JP2001048646A - 磁器及びその製法 - Google Patents

磁器及びその製法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】非鉛系の磁器であるビスマス層状化合物の耐衝
撃性を向上し、高いP/V値を有するとともに共振周波
数の温度変化率の小さい磁器およびその製法を提供す
る。 【解決手段】ビスマス層状化合物からなる結晶粒子と、
タングステンブロンズ型化合物からなる結晶粒子とを含
有する。特に、ビスマス層状化合物としてSrBi4
4 15、タングステンブロンズ型化合物としてSr2
NaNb5 15および/またはBa2 KNb5 15であ
ることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁器およびその製
法に関し、例えば、発振子、超音波振動子、超音波モー
ターあるいは加速度センサー、ノッキングセンサー、及
びAEセンサー等の圧電センサーなどに適し、特に、高
周波レゾネータの共振子用圧電材料として好適に用いら
れる磁器およびその製法に関する。
【0002】
【従来技術】従来から、圧電磁器を利用した電子部品と
しては、例えばフィルター、共振子、発振子、超音波振
動子、超音波モーター、圧電センサー等がある。
【0003】発振子は、マイコンの基準信号発振子用と
して、例えばコルピッツ型発振回路に組み込まれて利用
される。このコルピッツ型発振回路はコンデンサーと抵
抗とインバータと発振子とにより構成されており、発振
信号を発生させるには、ループゲインと移相量との関係
において以下の発振条件を満足させる必要がある。
【0004】すなわち、インバータと抵抗からなる増幅
回路における増幅率をα、移相量をθ1 とし、また、発
振子とコンデンサからなる帰還回路における帰還率を
β、移相量をθ2 としたとき、ループゲインがα×β≧
1であり、且つ移相量がθ1 +θ2 =360°×n(但
しn=1、2、3、 …)であることが必要となる。
【0005】したがって、コルピッツ型発振回路におい
て安定した発振を得るには、ループゲインを大きくしな
ければならない。そのためには、帰還率βのゲインを決
定する発振子のP/V値、すなわち共振インピーダンス
0 および反共振インピーダンスRa の差を大きくする
ことが必要となる。尚、P/V値は20log(Ra
0 )の値として定義される。
【0006】従来、この種の磁器としては、PbTiO
3 やPb(Zr,Ti)O3 を主成分としたもの、ある
いはこれらに加えて第二成分、第三成分として、Pb
(Mn1/3 Nb2/3 )O3 やPb(Ni1/3 Nb2/3
3 などを固溶させたもの等が知られている。特に、P
bTiO3 を主成分とした磁器組成物の場合、比誘電率
が300〜700と小さく10MHz以上の高周波領域
での使用が可能になるなどの特徴を有していた。
【0007】ところが、従来の圧電セラミックス材料で
あるPbTiO3 、Pb(Zr, Ti)O3 を主成分と
したものは生態系に有害なPbを多量に含有しており、
環境破壊の観点から、非鉛系の圧電セラミックス材料で
あるビスマス層状化合物が注目されて開発が進められて
いる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ビスマ
ス層状化合物は、破壊靱性が0.8MPam1/2 と低い
ために、発振子に内蔵される圧電共振子としては、耐落
下衝撃が低いという問題があった。そのために、近年普
及が著しい携帯電話やノートパソコン等の携帯機器に実
装する上で、落下等の衝撃に対する信頼性に欠けてい
た。
【0009】また、ビスマス層状化合物はP/V値が高
いものの、共振周波数の温度変化率が±5000ppm
以上と大きく、温度変化に対して高精度が要求される発
振子用としては使用できないという問題があった。
【0010】従って、本発明は、高いP/V値および小
さな共振周波数の温度変化率を有するとともに、耐衝撃
性に優れる非鉛系の磁器およびその製法を提供すること
を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の磁器は、ビスマ
ス層状化合物からなる結晶粒子と、タングステンブロン
ズ型化合物からなる結晶粒子とを含有するもので、特に
ビスマス層状化合物はSrBi4 Ti4 15、タングス
テンブロンズ型化合物はSr2 NaNb5 15および/
またはBa2 KNb5 15であるとともに、ビスマス層
状化合物とタングステンブロンズ型化合物との組成物1
00重量部に対して、MnをMnO2 換算で0.01〜
1重量部の割合で含有することが好ましい。ここで、主
成分がSrBi4 Ti4 15を40〜60体積%、Sr
2 NaNb5 15および/またはBa2 KNb5 15
60〜40体積%とからなることが望ましい。
【0012】また、本発明の磁器は、−20〜80℃の
共振周波数の温度変化率が−1200〜1200ppm
であり、かつ共振インピ−ダンスR0 と反共振インピ−
ダンスRa とした時、20log(Ra /R0 )で表さ
れるP/V値が40dB以上であることが望ましい。
【0013】さらに、本発明の製法は、ビスマス層状化
合物と、タングステンブロンズ型化合物とからなる混合
粉末の成形体を、マイクロ波加熱を用いて焼成する製法
である。
【0014】
【作用】本発明の磁器では、ビスマス層状化合物の結晶
粒子の界面にタングステンブロンズ型化合物の結晶粒子
を存在せしめることにより、結晶粒子間を強固に結合せ
しめ、かつ、高靭性のタングステンブロンズ型化合物が
複合化することによりビスマス層状化合物単体に比べて
クラックの進展を阻害することができる。これにより、
破壊靭性が改善し、落下等の衝撃に対する抵抗が高ま
る。
【0015】また、高いP/V値を有するビスマス層状
化合物とタングステンブロンズ型化合物との共振周波数
の温度変化率を調整して複合化することができるので、
P/V値を高く維持したまま、磁器の共振周波数の温度
変化率を小さくすることができる。
【0016】特に、高いP/V値を有するビスマス層状
化合物としてSrBi4 Ti4 15、タングステンブロ
ンズ化合物としてSr2 NaNb5 15および/または
Ba2 KNb5 15を選び、焼成時の反応を抑制して複
合化することによって高いP/V値を維持できる。
【0017】また同時に、−20〜80℃の共振周波数
の温度変化率が負の特性を有するビスマス層状化合物と
してのSrBi4 Ti4 15と、−20〜80℃の共振
周波数の温度変化率が正の特性を有するタングステンブ
ロンズ型化合物としてのSr2 NaNb5 15および/
またはBa2 KNb5 15とを選んで、適当な組成比で
複合化することにより、共振周波数の温度変化率を小さ
くできる。
【0018】ところで、ビスマス層状化合物とタングス
テンブロンズ化合物とからなる主成分100重量部に対
して、MnをMnO2 換算で0.01〜0.1重量部を
添加することにより、緻密化を促進し、より高い靭性を
実現できる。
【0019】このような磁器は、マイクロ波焼成により
急速に焼結を行って、ビスマス層状化合物とタングステ
ンブロンズ型化合物との反応を抑制し、混合物のまま焼
結させることにより、靭性を高め、共振周波数の温度変
化率を小さくできる。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の磁器は、ビスマス層状化
合物からなる結晶粒子と、タングステンブロンズ型化合
物からなる結晶粒子とを含有するものである。本発明の
磁器内には、Si、Fe、Ga、Al、K、Ca、N
a、Hf、Li等の元素が少量含有しても何ら差し支え
ない。
【0021】ここで、ビスマス層状化合物としては、B
4 Ti3 12、SrBi2 Nb29 等があるが、X
Bi4 Ti4 15(Xはアルカリ土類金属のうち少なく
とも1 種)、もしくはX0.5 Bi4.5 Ti4 15(Xは
アルカリ金属のうち少なくとも1 種)であることが、P
/V値が高い点から望ましい。SrBi4 Ti4 15
P/V値が70dB以上と高く特に望ましい。
【0022】また、タングステンブロンズ型化合物はY
2 ZNb5 15(Yはアルカリ土類金属のうち少なくと
も1種、Zはアルカリ金属のうち少なくとも1種)で書
き表せるもののうちSr2 NaNb5 15および/また
はBa2 KNb5 15がP/V値が特に大きいため望ま
しい。
【0023】それぞれの結晶粒子の平均粒子径は5μm
以下であることが、機械的特性および破壊靭性向上の点
から望ましい。結晶粒子径が5μmより大きいとき、焼
結体の機械的特性が劣化しやすく、複合化による破壊靭
性値向上の効果が少ないためである。
【0024】また、本発明における主成分が、ビスマス
層状化合物SrBi4 Ti4 15を40〜60体積%、
タングステンブロンズ型化合物Sr2 NaNb5 15
よび/またはBa2 KNb5 15を60〜40体積%に
すると、高いP/V値を維持したままで共振周波数の温
度変化率を小さくできるので、特に望ましい。
【0025】これは、複合体の共振周波数の温度変化率
が、それぞれの結晶相の存在比率によって規定されるた
めであり、±1200ppmの共振周波数の温度変化率
の高精度の圧電共振子を得るためには上記の複合比率が
望ましい。
【0026】なお、共振周波数の温度変化率を−120
0〜1200ppm、P/V値を40dB以上とするこ
とにより、例えば、コルピッツ型発振回路において、ル
ープゲインを大きくでき、広い温度範囲で安定した発振
を得ることができる。
【0027】本発明の磁器においては、焼結を促進する
ために焼結助剤を添加することが靭性を向上して耐衝撃
性を改善するためには好ましい。ビスマス層状化合物と
タングステンブロンズ型化合物との焼成を助長するよう
な材料を添加すれば良いが、特にMnが焼結促進に効果
がある。
【0028】例えば、SrBi4 Ti4 15と、Sr2
NaNb5 15および/またはBa2 KNb5 15とか
らなる主成分100重量部に対してMnをMnO2 換算
で0. 01〜1重量部の割合で含有することが望まし
い。
【0029】本発明の磁器の製法は、例えば、以下のよ
うな方法により作製される。まず、例えば、原料として
SrCO3 、Bi2 3 、TiO2 、BaCO3 、K2
CO3 、Nb2 5 、Na2 CO3 、およびMnO2
各原料粉末を所定量秤量して、ボールミル等で10〜2
4時間湿式混合し、Bi層状化合物およびタングステン
ブロンズ型化合物それぞれの混合粉末を作製する。
【0030】ついで、これらの粉末を乾燥した後、80
0〜1200℃で1〜3時間仮焼し、ボールミル等にて
粉砕する。その後、有機バインダーを混合してスプレー
ドライヤーにてビスマス層状化合物、タングステンブロ
ンズ型化合物それぞれの顆粒を作製する。
【0031】その後、それぞれの顆粒を所望の配合比に
混合し、この混合物を所望の成形手段、例えば、ロール
成形等のシート成形法、金型プレス法、冷間静水圧プレ
ス法、押し出し成形法、圧延法等により任意の形状に成
形する。そして、この成形体を大気中等の酸化雰囲気中
で800℃〜1220℃の温度で28GHzのマイクロ
波において10〜60分間で焼成することにより、相対
密度90%以上に緻密化する。
【0032】このようにして、緻密で破壊靭性値が高
く、衝撃に強く、高いP/V値を有し、かつ共振周波数
の温度変化率が小さいという特徴を持つ磁器を得ること
ができる。
【0033】
【実施例】まず、純度99.9%のSrCO3 粉末、B
2 3 粉末、TiO2 粉末を組成式SrBi4 Ti4
15となる比率で秤量し、ビスマス層状化合物用の混合
粉末を作製した。これにMnをMnO2 粉末として主成
分100重量部に対して表1の値となるように秤量し、
添加した。この混合粉末を回転ミルにて16時間混合
し、得られたスラリ−を乾燥し、大気中にて950℃
で、3時間仮焼した。
【0034】一方、SrCO3 粉末、NaCO3 粉末、
Nb2 5 粉末、BaCO3 粉末、K2 CO3 粉末をタ
ングステンブロンズ型化合物であるSr2 NaNb5
15とBa2 KNb5 15とが表1の比率となるように秤
量し、添加して混合粉末を作製した。この混合粉末を回
転ミルにて16時間混合し、得られたスラリ−を乾燥
し、大気中にて1000℃で、3時間保持して仮焼し
た。
【0035】仮焼したビスマス層状化合物とタングステ
ンブロンズ型化合物との粉末を表1の割合で秤量し、こ
れに適量の有機バインダーと水とを加えて混合し、得ら
れたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥・造粒し
た。この顆粒を金型プレスにて1500kg/cm2
成形し、縦20mm、横30mm、厚み1mmの成形体
を得た。
【0036】次に、成形体を大気中400℃、2時間で
脱脂した後、周波数28GHzで最大出力10kWのジ
ャイラトロンを発振源に用いたマイクロ波発信器を用い
たステンレス製のマイクロ波焼成炉を用いて1180
℃、30分間保持して相対密度95%以上に焼成した。
【0037】得られた焼結体を縦4.5mm、横10m
m、厚み0.18mmに加工して、上下面にAg電極を
形成し、150℃で30分間分極処理を行った。
【0038】その後、インピーダンスアナライザーによ
り、共振・反共振インピーダンス:R0 、Ra を測定
し、厚みすべり振動の基本波のP/V値をP/V=20
×log(Ra /R0 )の式により算出した。これらの
結果を表2に示す。また、この方法で、温度を変えて共
振周波数を測定し、−20〜80℃における温度変化率
を算出した。
【0039】一方、焼結体の密度をアルキメデス法を用
いて測定し、相対密度に換算した。結晶相をX線回折に
より同定し、ビスマス層状粒子とタングステンブロンズ
結晶粒子の存在について調査した。
【0040】さらに、破壊靭性値測定用として3mm×
4mm×40mmの角柱状の焼結体を上記手法により作
製し、表面を鏡面加工したサンプルを作製した。破壊靭
性値は、IF法により評価、算出した。
【0041】結果を表1および表2に示す。なお、表2
における焼成方法の欄で、MWはマイクロ波焼成を、H
Aは通常の大気中での焼成炉による焼成を示す。また、
結晶粒子の欄で、ビスマス層状結晶粒子をBL、タング
ステンブロンズ結晶粒子をTB、不明はUKとして示し
た。
【0042】
【表1】
【0043】
【表2】
【0044】これらの表1、2から、本発明の磁器は、
P/V値45dB以上、共振周波数の温度変化率±30
00ppm以内、破壊靭性1.2MPam1/2 以上、相
対密度96%以上の特性を有していた。
【0045】特に、ビスマス層状化合物が40〜60体
積%では、破壊靭性が1.2MPam1/2 、共振周波数
の温度変化率が−1200〜1000ppm、P/V値
が64dB以上と優れた特性を示している。
【0046】これに対して、ビスマス層状化合物のみの
No.1は、本発明の範囲外であり、破壊靭性が0.8
MPam1/2 と低く、また、共振周波数の温度変化率も
−5000ppmとその絶対値が大きくなっている。
【0047】また、タングステンブロンズ化合物のみの
No.8は、本発明の範囲外であり、共振周波数の温度
変化率が5000ppmと高い。
【0048】さらに、通常のヒーター加熱炉で焼成した
No.9は、本発明の範囲外であり、破壊靭性0.9M
Pam1/2 、P/V値20dB、共振周波数の温度変化
率ー10000ppmといずれも低レベルになってい
る。
【0049】表1および表2から明らかなように、ビス
マス層状化合物単独の焼結体と比較して、タングステン
ブロンズ型化合物と複合体を形成することにより破壊靭
性値が向上し、PZT並みの靭性を有することが可能と
なる。また、高いP/V値を保持しつつ、共振周波数の
温度変化率の制御が可能となることがわかる。
【0050】
【発明の効果】本発明の磁器は、ビスマス層状化合物か
らなる結晶粒子と、タングステンブロンズ型化合物から
なる結晶粒子とを含有することにより、高い破壊靭性値
と、高いP/V値と、小さな共振周波数の温度変化率を
有するため、特に高周波用レゾネータの共振子用圧電磁
器として好適に用いることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 41/24 H01L 41/18 101B H01P 7/10 41/22 A Fターム(参考) 4G030 AA03 AA04 AA09 AA10 AA16 AA20 AA25 AA43 BA10 CA01 CA03 GA09 GA23 4G031 AA01 AA05 AA06 AA11 AA14 AA19 AA35 BA10 CA01 CA03 GA01 GA07 4G048 AA05 AA06 AB01 AC01 AC03 AD06 AE06 5J006 HC07 LA14 LA18

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ビスマス層状化合物からなる結晶粒子と、
    タングステンブロンズ型化合物からなる結晶粒子とを含
    有することを特徴とする磁器。
  2. 【請求項2】ビスマス層状化合物はSrBi4 Ti4
    15、タングステンブロンズ型化合物はSr2 NaNb5
    15および/またはBa2 KNb5 15であるととも
    に、前記ビスマス層状化合物と前記タングステンブロン
    ズ型化合物とからなる主成分100重量部に対して、M
    nをMnO2 換算で0.01〜1重量部の割合で含有す
    ることを特徴とする請求項1記載の磁器。
  3. 【請求項3】主成分がSrBi4 Ti4 15を40〜6
    0体積%、Sr2 NaNb5 15および/またはBa2
    KNb5 15を60〜40体積%とからなることを特徴
    とする請求項2記載の磁器。
  4. 【請求項4】共振インピーダンスをR0 、反共振インピ
    ーダンスをRa とした時、20log(Ra /R0 )で
    表されるP/V値が40dB以上であるとともに、−2
    0〜80℃における共振周波数の温度変化率が−120
    0〜1200ppmであることを特徴とする請求項1乃
    至3の内いずれか一つに記載の磁器。
  5. 【請求項5】ビスマス層状化合物粉末と、タングステン
    ブロンズ型化合物粉末とからなる混合粉末の成形体を、
    マイクロ波加熱を用いて焼成することを特徴とする磁器
    の製法。
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