WO2001008211A1

WO2001008211A1 - Dispositif de transfert de corps non traite et dispositif de fabrication de semi-conducteur associe

Info

Publication number: WO2001008211A1
Application number: PCT/JP2000/004987
Authority: WO
Inventors: Hiroaki Saeki; Masaki Narushima; Tetsu Osawa; Yasushi Taniyama; Shuuji Hagiwara
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 1999-07-26
Filing date: 2000-07-26
Publication date: 2001-02-01
Also published as: JP4248695B2; US7393172B1; JP2001035899A; TW465011B

Description

明細書被処理体移載装置、及び該装置を備えた半導体製造装置技術分野

本発明は、ロードポート装置に設置された被処理体キャリアから被処理体（ゥ工ハ等）を取り出し、被処理体処理装置に移載させるための被処理体移載装置、及び該被処理体移載装置を備えた半導体製造装置に関するものである。

背景技術

図 8に示されるように、半導体製造装置（図示せず）を構成するウェハ移載装置 A，は、ロードポート装置 Lの上面に設置されたウェハキャリア Cからウェハ Uを 1枚ずつ取り出し、該ウェハ Uをウェハ処理装置 Eに移載すると共に、前記ウェハ処理装置 Eによって処理されたウェハ Uを、再びウェハキヤリア Cに移載させるための装置である。このとき、ウェハ Uに塵埃が付着すると、該ウェハ U が不良となり易い。これを防止するため、ウェハ移載装置 A内の上部に清浄空気供給装置 4が設けられていて、該装置から清浄空気が、常にウェハ Uに供給されている。この清浄空気 Kは、ウェハ移載装置 Aを構成するウェハ移載ロボット Rの上方から下方に向けて送風される。ウェハ移載装置 A，内に存する塵埃は、清浄空気 Kの気流に従って下方に送られ、装置本体 1の底面部 1 cに設けられた排気ファン 5によって排気される。このようにして、ウェハ Uに塵埃が付着することが防止される。

従来のウェハ移載装置の場合、ウェハ移載ロボットを直線往復移動させるために、ボールとねじと制御モ一夕が使用されている。ボールねじの場合、ウェハ移載ロボッ卜の移動長さを余り長くすることができないため、該ウェハ移動ロボットを、リニアモ一夕によって直線往復移動させる構成のものが開発されている。図 8を参照しながら、リニアモー夕 Mを使用した構成のウェハ移載装置 A 'について説明する。リニアモー夕 Mを使用する場合、通常、その二次側 1 1が装置本体 1の底面部 1 cに取り付けられる。ところが、この場合、排気ファン 5の部分がリニアモー夕 Mの二次側 1 1によって隠されてしまい、排気効率が低下するという不具合が存する。しかも、リニアモ一夕 Mの二次側 1 1の面積の広い面が上方に向いているため麈埃が二次側 1 1の上面に堆積し易くなり、この塵埃が清浄空気 Kの気流に乗って浮遊することがある。このような場合、ゥヱハ Uに塵埃が付着し易くなり、不良ウェハ Uの発生率が高くなる。

また、ロードポート装置 Lは装置本体 1の正面壁の外側に装着されており、口 —ドポート装置 Lの上面にウェハキャリア Cは設置されている。また、リニアモ —夕 Mが装置本体 1の底面部 1 cに取り付けられていることによって、リニアモ一夕 Mの上に設置されたウェハ移載ロボット Rとウェハキヤリア Cとの間には U 字状の長い部材間距離が生じており、且つウェハキャリアとウェハ移載ロボット Rとの間には多数の部材が介在する。この結果、各部材の製造誤差が累積するため、ウェハ移載ロボット Rはウェハキヤリア C内のウェハに対し高精度の位置決めができないという問題があつた。

また、この種の装置の場合、作業者による保守点検作業時に、安全作業の観点からウェハ移載ロボット I を非常停止させる場合がある。従来のウェハ移載装置 A ⁵ の場合、ボールねじを駆動するための制御モータに電磁ブレーキ等を組み込むことにより、比較的簡単な構成でウェハ移載ロボット Rを非常停止させることができる。しかし、リニアモー夕 Mの場合、上記した電磁ブレーキ等を組み込むことは、極めて困難である。

リニアモータ Mを使用する場合に、ウェハ移載ロボット Rを停止させるための手段について説明する。リニアモ一夕 Mの制御回路には、回生制動が組み込まれている。該回生制動を作動させることにより、ウェハ移載ロボット Rを所定位置で停止させることができる。しかも、この制御回路には、無停電電源装置が組み込まれている。このため、例えば停電等により給電が遮断され、ウェハ移載ロボット Rが惰走しょうとしても、前記無停電電源装置の設定時間だけ給電を継続させることができる。そして、この設定時間内に回生制動を動作させて、前記ゥェハ移載ロボット Rを停止させるのである。ところが、前記無停電電源装置の設定時間を超えても、ウェハ移載ロボット Rが、そのまま惰走し、停止しない場合がある。この不具合は、非常の際に、ウェハ移載装置 Aへの給電が遮断されるように構成された非常停止スィツチが作動された場合でも、全く同様にして発生するおそれがある。

発明の開示

本発明は、上記した不具合に鑑み、被処理体に塵埃が付着しないようにすること、停電、或いは非常の際に被処理体移載ロボットを確実に停止させるようにすることである。

上記課題を解決するための第 1の発明は、ロードポート装置の上面に設置された被処理体キャリアから被処理体を取り出しながら被処理体を移載するための被処理体移載装置において、装置本体と、前記装置本体の幅方向に沿って配設されたリニアモー夕と、前記リニアモ一夕の一次側又は二次側に取付けられ、前記リ二ァモ一夕の幅方向に沿って往復直線移動可能な被処理体移載ロボッ卜と、を備え、前記ロードポート装置は前記装置本体の正面壁の外側に装着されており、前記リニアモー夕は前記装置本体の前記正面壁の内側に縦方向に取り付けられていることを特徴とする。

同じく第 2の発明は、ロードポート装置の上面に設置された被処理体キャリアから被処理体を取り出しながら被処理体を移載するための被処理体移載装置において、装置本体と、前記装置本体の幅方向に沿って配設されたリニアモ一夕と、前記リ二ァモ一夕の一次側又は二次側に取付けられ、前記リ二ァモ一夕の長手方向に沿って往復直線移動可能な被処理体移載ロボットと、ブレーキ装置と、を備え、前記ブレーキ装置は、前記リニアモ一夕の一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、その一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁気吸弓 I力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に抗して吸着される可動体と、前記リニアモータの他方側に、前記可動体と相対向して取り付けられ、前記コィルへの給電が遮断されることにより、該可動体が圧接されるブレーキ板と、を有することを特徴とする。

第 1の発明の場合、装置本体の正面壁の内側に、その幅方向に沿って配設されたリニアモー夕の一次側又は二次側が、縦方向に取付けられている。前記装置本体内を落下する塵埃は、その底面部に設置された排気ファンにより、そのまま排気される。面積の狭い面が上方に向いているため、リニアモ一夕の一次側又は二次側の上面に堆積される塵埃の量は極めて僅かになる。しかも、装置本体内の気流は、面積の狭い面が上方に向いているため前記一次側又は二次側の上面に殆ど及ばないことになり、堆積した塵埃が装置内を浮遊することがない。この結果、被処理体に塵埃が付着することが防止され、装置本体内の被処理体は常に清浄な状態で移載される。また、リニアモー夕の上に設置された被処理体移載ロボットと被処理体キャリアの間の部材間距離が短くなり、且つウェハキャリアとロボット移載ロポッ卜との間に介在する部材の数が少なくなるので、被処理体移載ロボットは被処理体キヤリア内の被処理体に対し高精度の位置決めを行うことができる。

第 2の発明の場合、被処理体移載装置にブレーキ装置が取り付けられている。このため、停電などが発生し、被処理体移載装置への給電が遮断された際には、リニアモータの一次側又は二次側のいずれか一方側に装着された可動体を、他方側に設けられたブレーキ板から離隔させるためのコイルの磁気吸引力が解放される。前記可動体は、圧縮ばねの弾性復元力によってブレーキ板に接近し、該ブレ一キ板を圧接する。このときの摩擦力によって、被処理体移載ロボットの走行が瞬時に停止される。

上記した可動体のブレーキ板への圧接は、コィルへの給電が遮断された際に必ず行われる。このため、前記コイルへの給電が遮断されるように構成された非常停止スィッチを設け、非常の際に、前記非常停止スィッチを作動させて、コイルへの給電を遮断させるようにするだけで、被処理体移載ロボッ卜の走行を確実に停止させることができる。

図面の簡単な説明

図 1は本発明のウェハ移載装置 Aの側面断面図である。

図 2は一部を破断したウェハ移載装置 Aの平面図である。

図 3は一部を破断したウェハ移載装置 Aの背面図である。

図 4はウェハ移載ロボット Rの側面図である。

図 5はウェハ載置用フォーク 1 8がウェハキヤリア Cに入り込む状態の作用説明図である。

図 6はブレーキ装置 Bの拡大側面図である。

図 7はブレーキ装置 Bの作用説明図である。図 8は従来のウェハ移載装置 A' の側面断面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、図面を参照して本発明に係る被処理体移送装置の実施例を詳細に説明する。ここでは、被処理体がウェハであり被処理体移送装置がウェハ移送装置である場合を説明する。なお、被処理体としては、ウェハに限らず、例えば液晶表示装置に用いられるガラス基板であってもよい。

図 1は本発明のウェハ移載装置 Aの側面断面図、図 2は一部を破断したウェハ移載装置 Aの平面図、図 3は一部を破断したウェハ移載装置 Aの背面図、図 4はウェハ移載ロボット Rの側面図である。

図 1ないし図 3に示されるように、本発明のウェハ移載装置 Aを構成する箱状の装置本体 1の正面壁 1 aには、ロードポート装置 Lを装着させるための開口孔 2が設けられていて、該開口孔 2に複数台（本実施例の場合、 4台）の口一ドポ —ト装置 Lが装着されている。各ロードポート装置 Lの上面には、多数枚のゥェハ Uを収納したウェハキャリア Cが設置されると共に、正面壁 1 aの背面側には、ウェハキャリア Cの蓋体（図示せず）を着脱するための蓋体着脱装置 Fが取り付けられている。装置本体 1の背面壁 1 bには、ウェハキャリア Cから取り出されたウェハ Uの向き（結晶の配列方向）を定めるためのオリエン夕 Dと、該ウェハ Uに所定の処理を施すための各ウェハ処理部 3を備えたウェハ処理装置 Eが配設されている。

最初に、ウェハ移載装置 Aについて説明する。ウェハ移載装置 Aの装置本体 1 内には、ウェハキャリア Cからウェハ Uを 1枚ずつ取り出して、ウェハ処理装置 Eに移載するとともに、前記ウェハ処理装置 Eによって処理されたウェハ Uを、再びゥヱハキヤリア Cに移載するためのウェハ移載ロボヅト Rが配設されている _c 装置本体 1の内側上部には、ウェハキヤリア Cから取り出されたウェハ Uに清浄空気 Kを供給するための清浄空気供給装置 4が設けられていて、装置本体 1の底面部 l cには、ほぼ全面に亘つて排気ファン 5が設けられている。また、装置本体 1の背面壁 l bには、第 1移載窓 6と第 2移載窓 7が設けられている。第 1移載窓 6はゥヱハ移載ロボット Rによってウェハキヤリア Cから取り出されたゥ工ハ Uをオリエン夕 Dへ送り、位置合わせされたウェハ Uをウェハ移載ロボット R によってオリエン夕 Dから取り出すための窓である。第 2移載窓 7は、ウェハ移載ロボット Rによってウェハ処理装置 Eへウェハ Uに移載し、処理されたウェハ Uをウェハ処理装置 Eから取り出すための窓である。

装置本体 1における正面壁 1 aの内側で、装置本体 1の幅方向の両端部及びほぼ中央部には、それそれ支柱 8が立設されている。そして、各支柱 8に、平板状の固定ベース 9が取り付けられている。この固定ベース 9は、その長手方向を装置本体 1の幅方向（図 1において紙面に垂直方向あるいは図 2において左右方向）に沿わせ、しかも、側面視における固定ベース 9の幅方向（図 1において上下方向）を、装置本体 1の高さ方向に沿わせた形態（換言すれば、側面視において縦方向に配置された形態）で取り付けられている。前記固定べ一ス 9における高さ方向のほぼ中央部には、リニアモー夕 Mの二次側 1 1が取り付けられている。この二次側 1 1は平板状に形成されており、その長さは、装置本体 1の幅方向の長さよりも僅かに短く形成されている。そして、リニアモ一夕 Mの二次側 1 1は、前記固定ベース 9の背面側（支柱 8の反対側）に、側面視における二次側 1 1の幅方向（図 3における上下方向）を、装置本体 1の高さ方向に沿わせた形態で取付けられている。すなわち、リニアモー夕 Mの二次側 1 1は、前記固定べ一ス 9 と同様に、側面視において縦方向に配置された形態で取付けられている。これに対応して、リニアモー夕 Mの一次側 1 2も縦方向に配置されている。

前記固定ベース 9の背面側で、前記リニアモー夕 Mの二次側 1 1の上下には、一対のガイドレール 1 3が、装置本体 1の幅方向に沿って固着されている。一対のガイドレール 1 3には、それぞれガイド体 1 4が装着されていて、各ガイド体

1 4及び前記一次側 1 2の背面側には、可動ベース 1 5が取付けられている。この可動べ一ス 1 5の背面側には、ウェハ移載ロボヅト Rが取付けられる。このため、リニアモー夕 Mを作動させることにより、ウェハ移載ロボット Rを装置本体

1の幅方向に沿って直線往復移動させることができる。

次に、ウェハ移載ロボット Rについて説明する。図 4及び図 5に示されるように、このウェハ移載ロボヅト Rは、上記した可動べ一ス 1 5に取付けられるロボット本体部 1 6と、該ロボヅト本体部 1 6の上部に設けられ、ウェハキャリア C 内に入り込んでウェハ Uを取り出すためのウェハ取出部 1 7とから成る。前記ゥェハ取出部 1 7には、ゥヱハ Uを載置するための二股状のウェハ載置用フォーク 1 8が取付けられている。このウェハ載置用フォーク 1 8は、複数本のリンク部材 1 9から構成されるリンク機構により、進退可能である。また、前記ウェハ取出部 1 7は、ロボット本体部 1 6の軸心 C Lを中心に、旋回可能である。

上記した可動ベース 1 5と、ロボット本体部 1 6とは、ベース板 2 1を介して取付けられている。そして、このべ一ス板 2 1には、高さ方向に沿ってボールねじ 2 2、ガイドレール（図示せず）及び制御モ一夕 2 3が配設されている。該制御モータ 2 3を作動させて、前記ボールねじ 2 2を所定方向に回転させることにより、ロボット本体部 1 6を昇降させることができる。なお、. 図 3において、 2 4 , 2 5は、前記制御モー夕 2 3に給電するための電線を収納するための電線収納部材である。

次に、ウェハ移載装置 Aに設けられたブレーキ装置 Bについて説明する。図 6 及び図 7に示されるように、可動ベース 1 5の下部には、可動体装着部 2 6が延設されていて、同じく固定ベース 9の下部には、前記可動体装着部 2 6と相対向するブレーキ板 2 7が延設されている。このブレーキ板 2 7は、例えばアルミ板材で形成されており、固定ベース 9の、ほぼ全長に亘つて延設されている。前記可動体装着部 2 6には、鉄材からなる可動体 2 8が装着されている。この可動体 2 8の背面側の上下には、 2本のコイル 2 9が配設されていると共に、同じくほぼ中央部には、圧縮ばね 3 1が弾装されている。 2本のコイル 2 9に給電すると、磁気吸引力が生じ、該磁気吸引力によって可動体 2 8が吸着される。この磁気吸引力は、前記圧縮ばね 3 1の弾性復元力と反対方向に作用し、しかも前記弹性復元力よりも大きい。そのため、 2本のコイル 2 9に給電されている場合、前記可動体 2 8は圧縮ばね 3 1の弾性復元力に抗して 2本のコイル 2 9に吸着される。このとき、ブレーキ板 2 7と可動体 2 8との間には、僅かな隙間 eが形成されているため、ウェハ移載ロボット Rは支障なく直線移動される。

そして、前記 2本のコイル 2 9への給電が遮断された場合、各コイル 2 9の磁気吸引力が消滅する。可動体 2 8は、圧縮ばね 3 1の弾性復元力によってブレーキ板 2 7に向かって押し出され、該ブレーキ板 2 7を圧接する。この結果、ブレ —キ板 2 7と可動体 2 8との間に摩擦力が生じ、ゥハ移載ロボット Rの走行が停止される。上記した圧接は、 2本のコイル 2 9への給電の遮断と殆ど同時に行われるため、ウェハ移載ロボット Rの走行は、瞬時に停止される。

次に、本発明に係るウェハ移載装置 Aの作用について説明する。図 1ないし図 3に示されるように、装置本体 1の正面壁 1 aに設けられたロードポート装置 L にウェハキャリア Cが設置される。続いて、ロードポート装置 Lに設けられた蓋体着脱装置 Fにより、ゥヱハキャリア Cの蓋体（図示せず）が取り外される。ゥェハ移載ロボット Rが、装置本体 1の幅方向に沿って直線移動すると共に所定の高さに昇降し、前記ゥヱハキャリア Cと相対向される。複数のリンク部材 1 9から成るリンク機構により、ゥヱハ載置用フォーク 1 8が前進され、該フォーク 1 8がウェハキャリア C内に入り込む。その状態を、図 5に二点鎖線で示す。前記ウェハ載置用フォーク 1 8に、ウェハ Uが載置され、該ウェハ載置用フォーク 1 8がそのまま後退することによって、ウェハ Uが 1枚だけ取り出される。尚、多段に構成されたウェハ移載用のフォークを用いて複数枚のウェハを同時に取り出してもよい。

このとき、装置本体 1内に設けられた清浄空気供給装置 4からは、下方に向けて常に清浄空気 Kが供給されている。このため、ウェハ載置用フォーク 1 8によつてウェハキヤリア Cから取り出されたウェハ Uには、常に清浄空気 Kが供給されるため、該ウェハ Uに塵埃が付着することはない。しかも、装置本体 1内に浮遊している塵埃は、前記清浄空気 Kの気流に従って落下する。装置本体 1の底面部 l cには、排気ファン 5が設けられているため、前記塵埃は、そのまま排気フアン 5に吸引されて排気される。本発明のウェハ移載装置 Aにおける固定ベース 9及びリニアモータ Mの二次側 1 1は、縦方向に取付けられている。そのため、前記塵埃が、固定ベース 9及びリニアモ一夕 Mの二次側 1 1の上面に堆積する量は、極めて僅かである。しかも、清浄空気供給装置から供給される清浄空気の気流が、前記固定ベース 9及び前記二次側 1 1の上面に及ぶことは殆どない。この結果、装置本体 1内で塵埃が舞い上がることもなく、ウェハ Uは常に清浄な状態に保持される。

そして、ウェハ載置用フォーク 1 8にウェハ Uを載置させたまま、ウェハ移載ロボット Rのウェハ取出部 1 7が、ロボット本体部 1 6の軸心 C Lを中心にして旋回し、オリエン夕 Dと相対向される。オリエン夕 Dにより、ウェハ Uの向きが定められる。続いて、前記ウェハ移載ロボット Rが、ウェハ載置用フォーク 1 8 にウェハ Uを載置したまま、再び装置本体 1の幅方向に沿って直線移動すると共に、所定高さまで昇降し、第 2移載窓 7と相対向される。該ゥヱハ Uが、ウェハ処理装置 Eにおけるウェハ処理部 3に移載され、所定の処理が施される。処理が施されたウェハ Uは、予め、第 2移載窓 7と相対向する位置に移動されたウェハ移載ロボット Rのゥヱハ載置用フォーク 1 8に載置される。ウェハ移載ロボット Rが直線移動して、処理が施されたウェハ Uをウェハキヤリア Cの所定位置に収納する。上記した作用が繰り返されることにより、ウェハキャリア Cに収納された全てのウェハ Uに処理が施される。

次に、ブレーキ装置 Bの作用について説明する。図 6ないし図 7に示されるように、走行するウェハ移載ロボット Rが所定位置（例えば、ウェハ Uを取り出すためにゥヱハキャリア Cと相対向する位置）に停止する場合、即ち、通常停止の場合、該ウェハ移載ロボット Rは制御回路に設けられた回生制動が作動することによって停止する。ここで、停電等が発生し、ウェハ移載装置 Aへの給電が遮断された場合について説明する。本実施例のウェハ移載装置 Aの場合、制御回路 (図示せず）に無停電電源装置が組み込まれている。このため、ウェハ移載装置 Aへの給電が遮断されるのとほぼ同時に、前記無停電電源装置が作動するため、その設定時間（例えば 1秒）だけウェハ移載装置 Aへの給電が継続される。この設定時間内に回生制動を作動させ、ウェハ移載ロボット Rを停止させる。もし、何らかの原因により、前記設定時間内にウェハ移載ロボット Rが停止せず、そのまま走行（惰走）しょうとする場合であっても、無停電電源装置の設定時間を超えると、ウェハ移載装置 Aへの給電が遮断される。同時に、各コイル 2 9への給電も遮断されるため、可動ベース 1 5に延設された可動体装着部 2 6に装着された可動体 2 8を、固定ベース 9に延設されたブレーキ板 2 7から離隔させている磁気吸引力が解放される。前記可動体 2 8は、圧縮ばね 3 1の弾性復元力によつてブレーキ板 2 7に向かって押し出され、前記ブレーキ板 2 7を圧接する。このとき、ブレーキ板 2 7と可動体 2 8との間に摩擦力が生じるため、ウェハ移載口ボット Rの走行が停止される。このようにして、停電等の際に、ウェハ移載ロボット Rが惰走することが防止されるため、ウェハ移載装置 Aを損傷することがない。

上記した可動体 2 8のブレーキ板 2 7への圧接は、各コイル 2 9への給電が遮断された際に必ず行われる。このため、非常の際に、上記したブレーキ装置 Bを作動させるように構成することもできる。即ち、装置本体 1の所定位置（例えば、操作盤）に非常停止スィッチ（図示せず）を設け、この非常停止スィッチを作動させることによって各コイル 2 9への給電が、無停電電源装置を作動させることなく遮断されるように構成する。非常時において、作業者が前記非常停止スイツチを作動させて、各コイル 2 9への給電を遮断させるだけで、可動体 2 8がブレ —キ板 2 7を圧接する。このようにして、非常の際に、ウェハ移載ロボットの走行を瞬時に、しかも、確実に停止させることができる。そして、該ブレーキ装置 Bの構成は、極めて簡単であると共に、その制御も極めて簡単である。

本実施例では、リニアモー夕 Mの二次側 1 1が、装置本体 1の正面壁 1 aの内側に取付けられ、一次側 1 2が可動する場合について説明した。しかし、リニアモー夕 Mの構造上、逆に取付けられる場合、即ち、一次側 1 2が装置本体 1の正面壁 1 aの内側に取付けられ、二次側 1 1が可動する場合であっても構わない。また、本実施例では、リニアモ一夕 Mが、装置本体 1の正面壁 1 aの側に取付けられている場合について説明した。前述の位置精度上の問題はあるが該リニアモ —夕 Mが、装置本体 1の背面壁 1 bの側に取付けられていても構わない。

以上のように、本発明の実施の形態によれば、ウェハ移載ロボット Rを往復直線移動させるためのリニァモー夕 Mの一次側又は二次側が、装置本体 1の幅方向に沿って、しかも、縦方向に取付けられている。このため、前記装置本体内を落下する塵埃が、そのまま排気ファン 5に吸引されて排気され、装置内を常に清浄状態の保持させることができ、ウェハ Uに塵埃が付着することが防止される。この結果、リニアモ一夕 Mの利点を損なうことなく、ウェハ Uを常に清浄な状態に保持することができ、塵埃によって不良ウェハが発生しないようにすることができる。リニアモ一夕 Mの上に設置されたウェハ移載ロボット Rとウェハキヤリア Cの間の部材間距離が短くなり、且つウェハキャリアとロボット移載ロボッ卜との間に介在する部材の数が少なくなるので、ウェハ移載ロボット Rはウェハキヤリア c内のウェハに対し高精度の位置決めを行うことができる。

また、ウェハ移載ロボット Rを往復直線移動させるためのリニアモー夕 Mに、ウェハ移載装置 Aへの給電が遮断された際に、可動体 2 8をブレーキ板 2 7に圧接する構成のブレーキ装置が設けられている。このため、停電、或いは非常の際に、ウェハ移載ロボット Aの走行を確実に停止させることができる。前記可動体 2 8を圧接するための構成は、コイル 2 9と圧縮ばね 3 1とから成っていて、極めて簡単であると共に、その制御も、前記コイル 2 9への給電を遮断するだけで済むため、極めて簡単である。この結果、リニアモ一夕 Mの利点を損なうことなく、ウェハ移載ロボヅト Rが惰走することを防止することができる。

また、半導体製造装置が成膜装置等の処理手段とともに上述のようなウェハ移載装置 Aを備えることによって、塵埃の影響を除去でき、また停電等の非常の際に被処理体移載ロボットを確実に停止させるようにするができる半導体製造装置を提供することができる。

Claims

請求の範囲

1 . ロードポート装置の上面に設置された被処理体キヤリァから被処理体を取り出しながら被処理体を移載するための被処理体移載装置において、

装置本体と、

前記装置本体の幅方向に沿って配設されたリニアモー夕と、

前記リ二ァモ一夕の一次側又は二次側に取付けられ、前記リ二ァモ一夕の長手方向に沿って往復直線移動可能な被処理体移載ロボットと、

を備え、

前記ロードポート装置は前記装置本体の正面壁の外側に装着されており、前記リニァモー夕は前記装置本体の前記正面壁の内側に縦方向に取り付けられていることを特徴とする被処理体移載装置。

2 . 前記装置本体の底面部に、排気ファンが配設されていることを特徴とする請求項 1記載の被処理体移載装置。

3 . 前記装置本体の上部に、前記被処理体移載ロボットにより移載される被処理体に、清浄空気を供給するための清浄空気供給装置が配設されていることを特徴とする請求項 2記載の被処理体移載装置。

4 . 前記リ二ァモ一夕の一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、その一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁気吸引力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に抗して吸着される可動体と、

前記リニアモー夕の他方側に、前記可動体と相対向して取り付けられ、前記コィルへの給電が遮断されることにより、該可動体が圧接されるブレーキ板と、を有するブレーキ装置をさらに備えたことを特徴とする請求項 1記載の被処理体移載装置。

5 . 口一ドポート装置の上面に設置された被処理体キヤリァから被処理体を取り出しながら被処理体を移載するための被処理体移載装置において、

装置本体と、

前記装置本体の幅方向に沿って配設されたリニアモ一夕と、

前記リニアモ一夕の一次側又は二次側に取付けられ、前記リニアモ一夕の長手方向に沿って往復直線移動可能な被処理体移載ロボットと、

ブレーキ装置と、

を備え、

前記ブレーキ装置は、

前記リニアモ一夕の一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、その一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁気吸引力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に抗して吸着される可動体と、

前記リニアモー夕の他方側に、前記可動体と相対向して取り付けられ、前記コィルへの給電が遮断されることにより、該可動体が圧接されるブレーキ板と、を有することを特徴とする被処理体移載装置。

6 . 前記装置本体には、被処理体移載ロボットを非常停止させるための非常停止スィッチが設けられていて、該スィッチを作動させることによって、前記コィルへの給電が遮断されるように構成されていることを特徴とする請求項 5に記載の被処理体移載装置。

7 . 請求項 1に記載の被処理体移載装置を備えたことを特徴とする半導体製

8 . 請求項 5に記載の被処理体移載装置を備えたことを特徴とする半導体製