JP2001035899A - ウェハ移載装置、及び該装置を備えた半導体製造装置 - Google Patents
ウェハ移載装置、及び該装置を備えた半導体製造装置Info
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- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette
Abstract
(57)【要約】
【課題】リニアモータによってウェハ移載ロボットが往
復直線移動する構成のウェハ移載装置において、ウェハ
に塵埃が付着しないようにすることである。 【解決手段】ウェハ移載ロボットＲを往復直線移動させ
るためのリニアモータＭの二次側１１が取付けられた固
定ベース９を、ウェハ移載装置Ａの装置本体１の長手方
向に沿って、しかも、縦方向に取付け、清浄空気供給装
置４からの清浄空気Ｋの気流に従って落下する塵埃が、
前記固定ベース９、及び前記二次側１１の上面に堆積す
ることなく、そのまま装置本体１の底面部１ｃに設けら
れた排気ファン５に吸引されて、排気されるようにす
る。
復直線移動する構成のウェハ移載装置において、ウェハ
に塵埃が付着しないようにすることである。 【解決手段】ウェハ移載ロボットＲを往復直線移動させ
るためのリニアモータＭの二次側１１が取付けられた固
定ベース９を、ウェハ移載装置Ａの装置本体１の長手方
向に沿って、しかも、縦方向に取付け、清浄空気供給装
置４からの清浄空気Ｋの気流に従って落下する塵埃が、
前記固定ベース９、及び前記二次側１１の上面に堆積す
ることなく、そのまま装置本体１の底面部１ｃに設けら
れた排気ファン５に吸引されて、排気されるようにす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロードポート装置
に設置されたウェハキャリアからウェハを１枚ずつ取り
出し、ウェハ処理装置に移載させるためのウェハ移載装
置、及び該ウェハ移載装置を備えた半導体製造装置に関
するものである。
に設置されたウェハキャリアからウェハを１枚ずつ取り
出し、ウェハ処理装置に移載させるためのウェハ移載装
置、及び該ウェハ移載装置を備えた半導体製造装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１ないし図３に示されるように、半導
体製造装置（図示せず）を構成するウェハ移載装置Ａ
は、ロードポート装置Ｌの上面に設置されたウェハキャ
リアＣからウェハＵを１枚ずつ取り出し、該ウェハＵを
ウェハ処理装置Ｅに移載すると共に、前記ウェハ処理装
置Ｅによって処理されたウェハＵを、再びウェハキャリ
アＣに移載させるための装置である。このとき、ウェハ
Ｕに塵埃が付着すると、該ウェハＵが不良となり易い。
これを防止するため、ウェハ移載装置Ａ内の上部に清浄
空気供給装置４が設けられていて、該装置から清浄空気
Ｋが、常にウェハＵに供給されている。この清浄空気Ｋ
は、ウェハ移載装置Ａを構成するウェハ移載ロボットＲ
の上方から下方に向けて送風される。ウェハ移載装置Ａ
内に存する塵埃は、清浄空気Ｋの気流に従って下方に送
られ、装置本体１の底面部１ｃに設けられた排気ファン
５によって排気される。このようにして、ウェハＵに塵
埃が付着することが防止される。
体製造装置（図示せず）を構成するウェハ移載装置Ａ
は、ロードポート装置Ｌの上面に設置されたウェハキャ
リアＣからウェハＵを１枚ずつ取り出し、該ウェハＵを
ウェハ処理装置Ｅに移載すると共に、前記ウェハ処理装
置Ｅによって処理されたウェハＵを、再びウェハキャリ
アＣに移載させるための装置である。このとき、ウェハ
Ｕに塵埃が付着すると、該ウェハＵが不良となり易い。
これを防止するため、ウェハ移載装置Ａ内の上部に清浄
空気供給装置４が設けられていて、該装置から清浄空気
Ｋが、常にウェハＵに供給されている。この清浄空気Ｋ
は、ウェハ移載装置Ａを構成するウェハ移載ロボットＲ
の上方から下方に向けて送風される。ウェハ移載装置Ａ
内に存する塵埃は、清浄空気Ｋの気流に従って下方に送
られ、装置本体１の底面部１ｃに設けられた排気ファン
５によって排気される。このようにして、ウェハＵに塵
埃が付着することが防止される。
【０００３】従来のウェハ移載装置の場合、ウェハ移載
ロボットを直線往復移動させるために、ボールねじと制
御モータが使用されている。ボールねじの場合、ウェハ
移載ロボットの移動長さを余り長くすることができない
ため、該ウェハ移載ロボットを、リニアモータによって
直線往復移動させる構成のものが開発されている。図８
を参照しながら、リニアモータＭを使用した構成のウェ
ハ移載装置Ａ’について説明する。リニアモータＭを使
用する場合、通常、その二次側１１が装置本体１の底面
部１ｃに取付けられる。ところが、この場合、排気ファ
ン５の部分がリニアモータＭの二次側１１によって隠さ
れてしまい、排気効率が低下するという不具合が存す
る。しかも、塵埃がリニアモータＭの二次側１１の上面
に堆積し易くなり、この塵埃が清浄空気Ｋの気流に乗っ
て浮遊することがある。このような場合、ウェハＵに塵
埃が付着し易くなり、不良ウェハＵの発生率が高くな
る。
ロボットを直線往復移動させるために、ボールねじと制
御モータが使用されている。ボールねじの場合、ウェハ
移載ロボットの移動長さを余り長くすることができない
ため、該ウェハ移載ロボットを、リニアモータによって
直線往復移動させる構成のものが開発されている。図８
を参照しながら、リニアモータＭを使用した構成のウェ
ハ移載装置Ａ’について説明する。リニアモータＭを使
用する場合、通常、その二次側１１が装置本体１の底面
部１ｃに取付けられる。ところが、この場合、排気ファ
ン５の部分がリニアモータＭの二次側１１によって隠さ
れてしまい、排気効率が低下するという不具合が存す
る。しかも、塵埃がリニアモータＭの二次側１１の上面
に堆積し易くなり、この塵埃が清浄空気Ｋの気流に乗っ
て浮遊することがある。このような場合、ウェハＵに塵
埃が付着し易くなり、不良ウェハＵの発生率が高くな
る。
【０００４】また、この種の装置の場合、作業者による
保守点検作業時に、安全作業の観点からウェハ移載ロボ
ットＲを非常停止させる場合がある。従来のウェハ移載
装置Ａの場合、ボールねじを駆動するための制御モータ
に電磁ブレーキ等を組み込むことにより、比較的簡単な
構成でウェハ移載ロボットＲを非常停止させることがで
きる。しかし、リニアモータＭの場合、上記した電磁ブ
レーキ等を組み込むことは、極めて困難である。
保守点検作業時に、安全作業の観点からウェハ移載ロボ
ットＲを非常停止させる場合がある。従来のウェハ移載
装置Ａの場合、ボールねじを駆動するための制御モータ
に電磁ブレーキ等を組み込むことにより、比較的簡単な
構成でウェハ移載ロボットＲを非常停止させることがで
きる。しかし、リニアモータＭの場合、上記した電磁ブ
レーキ等を組み込むことは、極めて困難である。
【０００５】リニアモータＭを使用する場合に、ウェハ
移載ロボットＲを停止させるための手段について説明す
る。リニアモータＭの制御回路には、回生制動が組み込
まれている。該回生制動を作動させることにより、ウェ
ハ移載ロボットＲを所定位置で停止させることができ
る。しかも、この制御回路には、無停電電源装置が組み
込まれている。このため、例えば停電等により給電が遮
断され、ウェハ移載ロボットＲが惰走しようとしても、
前記無停電電源装置の設定時間だけ給電を継続させるこ
とができる。そして、この設定時間内に回生制動を作動
させて、前記ウェハ移載ロボットＲを停止させるのであ
る。ところが、前記無停電電源装置の設定時間を超えて
も、ウェハ移載ロボットＲが停止しない場合がある。こ
のような場合、該ウェハ移載ロボットＲが、そのまま惰
走し、装置を損傷させるおそれがある。この不具合は、
非常の際に、ウェハ移載装置Ａへの給電が遮断されるよ
うに構成された非常停止スイッチが作動された場合で
も、全く同様にして発生するおそれがある。
移載ロボットＲを停止させるための手段について説明す
る。リニアモータＭの制御回路には、回生制動が組み込
まれている。該回生制動を作動させることにより、ウェ
ハ移載ロボットＲを所定位置で停止させることができ
る。しかも、この制御回路には、無停電電源装置が組み
込まれている。このため、例えば停電等により給電が遮
断され、ウェハ移載ロボットＲが惰走しようとしても、
前記無停電電源装置の設定時間だけ給電を継続させるこ
とができる。そして、この設定時間内に回生制動を作動
させて、前記ウェハ移載ロボットＲを停止させるのであ
る。ところが、前記無停電電源装置の設定時間を超えて
も、ウェハ移載ロボットＲが停止しない場合がある。こ
のような場合、該ウェハ移載ロボットＲが、そのまま惰
走し、装置を損傷させるおそれがある。この不具合は、
非常の際に、ウェハ移載装置Ａへの給電が遮断されるよ
うに構成された非常停止スイッチが作動された場合で
も、全く同様にして発生するおそれがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、ウェハに塵埃が付着しないようにすること
と、停電、或いは非常の際にウェハ移載ロボットを確実
に停止させるようにすることである。
具合に鑑み、ウェハに塵埃が付着しないようにすること
と、停電、或いは非常の際にウェハ移載ロボットを確実
に停止させるようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第１の発明は、装置本体の正面壁の内側に、その長手
方向に沿って配設されたリニアモータと、前記リニアモ
ータの一次側又は二次側に取付けられ、同方向に沿って
往復直線移動可能なウェハ移載ロボットとを備え、装置
本体の正面壁の外側に装着されたロードポート装置の上
面に設置されたウェハキャリアからウェハを１枚ずつ取
り出しながらウェハ処理装置に移載するためのウェハ移
載装置において、前記リニアモータが、縦方向に取付け
られていることを特徴としている。
の第１の発明は、装置本体の正面壁の内側に、その長手
方向に沿って配設されたリニアモータと、前記リニアモ
ータの一次側又は二次側に取付けられ、同方向に沿って
往復直線移動可能なウェハ移載ロボットとを備え、装置
本体の正面壁の外側に装着されたロードポート装置の上
面に設置されたウェハキャリアからウェハを１枚ずつ取
り出しながらウェハ処理装置に移載するためのウェハ移
載装置において、前記リニアモータが、縦方向に取付け
られていることを特徴としている。
【０００８】同じく第２の発明は、装置本体の正面壁の
内側に、その長手方向に沿って配設されたリニアモータ
と、前記リニアモータの一次側又は二次側に取付けら
れ、同方向に沿って往復直線移動可能なウェハ移載ロボ
ットとを備え、前記装置本体の正面壁の外側に装着され
たロードポート装置の上面に設置されたウェハキャリア
からウェハを１枚ずつ取り出し、ウェハ処理装置に移載
するためのウェハ移載装置であって、前記リニアモータ
の一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、そ
の一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁
気吸引力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に
抗して吸着される可動体と、前記リニアモータの他方側
に、前記可動体と相対向して取付けられ、前記コイルへ
の給電が遮断されることにより、該可動体が圧接される
ブレーキ板とから成るブレーキ装置を備えたことを特徴
としている。
内側に、その長手方向に沿って配設されたリニアモータ
と、前記リニアモータの一次側又は二次側に取付けら
れ、同方向に沿って往復直線移動可能なウェハ移載ロボ
ットとを備え、前記装置本体の正面壁の外側に装着され
たロードポート装置の上面に設置されたウェハキャリア
からウェハを１枚ずつ取り出し、ウェハ処理装置に移載
するためのウェハ移載装置であって、前記リニアモータ
の一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、そ
の一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁
気吸引力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に
抗して吸着される可動体と、前記リニアモータの他方側
に、前記可動体と相対向して取付けられ、前記コイルへ
の給電が遮断されることにより、該可動体が圧接される
ブレーキ板とから成るブレーキ装置を備えたことを特徴
としている。
【０００９】第１の発明の場合、装置本体の正面壁の内
側に、その長手方向に沿って配設されたリニアモータの
一次側又は二次側が、縦方向に取付けられている。前記
装置本体内を落下する塵埃は、その底面部に設置された
排気ファンにより、そのまま排気される。リニアモータ
の一次側又は二次側の上面に堆積される塵埃の量は極め
て僅かであり、しかも、装置本体内の気流は、前記一次
側又は二次側の上面に殆ど及ばないため、堆積した塵埃
が装置内を浮遊することがない。この結果、ウェハに塵
埃が付着することが防止され、装置本体内のウェハは常
に清浄な状態で移載される。
側に、その長手方向に沿って配設されたリニアモータの
一次側又は二次側が、縦方向に取付けられている。前記
装置本体内を落下する塵埃は、その底面部に設置された
排気ファンにより、そのまま排気される。リニアモータ
の一次側又は二次側の上面に堆積される塵埃の量は極め
て僅かであり、しかも、装置本体内の気流は、前記一次
側又は二次側の上面に殆ど及ばないため、堆積した塵埃
が装置内を浮遊することがない。この結果、ウェハに塵
埃が付着することが防止され、装置本体内のウェハは常
に清浄な状態で移載される。
【００１０】第２の発明の場合、ウェハ移載装置にブレ
ーキ装置が取付けられている。このため、停電等が発生
し、ウェハ移載装置への給電が遮断された際には、リニ
アモータの一次側又は二次側のいずれか一方側に装着さ
れた可動体を、他方側に設けられたブレーキ板から離隔
させるためのコイルの磁気吸引力が解放される。前記可
動体は、圧縮ばねの弾性復元力によってブレーキ板に接
近し、該ブレーキ板を圧接する。このときの摩擦力によ
って、ウェハ移載ロボットの走行が瞬時に停止される。
ーキ装置が取付けられている。このため、停電等が発生
し、ウェハ移載装置への給電が遮断された際には、リニ
アモータの一次側又は二次側のいずれか一方側に装着さ
れた可動体を、他方側に設けられたブレーキ板から離隔
させるためのコイルの磁気吸引力が解放される。前記可
動体は、圧縮ばねの弾性復元力によってブレーキ板に接
近し、該ブレーキ板を圧接する。このときの摩擦力によ
って、ウェハ移載ロボットの走行が瞬時に停止される。
【００１１】上記した可動体のブレーキ板への圧接は、
コイルへの給電が遮断された際に必ず行われる。このた
め、前記コイルへの給電が遮断されるように構成された
非常停止スイッチを設け、非常の際に、前記非常停止ス
イッチを作動させて、コイルへの給電を遮断させるよう
にするだけで、ウェハ移載ロボットの走行を確実に停止
させることができる。
コイルへの給電が遮断された際に必ず行われる。このた
め、前記コイルへの給電が遮断されるように構成された
非常停止スイッチを設け、非常の際に、前記非常停止ス
イッチを作動させて、コイルへの給電を遮断させるよう
にするだけで、ウェハ移載ロボットの走行を確実に停止
させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を更
に詳細に説明する。図１は本発明のウェハ移載装置Ａの
側面断面図、図２は一部を破断したウェハ移載装置Ａの
平面図、図３は一部を破断したウェハ移載装置Ａの背面
図、図４はウェハ移載ロボットＲの側面図である。図１
ないし図３に示されるように、本発明のウェハ移載装置
Ａを構成する箱状の装置本体１の正面壁１ａには、ロー
ドポート装置Ｌを装着させるための開口孔２が設けられ
ていて、該開口孔２に複数台（本実施例の場合、４台）
のロードポート装置Ｌが装着されている。各ロードポー
ト装置Ｌの上面には、多数枚のウェハＵを収納したウェ
ハキャリアＣが設置されると共に、その背面側（ウェハ
移載装置Ａと相対向する側）には、ウェハキャリアＣの
蓋体（図示せず）を着脱するための蓋体着脱装置Ｆが取
付けられている。装置本体１の背面壁１ｂには、前記ウ
ェハキャリアＣから取り出されたウェハＵの向き（結晶
の配列方向）を定めるためのオリエンタＤと、該ウェハ
Ｕに所定の処理を施すための各ウェハ処理部３を備えた
ウェハ処理装置Ｅが配設されている。
に詳細に説明する。図１は本発明のウェハ移載装置Ａの
側面断面図、図２は一部を破断したウェハ移載装置Ａの
平面図、図３は一部を破断したウェハ移載装置Ａの背面
図、図４はウェハ移載ロボットＲの側面図である。図１
ないし図３に示されるように、本発明のウェハ移載装置
Ａを構成する箱状の装置本体１の正面壁１ａには、ロー
ドポート装置Ｌを装着させるための開口孔２が設けられ
ていて、該開口孔２に複数台（本実施例の場合、４台）
のロードポート装置Ｌが装着されている。各ロードポー
ト装置Ｌの上面には、多数枚のウェハＵを収納したウェ
ハキャリアＣが設置されると共に、その背面側（ウェハ
移載装置Ａと相対向する側）には、ウェハキャリアＣの
蓋体（図示せず）を着脱するための蓋体着脱装置Ｆが取
付けられている。装置本体１の背面壁１ｂには、前記ウ
ェハキャリアＣから取り出されたウェハＵの向き（結晶
の配列方向）を定めるためのオリエンタＤと、該ウェハ
Ｕに所定の処理を施すための各ウェハ処理部３を備えた
ウェハ処理装置Ｅが配設されている。
【００１３】最初に、ウェハ移載装置Ａについて説明す
る。ウェハ移載装置Ａの装置本体１内には、ウェハキャ
リアＣからウェハＵを１枚ずつ取り出して、ウェハ処理
装置Ｅに移載すると共に、前記ウェハ処理装置Ｅによっ
て処理されたウェハＵを、再びウェハキャリアＣに移載
するためのウェハ移載ロボットＲが配設されている。装
置本体１の内側上部には、ウェハキャリアＣから取り出
されたウェハＵに清浄空気Ｋを供給するための清浄空気
供給装置４が設けられていて、装置本体１の底面部１ｃ
には、ほぼ全面に亘って排気ファン５が設けられてい
る。また、装置本体１の背面壁１ｂには、ウェハキャリ
アＣから取り出されたウェハＵを、ウェハ移載ロボット
Ｒからウェハ処理装置Ｅのウェハ処理部３に移載するた
めの第１移載窓６と、ウェハ処理装置Ｅによって処理さ
れたウェハＵを再びウェハ移載ロボットＲに移載するた
めの第２移載窓７が設けられている。
る。ウェハ移載装置Ａの装置本体１内には、ウェハキャ
リアＣからウェハＵを１枚ずつ取り出して、ウェハ処理
装置Ｅに移載すると共に、前記ウェハ処理装置Ｅによっ
て処理されたウェハＵを、再びウェハキャリアＣに移載
するためのウェハ移載ロボットＲが配設されている。装
置本体１の内側上部には、ウェハキャリアＣから取り出
されたウェハＵに清浄空気Ｋを供給するための清浄空気
供給装置４が設けられていて、装置本体１の底面部１ｃ
には、ほぼ全面に亘って排気ファン５が設けられてい
る。また、装置本体１の背面壁１ｂには、ウェハキャリ
アＣから取り出されたウェハＵを、ウェハ移載ロボット
Ｒからウェハ処理装置Ｅのウェハ処理部３に移載するた
めの第１移載窓６と、ウェハ処理装置Ｅによって処理さ
れたウェハＵを再びウェハ移載ロボットＲに移載するた
めの第２移載窓７が設けられている。
【００１４】装置本体１における正面壁１ａの内側で、
装置本体１の長手方向の両端部及びほぼ中央部には、そ
れぞれ支柱８が立設されている。そして、各支柱に、平
板状の固定ベース９が取付けられている。この固定ベー
ス９は、その長手方向を装置本体１の長手方向に沿わ
せ、しかも、側面視におけるその幅方向を、装置本体１
の高さ方向に沿わせた形態（換言すれば、側面視におい
て縦方向に配置された形態）で取付けられている。前記
固定ベース９における高さ方向のほぼ中央部には、リニ
アモータＭの二次側１１が取付けられている。この二次
側１１は平板状であり、その長さは、装置本体１の長手
方向の長さよりも僅かに短い。そして、前記固定ベース
９の背面側（支柱８の反対側）に、側面視における二次
側１１の幅方向を、装置本体１の高さ方向に沿わせた形
態（前記固定ベース９と同様に、側面視において縦方向
に配置された形態）で取付けられている。これに対応し
て、リニアモータＭの一次側１２も縦方向に配置されて
いる。
装置本体１の長手方向の両端部及びほぼ中央部には、そ
れぞれ支柱８が立設されている。そして、各支柱に、平
板状の固定ベース９が取付けられている。この固定ベー
ス９は、その長手方向を装置本体１の長手方向に沿わ
せ、しかも、側面視におけるその幅方向を、装置本体１
の高さ方向に沿わせた形態（換言すれば、側面視におい
て縦方向に配置された形態）で取付けられている。前記
固定ベース９における高さ方向のほぼ中央部には、リニ
アモータＭの二次側１１が取付けられている。この二次
側１１は平板状であり、その長さは、装置本体１の長手
方向の長さよりも僅かに短い。そして、前記固定ベース
９の背面側（支柱８の反対側）に、側面視における二次
側１１の幅方向を、装置本体１の高さ方向に沿わせた形
態（前記固定ベース９と同様に、側面視において縦方向
に配置された形態）で取付けられている。これに対応し
て、リニアモータＭの一次側１２も縦方向に配置されて
いる。
【００１５】前記固定ベース９の背面側で、前記リニア
モータＭの二次側１１の上下には、一対のガイドレール
１３が、装置本体１の長手方向に沿って固着されてい
る。一対のガイドレール１３には、それぞれガイド体１
４が装着されていて、各ガイド体１４及び前記一次側１
２の背面側には、可動ベース１５が取付けられている。
この可動ベース１５の背面側には、ウェハ移載ロボット
Ｒ（後述）が取付けられる。このため、リニアモータＭ
を作動させることにより、ウェハ移載ロボットＲを装置
本体１の長手方向に沿って直線往復移動させることがで
きる。
モータＭの二次側１１の上下には、一対のガイドレール
１３が、装置本体１の長手方向に沿って固着されてい
る。一対のガイドレール１３には、それぞれガイド体１
４が装着されていて、各ガイド体１４及び前記一次側１
２の背面側には、可動ベース１５が取付けられている。
この可動ベース１５の背面側には、ウェハ移載ロボット
Ｒ（後述）が取付けられる。このため、リニアモータＭ
を作動させることにより、ウェハ移載ロボットＲを装置
本体１の長手方向に沿って直線往復移動させることがで
きる。
【００１６】次に、ウェハ移載ロボットＲについて説明
する。図４及び図５に示されるように、このウェハ移載
ロボットＲは、上記した可動ベース１５に取付けられる
ロボット本体部１６と、該ロボット本体部１６の上部に
設けられ、ウェハキャリアＣ内に入り込んでウェハＵを
取り出すためのウェハ取出部１７とから成る。前記ウェ
ハ取出部１７には、ウェハＵを載置するための二股状の
ウェハ載置用フォーク１８が取付けられている。このウ
ェハ載置用フォーク１８は、複数本のリンク部材１９か
ら構成されるリンク機構により、進退可能である。ま
た、前記ウェハ取出部１７は、ロボット本体部１６の軸
心ＣＬを中心に、所定角度内で旋回可能である。
する。図４及び図５に示されるように、このウェハ移載
ロボットＲは、上記した可動ベース１５に取付けられる
ロボット本体部１６と、該ロボット本体部１６の上部に
設けられ、ウェハキャリアＣ内に入り込んでウェハＵを
取り出すためのウェハ取出部１７とから成る。前記ウェ
ハ取出部１７には、ウェハＵを載置するための二股状の
ウェハ載置用フォーク１８が取付けられている。このウ
ェハ載置用フォーク１８は、複数本のリンク部材１９か
ら構成されるリンク機構により、進退可能である。ま
た、前記ウェハ取出部１７は、ロボット本体部１６の軸
心ＣＬを中心に、所定角度内で旋回可能である。
【００１７】上記した可動ベース１５と、ロボット本体
部１６とは、ベース板２１を介して取付けられている。
そして、このベース板２１には、高さ方向に沿ってボー
ルねじ２２、ガイドレール（図示せず）及び制御モータ
２３が配設されている。該制御モータ２３を作動させ
て、前記ボールねじ２２を所定方向に回転させることに
より、ロボット本体部１６を昇降させることができる。
なお、図３において、２４，２５は、前記制御モータ２
３に給電するための電線を収納するための電線収納部材
である。
部１６とは、ベース板２１を介して取付けられている。
そして、このベース板２１には、高さ方向に沿ってボー
ルねじ２２、ガイドレール（図示せず）及び制御モータ
２３が配設されている。該制御モータ２３を作動させ
て、前記ボールねじ２２を所定方向に回転させることに
より、ロボット本体部１６を昇降させることができる。
なお、図３において、２４，２５は、前記制御モータ２
３に給電するための電線を収納するための電線収納部材
である。
【００１８】次に、ウェハ移載装置Ａに設けられたブレ
ーキ装置Ｂについて説明する。図６及び図７に示される
ように、可動ベース１５の下部には、可動体装着部２６
が延設されていて、同じく固定ベース９の下部には、前
記可動体装着部２６と相対向するブレーキ板２７が延設
されている。このブレーキ板２７は、固定ベース９の、
ほぼ全長に亘って延設されている。前記可動体装着部２
６には、可動体２８が装着されている。この可動体２８
の背面側の上下には、２本のコイル２９が配設されてい
ると共に、同じくほぼ中央部には、圧縮ばね３１が弾装
されている。２本のコイル２９に給電すると、磁気吸引
力が生じ、該磁気吸引力によって可動体２８が吸着され
る。この磁気吸引力は、前記圧縮ばね３１の弾性復元力
と反対方向に作用し、しかも前記弾性復元力よりも大き
い。そのため、２本のコイル２９に給電されている場
合、前記可動体２８は圧縮ばね３１の弾性復元力に抗し
て２本のコイル２９に吸着される。このとき、ブレーキ
板２７と可動体２８との間には、僅かな隙間ｅが形成さ
れているため、ウェハ移載ロボットＲは支障なく直線移
動される。
ーキ装置Ｂについて説明する。図６及び図７に示される
ように、可動ベース１５の下部には、可動体装着部２６
が延設されていて、同じく固定ベース９の下部には、前
記可動体装着部２６と相対向するブレーキ板２７が延設
されている。このブレーキ板２７は、固定ベース９の、
ほぼ全長に亘って延設されている。前記可動体装着部２
６には、可動体２８が装着されている。この可動体２８
の背面側の上下には、２本のコイル２９が配設されてい
ると共に、同じくほぼ中央部には、圧縮ばね３１が弾装
されている。２本のコイル２９に給電すると、磁気吸引
力が生じ、該磁気吸引力によって可動体２８が吸着され
る。この磁気吸引力は、前記圧縮ばね３１の弾性復元力
と反対方向に作用し、しかも前記弾性復元力よりも大き
い。そのため、２本のコイル２９に給電されている場
合、前記可動体２８は圧縮ばね３１の弾性復元力に抗し
て２本のコイル２９に吸着される。このとき、ブレーキ
板２７と可動体２８との間には、僅かな隙間ｅが形成さ
れているため、ウェハ移載ロボットＲは支障なく直線移
動される。
【００１９】そして、前記２本のコイル２９への給電が
遮断された場合、各コイル２９の磁気吸引力が消滅す
る。可動体２８は、圧縮ばね３１の弾性復元力によって
ブレーキ板２７に向かって押し出され、該ブレーキ板２
７を圧接する。この結果、ブレーキ板２７と可動体２８
との間に摩擦力が生じ、ウェハ移載ロボットＲの走行が
停止される。上記した圧接は、２本のコイル２９への給
電の遮断と殆ど同時に行われるため、ウェハ移載ロボッ
トＲの走行は、瞬時に停止される。
遮断された場合、各コイル２９の磁気吸引力が消滅す
る。可動体２８は、圧縮ばね３１の弾性復元力によって
ブレーキ板２７に向かって押し出され、該ブレーキ板２
７を圧接する。この結果、ブレーキ板２７と可動体２８
との間に摩擦力が生じ、ウェハ移載ロボットＲの走行が
停止される。上記した圧接は、２本のコイル２９への給
電の遮断と殆ど同時に行われるため、ウェハ移載ロボッ
トＲの走行は、瞬時に停止される。
【００２０】次に、本発明に係るウェハ移載装置Ａの作
用について説明する。図１ないし図３に示されるよう
に、装置本体１の正面壁１ａにロードポート装置Ｌが装
着される。続いて、ロードポート装置Ｌに設けられた蓋
体着脱装置Ｆにより、ウェハキャリアＣの蓋体（図示せ
ず）が取り外される。ウェハ移載ロボットＲが、装置本
体１の長手方向に沿って直線移動すると共に所定の高さ
に昇降し、前記ウェハキャリアＣと相対向される。複数
のリンク部材１９から成るリンク機構により、ウェハ載
置用フォーク１８が前進され、該フォーク１８がウェハ
キャリアＣ内に入り込む。その状態を、図５に二点鎖線
で示す。前記ウェハ載置用フォーク１８に、ウェハＵが
載置され、該ウェハ載置用フォーク１８がそのまま後退
することによって、ウェハＵが１枚だけ取り出される。
用について説明する。図１ないし図３に示されるよう
に、装置本体１の正面壁１ａにロードポート装置Ｌが装
着される。続いて、ロードポート装置Ｌに設けられた蓋
体着脱装置Ｆにより、ウェハキャリアＣの蓋体（図示せ
ず）が取り外される。ウェハ移載ロボットＲが、装置本
体１の長手方向に沿って直線移動すると共に所定の高さ
に昇降し、前記ウェハキャリアＣと相対向される。複数
のリンク部材１９から成るリンク機構により、ウェハ載
置用フォーク１８が前進され、該フォーク１８がウェハ
キャリアＣ内に入り込む。その状態を、図５に二点鎖線
で示す。前記ウェハ載置用フォーク１８に、ウェハＵが
載置され、該ウェハ載置用フォーク１８がそのまま後退
することによって、ウェハＵが１枚だけ取り出される。
【００２１】このとき、装置本体１内に設けられた清浄
空気供給装置４からは、下方に向けて常に清浄空気Ｋが
供給されている。このため、ウェハ載置用フォーク１８
によってウェハキャリアＣから取り出されたウェハＵに
は、常に清浄空気Ｋが供給されるため、該ウェハＵに塵
埃が付着することはない。しかも、装置本体１内に浮遊
している塵埃は、前記清浄空気Ｋの気流に従って落下す
る。装置本体１の底面部１ｃには、排気ファン５が設け
られているため、前記塵埃は、そのまま排気ファン５に
吸引されて排気される。本発明のウェハ移載装置Ａにお
ける固定ベース９及びリニアモータＭの二次側１１は、
縦方向に取付けられている。そのため、前記塵埃が、固
定ベース９及びリニアモータＭの二次側１１の上面に堆
積する量は、極めて僅かである。しかも、清浄空気供給
装置から供給される清浄空気Ｋの気流が、前記固定ベー
ス９及び前記二次側１１の上面に及ぶことは殆どない。
この結果、装置本体１内で塵埃が舞い上がることもな
く、ウェハＵは常に清浄な状態に保持される。
空気供給装置４からは、下方に向けて常に清浄空気Ｋが
供給されている。このため、ウェハ載置用フォーク１８
によってウェハキャリアＣから取り出されたウェハＵに
は、常に清浄空気Ｋが供給されるため、該ウェハＵに塵
埃が付着することはない。しかも、装置本体１内に浮遊
している塵埃は、前記清浄空気Ｋの気流に従って落下す
る。装置本体１の底面部１ｃには、排気ファン５が設け
られているため、前記塵埃は、そのまま排気ファン５に
吸引されて排気される。本発明のウェハ移載装置Ａにお
ける固定ベース９及びリニアモータＭの二次側１１は、
縦方向に取付けられている。そのため、前記塵埃が、固
定ベース９及びリニアモータＭの二次側１１の上面に堆
積する量は、極めて僅かである。しかも、清浄空気供給
装置から供給される清浄空気Ｋの気流が、前記固定ベー
ス９及び前記二次側１１の上面に及ぶことは殆どない。
この結果、装置本体１内で塵埃が舞い上がることもな
く、ウェハＵは常に清浄な状態に保持される。
【００２２】そして、ウェハ載置用フォーク１８にウェ
ハＵを載置させたまま、ウェハ移載ロボットＲのウェハ
取出部１７が、ロボット本体部１６の軸心ＣＬを中心に
して旋回し、オリエンタＤと相対向される。オリエンタ
Ｄにより、ウェハＵの結晶の配列方向が定められる。続
いて、前記ウェハ移載ロボットＲが、ウェハ載置用フォ
ーク１８にウェハＵを載置したまま、再び装置本体１の
長手方向に沿って直線移動すると共に、所定高さまで昇
降し、第１移載窓６と相対向される。該ウェハＵが、ウ
ェハ処理装置Ｅにおけるウェハ処理部３に移載され、所
定の処理が施される。処理が施されたウェハＵは、予
め、第２移載窓７と相対向する位置に移動されたウェハ
移載ロボットＲのウェハ載置用フォーク１８に載置され
る。ウェハ移載ロボットＲが直線移動して、処理が施さ
れたウェハＵをウェハキャリアＣの所定位置に収納す
る。上記した作用が繰り返されることにより、ウェハキ
ャリアＣに収納された全てのウェハＵに処理が施され
る。
ハＵを載置させたまま、ウェハ移載ロボットＲのウェハ
取出部１７が、ロボット本体部１６の軸心ＣＬを中心に
して旋回し、オリエンタＤと相対向される。オリエンタ
Ｄにより、ウェハＵの結晶の配列方向が定められる。続
いて、前記ウェハ移載ロボットＲが、ウェハ載置用フォ
ーク１８にウェハＵを載置したまま、再び装置本体１の
長手方向に沿って直線移動すると共に、所定高さまで昇
降し、第１移載窓６と相対向される。該ウェハＵが、ウ
ェハ処理装置Ｅにおけるウェハ処理部３に移載され、所
定の処理が施される。処理が施されたウェハＵは、予
め、第２移載窓７と相対向する位置に移動されたウェハ
移載ロボットＲのウェハ載置用フォーク１８に載置され
る。ウェハ移載ロボットＲが直線移動して、処理が施さ
れたウェハＵをウェハキャリアＣの所定位置に収納す
る。上記した作用が繰り返されることにより、ウェハキ
ャリアＣに収納された全てのウェハＵに処理が施され
る。
【００２３】次に、ブレーキ装置Ｂの作用について説明
する。図６ないし図７に示されるように、走行するウェ
ハ移載ロボットＲが所定位置（例えば、ウェハＵを取り
出すためにウェハキャリアＣと相対向する位置）に停止
する場合、即ち、通常停止の場合、該ウェハ移載ロボッ
トＲは制御回路に設けられた回生制動が作動することに
よって停止する。ここで、停電等が発生し、ウェハ移載
装置Ａへの給電が遮断された場合について説明する。本
実施例のウェハ移載装置Ａの場合、制御回路（図示せ
ず）に無停電電源装置が組み込まれている。このため、
ウェハ移載装置Ａへの給電が遮断されるのとほぼ同時
に、前記無停電電源装置が作動するため、その設定時間
（例えば１秒）だけウェハ移載装置Ａへの給電が継続さ
れる。この設定時間内に回生制動を作動させ、ウェハ移
載ロボットＲを停止させる。もし、何らかの原因によ
り、前記設定時間内にウェハ移載ロボットＲが停止せ
ず、そのまま走行（惰走）しようとする場合であって
も、無停電電源装置の設定時間を超えると、ウェハ移載
装置Ａへの給電が遮断される。同時に、各コイル２９へ
の給電も遮断されるため、可動ベース１５に延設された
可動体装着部２６に装着された可動体２８を、固定ベー
ス９に延設されたブレーキ板２７から離隔させている磁
気吸引力が解放される。前記可動体２８は、圧縮ばね３
１の弾性復元力によってブレーキ板２７に向かって押し
出され、前記ブレーキ板２７を圧接する。このとき、ブ
レーキ板２７と可動体２８との間に摩擦力が生じるた
め、ウェハ移載ロボットＲの走行が停止される。このよ
うにして、停電等の際に、ウェハ移載ロボットＲが惰走
することが防止されるため、ウェハ移載装置Ａを損傷す
ることがない。
する。図６ないし図７に示されるように、走行するウェ
ハ移載ロボットＲが所定位置（例えば、ウェハＵを取り
出すためにウェハキャリアＣと相対向する位置）に停止
する場合、即ち、通常停止の場合、該ウェハ移載ロボッ
トＲは制御回路に設けられた回生制動が作動することに
よって停止する。ここで、停電等が発生し、ウェハ移載
装置Ａへの給電が遮断された場合について説明する。本
実施例のウェハ移載装置Ａの場合、制御回路（図示せ
ず）に無停電電源装置が組み込まれている。このため、
ウェハ移載装置Ａへの給電が遮断されるのとほぼ同時
に、前記無停電電源装置が作動するため、その設定時間
（例えば１秒）だけウェハ移載装置Ａへの給電が継続さ
れる。この設定時間内に回生制動を作動させ、ウェハ移
載ロボットＲを停止させる。もし、何らかの原因によ
り、前記設定時間内にウェハ移載ロボットＲが停止せ
ず、そのまま走行（惰走）しようとする場合であって
も、無停電電源装置の設定時間を超えると、ウェハ移載
装置Ａへの給電が遮断される。同時に、各コイル２９へ
の給電も遮断されるため、可動ベース１５に延設された
可動体装着部２６に装着された可動体２８を、固定ベー
ス９に延設されたブレーキ板２７から離隔させている磁
気吸引力が解放される。前記可動体２８は、圧縮ばね３
１の弾性復元力によってブレーキ板２７に向かって押し
出され、前記ブレーキ板２７を圧接する。このとき、ブ
レーキ板２７と可動体２８との間に摩擦力が生じるた
め、ウェハ移載ロボットＲの走行が停止される。このよ
うにして、停電等の際に、ウェハ移載ロボットＲが惰走
することが防止されるため、ウェハ移載装置Ａを損傷す
ることがない。
【００２４】上記した可動体２８のブレーキ板２７への
圧接は、各コイル２９への給電が遮断された際に必ず行
われる。このため、非常の際に、上記したブレーキ装置
Ｂを作動させるように構成することもできる。即ち、装
置本体１の所定位置（例えば、操作盤）に非常停止スイ
ッチ（図示せず）を設け、この非常停止スイッチを作動
させることによって各コイル２９への給電が、無停電電
源装置を作動させることなく遮断されるように構成す
る。非常時において、作業者が前記非常停止スイッチを
作動させて、各コイル２９への給電を遮断させるだけ
で、可動体２８がブレーキ板２７を圧接する。このよう
にして、非常の際に、ウェハ移載ロボットＲの走行を瞬
時に、しかも、確実に停止させることができる。この結
果、ウェハ移載装置Ａの保守点検作業を的確に行うこと
ができる。そして、該ブレーキ装置Ｂの構成は、極めて
簡単であると共に、その制御も極めて簡単である。
圧接は、各コイル２９への給電が遮断された際に必ず行
われる。このため、非常の際に、上記したブレーキ装置
Ｂを作動させるように構成することもできる。即ち、装
置本体１の所定位置（例えば、操作盤）に非常停止スイ
ッチ（図示せず）を設け、この非常停止スイッチを作動
させることによって各コイル２９への給電が、無停電電
源装置を作動させることなく遮断されるように構成す
る。非常時において、作業者が前記非常停止スイッチを
作動させて、各コイル２９への給電を遮断させるだけ
で、可動体２８がブレーキ板２７を圧接する。このよう
にして、非常の際に、ウェハ移載ロボットＲの走行を瞬
時に、しかも、確実に停止させることができる。この結
果、ウェハ移載装置Ａの保守点検作業を的確に行うこと
ができる。そして、該ブレーキ装置Ｂの構成は、極めて
簡単であると共に、その制御も極めて簡単である。
【００２５】本実施例では、リニアモータＭの二次側１
１が、装置本体１の正面壁１ａの内側に取付けられ、一
次側１２が可動する場合について説明した。しかし、リ
ニアモータＭの構造上、逆に取付けられる場合、即ち、
一次側１２が装置本体１の正面壁１ａの内側に取付けら
れ、二次側１１が可動する場合であっても構わない。ま
た、本実施例では、リニアモータＭが、装置本体１の正
面壁１ａの側に取付けられている場合について説明し
た。しかし、該リニアモータＭが、装置本体１の背面壁
１ｂの側に取付けられていても構わない。
１が、装置本体１の正面壁１ａの内側に取付けられ、一
次側１２が可動する場合について説明した。しかし、リ
ニアモータＭの構造上、逆に取付けられる場合、即ち、
一次側１２が装置本体１の正面壁１ａの内側に取付けら
れ、二次側１１が可動する場合であっても構わない。ま
た、本実施例では、リニアモータＭが、装置本体１の正
面壁１ａの側に取付けられている場合について説明し
た。しかし、該リニアモータＭが、装置本体１の背面壁
１ｂの側に取付けられていても構わない。
【００２６】
【発明の効果】第１の発明の場合、ウェハ移載ロボット
を往復直線移動させるためのリニアモータの一次側又は
二次側が、装置本体の長手方向に沿って、しかも、縦方
向に取付けられている。このため、前記装置本体内を落
下する塵埃が、そのまま排気ファンに吸引されて排気さ
れ、装置内を常に清浄状態に保持させることができ、ウ
ェハに塵埃が付着することが防止される。この結果、リ
ニアモータの利点を損なうことなく、ウェハを常に清浄
な状態に保持することができ、塵埃によって不良ウェハ
が発生しないようにすることができる。
を往復直線移動させるためのリニアモータの一次側又は
二次側が、装置本体の長手方向に沿って、しかも、縦方
向に取付けられている。このため、前記装置本体内を落
下する塵埃が、そのまま排気ファンに吸引されて排気さ
れ、装置内を常に清浄状態に保持させることができ、ウ
ェハに塵埃が付着することが防止される。この結果、リ
ニアモータの利点を損なうことなく、ウェハを常に清浄
な状態に保持することができ、塵埃によって不良ウェハ
が発生しないようにすることができる。
【００２７】第２の発明の場合、ウェハ移載ロボットを
往復直線移動させるためのリニアモータに、ウェハ移載
装置への給電が遮断された際に、可動体をブレーキ板に
圧接する構成のブレーキ装置が設けられている。このた
め、停電、或いは非常の際に、ウェハ移載ロボットの走
行を確実に停止させることができる。前記可動体を圧接
するための構成は、コイルと圧縮ばねとから成ってい
て、極めて簡単であると共に、その制御も、前記コイル
への給電を遮断するだけで済むため、極めて簡単であ
る。この結果、リニアモータの利点を損なうことなく、
ウェハ移載ロボットが惰走することを防止することがで
きる。また、ウェハ移載装置の保守点検作業を、的確に
行うことができる。
往復直線移動させるためのリニアモータに、ウェハ移載
装置への給電が遮断された際に、可動体をブレーキ板に
圧接する構成のブレーキ装置が設けられている。このた
め、停電、或いは非常の際に、ウェハ移載ロボットの走
行を確実に停止させることができる。前記可動体を圧接
するための構成は、コイルと圧縮ばねとから成ってい
て、極めて簡単であると共に、その制御も、前記コイル
への給電を遮断するだけで済むため、極めて簡単であ
る。この結果、リニアモータの利点を損なうことなく、
ウェハ移載ロボットが惰走することを防止することがで
きる。また、ウェハ移載装置の保守点検作業を、的確に
行うことができる。
【図１】本発明のウェハ移載装置Ａの側面断面図であ
る。
る。
【図２】一部を破断したウェハ移載装置Ａの平面図であ
る。
る。
【図３】一部を破断したウェハ移載装置Ａの背面図であ
る。
る。
【図４】ウェハ移載ロボットＲの側面図である。
【図５】ウェハ載置用フォーク１８がウェハキャリアＣ
に入り込む状態の作用説明図である。
に入り込む状態の作用説明図である。
【図６】ブレーキ装置Ｂの拡大側面図である。
【図７】ブレーキ装置Ｂの作用説明図である。
【図８】従来のウェハ移載装置Ａ’の側面断面図であ
る。
る。
Ａ：ウェハ移載装置 Ｂ：ブレーキ装置 Ｃ：ウェハキャリア Ｅ：ウェハ処理装置 Ｋ：清浄空気 Ｌ：ロードポート装置 Ｍ：リニアモータ Ｒ：ウェハ移載ロボット Ｕ：ウェハ １：装置本体 １ａ：正面壁 ４：清浄空気供給装置 １１：二次側 １２：一次側 ２７：ブレーキ板 ２８：可動体 ２９：コイル ３１：圧縮ばね
フロントページの続き (72)発明者 佐伯 弘明 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 大沢 哲 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 (72)発明者 谷山 育志 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 萩原 修士 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA08 FA01 FA07 FA11 GA44 GA48 GA49 LA08 MA04 NA02 NA10 NA15 PA26
Claims (5)
- 【請求項１】 装置本体の正面壁の内側に、その長手方
向に沿って配設されたリニアモータと、 前記リニアモータの一次側又は二次側に取付けられ、同
方向に沿って往復直線移動可能なウェハ移載ロボットと
を備え、 装置本体の正面壁の外側に装着されたロードポート装置
の上面に設置されたウェハキャリアからウェハを１枚ず
つ取り出しながらウェハ処理装置に移載するためのウェ
ハ移載装置において、 前記リニアモータが、縦方向に取付けられていることを
特徴とするウェハ移載装置。 - 【請求項２】 前記装置本体の上部に、ウェハ移載ロボ
ットにより移載されるウェハに、清浄空気を供給するた
めの清浄空気供給装置が配設されていることを特徴とす
る請求項１に記載のウェハ移載装置。 - 【請求項３】 装置本体の正面壁の内側に、その長手方
向に沿って配設されたリニアモータと、 前記リニアモータの一次側又は二次側に取付けられ、同
方向に沿って往復直線移動可能なウェハ移載ロボットと
を備え、 前記装置本体の正面壁の外側に装着されたロードポート
装置の上面に設置されたウェハキャリアからウェハを１
枚ずつ取り出し、ウェハ処理装置に移載するためのウェ
ハ移載装置であって、 前記リニアモータの一次側又は二次側のいずれか一方側
に取付けられ、その一方側に内装されたコイルの磁気吸
引力により、該磁気吸引力と反対方向に作用する圧縮ば
ねの弾性復元力に抗して吸着される可動体と、 前記リニアモータの他方側に、前記可動体と相対向して
取付けられ、前記コイルへの給電が遮断されることによ
り、該可動体が圧接されるブレーキ板と、 から成るブレーキ装置を備えたことを特徴とするウェハ
移載装置。 - 【請求項４】 前記装置本体には、ウェハ移載ロボット
を非常停止させるための非常停止スイッチが設けられて
いて、該スイッチを作動させることによって、前記コイ
ルへの給電が遮断されるように構成されていることを特
徴とする請求項３に記載のウェハ移載装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載のウ
ェハ移載装置を備えたことを特徴とする半導体製造装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21001799A JP4248695B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ウェハ移載装置の緊急停止装置 |
| US10/048,012 US7393172B1 (en) | 1999-07-26 | 2000-07-26 | Untreated body transfer device and semiconductor manufacturing device with the untreated body transfer device |
| TW089114956A TW465011B (en) | 1999-07-26 | 2000-07-26 | Transfer device for subjects to be processed and semiconductor manufacturing apparatus with the device |
| PCT/JP2000/004987 WO2001008211A1 (fr) | 1999-07-26 | 2000-07-26 | Dispositif de transfert de corps non traite et dispositif de fabrication de semi-conducteur associe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21001799A JP4248695B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ウェハ移載装置の緊急停止装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001035899A true JP2001035899A (ja) | 2001-02-09 |
| JP2001035899A5 JP2001035899A5 (ja) | 2005-10-06 |
| JP4248695B2 JP4248695B2 (ja) | 2009-04-02 |
Family
ID=16582455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21001799A Expired - Fee Related JP4248695B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ウェハ移載装置の緊急停止装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7393172B1 (ja) |
| JP (1) | JP4248695B2 (ja) |
| TW (1) | TW465011B (ja) |
| WO (1) | WO2001008211A1 (ja) |
Cited By (1)
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