JP2016540179A - 全自動真空予熱炉 - Google Patents

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Abstract

資材を効率よく真空予熱することができる全自動真空予熱炉を提供するために、本発明に係る全自動真空予熱炉は、両端に開口が設けられた炉本体部と、前記炉本体部を真空にするための真空排気装置と、前記炉本体部内に設けられて、資材を移動するための搬送装置と、予熱装置と、を備え、前記開口に対応してオートシールドアが設けられ、前記予熱装置は、前記炉本体部の下に設けられ且つ前記炉本体部と連通する吸気装置及び前記炉本体部の上方に設けられ且つ前記炉本体部と連通する送風装置を含み、前記吸気装置は、加熱ユニット及び風向調節機構を含む。

Description

本発明は、全自動真空予熱炉に関し、特に資材を真空乾燥する前に、資材に対して真空予熱を効率よく行うことができる全自動真空予熱炉に関する。
電子部品の製造過程では、水分を含んだ電子部品に対して真空乾燥を行なうことは重要な工程である。真空乾燥工程によって、電子部品に含まれる水分を低減又は除去することができる。今まで、真空乾燥技術は、電子部品の製造過程において汎用されて、特に、スーパーコンデンサやリチウム電池を製造する場合に使用されている。現在の真空乾燥装置は、殆んど単独の真空乾燥炉を利用し、且つ資材搭載車で真空乾燥を必要とする電子部品を真空乾燥装置の中へ輸送して、それを加工する。しかし、このような真空乾燥装置の加工効率が低く、且つ真空条件下で乾燥程度及び温度を精確で且つ均一に制御することができない。従って、出口及び入口が対応するように設けられた複数台の真空乾燥装置を採用して、連続加工が可能な真空乾燥システムを構築して、複数台の真空乾燥装置のそれぞれに対して異なる真空度、乾燥温度及び乾燥時間を設定することによって、単一真空乾燥装置が存在した欠点を解消することができる。しかし、資材を直接に真空乾燥システムに入らせると、真空乾燥効率が低く、乾燥効果が悪い等の問題がある。ところで、真空乾燥システムと協力して作業する全自動真空予熱炉を設けることは、上記の問題をよく解決することができる。そこで、資材を効率よく真空予熱することができる全自動真空予熱炉が求められている。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、資材を効率よく真空予熱することができる全自動真空予熱炉を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明に係る全自動真空予熱炉は、両端に開口が設けられた炉本体部と、前記炉本体部を真空にするための真空排気装置と、前記炉本体部内に設けられて、資材を移動するための搬送装置と、予熱装置と、を備え、前記開口に対応してオートシールドアが設けられ、前記予熱装置は、前記炉本体部の下に設けられ且つ前記炉本体部と連通する吸気装置及び前記炉本体部の上方に設けられ且つ前記炉本体部と連通する送風装置を含み、前記吸気装置は、加熱ユニット及び風向調節機構を含む。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記吸気装置は、吸気口を介して前記炉本体部と連通し、前記炉本体部の底部における前記吸気口に対応するエリアには、複数の貫通孔が設けられる。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記送風装置の出口は、前記吸気装置の入口と互いに連通する。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記予熱装置は、複数台があり、且つ前記搬送装置の輸送方向に沿って分布している。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記搬送装置は、前記炉本体部の内部に設けられた第一歯車を含み、前記第一歯車は、電気モータにより駆動される。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記第一歯車及び前記第一スプロケットは、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接され、前記搬送装置は、前記炉本体部の内部に設けられた第二歯車をさらに含み、前記第二歯車及び第二スプロケットは、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接され、前記第二スプロケットは、チェーンを介して第一スプロケットにより駆動される。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記風向調節機構は、フロントプレートを含み、前記フロントプレートは、回転軸を介して前記炉本体部の前後の2つの側壁とそれぞれ移動可能に連接され、前記フロントプレートは、複数があり、複数の前記フロントプレートの前記回転軸の軸線は、互いに対して平行であり、且つすべて同一平面内に位置し、前記平面は、前記炉本体部の底面に対して平行である。
また、本発明の全自動真空予熱炉において、前記加熱ユニットは、前記フロントプレートの上方又は下方に設けられた電気加熱管を含み、前記電気加熱管は、複数があり、且つ何れも前記炉本体部の底面と平行する。また、前記フロントプレートの下に設けられた複数の風バッフルをさらに備え、相隣する2つの前記風バッフルの間のエリアの真上には、前記フロントプレートが設けられる。
さらには、本発明の全自動真空予熱炉において、前記電気加熱管は、上下二層があり、二層の前記電気加熱管は、互いに対して平行するように前記炉本体部の底面に位置する。
従来の技術と異なり、本発明に係る全自動真空予熱炉は、両端に開口が設けられた炉本体部と、前記炉本体部を真空にするための真空排気装置と、前記炉本体部内に設けられて、資材を移動するための搬送装置と、予熱装置と、を備え、前記開口には、オートシールドアが設けられ、前記予熱装置は、前記炉本体部の下に設けられ且つ前記炉本体部と連通する吸気装置及び前記炉本体部の上方に設けられ且つ前記炉本体部と連通する送風装置を含み、前記吸気装置は、加熱ユニット及び風向調節機構を含む。資材が前記搬送装置を介して前記炉本体部の中に入った後、前記炉本体部の前記開口は全自動真空予熱炉のオートシールドア又は外部装置のシールドアにより密封され、前記真空排気装置は、前記炉本体部を所定の真空度にした後、前記吸気装置は風を前記炉本体部の内部に送入する。風は、前記加熱ユニットを通過する時に加熱されて、風向調節機構の調節又はガイドにより前記炉本体部内に入って、前記資材を予熱する。前記送風装置は、前記炉本体部内の風を外へ払出する。このようにして、加熱された後の風によって、前記炉本体部内の資材を快速で且つ効率よく予熱することができる。資材を予熱した後に、前記オートシールドアが開かれ、前記搬送装置は、前記資材を速やかに全自動真空乾燥炉の中に移動して、真空乾燥を行う。これにより、本発明の全自動真空予熱炉は、全自動真空乾燥炉とうまく協力して、資材を効率よく真空乾燥することができる。また、本発明では、前記風向調節機構は、フロントプレートを含む。前記フロントプレートは、回転軸を介して前記炉本体部の前後の側壁とそれぞれ移動可能に連接される。前記フロントプレートは、複数がある。複数の前記フロントプレートの回転軸の軸線は、互いに対して平行であり、且つすべて同一平面内に位置する。前記平面は、前記炉本体部の底面に対して平行である。このような構造によって、前記フロントプレートの回転軸を回転することで、前記フロントプレートの前記炉本体部の底面に対する角度を調節して、加熱された後の風を最高の角度で資材に吹かせて、予熱の効率を高めることができる。また、本発明では、前記加熱ユニットは、前記フロントプレートの上方又は下方に設けられる電気加熱管を含む。前記電気加熱管は、複数があり、且ついずれも前記炉本体部の底面に対して平行である。前記炉本体部に入る風は、電気加熱管を通過する時に温度が速やかに上昇し、加熱された後の風は前記風向調節機構の調節によって最適な角度で資材に吹かれて、資材を効率よく加熱する。即ち、前記電気加熱管は、前記炉本体部に入った風を、資材を予熱することに必要な温度まで快速に上昇させることができる。また、本発明では、前記電気加熱管は、上下二層がある。そして、二層の電気加熱管は、前記炉本体部の底面において平行に設けられる。この二層の電気加熱管は、さらに効率よく風を加熱して、予熱効率を高めることができる。また、本発明では、前記吸気装置は、吸気口を介して前記炉本体部と連通し、前記炉本体部の底部における前記吸気口に対応するエリアには、複数の貫通孔が設けられている。加熱された後の風は、前記貫通孔を介してさらに均一に前記炉本体部の底面から前記炉本体部内に吹き入れる。これにより、資材が予熱される時に、均一に加熱され、局部的に過熱する又は熱が不足することがなく、より好ましい予熱効果を得られる。前記送風装置の出口は、前記吸気装置の入口と互いに連通するので、前記送風装置を通過する風は、再び前記吸気装置を通過して前記炉本体部内に入ることができる。また、前記送風装置を通過する風は一定の温度がある。それゆえに、この風は、吸気装置を通過して再び炉本体部内に入って資材を予熱する時に、エネルギーを節約することができる。また、前記予熱装置は、複数台があり且つ前記搬送装置の輸送方向に沿って分布している。複数台の予熱装置を設けると、全自動真空予熱炉は、一回的により多い資材を予熱して、予熱の効率を高めることができる。また、前記フロントプレートの下方には複数の風バッフルが設けられており、相隣する2つの風バッフルの間のエリアの真上には、前記フロントプレートが設けられている。風バッフルを設けることは、風を電気加熱管までガイドすることができる。これにより、風を効率よく加熱すると共に、前記風バッフルは風を前記風向調節機構までガイドすることができ、風向を最高な方位に位置決めして、資材を効率よく予熱することができる。また、前記搬送装置は、前記炉本体部内に設けられ且つ電気モータにより駆動される第一ギアを含む。前記第一ギアを設けることによって、底部にラックが設けられた資材搭載車を安定に駆動し易く、資材が前のスデションから全自動真空予熱炉の中に速やかに入ることができるだけでなく、予熱された後の資材が真空乾燥炉の中に快速に入ることもでき、真空予熱の効率が向上される。また、前記第一歯車が前記第一スプロケットと同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接される。前記搬送装置は、前記炉本体部内に設けられた第二ギアをさらに含み、前記第二ギアは前記第二スプロケットと同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接される。前記第二スプロケットは、チェーンを介して、前記第一スプロケットにより駆動される。これにより、各種の長さ及び規格の資材搭載車は、いずれも前のスデションから全自動真空予熱炉の中に順調に入ることができるだけでなく、全自動真空予熱炉の中から真空乾燥炉の中に順調に入ることもできる。
本発明の実施形態に係る全自動真空予熱炉の全体構造を示す図である。 本発明に係る全自動真空予熱炉の搬送装置の構造を示す図である。 本発明に係る全自動真空予熱炉の炉本体部の底部構造を示す図である。 本発明に係る全自動真空予熱炉の風バッフルの装着過程を示す図である。 本発明に係る全自動真空予熱炉のフロントプレートの構造を示す図である。
図1に示すように、本発明の実施形態に係る全自動真空予熱炉は、両端に開口11がそれぞれ設けられた炉本体部10と、炉本体部10を真空にするための真空排気装置と、炉本体部10の内部に設けられて、資材を移動するための搬送装置20と、予熱装置30と、を備える。前記真空排気装置は、ただの真空ポンプであるか又は真空ポンプとフィルター及び/或いはルーツポンプにより構成されても良い。その中、フィルターは、ドライアイスフィルター又はオイル・ガスフィルターであることができる。本実施形態に係る真空排気装置は、真空ポンプ及びオイル・ガスフィルターにより構成される。搬送装置20は、コンベヤーベルト、輸送ローラ又は炉本体部10内に設けられた資材搭載車であることができる。前記資材搭載車の底部にはラックが設けられ、前記炉本体部10の内部には前記ラックと協力する歯車が設けられている。前記資材搭載車は、前記歯車により駆動されて移動して、資材を指定の場所まで搬送する。本実施形態において、搬送装置20は、上記のような資材搭載車である。開口11には、オートシールドア12が設けられている。予熱装置30は、炉本体部10の下に設けられ且つ炉本体部10と連通する吸気装置310と、炉本体部10の上方に設けられ且つ炉本体部10と連通する送気装置320と、を含む。吸気装置310は、加熱ユニット311及び風向調節機構313を含む。送気装置320の出口は、吸気装置310の入口と連通している。予熱装置30は、複数台があり、且つ搬送装置20の輸送方向に沿って分布する。
図1及び図3に示すように、吸気装置310は、吸気口315を介して炉本体部10と連通する。炉本体部10の底部における吸気口315に対応するエリアには、複数の貫通孔11が設けられている。
図1及び図4に示すように、フロントプレート314の下には、複数の風バッフル316が設けられている。相隣する2つの風バッフル316の間のエリアの真上には、フロントプレート314が設けられる。
図1及び図5に示すように、風向調節機構313は、フロントプレート314を含む。フロントプレート314は、回転軸317を介して炉本体部10の前の側壁及び後ろの側壁とそれぞれ移動可能に連接される。フロントプレート314は、複数がある。複数のフロントプレート314の回転軸317の軸線は、互いに対して平行であり且つ同一平面内に位置する。前記平面は、炉本体部10の底面に対して平行である。加熱ユニット311は、フロントプレート314の上方又は下方に設けられた電気加熱管312を含む。電気加熱管312は、複数があり、且つすべて炉本体部10の底面と平行する。電気加熱管312は、上下二層がある。この二層の電気加熱管312は、互いに対して平行するように炉本体部10の底面に位置する。
図2に示すように、搬送装置20は、炉本体部10内に設けられた第一歯車22を含む。第一歯車22は、電気モータにより駆動される。第一歯車22及び第一スプロケット23は、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接される。搬送装置20は、炉本体部10内に設けられた第二歯車24をさらに含む。第二歯車24及び第二スプロケット25は、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接される。第二スプロケット25は、チェーン625を介して、第一スプロケット23により駆動される。
以上、好適な具体例を挙げて本発明を説明してきたが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々な変更又は取替えが可能であることは言うまでもない。この変更又は取替えに基づく様々な変形例も本発明の保護範囲に含まれることは明らかである。
10 炉本体部
11 開口
20 搬送装置
22 第一歯車
24 第二歯車
25 第二スプロケット
30 予熱装置
310 吸気装置
311 加熱ユニット
312 電気加熱管
313 風向調節機構
314 フロントプレート
315 吸気口
317 回転軸
320 送気装置
625 チェーン

Claims (10)

  1. 両端に開口が設けられた炉本体部と、前記炉本体部を真空にするための真空排気装置と、前記炉本体部内に設けられて、資材を移動するための搬送装置と、予熱装置と、を備える全自動真空予熱炉であって、
    前記開口に対応してオートシールドアが設けられ、前記予熱装置は、前記炉本体部の下に設けられ且つ前記炉本体部と連通する吸気装置及び前記炉本体部の上方に設けられ且つ前記炉本体部と連通する送風装置を含み、前記吸気装置は、加熱ユニット及び風向調節機構を含むことを特徴とする全自動真空予熱炉。
  2. 前記風向調節機構は、フロントプレートを含み、前記フロントプレートは、回転軸を介して前記炉本体部の前後の2つの側壁とそれぞれ移動可能に連接され、前記フロントプレートは、複数があり、複数の前記フロントプレートの前記回転軸の軸線は、互いに対して平行であり、且つすべて同一平面内に位置し、前記平面は、前記炉本体部の底面に対して平行であることを特徴とする請求項1に記載の全自動真空予熱炉。
  3. 前記加熱ユニットは、前記フロントプレートの上方又は下方に設けられた電気加熱管を含み、前記電気加熱管は、複数があり、且つ何れも前記炉本体部の底面と平行することを特徴とする請求項2に記載の全自動真空予熱炉。
  4. 前記電気加熱管は、上下二層があり、二層の前記電気加熱管は、互いに対して平行するように前記炉本体部の底面に位置することを特徴とする請求項3に記載の全自動真空予熱炉。
  5. 前記吸気装置は、吸気口を介して前記炉本体部と連通し、前記炉本体部の底部における前記吸気口に対応するエリアには、複数の貫通孔が設けられることを特徴とする請求項1に記載の全自動真空予熱炉。
  6. 前記送風装置の出口は、前記吸気装置の入口と互いに連通することを特徴とする請求項1に記載の全自動真空予熱炉。
  7. 前記予熱装置は、複数台があり、且つ前記搬送装置の輸送方向に沿って分布していることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の全自動真空予熱炉。
  8. 前記フロントプレートの下に設けられた複数の風バッフルをさらに備え、相隣する2つの前記風バッフルの間のエリアの真上には、前記フロントプレートが設けられることを特徴とする請求項2〜6の何れか一項に記載の全自動真空予熱炉。
  9. 前記搬送装置は、前記炉本体部の内部に設けられた第一歯車を含み、前記第一歯車は、電気モータにより駆動されることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の全自動真空予熱炉。
  10. 前記第一歯車及び前記第一スプロケットは、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接され、
    前記搬送装置は、前記炉本体部の内部に設けられた第二歯車をさらに含み、前記第二歯車及び第二スプロケットは、同軸であり且つ互いに対して移動不可に連接され、前記第二スプロケットは、チェーンを介して第一スプロケットにより駆動されることを特徴とする請求項9に記載の全自動真空予熱炉。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108507296A (zh) * 2018-04-19 2018-09-07 东莞市德瑞精密设备有限公司 锂电池主动加热干燥治具
CN111059873A (zh) * 2019-12-31 2020-04-24 无锡新弘田环保技术有限公司 一种单动力通过式真空干燥腔
CN113970245A (zh) * 2020-07-22 2022-01-25 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 烤箱

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08295926A (ja) * 1995-04-24 1996-11-12 Chugai Ro Co Ltd 多室型熱処理炉
JP2001015447A (ja) * 1999-07-02 2001-01-19 Mitsubishi Electric Corp コンベア炉
CN1479068A (zh) * 2003-06-20 2004-03-03 曹义东 一种悬挂输送工件的涂装干燥固化强制对流加热炉
JP2007085702A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Espec Corp ガラス基板処理装置、ガラス基板処理システム及びガラス基板処理方法
CN102072645A (zh) * 2011-01-28 2011-05-25 杭州金舟电炉有限公司 一种实现气体流场热移位及气氛均匀的工业炉窑
JP2011253968A (ja) * 2010-06-03 2011-12-15 Panasonic Corp 乾燥装置およびフローはんだ付けライン
CN203222581U (zh) * 2013-04-16 2013-10-02 烟台良荣机械精业有限公司 挡风板装置
CN203443300U (zh) * 2013-06-28 2014-02-19 江苏捌零机械有限公司 一种粮棉烘干机
CN103836886A (zh) * 2012-11-26 2014-06-04 陈伟陵 真空干燥炉
CN204214246U (zh) * 2014-09-25 2015-03-18 深圳市时代高科技设备有限公司 一种全自动真空预热炉

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3787171A (en) * 1972-06-15 1974-01-29 Hunter Eng Co Closed loop, inert atmosphere, paint line oven heat source
JP2860998B2 (ja) * 1988-09-22 1999-02-24 大同特殊鋼株式会社 ローラハース式真空炉
JPH04132388U (ja) * 1991-05-24 1992-12-08 千住金属工業株式会社 真空乾燥装置
US5261976A (en) * 1991-12-31 1993-11-16 Gas Research Institute Control system for a soft vacuum furnace
JPH0712458A (ja) * 1993-06-23 1995-01-17 Murata Mfg Co Ltd 部品乾燥機
DE4420295C1 (de) * 1994-06-10 1995-10-26 Riedhammer Gmbh Co Kg Durchlaufofen
US6151796A (en) * 1998-06-04 2000-11-28 Kem-Tec Japan Co., Ltd. Substrate drying device, drying method and substrate dried by the same
JP4574051B2 (ja) * 2001-04-17 2010-11-04 株式会社ジェイテクト 熱処理方法及びそれに用いる熱処理装置
JP2004053046A (ja) * 2002-07-16 2004-02-19 Daido Steel Co Ltd 熱処理炉における加熱装置
ITBO20020614A1 (it) * 2002-09-30 2004-04-01 Baumer Srl Metodo operativo per una macchina imballatrice del tipo
CN1296784C (zh) * 2004-05-10 2007-01-24 浙江大学 微型仿真隧道窑自动化控制实验装置
JP5633101B2 (ja) * 2008-09-18 2014-12-03 大同特殊鋼株式会社 連続式熱処理炉
CN202158733U (zh) 2011-06-22 2012-03-07 深圳市腾达工业自动设备有限公司 真空炉
CN202463160U (zh) * 2012-02-28 2012-10-03 深圳华瑞三和集团有限公司 一种隧道式烘干炉
US20140127072A1 (en) 2012-11-08 2014-05-08 Shenyang General Magnetic Co., Ltd Continuous sintering method for rare earth permanent magnetic alloy and equipment therefor
CN103808135A (zh) * 2012-11-15 2014-05-21 西安中科麦特电子技术设备有限公司 一种适用于大型工件的宽炉腔隧道炉
CN203704556U (zh) 2013-09-13 2014-07-09 凯迈(江苏)机电有限公司 锂电池真空干燥炉
CN104359295A (zh) * 2014-09-25 2015-02-18 深圳市时代高科技设备有限公司 一种全自动真空干燥炉

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08295926A (ja) * 1995-04-24 1996-11-12 Chugai Ro Co Ltd 多室型熱処理炉
JP2001015447A (ja) * 1999-07-02 2001-01-19 Mitsubishi Electric Corp コンベア炉
CN1479068A (zh) * 2003-06-20 2004-03-03 曹义东 一种悬挂输送工件的涂装干燥固化强制对流加热炉
JP2007085702A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Espec Corp ガラス基板処理装置、ガラス基板処理システム及びガラス基板処理方法
JP2011253968A (ja) * 2010-06-03 2011-12-15 Panasonic Corp 乾燥装置およびフローはんだ付けライン
CN102072645A (zh) * 2011-01-28 2011-05-25 杭州金舟电炉有限公司 一种实现气体流场热移位及气氛均匀的工业炉窑
CN103836886A (zh) * 2012-11-26 2014-06-04 陈伟陵 真空干燥炉
CN203222581U (zh) * 2013-04-16 2013-10-02 烟台良荣机械精业有限公司 挡风板装置
CN203443300U (zh) * 2013-06-28 2014-02-19 江苏捌零机械有限公司 一种粮棉烘干机
CN204214246U (zh) * 2014-09-25 2015-03-18 深圳市时代高科技设备有限公司 一种全自动真空预热炉

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