JP2001035799A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 処理室内に被処理体を載置して加熱するサセプタを設け、該サセプタと対向して処理ガスを供給するシャワーヘッドを設け、前記処理室の底部側に処理室内を減圧排気するための排気部を設けてなる枚葉式熱処理装置において、前記処理室の少なくとも内面を石英により形成すると共に、底部側隅部を流線形に形成したことを特徴とする枚葉式熱処理装置。
【請求項２】 前記処理室にその内面温度を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項３】 前記処理室が金属製の外容器と、この外容器の内側に収容された石英製の内容器とからなり、内容器の内外の圧力をバランスさせるための圧力バランス手段が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項４】 前記シャワーヘッドの少なくとも処理ガスと接する部分が石英により形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項５】 前記シャワーヘッドに少なくとも処理ガスと接する部分を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１または４記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項６】 前記シャワーヘッドに近接して液体原料の気化器および流量制御弁等を含むガス供給源が設けられていることを特徴とする請求項１，４または５記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項７】 前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項８】 前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする請求項７記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項９】 前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする請求項３記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項１０】 前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする請求項３または９記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項１】 処理室内に被処理体を載置して加熱するサセプタを設け、該サセプタと対向して処理ガスを供給するシャワーヘッドを設け、前記処理室の底部側に処理室内を減圧排気するための排気部を設けてなる枚葉式熱処理装置において、前記処理室の少なくとも内面を石英により形成すると共に、底部側隅部を流線形に形成したことを特徴とする枚葉式熱処理装置。
【請求項２】 前記処理室にその内面温度を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項３】 前記処理室が金属製の外容器と、この外容器の内側に収容された石英製の内容器とからなり、内容器の内外の圧力をバランスさせるための圧力バランス手段が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項４】 前記シャワーヘッドの少なくとも処理ガスと接する部分が石英により形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項５】 前記シャワーヘッドに少なくとも処理ガスと接する部分を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１または４記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項６】 前記シャワーヘッドに近接して液体原料の気化器および流量制御弁等を含むガス供給源が設けられていることを特徴とする請求項１，４または５記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項７】 前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項８】 前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする請求項７記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項９】 前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする請求項３記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項１０】 前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする請求項３または９記載の枚葉式熱処理装置。
請求項６記載の枚葉式熱処理装置は、前記シャワーヘッドに近接して液体原料の気化器および流量制御弁等を含むガス供給源が設けられていることを特徴とする。
請求項７記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする。
請求項８記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする。
請求項９記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする。
請求項１０記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする。
請求項７記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする。
請求項８記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする。
請求項９記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする。
請求項１０記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする。
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