ６がそれぞれ設けられて
おり、このセンサーによりシャッターが確実に開閉した
ことを表わす信号を出力することを可能にする。
ター板の駆動系を示したものである。図において、１は
入射レーザ光、２はシャツタ板、３はロータリンレノイ
ド、４はエアーシリンダー ５はＬＭガイド、６はセン
サー（光センサ、磁気センサー等）である。図において
、（ａ）はロータリンレノイド３を用いた回転型のシャ
ッターの代表例を示し、（ｂ）はエアシリンダー４を駆
動源とした並進型のシャッターの代表例を示している０
本実施例においては、シャツタ板がそれぞれ動いたとき
、それを確認するためのセンタ６がそれぞれ設けられて
おり、このセンサーによりシャッターが確実に開閉した
ことを表わす信号を出力することを可能にする。
センサ６の出力は第１図の論理回路６０片側入力となる
。すなわち、第１図では、シャッタオン・オフ信号発生
器５の出力を論理回路６に入力していたが、実施例２で
は代わりにセンサ６の出力が入力する。
。すなわち、第１図では、シャッタオン・オフ信号発生
器５の出力を論理回路６に入力していたが、実施例２で
は代わりにセンサ６の出力が入力する。
ここで注意することは、このセンサーの設ケラれている
位置であり、同図（ａ） 、 （ｂ）の例ともにシャツ
タ板２そのものを検知する様にはなっていない。シャツ
タ板から離れたそれぞれのシャッター板を駆動している
ロータリンレノイド３０回転軸の回転、エアーシリンダ
ーの駆動軸の移動に応じてそれぞれ検知する。シャッタ
ー板はこれら軸とともに作動しているため、確実にシャ
ッター板が作動したか否かの判断をすることができる。
位置であり、同図（ａ） 、 （ｂ）の例ともにシャツ
タ板２そのものを検知する様にはなっていない。シャツ
タ板から離れたそれぞれのシャッター板を駆動している
ロータリンレノイド３０回転軸の回転、エアーシリンダ
ーの駆動軸の移動に応じてそれぞれ検知する。シャッタ
ー板はこれら軸とともに作動しているため、確実にシャ
ッター板が作動したか否かの判断をすることができる。
即ち、本実施例の場合は、実施例１と異なり、シャッタ
ーの駆動系の故障、たとえば配線の不良や駆動回路の不
良ではシャッター異常信号を出力。
ーの駆動系の故障、たとえば配線の不良や駆動回路の不
良ではシャッター異常信号を出力。
しない。純粋にシャッター板の異常があるときにのみ異
常信号とみなされる。
常信号とみなされる。
以上説明したように本発明は、シャッター０Ｎ１０ＦＦ
の命令信号と、シャッター板からレーザビームの直接の
反射光のモニター信号を用いて、両方の信号のＥＸＮＯ
Ｒ（排他的論理和の否定）をとることによってシャッタ
ー板の損傷を確認できる効果がある。
の命令信号と、シャッター板からレーザビームの直接の
反射光のモニター信号を用いて、両方の信号のＥＸＮＯ
Ｒ（排他的論理和の否定）をとることによってシャッタ
ー板の損傷を確認できる効果がある。
大出力のＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ等の外部シャッタ
ーの不良診断法として大変有用である。
ーの不良診断法として大変有用である。
第１図は本発明の第一実施例を示す構成図、第２図は第
１図の異常検出機構動作を示す図、第３図は論理回路の
回路図、第４図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ本発明の
第二実施例の構成図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は従来
の検出法を示しくａ）は正面図（ｂ）は側面図である。 Ｔａｂｌｅｌ・・・・・・シャッタ異常検出のための真
理値表。 代理人 弁理士 内 原 音 ｚＪン理回路郭 ７．イシ多乙ロツタ侮ツ替丁部 ３、ロータソソレノイド 第２図 第３図
１図の異常検出機構動作を示す図、第３図は論理回路の
回路図、第４図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ本発明の
第二実施例の構成図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は従来
の検出法を示しくａ）は正面図（ｂ）は側面図である。 Ｔａｂｌｅｌ・・・・・・シャッタ異常検出のための真
理値表。 代理人 弁理士 内 原 音 ｚＪン理回路郭 ７．イシ多乙ロツタ侮ツ替丁部 ３、ロータソソレノイド 第２図 第３図
Claims (1)
- １、ＣＯ＿２レーザ、Ｎｄ＾３＾＋ＹＡＧレーザ等のレ
ーザ発振器の出力鏡から出射された光をしゃへいするた
めのメカニカルシャッターの異常検出機構において、し
ゃへい時シャッター板からの反射光を吸収するためのヒ
ートシンクを兼ねるパワー検出部と、この検出信号を増
幅するための増幅器と、前記シャッター開放を認識する
ための信号発生器と、前記増幅器からの出力と前記シャ
ッター開放の認識信号により異常と診断するための論理
回路とを有し、前記論理回路からの信号に従い、レーザ
装置のインターロックを作動させることにより、シャッ
ター開閉機能の異常を検出することを特徴としたレーザ
ビームシャッターの異常検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8893389A JPH02266581A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | レーザビームシャッターの異常検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8893389A JPH02266581A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | レーザビームシャッターの異常検出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02266581A true JPH02266581A (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=13956695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8893389A Pending JPH02266581A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | レーザビームシャッターの異常検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02266581A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003094182A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-02 | Keyence Corp | レーザマーカの自動パワー制御方法及びレーザマーカ |
| JP2008129602A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Alcon Inc | 照明減衰システムおよび方法 |
| WO2009014006A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | レーザ光分岐装置 |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP8893389A patent/JPH02266581A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003094182A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-02 | Keyence Corp | レーザマーカの自動パワー制御方法及びレーザマーカ |
| JP2008129602A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Alcon Inc | 照明減衰システムおよび方法 |
| JP2014102516A (ja) * | 2006-11-20 | 2014-06-05 | Alcon Inc | 照明減衰システムおよび方法 |
| WO2009014006A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | レーザ光分岐装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4527362B2 (ja) | エレベータ装置のシャフトドア監視方法 | |
| US6868711B2 (en) | Method for monitoring mechanical wear | |
| NL2024279B1 (en) | Apparatus and method for determining a condition associated with a pellicle | |
| WO1988003301A1 (en) | Passive infrared burglar sensor equipped with visual field interruption monitor mechanism | |
| JP2010249812A (ja) | 走行時間原理で動作する光センサ | |
| JPH02266581A (ja) | レーザビームシャッターの異常検出機構 | |
| US5214293A (en) | Latch status sensor sensing closed and unlatched position | |
| US20120312970A1 (en) | Assembly and method for detecting radiation | |
| US4580053A (en) | Backscatter detection inspection apparatus for tubular goods | |
| JP2004281888A (ja) | レーザ装置 | |
| KR102376701B1 (ko) | 라이다 3차원 감지 영역 설정 방법 | |
| JP3627096B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| JP2007091385A (ja) | エレベータードアの引き込まれ防止装置 | |
| US20040146078A1 (en) | Apparatus and method of directing a laser beam to a thermally managed beam dump in a laser system | |
| JP3070085B2 (ja) | Ｓｏｒ光装置の光取り出しライン | |
| US6392737B1 (en) | Processing apparatus and method of control | |
| JP4204384B2 (ja) | レーザ装置 | |
| CN116184775A (zh) | 光刻机互锁装置的触发结构及方法 | |
| JP3256800B2 (ja) | レーザ光路開閉状態検出機構 | |
| JP2521505B2 (ja) | 視野妨害監視機構を備えた受動型赤外線防犯センサ | |
| JP3570519B2 (ja) | 光線式安全装置のセルフチェックシステム | |
| Corder et al. | High power laser beam delivery monitoring for laser safety | |
| JP2001343620A (ja) | ファラデー素子型光スイッチを用いたドア開閉検知センサ | |
| CA2389255A1 (en) | Apparatus and method of directing a laser beam to a thermally managed beam dump in a laser system | |
| JP2023121307A (ja) | 炉内異物検知装置および炉内異物検知方法 |