JP2001015447A - コンベア炉 - Google Patents
コンベア炉Info
- Publication number
- JP2001015447A JP2001015447A JP11188888A JP18888899A JP2001015447A JP 2001015447 A JP2001015447 A JP 2001015447A JP 11188888 A JP11188888 A JP 11188888A JP 18888899 A JP18888899 A JP 18888899A JP 2001015447 A JP2001015447 A JP 2001015447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chamber
- conveyor furnace
- air
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のコンベア炉は、基板出入口で発生する
溶剤ガスの結露による基板と装置への滴下が問題であっ
た。 【解決手段】 チャンバー２に基板１０を供給して、基
板１０上に付着させた付着物を乾燥又は焼結させるコン
ベア炉１において、チャンバー２の基板出入口３，４に
設けられたエアーカーテン１８，１９と、エアーカーテ
ン１８，１９のエアーを加熱するエアー加熱部２０とを
備えることを特徴とする。
溶剤ガスの結露による基板と装置への滴下が問題であっ
た。 【解決手段】 チャンバー２に基板１０を供給して、基
板１０上に付着させた付着物を乾燥又は焼結させるコン
ベア炉１において、チャンバー２の基板出入口３，４に
設けられたエアーカーテン１８，１９と、エアーカーテ
ン１８，１９のエアーを加熱するエアー加熱部２０とを
備えることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気回路基板の半
田付け工程や、太陽電池、液晶パネルのペーストのスク
リーン印刷電極形成工程で使用され、基板上の濡れた状
態の半田やペーストを乾燥又は焼成させるコンベア炉に
関する。
田付け工程や、太陽電池、液晶パネルのペーストのスク
リーン印刷電極形成工程で使用され、基板上の濡れた状
態の半田やペーストを乾燥又は焼成させるコンベア炉に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のコンベア炉１００について図５を
参照して説明する。図中、１０１はチャンバー、１０２
はチャンバー１０１の外面に設けられた断熱材、１０３
はチャンバー１０１を収容するキャビネット、１０４は
チャンバー１０１内に設置されたランプヒータ、１０５
はキャビネット内熱排気口、１０６は熱伝対、１０７は
温度制御ユニット、１０８はペーストを付着させた基
板、１０９，１１０は基板出入口である。また、１１１
はキャビネット１０５への外気取り込み口、１１２は基
板を搬送するベルト、１１３，１１４はベルト駆動ロー
ラ、１１５はベルトテンションローラ、１１６はエアー
供給部、１１７，１１８はエアーカーテン、１１９，１
２０は排気ダクト、１２１はキャビネット内排気ガス、
１２２はチャンバー内排気ガスである。
参照して説明する。図中、１０１はチャンバー、１０２
はチャンバー１０１の外面に設けられた断熱材、１０３
はチャンバー１０１を収容するキャビネット、１０４は
チャンバー１０１内に設置されたランプヒータ、１０５
はキャビネット内熱排気口、１０６は熱伝対、１０７は
温度制御ユニット、１０８はペーストを付着させた基
板、１０９，１１０は基板出入口である。また、１１１
はキャビネット１０５への外気取り込み口、１１２は基
板を搬送するベルト、１１３，１１４はベルト駆動ロー
ラ、１１５はベルトテンションローラ、１１６はエアー
供給部、１１７，１１８はエアーカーテン、１１９，１
２０は排気ダクト、１２１はキャビネット内排気ガス、
１２２はチャンバー内排気ガスである。
【０００３】基板１０８を搬送するベルト１１２は、キ
ャビネット１０３の両側方に配置されたベルト駆動ロー
ラ１１３，１１４で駆動される。また、ベルト駆動ロー
ラ１１４だけでは空回転するので、ベルトテンションロ
ーラ１１５の張力でベルト駆動ローラ１１４の駆動力を
確実にベルト１１２に伝達させている。ベルト１１２は
ループ状であり、キャビネット１０３の外側を通って、
再びチャンバー１０１内に導入される。
ャビネット１０３の両側方に配置されたベルト駆動ロー
ラ１１３，１１４で駆動される。また、ベルト駆動ロー
ラ１１４だけでは空回転するので、ベルトテンションロ
ーラ１１５の張力でベルト駆動ローラ１１４の駆動力を
確実にベルト１１２に伝達させている。ベルト１１２は
ループ状であり、キャビネット１０３の外側を通って、
再びチャンバー１０１内に導入される。
【０００４】次に、動作について説明する。ベルト１１
２上に固定された基板１０８は、チャンバー１０１内に
次々投入され、ランプヒータ１０４で加熱・乾燥され
る。ランプヒータ１０４の点灯によって上昇したチャン
バー１０１内の温度は、熱伝対１０６で測定され、測定
データは温度制御ユニット１０７に与えられる。温度制
御ユニット１０７では、この測定データに基づいて、チ
ャンバー１０１内の温度が一定になるようにランプヒー
タ１０４の出力を制御する。
２上に固定された基板１０８は、チャンバー１０１内に
次々投入され、ランプヒータ１０４で加熱・乾燥され
る。ランプヒータ１０４の点灯によって上昇したチャン
バー１０１内の温度は、熱伝対１０６で測定され、測定
データは温度制御ユニット１０７に与えられる。温度制
御ユニット１０７では、この測定データに基づいて、チ
ャンバー１０１内の温度が一定になるようにランプヒー
タ１０４の出力を制御する。
【０００５】基板１０８に付着したペーストから発生す
る有機溶剤ガスを排気するために、エアー供給部１１６
から新鮮なエアーが絶えず供給され、チャンバー内排気
ガス１２２が排気ダクト１１９，１２０から排出され
る。このチャンバー１０１内の気流の流れや温度を一定
に保つために、基板出入口１０９，１１０の近傍には、
エアーカーテン１１７，１１８が設けられている。ま
た、コンベア炉１００の温度上昇を防ぎ、安全に運転す
るために、チャンバー１０１とその断熱材１０２を囲う
ようにキャビネット１０３が設けられ、外気取り込み口
１１１より外気が取り込まれると共に、暖まった外気が
キャビネット排気口１０５から排出される。
る有機溶剤ガスを排気するために、エアー供給部１１６
から新鮮なエアーが絶えず供給され、チャンバー内排気
ガス１２２が排気ダクト１１９，１２０から排出され
る。このチャンバー１０１内の気流の流れや温度を一定
に保つために、基板出入口１０９，１１０の近傍には、
エアーカーテン１１７，１１８が設けられている。ま
た、コンベア炉１００の温度上昇を防ぎ、安全に運転す
るために、チャンバー１０１とその断熱材１０２を囲う
ようにキャビネット１０３が設けられ、外気取り込み口
１１１より外気が取り込まれると共に、暖まった外気が
キャビネット排気口１０５から排出される。
【０００６】ところで、ランプヒータ１０４はチャンバ
ー１０１内の基板１０８、ベルト１１２、エアー供給部
１１６のエアーをチャンバー内温度まで素早く暖める
が、基板出入口１０９，１１０付近ではランプヒータ１
０４の熱が伝わり難く、基板出入口１０９，１１０付近
の温度はチャンバー１０４内部よりもかなり低い。その
結果、図６に示すように、基板出入口１１０付近に有機
溶剤ガスの結露Ａが発生し、この結露Ａが基板１０８上
に滴下してパターン不良が発生することがあった（基板
出入口１１０付近についても同様である）。
ー１０１内の基板１０８、ベルト１１２、エアー供給部
１１６のエアーをチャンバー内温度まで素早く暖める
が、基板出入口１０９，１１０付近ではランプヒータ１
０４の熱が伝わり難く、基板出入口１０９，１１０付近
の温度はチャンバー１０４内部よりもかなり低い。その
結果、図６に示すように、基板出入口１１０付近に有機
溶剤ガスの結露Ａが発生し、この結露Ａが基板１０８上
に滴下してパターン不良が発生することがあった（基板
出入口１１０付近についても同様である）。
【０００７】このような状況を一例を示し、以下に考察
する。基板１０８の付着ペーストには沸点２３０℃のテ
キサノールが２０％含有され、チャンバー１０１内が１
６０℃に維持されて、ペーストが１０ｇ付着した基板１
０８が５秒毎に連続して投入されると仮定すると、チャ
ンバー１０１内には、毎秒０．４ｇのテキサノールを含
んだ１６０℃の蒸気が発生する計算になる。ここで、エ
アー供給部１１６から毎分１５０リットルのエアーが供
給されると、テキサノールの露点温度は１１０℃になる
ものと見積もられる。これに対して、室温で毎分２０リ
ットル供給されるエアーカーテン１１７，１１８のエア
ーや基板出入口１０９，１１０の温度は５０℃〜１２０
℃程度の温度にしかならない。その結果、基板出入口１
０９，１１０付近の温度がテキサノールの露点温度以下
となり、有機溶剤ガスの結露Ａが発生する。
する。基板１０８の付着ペーストには沸点２３０℃のテ
キサノールが２０％含有され、チャンバー１０１内が１
６０℃に維持されて、ペーストが１０ｇ付着した基板１
０８が５秒毎に連続して投入されると仮定すると、チャ
ンバー１０１内には、毎秒０．４ｇのテキサノールを含
んだ１６０℃の蒸気が発生する計算になる。ここで、エ
アー供給部１１６から毎分１５０リットルのエアーが供
給されると、テキサノールの露点温度は１１０℃になる
ものと見積もられる。これに対して、室温で毎分２０リ
ットル供給されるエアーカーテン１１７，１１８のエア
ーや基板出入口１０９，１１０の温度は５０℃〜１２０
℃程度の温度にしかならない。その結果、基板出入口１
０９，１１０付近の温度がテキサノールの露点温度以下
となり、有機溶剤ガスの結露Ａが発生する。
【０００８】一方、基板出入口１０９，１１０でチャン
バー１０１および断熱材１０２とキャビネット１０３の
間に隙間があると、キャビネット内排気ガス１２１は有
機排気が混ざった排気ガスになる。また、チャンバー内
排気ガス１２２もそのまま排気すると環境を汚染するの
で問題である。ここでは、印刷用ペースト含有有機溶剤
について記述したが、半田付け工程の場合では排気ガス
には酸性無機物が含まれることもあり、安全衛生上問題
となる。
バー１０１および断熱材１０２とキャビネット１０３の
間に隙間があると、キャビネット内排気ガス１２１は有
機排気が混ざった排気ガスになる。また、チャンバー内
排気ガス１２２もそのまま排気すると環境を汚染するの
で問題である。ここでは、印刷用ペースト含有有機溶剤
について記述したが、半田付け工程の場合では排気ガス
には酸性無機物が含まれることもあり、安全衛生上問題
となる。
【０００９】以上のように従来のコンベア炉１００で
は、基板出入口１０９，１１０で発生する溶剤ガスの結
露Ａによる基板１０８と装置への滴下が問題であり、ま
た、溶剤ガスによる環境汚染が問題であった。本発明
は、このような問題を解決し、溶剤ガスの結露が起こり
難いコンベア炉を提供することを目的とする。また、溶
剤ガスによる環境汚染が起こり難いコンベア炉を提供す
ることを目的とする。
は、基板出入口１０９，１１０で発生する溶剤ガスの結
露Ａによる基板１０８と装置への滴下が問題であり、ま
た、溶剤ガスによる環境汚染が問題であった。本発明
は、このような問題を解決し、溶剤ガスの結露が起こり
難いコンベア炉を提供することを目的とする。また、溶
剤ガスによる環境汚染が起こり難いコンベア炉を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１は、チャンバー
に基板を供給して、基板上に付着させた付着物を乾燥又
は焼成させるコンベア炉において、チャンバーの基板出
入口に設けられたエアーカーテンと、エアーカーテンの
エアーを加熱するエアー加熱部とを備えることを特徴と
する。
に基板を供給して、基板上に付着させた付着物を乾燥又
は焼成させるコンベア炉において、チャンバーの基板出
入口に設けられたエアーカーテンと、エアーカーテンの
エアーを加熱するエアー加熱部とを備えることを特徴と
する。
【００１１】請求項２において、エアー加熱部は、エア
ーカーテンのエアーの加熱温度を付着物から発生する溶
剤ガスの露点より高くしたことを特徴とする。
ーカーテンのエアーの加熱温度を付着物から発生する溶
剤ガスの露点より高くしたことを特徴とする。
【００１２】請求項３は、チャンバーに基板を供給し
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口に設けられ
たエアーカーテンと、エアーカーテンの外側に設けら
れ、エアーカーテンから漏れたガスを排気するエアーカ
ーテン外排気ダクトとを備えることを特徴とする。
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口に設けられ
たエアーカーテンと、エアーカーテンの外側に設けら
れ、エアーカーテンから漏れたガスを排気するエアーカ
ーテン外排気ダクトとを備えることを特徴とする。
【００１３】請求項４において、エアーカーテンは、エ
アーの代わりに他のガスを使用することを特徴とする。
アーの代わりに他のガスを使用することを特徴とする。
【００１４】請求項５は、チャンバーに基板を供給し
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーを収容するキャビネット
と、チャンバーの基板出入口付近におけるチャンバーと
キャビネットとの間に設けられ、チャンバーとキャビネ
ットとの隙間を埋める封止部とを備えることを特徴とす
る。
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーを収容するキャビネット
と、チャンバーの基板出入口付近におけるチャンバーと
キャビネットとの間に設けられ、チャンバーとキャビネ
ットとの隙間を埋める封止部とを備えることを特徴とす
る。
【００１５】請求項６は、チャンバーに基板を供給し
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口付近に設け
られ、チャンバーの基板出入口を加熱する基板出入口加
熱部を備えることを特徴とする。
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口付近に設け
られ、チャンバーの基板出入口を加熱する基板出入口加
熱部を備えることを特徴とする。
【００１６】請求項７において、基板出入口加熱部は、
付着物から発生する溶剤ガスの露点より高い温度まで加
熱することを特徴とする。
付着物から発生する溶剤ガスの露点より高い温度まで加
熱することを特徴とする。
【００１７】請求項８は、チャンバーに基板を供給し
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口付近に設け
られ、付着物から発生する溶剤を吸収する溶剤吸収部を
備えることを特徴とする。
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、チャンバーの基板出入口付近に設け
られ、付着物から発生する溶剤を吸収する溶剤吸収部を
備えることを特徴とする。
【００１８】請求項９は、チャンバーに基板を供給し
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、付着物から発生する溶剤ガスを排気
するチャンバー内排気ダクトと、チャンバー内排気ダク
トから排出された溶剤ガスを液化して収集する液溜部
と、液溜部で収集した液状の溶剤を回収する溶剤回収部
とを備えることを特徴とする。
て、基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコ
ンベア炉において、付着物から発生する溶剤ガスを排気
するチャンバー内排気ダクトと、チャンバー内排気ダク
トから排出された溶剤ガスを液化して収集する液溜部
と、液溜部で収集した液状の溶剤を回収する溶剤回収部
とを備えることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るコンベア炉の
好適な実施の形態について添付図面を参照して説明す
る。図１は、本実施の形態に係るコンベア炉１を示す断
面図である。図中、２は両側部に基板出入口３，４が設
けられたチャンバー、５はチャンバー２の外面に設けら
れた断熱材、６はチャンバー２を収容するキャビネッ
ト、７，８はキャビネット６の両側方に配置されたベル
ト駆動ローラ、９はベルト駆動ローラ７，８で両端が支
持されると共に、基板出入口３，４からチャンバー２内
部に導入されるループ状のベルトである。
好適な実施の形態について添付図面を参照して説明す
る。図１は、本実施の形態に係るコンベア炉１を示す断
面図である。図中、２は両側部に基板出入口３，４が設
けられたチャンバー、５はチャンバー２の外面に設けら
れた断熱材、６はチャンバー２を収容するキャビネッ
ト、７，８はキャビネット６の両側方に配置されたベル
ト駆動ローラ、９はベルト駆動ローラ７，８で両端が支
持されると共に、基板出入口３，４からチャンバー２内
部に導入されるループ状のベルトである。
【００２０】また、１０はベルト上に所定間隔で載置さ
れ、付着物の一例であるペーストを付着させた基板、１
１はチャンバー２内のベルト１０の上方に配置されたラ
ンプヒータ、１２はチャンバー２内のベルト１０の下方
に設置されたエアー供給部、１３はキャビネット６の上
部に形成されたキャビネット内熱排気口、１４はキャビ
ネット６の下部に形成された外気取り込み口である。な
お、付着物はペーストに限定されることなく、例えば、
半田等の金属であってもよい。
れ、付着物の一例であるペーストを付着させた基板、１
１はチャンバー２内のベルト１０の上方に配置されたラ
ンプヒータ、１２はチャンバー２内のベルト１０の下方
に設置されたエアー供給部、１３はキャビネット６の上
部に形成されたキャビネット内熱排気口、１４はキャビ
ネット６の下部に形成された外気取り込み口である。な
お、付着物はペーストに限定されることなく、例えば、
半田等の金属であってもよい。
【００２１】さらに、１５はチャンバー２内の温度を測
定する熱伝対、１６は熱伝対１５で測定された温度デー
タに基づいてチャンバー２内の温度を制御する温度制御
ユニットである。ここで、温度制御ユニット１６はケー
ブルを介してランプヒータ１１に接続されており（ケー
ブルは図示せず）、ランプヒータ１１は温度制御ユニッ
ト１６の制御によって出力が調整される。
定する熱伝対、１６は熱伝対１５で測定された温度デー
タに基づいてチャンバー２内の温度を制御する温度制御
ユニットである。ここで、温度制御ユニット１６はケー
ブルを介してランプヒータ１１に接続されており（ケー
ブルは図示せず）、ランプヒータ１１は温度制御ユニッ
ト１６の制御によって出力が調整される。
【００２２】また、１７はベルト９にテンションを加え
るベルトテンションローラ、１８，１９は基板出入口に
設けられたエアーカーテン、２０はエアーカーテン１９
のエアーを加熱するエアー加熱部、２１はチャンバー２
の基板出入口３，４付近におけるチャンバー２とキャビ
ネット６との間に設けられ、チャンバー２とキャビネッ
ト６との隙間を埋める断熱材（封止部）である。
るベルトテンションローラ、１８，１９は基板出入口に
設けられたエアーカーテン、２０はエアーカーテン１９
のエアーを加熱するエアー加熱部、２１はチャンバー２
の基板出入口３，４付近におけるチャンバー２とキャビ
ネット６との間に設けられ、チャンバー２とキャビネッ
ト６との隙間を埋める断熱材（封止部）である。
【００２３】さらに、２２は基板出入口４に設けられ、
基板出入口４から漏れる溶剤ガスを加熱するラバーヒー
タ（基板出入口加熱部）、２３はラバーヒータ２２の外
面に設けられ、ペーストから発生する溶剤を吸収する溶
剤吸収断熱材（溶剤吸収部）、２４はキャビネット内排
気ガス、２５はチャンバー内排気ガス、３０はキャビネ
ット６の両側部に設けられ、基板１０に付着させたペー
ストから発生する溶剤ガスを排気する排気ユニットであ
る。
基板出入口４から漏れる溶剤ガスを加熱するラバーヒー
タ（基板出入口加熱部）、２３はラバーヒータ２２の外
面に設けられ、ペーストから発生する溶剤を吸収する溶
剤吸収断熱材（溶剤吸収部）、２４はキャビネット内排
気ガス、２５はチャンバー内排気ガス、３０はキャビネ
ット６の両側部に設けられ、基板１０に付着させたペー
ストから発生する溶剤ガスを排気する排気ユニットであ
る。
【００２４】図２に示すように、排気ユニット３０は、
エアーカーテン１９の外側に設けられ、チャンバー２と
キャビネット６との間を延在してキャビネット６の外に
延びるエアーカーテン外排気ダクト３１と、チャンバー
２内に設けられ、チャンバー２内の溶剤ガスを排気する
チャンバー内排気ダクト３２と、これらの排気ダクト３
１，３２が接続され、溶剤ガスを液化して収集するボッ
クス形状の有機溶剤トラップ（液溜部）３３とを備えて
いる。
エアーカーテン１９の外側に設けられ、チャンバー２と
キャビネット６との間を延在してキャビネット６の外に
延びるエアーカーテン外排気ダクト３１と、チャンバー
２内に設けられ、チャンバー２内の溶剤ガスを排気する
チャンバー内排気ダクト３２と、これらの排気ダクト３
１，３２が接続され、溶剤ガスを液化して収集するボッ
クス形状の有機溶剤トラップ（液溜部）３３とを備えて
いる。
【００２５】また、排気ユニット３０は、有機溶剤トラ
ップ３３の上面に形成され、有機溶剤トラップ３３内の
熱を放出させるフィン３４と、有機溶剤トラップ３３内
に溜まった液状の有機溶剤を回収するドレンバルブ（溶
剤回収部）３５と、有機溶剤トラップ３３の上面から上
方に延び、有機溶剤トラップ３３内の排気ガスを排気す
る排気ダクト３６とを備えている。
ップ３３の上面に形成され、有機溶剤トラップ３３内の
熱を放出させるフィン３４と、有機溶剤トラップ３３内
に溜まった液状の有機溶剤を回収するドレンバルブ（溶
剤回収部）３５と、有機溶剤トラップ３３の上面から上
方に延び、有機溶剤トラップ３３内の排気ガスを排気す
る排気ダクト３６とを備えている。
【００２６】図３に示すように、エアーカーテン１８と
エアー加熱部２０とは一体的に構成され、エアー吹出口
１８ａの下方にファン１８ｂが設けられている。また、
エアー加熱部２０には、コイルヒータ２０ａと熱電対２
０ｂとが設けられ、熱電対２０ｂで測定した温度データ
に基づいて、コイルヒータ２０ａはフィードバック制御
される。
エアー加熱部２０とは一体的に構成され、エアー吹出口
１８ａの下方にファン１８ｂが設けられている。また、
エアー加熱部２０には、コイルヒータ２０ａと熱電対２
０ｂとが設けられ、熱電対２０ｂで測定した温度データ
に基づいて、コイルヒータ２０ａはフィードバック制御
される。
【００２７】更に、図４に示すように、ラバーヒータ２
２は、矩形状のＳｉラバーシート２２ａと、Ｓｉラバー
シート２２ａに組み込まれたヒータ線とを備えている。
そして、ヒータ線に電気を流してヒータ線を加熱するこ
とにより、Ｓｉラバーシート２２ａは暖まり、基板出入
口４付近での結露の発生が防止される。
２は、矩形状のＳｉラバーシート２２ａと、Ｓｉラバー
シート２２ａに組み込まれたヒータ線とを備えている。
そして、ヒータ線に電気を流してヒータ線を加熱するこ
とにより、Ｓｉラバーシート２２ａは暖まり、基板出入
口４付近での結露の発生が防止される。
【００２８】次に、動作について説明する。ベルト９上
に固定された基板１０は、チャンバー２内に次々投入さ
れ、ランプヒータ１１で加熱・乾燥される。ベルト９
は、キャビネット６の両側方に配置されたベルト駆動ロ
ーラ７，８で駆動される。また、ベルト駆動ローラ８だ
けでは空回転するので、ベルトテンションローラ１７の
張力でベルト駆動ローラ８の駆動力を確実にベルト９に
伝達させている。ベルト９はループ状であり、キャビネ
ット６の外側を通って、再びチャンバー２内に導入され
る。
に固定された基板１０は、チャンバー２内に次々投入さ
れ、ランプヒータ１１で加熱・乾燥される。ベルト９
は、キャビネット６の両側方に配置されたベルト駆動ロ
ーラ７，８で駆動される。また、ベルト駆動ローラ８だ
けでは空回転するので、ベルトテンションローラ１７の
張力でベルト駆動ローラ８の駆動力を確実にベルト９に
伝達させている。ベルト９はループ状であり、キャビネ
ット６の外側を通って、再びチャンバー２内に導入され
る。
【００２９】ランプヒータ１１の点灯によって上昇した
チャンバー２内の温度は、熱伝対１５で測定され、測定
データは温度制御ユニット１６に与えられる。温度制御
ユニット１６では、この測定データに基づいて、チャン
バー２内の温度が一定になるようにランプヒータ１１の
出力を制御する。
チャンバー２内の温度は、熱伝対１５で測定され、測定
データは温度制御ユニット１６に与えられる。温度制御
ユニット１６では、この測定データに基づいて、チャン
バー２内の温度が一定になるようにランプヒータ１１の
出力を制御する。
【００３０】基板１０に付着したペーストから発生する
有機溶剤ガスを排気するために、エアー供給部１８，１
９から新鮮なエアーを絶えず供給して、チャンバー内排
気ガス２５を排気ユニット３０から外部に排気する。こ
のチャンバー２内の気流の流れや温度を一定に保つため
に、基板出入口３，４の近傍には、エアーカーテン１
８，１９が設けられている。また、コンベア炉１の温度
上昇を防ぎ、安全に運転するために、チャンバー２とそ
の断熱材３を囲うようにキャビネット６が設けられ、外
気取り込み口１４より外気が取り込まれると共に、暖ま
った外気がキャビネット排気口２４から排気される。
有機溶剤ガスを排気するために、エアー供給部１８，１
９から新鮮なエアーを絶えず供給して、チャンバー内排
気ガス２５を排気ユニット３０から外部に排気する。こ
のチャンバー２内の気流の流れや温度を一定に保つため
に、基板出入口３，４の近傍には、エアーカーテン１
８，１９が設けられている。また、コンベア炉１の温度
上昇を防ぎ、安全に運転するために、チャンバー２とそ
の断熱材３を囲うようにキャビネット６が設けられ、外
気取り込み口１４より外気が取り込まれると共に、暖ま
った外気がキャビネット排気口２４から排気される。
【００３１】本実施の形態は、以下の特徴を有してい
る。まず１点目として、エアーカーテン１８，１９の側
部にエアー加熱部２０を設け、エアーカーテン１８，１
９のエアーを温風化している。具体的には、室温のエア
ーを流量計で所定流量に設定し、続いて熱伝対２０ｂで
温度制御可能なコイルヒータ２０ａを用いて予備加熱し
た後に、エアーカーテン１８，１９から温風化したエア
ーを吹き出している。その結果、基板出入口３，４付近
での結露の発生が防止される。
る。まず１点目として、エアーカーテン１８，１９の側
部にエアー加熱部２０を設け、エアーカーテン１８，１
９のエアーを温風化している。具体的には、室温のエア
ーを流量計で所定流量に設定し、続いて熱伝対２０ｂで
温度制御可能なコイルヒータ２０ａを用いて予備加熱し
た後に、エアーカーテン１８，１９から温風化したエア
ーを吹き出している。その結果、基板出入口３，４付近
での結露の発生が防止される。
【００３２】なお、エアー加熱部２０によるエアーの加
熱温度をペーストから発生する有機溶剤ガスの露点より
高く設定すれば、基板出入口３，４付近での結露の発生
を一層効果的に防止できる。例えば、有機溶剤ガスがテ
キサノールである場合、コイルヒータ２０ａで露点温度
以上の１４０℃〜３００℃に制御しておけば、エアーカ
ーテン１８，１９で結露はほとんど発生しなくなる。
熱温度をペーストから発生する有機溶剤ガスの露点より
高く設定すれば、基板出入口３，４付近での結露の発生
を一層効果的に防止できる。例えば、有機溶剤ガスがテ
キサノールである場合、コイルヒータ２０ａで露点温度
以上の１４０℃〜３００℃に制御しておけば、エアーカ
ーテン１８，１９で結露はほとんど発生しなくなる。
【００３３】また、２点目として、エアーカーテン１
８，１９の外側に、図２に示す排気ダクト３１を設け
て、エアーカーテン１８，１９から漏れた溶剤ガスを吸
引している。その結果、基板出入口３，４付近での溶剤
ガスの含有量が減少し、基板出入口３，４付近での溶剤
ガスの結露が防止される。また、エアーカーテン１８，
１９から漏れた溶剤ガスが基板出入口３，４から外部に
排出されることがないので、溶剤ガスによる大気の汚染
を効果的に防止することができる。
８，１９の外側に、図２に示す排気ダクト３１を設け
て、エアーカーテン１８，１９から漏れた溶剤ガスを吸
引している。その結果、基板出入口３，４付近での溶剤
ガスの含有量が減少し、基板出入口３，４付近での溶剤
ガスの結露が防止される。また、エアーカーテン１８，
１９から漏れた溶剤ガスが基板出入口３，４から外部に
排出されることがないので、溶剤ガスによる大気の汚染
を効果的に防止することができる。
【００３４】なお、エアーカーテン１８，１９で使用す
るエアーの代わりに、酸素ガス、窒素ガス、アルゴンガ
ス等やそれらの混合ガスであっても良い。ここで、エア
ーカーテン１８，１９は炉内へ流すガスと同じものが一
般的なので、例えば、印刷ペーストの場合、有機成分で
ある樹脂を燃焼させる目的には酸素が用いられる。ま
た、半田等の金属を焼結する場合には、酸化を防止する
目的で窒素やアルゴン等の不活性ガスが用いられる。
るエアーの代わりに、酸素ガス、窒素ガス、アルゴンガ
ス等やそれらの混合ガスであっても良い。ここで、エア
ーカーテン１８，１９は炉内へ流すガスと同じものが一
般的なので、例えば、印刷ペーストの場合、有機成分で
ある樹脂を燃焼させる目的には酸素が用いられる。ま
た、半田等の金属を焼結する場合には、酸化を防止する
目的で窒素やアルゴン等の不活性ガスが用いられる。
【００３５】第３点目として、基板出入口３，４のキャ
ビネット６とチャンバー２の隙間を断熱材２１で封止し
ている。その結果、キャビネット内排気ガス２４にペー
ストの蒸気が混入しなくなり、基板出入口３，４付近の
結露の発生が防止されると共に、大気汚染も防止され
る。ここでは、断熱材２１でキャビネット６とチャンバ
ー２の隙間を封止したが、断熱材である必要はなく、ア
ルミ箔テープ等であっても良い。
ビネット６とチャンバー２の隙間を断熱材２１で封止し
ている。その結果、キャビネット内排気ガス２４にペー
ストの蒸気が混入しなくなり、基板出入口３，４付近の
結露の発生が防止されると共に、大気汚染も防止され
る。ここでは、断熱材２１でキャビネット６とチャンバ
ー２の隙間を封止したが、断熱材である必要はなく、ア
ルミ箔テープ等であっても良い。
【００３６】第４点目として、基板出入口４にシート上
のラバーヒータ２２を設けて、エアーカーテン１９から
漏れてくる溶剤ガスを加熱している。その結果、基板出
入口４での結露の発生が防止される。また、溶剤ガスの
温度を、溶剤ガスの露点温度より高く設定すれば、基板
出入口３，４付近での結露の発生を一層効果的に防止で
きる。例えば、溶剤ガスが前述したテキサノールの場
合、１４０℃以上にテキサノールを加熱すれば、溶剤結
露はほとんど発生しない。なお、図１では、基板１０導
出側の基板出入口４に、ラバーヒータ２２を設けている
が、基板１０導入側の基板出入口３にラバーヒータ２２
を設けてもよい。
のラバーヒータ２２を設けて、エアーカーテン１９から
漏れてくる溶剤ガスを加熱している。その結果、基板出
入口４での結露の発生が防止される。また、溶剤ガスの
温度を、溶剤ガスの露点温度より高く設定すれば、基板
出入口３，４付近での結露の発生を一層効果的に防止で
きる。例えば、溶剤ガスが前述したテキサノールの場
合、１４０℃以上にテキサノールを加熱すれば、溶剤結
露はほとんど発生しない。なお、図１では、基板１０導
出側の基板出入口４に、ラバーヒータ２２を設けている
が、基板１０導入側の基板出入口３にラバーヒータ２２
を設けてもよい。
【００３７】第５点目として、ラバーヒータ２２の上に
溶剤吸収断熱材２３を固定している。その結果、溶剤ガ
スの結露が発生し易い場合でも、溶剤吸収断熱材２３が
溶剤を吸収するので、溶剤ガスの結露を確実に防止でき
る。このような溶剤吸収断熱材２３として、例えば、多
孔質性のポリビニルフォルマールが適している。ポリビ
ニルフォルマールは、自重の１０倍程度まで溶剤を吸収
できるので、有機や無機の飽和蒸気であっても、或い
は、コンベア炉１を長期運転してもメンテナンスが不要
になる。なお、図１では、基板１０導出側の基板出入口
４に、溶剤吸収断熱材２３を設けているが、基板１０導
入側の基板出入口３に溶剤吸収断熱材２３を設けてもよ
い。
溶剤吸収断熱材２３を固定している。その結果、溶剤ガ
スの結露が発生し易い場合でも、溶剤吸収断熱材２３が
溶剤を吸収するので、溶剤ガスの結露を確実に防止でき
る。このような溶剤吸収断熱材２３として、例えば、多
孔質性のポリビニルフォルマールが適している。ポリビ
ニルフォルマールは、自重の１０倍程度まで溶剤を吸収
できるので、有機や無機の飽和蒸気であっても、或い
は、コンベア炉１を長期運転してもメンテナンスが不要
になる。なお、図１では、基板１０導出側の基板出入口
４に、溶剤吸収断熱材２３を設けているが、基板１０導
入側の基板出入口３に溶剤吸収断熱材２３を設けてもよ
い。
【００３８】第６点目として、ペーストから発生した溶
剤ガスは、図２に示すチャンバー内排気ダクト３２やエ
アーカーテン外排気ダクト３１を通して、有機溶剤トラ
ップ３３に収集される。有機溶剤トラップ３３に収集さ
れた溶剤ガスは、フィン３４で冷却されて、液化した有
機溶液が有機溶剤トラップ３３に溜まる。そして、有機
溶剤トラップ３３に所定量の有機溶液が溜まった段階
で、ドレンバルブ３５を操作して、有機溶液を回収する
ことができる。その結果、排気ダクト２５からは、有機
溶剤成分が取り除かれた無害な排気ガスが放出され、環
境汚染を効果的に防止することができる。
剤ガスは、図２に示すチャンバー内排気ダクト３２やエ
アーカーテン外排気ダクト３１を通して、有機溶剤トラ
ップ３３に収集される。有機溶剤トラップ３３に収集さ
れた溶剤ガスは、フィン３４で冷却されて、液化した有
機溶液が有機溶剤トラップ３３に溜まる。そして、有機
溶剤トラップ３３に所定量の有機溶液が溜まった段階
で、ドレンバルブ３５を操作して、有機溶液を回収する
ことができる。その結果、排気ダクト２５からは、有機
溶剤成分が取り除かれた無害な排気ガスが放出され、環
境汚染を効果的に防止することができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係るコンベア炉は、以上のよう
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。即ち、エアー加熱部におけるエアーカーテンのエ
アーの加熱によって、付着物から発生した溶剤ガスの結
露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が発生
しなくなり、製造コストを削減できる。
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。即ち、エアー加熱部におけるエアーカーテンのエ
アーの加熱によって、付着物から発生した溶剤ガスの結
露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が発生
しなくなり、製造コストを削減できる。
【００４０】また、エアーカーテン外排気ダクトによる
溶剤ガスの吸収によって、基板出入口における溶剤ガス
の結露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が
発生しなくなり、製造コストを削減できる。また、溶剤
ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚染を効果
的に防止できる。
溶剤ガスの吸収によって、基板出入口における溶剤ガス
の結露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が
発生しなくなり、製造コストを削減できる。また、溶剤
ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚染を効果
的に防止できる。
【００４１】更に、チャンバーとキャビネットの間に設
けられた封止部によって、基板出入口における溶剤ガス
の結露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が
発生しなくなり、製造コストを削減できる。また、溶剤
ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚染を効果
的に防止できる。
けられた封止部によって、基板出入口における溶剤ガス
の結露が防止できる。その結果、基板にパターン不良が
発生しなくなり、製造コストを削減できる。また、溶剤
ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚染を効果
的に防止できる。
【００４２】また、基板出入口付近に溶剤ガス加熱部を
設けることにより、基板出入口における溶剤ガスの結露
が防止できる。その結果、基板にパターン不良が発生し
なくなり、製造コストを削減できる。
設けることにより、基板出入口における溶剤ガスの結露
が防止できる。その結果、基板にパターン不良が発生し
なくなり、製造コストを削減できる。
【００４３】更に、基板出入口付近に溶剤吸収部を設け
ることにより、基板出入口における溶剤ガスの結露が防
止できる。その結果、基板にパターン不良が発生しなく
なり、製造コストを削減できる。
ることにより、基板出入口における溶剤ガスの結露が防
止できる。その結果、基板にパターン不良が発生しなく
なり、製造コストを削減できる。
【００４４】また、チャンバー内排気ダクトから排気さ
れた溶剤ガスを液化して収集する液溜部を設けることに
より、有機溶液が確実に回収され、有機溶剤成分が取り
除かれた無害な排気ガスが外部に放出される。その結
果、溶剤ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚
染を効果的に防止できる。
れた溶剤ガスを液化して収集する液溜部を設けることに
より、有機溶液が確実に回収され、有機溶剤成分が取り
除かれた無害な排気ガスが外部に放出される。その結
果、溶剤ガスが外気に漏れ出すことがないので、大気汚
染を効果的に防止できる。
【図１】本実施の形態に係るコンベア炉を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】排気ユニットを示す断面図である。
【図３】エアーカーテンおよびエアー加熱部を示す断面
図である。
図である。
【図４】ラバーヒータを示す図である。
【図５】従来技術に係るコンベア炉を示す断面図であ
る。
る。
【図６】従来技術に係るコンベア炉の一部を示す拡大断
面図である。
面図である。
１…コンベア炉、２…チャンバー、３，４…基板出入
口、６…キャビネット、１０…基板、１８，１９…エア
ーカーテン、２０…エアー加熱部、２１…断熱材（封止
部）、２２…ラバーヒータ（基板出入口加熱部）、２３
…溶剤吸収断熱材（溶剤吸収部）、３１…エアーカーテ
ン外排気ダクト、３２…チャンバー内排気ダクト、３３
…有機溶剤トラップ（液溜部）、３５…ドレンバルブ
（溶剤回収部）。
口、６…キャビネット、１０…基板、１８，１９…エア
ーカーテン、２０…エアー加熱部、２１…断熱材（封止
部）、２２…ラバーヒータ（基板出入口加熱部）、２３
…溶剤吸収断熱材（溶剤吸収部）、３１…エアーカーテ
ン外排気ダクト、３２…チャンバー内排気ダクト、３３
…有機溶剤トラップ（液溜部）、３５…ドレンバルブ
（溶剤回収部）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０７ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０７Ｈ (72)発明者 大橋 隆 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 織田 昌雄 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4K050 AA01 AA02 AA05 BA16 BA17 CC07 CD17 CD21 CG08 4K063 AA05 AA09 AA12 AA15 BA12 CA02 CA03 DA23 5E319 BB05 CD22 CD23 CD35 GG07
Claims (9)
- 【請求項１】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記チャンバーの基板出入口に設けられたエアーカーテ
ンと、 前記エアーカーテンのエアーを加熱するエアー加熱部と
を備えることを特徴とするコンベア炉。 - 【請求項２】 前記エアー加熱部は、 前記エアーカーテンのエアーの加熱温度を前記付着物か
ら発生する溶剤ガスの露点より高くしたことを特徴とす
る請求項１記載のコンベア炉。 - 【請求項３】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記チャンバーの基板出入口に設けられたエアーカーテ
ンと、 前記エアーカーテンの外側に設けられ、前記エアーカー
テンから漏れたガスを排気するエアーカーテン外排気ダ
クトとを備えることを特徴とするコンベア炉。 - 【請求項４】 前記エアーカーテンは、 エアーの代わりに他のガスを使用することを特徴とする
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のコンベア
炉。 - 【請求項５】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記チャンバーを収容するキャビネットと、 前記チャンバーの基板出入口付近における前記チャンバ
ーと前記キャビネットとの間に設けられ、前記チャンバ
ーと前記キャビネットとの隙間を埋める封止部とを備え
ることを特徴とするコンベア炉。 - 【請求項６】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記チャンバーの基板出入口付近に設けられ、前記チャ
ンバーの基板出入口を加熱する基板出入口加熱部を備え
ることを特徴とするコンベア炉。 - 【請求項７】 前記基板出入口加熱部は、 前記付着物から発生する溶剤ガスの露点より高い温度ま
で加熱することを特徴とする請求項６記載のコンベア
炉。 - 【請求項８】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記チャンバーの基板出入口付近に設けられ、前記付着
物から発生する溶剤を吸収する溶剤吸収部を備えること
を特徴とするコンベア炉。 - 【請求項９】 チャンバーに基板を供給して、前記基板
上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉
において、 前記付着物から発生する溶剤ガスを排気するチャンバー
内排気ダクトと、 前記チャンバー内排気ダクトから排出された溶剤ガスを
液化して収集する液溜部と、 前記液溜部で収集した液状の溶剤を回収する溶剤回収部
とを備えることを特徴とするコンベア炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18888899A JP3934281B2 (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | コンベア炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18888899A JP3934281B2 (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | コンベア炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015447A true JP2001015447A (ja) | 2001-01-19 |
| JP3934281B2 JP3934281B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=16231649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18888899A Expired - Fee Related JP3934281B2 (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | コンベア炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3934281B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024378A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| KR100731420B1 (ko) * | 2004-01-08 | 2007-06-21 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 |
| JP2007321193A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
| JP2008157541A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Ngk Insulators Ltd | フラットパネル熱処理炉 |
| JP2011526734A (ja) * | 2008-06-11 | 2011-10-13 | アプライド マテリアルズ イタリア エス． アール． エル． | スクリーン印刷に有用な熱プロファイルの短いオーブン |
| JP2013233549A (ja) * | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Micro Control Systems Kk | 発電の際の電力及び排ガスを利用する半田付け装置及び半田付け方法 |
| US9337374B2 (en) | 2011-12-23 | 2016-05-10 | Solexel, Inc. | High productivity spray processing for the metallization of semiconductor workpieces |
| CN105689831A (zh) * | 2014-12-12 | 2016-06-22 | 株式会社Ss技术 | 蒸汽回流焊装置和蒸汽回流焊方法 |
| JP2016164987A (ja) * | 2016-03-17 | 2016-09-08 | マイクロコントロールシステムズ株式会社 | 発電の際の電力及び排ガスを利用する半田付け装置及び半田付け方法 |
| JP2016540179A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-22 | シェンツェン タイム ハイ−テク エクイップメント カンパニー，リミテッド | 全自動真空予熱炉 |
-
1999
- 1999-07-02 JP JP18888899A patent/JP3934281B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100731420B1 (ko) * | 2004-01-08 | 2007-06-21 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 |
| JP2007024378A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| JP2007321193A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
| JP2008157541A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Ngk Insulators Ltd | フラットパネル熱処理炉 |
| JP2011526734A (ja) * | 2008-06-11 | 2011-10-13 | アプライド マテリアルズ イタリア エス． アール． エル． | スクリーン印刷に有用な熱プロファイルの短いオーブン |
| US9337374B2 (en) | 2011-12-23 | 2016-05-10 | Solexel, Inc. | High productivity spray processing for the metallization of semiconductor workpieces |
| JP2013233549A (ja) * | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Micro Control Systems Kk | 発電の際の電力及び排ガスを利用する半田付け装置及び半田付け方法 |
| JP2016540179A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-22 | シェンツェン タイム ハイ−テク エクイップメント カンパニー，リミテッド | 全自動真空予熱炉 |
| CN105689831A (zh) * | 2014-12-12 | 2016-06-22 | 株式会社Ss技术 | 蒸汽回流焊装置和蒸汽回流焊方法 |
| JP2016115732A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社Ｓｓテクノ | 水蒸気リフロー装置及び水蒸気リフロー方法 |
| US9682438B2 (en) | 2014-12-12 | 2017-06-20 | Ss Techno, Inc. | Steam reflow apparatus and steam reflow method |
| CN105689831B (zh) * | 2014-12-12 | 2019-09-03 | 株式会社Ss技术 | 蒸汽回流焊装置和蒸汽回流焊方法 |
| JP2016164987A (ja) * | 2016-03-17 | 2016-09-08 | マイクロコントロールシステムズ株式会社 | 発電の際の電力及び排ガスを利用する半田付け装置及び半田付け方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3934281B2 (ja) | 2007-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20070284408A1 (en) | Reflow furnace | |
| US10244636B2 (en) | Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds | |
| JP2001015447A (ja) | コンベア炉 | |
| US7766651B2 (en) | Reflow furnace | |
| JPS6038058A (ja) | 有機塗膜のベーキング方法およびその装置 | |
| WO2005065877A1 (ja) | リフロー炉 | |
| JP2014129909A (ja) | 乾燥装置 | |
| JP2000055564A (ja) | ロ―ラ―ハ―スキルン | |
| JP2010043795A (ja) | 連続雰囲気炉 | |
| JP2011143435A (ja) | リフロー装置 | |
| JP2000077843A (ja) | 熱風加熱装置 | |
| JP3563241B2 (ja) | 溶剤含有被処理体の乾燥装置 | |
| JPH0629659A (ja) | 高雰囲気はんだ付け方法及び装置 | |
| JP3454621B2 (ja) | 不活性ガス雰囲気炉 | |
| JP2018021720A (ja) | 熱風循環式加熱装置およびこの熱風循環式加熱装置を用いた分離膜構造体の製造方法 | |
| JPH04179227A (ja) | 乾燥装置 | |
| JPH04333361A (ja) | リフロー装置 | |
| JPH04371367A (ja) | チッソリフロー装置 | |
| TWM573117U (zh) | Oven device for preventing ink volatilization particles from contaminating heater | |
| JP2000160952A (ja) | 結露防止装置 | |
| CN216573987U (zh) | 一种新型烤房 | |
| JP3933879B2 (ja) | 水蒸気雰囲気による溶融はんだの酸化防止方法 | |
| JP3655461B2 (ja) | 乾燥炉 | |
| JP4287979B2 (ja) | 赤外線乾燥装置 | |
| JP4149768B2 (ja) | リフロー装置、リフロー方法及びリフロー炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040624 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051108 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051121 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051221 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070123 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070313 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070315 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100330 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110330 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110330 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120330 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130330 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130330 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140330 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |