JPH08295926A - 多室型熱処理炉 - Google Patents
多室型熱処理炉Info
- Publication number
- JPH08295926A JPH08295926A JP9853095A JP9853095A JPH08295926A JP H08295926 A JPH08295926 A JP H08295926A JP 9853095 A JP9853095 A JP 9853095A JP 9853095 A JP9853095 A JP 9853095A JP H08295926 A JPH08295926 A JP H08295926A
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- JP
- Japan
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- door
- chamber
- gas
- hood
- gas cooling
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- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 排気時間が短く、かつ、冷却ガスの使用量の
少ない安価な多室型熱処理炉を提供する。 【構成】 ガス冷却室と加熱室を中間扉により区画した
多室型熱処理炉において、前記ガス冷却室（１）両側の
処理材通過用開口部（２ａ，２ｂ）にそれぞれクラッチ
式密閉扉（３，４）を設けて、ガス冷却室を耐圧構造に
するとともに、少なくとも加熱室（３５）側のクラッチ
式密閉扉を昇降式とし、かつ、加熱室の処理材通過用開
口部に断熱扉（３８）を設け、該断熱扉と前記加熱室側
のクラッチ式密閉扉とを前記加熱室とガス冷却室との間
に設けた扉フード（９）内に配設した多室型熱処理炉。
少ない安価な多室型熱処理炉を提供する。 【構成】 ガス冷却室と加熱室を中間扉により区画した
多室型熱処理炉において、前記ガス冷却室（１）両側の
処理材通過用開口部（２ａ，２ｂ）にそれぞれクラッチ
式密閉扉（３，４）を設けて、ガス冷却室を耐圧構造に
するとともに、少なくとも加熱室（３５）側のクラッチ
式密閉扉を昇降式とし、かつ、加熱室の処理材通過用開
口部に断熱扉（３８）を設け、該断熱扉と前記加熱室側
のクラッチ式密閉扉とを前記加熱室とガス冷却室との間
に設けた扉フード（９）内に配設した多室型熱処理炉。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多室型熱処理炉に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、前記多室型熱処理炉としては、た
とえば、特公平４−５３９２６号公報に示されるものが
ある。すなわち、図６に示す構成からなり、処理材Ｗを
加熱室３５のインナーチャンバー３６内で図示しない加
熱手段で加熱処理した後、中間扉４を介して前記処理材
Ｗをガス冷却室１に移行させ、ガス冷却室１内にＮ2ガ
ス等の冷却ガスを供給して前記ガス冷却室３６内を１０
ｂａｒ未満の加圧状態に維持しつつ循環ファン８により
ガス冷却室１内の雰囲気を強制循環させながら処理材Ｗ
をガス冷却し、その後、密閉構造の装入・抽出扉３を介
して抽出する。なお、３８は断熱扉である。
とえば、特公平４−５３９２６号公報に示されるものが
ある。すなわち、図６に示す構成からなり、処理材Ｗを
加熱室３５のインナーチャンバー３６内で図示しない加
熱手段で加熱処理した後、中間扉４を介して前記処理材
Ｗをガス冷却室１に移行させ、ガス冷却室１内にＮ2ガ
ス等の冷却ガスを供給して前記ガス冷却室３６内を１０
ｂａｒ未満の加圧状態に維持しつつ循環ファン８により
ガス冷却室１内の雰囲気を強制循環させながら処理材Ｗ
をガス冷却し、その後、密閉構造の装入・抽出扉３を介
して抽出する。なお、３８は断熱扉である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記構成の
ものでは、加熱室とガス冷却室とが昇降式中間扉４で区
画され、しかも中間扉４の扉フード９がガス冷却室１側
に配設されている。したがって、扉フード９部をガス冷
却室１と同様耐圧構造にする必要があり、それだけ高価
となる。また、扉フード９の容積分だけ排気ガス量が多
くなって排気装置の運転時間が長くなるとともに、冷却
ガス量が多くなってそれだけコスト高になるという課題
を有していた。本発明は、前記中間扉の構造および扉フ
ードの配設位置を変更することにより前記課題を解決す
る多室型熱処理炉を提供することを目的とする。
ものでは、加熱室とガス冷却室とが昇降式中間扉４で区
画され、しかも中間扉４の扉フード９がガス冷却室１側
に配設されている。したがって、扉フード９部をガス冷
却室１と同様耐圧構造にする必要があり、それだけ高価
となる。また、扉フード９の容積分だけ排気ガス量が多
くなって排気装置の運転時間が長くなるとともに、冷却
ガス量が多くなってそれだけコスト高になるという課題
を有していた。本発明は、前記中間扉の構造および扉フ
ードの配設位置を変更することにより前記課題を解決す
る多室型熱処理炉を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ガス冷却室と加熱室を中間扉により区画し
た多室型熱処理炉において、前記ガス冷却室両側の処理
材通過用開口部にそれぞれクラッチ式密閉扉を設けて、
ガス冷却室を耐圧構造にするとともに、少なくとも加熱
室側のクラッチ式密閉扉を昇降式とし、かつ、加熱室の
処理材通過用開口部に断熱扉を設け、該断熱扉と前記加
熱室側のクラッチ式密閉扉とを前記加熱室とガス冷却室
との間に設けた扉フード内に配設したものである。
するために、ガス冷却室と加熱室を中間扉により区画し
た多室型熱処理炉において、前記ガス冷却室両側の処理
材通過用開口部にそれぞれクラッチ式密閉扉を設けて、
ガス冷却室を耐圧構造にするとともに、少なくとも加熱
室側のクラッチ式密閉扉を昇降式とし、かつ、加熱室の
処理材通過用開口部に断熱扉を設け、該断熱扉と前記加
熱室側のクラッチ式密閉扉とを前記加熱室とガス冷却室
との間に設けた扉フード内に配設したものである。
【０００５】
【実施例】つぎに、本発明の一実施例を図１にしたがっ
て説明する。本発明の多室型熱処理炉は、ガス冷却室１
と加熱室３５とからなる。前記ガス冷却室１は耐圧構造
からなり、処理材Ｗの通過用開口部の１つである装入・
抽出口２ａには昇降手段５ａにて昇降する装入・抽出扉
であるクラッチ式密閉扉３が、反対側処理材Ｗの通過用
開口部２ｂには中間扉であるクラッチ式密閉扉４が昇降
可能に設けてある。また、前記ガス冷却室１の上下部に
は多数の噴出ノズル７を有するノズルボックス６を有
し、下記するように、ガス冷却室１内に供給される冷却
Ｎ2ガスを図示しない循環ファンにより強制循環させな
がら、ノズルボックス６から処理材Ｗに向かって噴出す
るようになっている。なお、８は循環雰囲気を冷却する
クーラーである。
て説明する。本発明の多室型熱処理炉は、ガス冷却室１
と加熱室３５とからなる。前記ガス冷却室１は耐圧構造
からなり、処理材Ｗの通過用開口部の１つである装入・
抽出口２ａには昇降手段５ａにて昇降する装入・抽出扉
であるクラッチ式密閉扉３が、反対側処理材Ｗの通過用
開口部２ｂには中間扉であるクラッチ式密閉扉４が昇降
可能に設けてある。また、前記ガス冷却室１の上下部に
は多数の噴出ノズル７を有するノズルボックス６を有
し、下記するように、ガス冷却室１内に供給される冷却
Ｎ2ガスを図示しない循環ファンにより強制循環させな
がら、ノズルボックス６から処理材Ｗに向かって噴出す
るようになっている。なお、８は循環雰囲気を冷却する
クーラーである。
【０００６】前記加熱室３５は内部にインナーチャンバ
ー３６を有し、このインナーチャンバー３６の処理材通
過用開口部３７には昇降式断熱扉３８が設けられてい
る。なお、３９はインナーチャンバー３６内に設けたヒ
ータ等の加熱手段である。そして、前記ガス冷却室１と
加熱室３５との対向する両側部および底部は一体構造と
なっており、上部は扉フード９で接続されるとともに、
前記中間扉４と断熱扉３８は扉フード９内で昇降手段５
ｂにより昇降するようになっている。なお、１０はハー
スローラ、１１はチャージテーブルである。
ー３６を有し、このインナーチャンバー３６の処理材通
過用開口部３７には昇降式断熱扉３８が設けられてい
る。なお、３９はインナーチャンバー３６内に設けたヒ
ータ等の加熱手段である。そして、前記ガス冷却室１と
加熱室３５との対向する両側部および底部は一体構造と
なっており、上部は扉フード９で接続されるとともに、
前記中間扉４と断熱扉３８は扉フード９内で昇降手段５
ｂにより昇降するようになっている。なお、１０はハー
スローラ、１１はチャージテーブルである。
【０００７】また、前記ガス冷却室１と加熱室３５には
真空排気装置（図示せず）が開閉弁Ｖ1，Ｖ2を介して接
続されるとともに、ガス冷却室１はベンド弁Ｖ3を介し
て外気に連通し、さらに、開閉弁Ｖ4，Ｖ5を介してＮ2
ガス源に連通し、一方、加熱室３５は開閉弁Ｖ6，Ｖ7を
介してＮ2ガス源に連通している。なお、Ｖ8は均圧弁で
ある。
真空排気装置（図示せず）が開閉弁Ｖ1，Ｖ2を介して接
続されるとともに、ガス冷却室１はベンド弁Ｖ3を介し
て外気に連通し、さらに、開閉弁Ｖ4，Ｖ5を介してＮ2
ガス源に連通し、一方、加熱室３５は開閉弁Ｖ6，Ｖ7を
介してＮ2ガス源に連通している。なお、Ｖ8は均圧弁で
ある。
【０００８】つぎに、クラッチ式密閉扉４の構成を図２
〜図５にしたがって説明する。クラッチ式密閉扉４は、
扉本体４ａと前記ガス冷却室１の処理材通過用開口部２
ｂの開口端部に設けたフランジ部１ａの外周に回転駆動
手段２５により正逆回転可能な断面コ字形の回転体１２
と前記扉本体４ａを前記フランジ部１ａに押圧・離間す
る押圧手段３０とからなる。
〜図５にしたがって説明する。クラッチ式密閉扉４は、
扉本体４ａと前記ガス冷却室１の処理材通過用開口部２
ｂの開口端部に設けたフランジ部１ａの外周に回転駆動
手段２５により正逆回転可能な断面コ字形の回転体１２
と前記扉本体４ａを前記フランジ部１ａに押圧・離間す
る押圧手段３０とからなる。
【０００９】そして、前記回転体１２の外側壁の内面に
は周方向に適宜間隔で山部１３と谷部１４とが形成さ
れ、一方、前記扉本体４ａのフランジ部４ｂには、前記
回転体の山部１３より大きい谷部１５と、谷部１４より
小さい山部１６とが設けられ、かつ、回転体１２が回転
した際、扉本体４ａの外周部内方を前記ガス冷却室１の
フランジ部１ａの端面に設けたパッキング１７を押圧す
るように、両山部１３，１６の対向面に周方向に傾斜し
た楔部材１８ａ，１８ｂを設けた構成となっている。
は周方向に適宜間隔で山部１３と谷部１４とが形成さ
れ、一方、前記扉本体４ａのフランジ部４ｂには、前記
回転体の山部１３より大きい谷部１５と、谷部１４より
小さい山部１６とが設けられ、かつ、回転体１２が回転
した際、扉本体４ａの外周部内方を前記ガス冷却室１の
フランジ部１ａの端面に設けたパッキング１７を押圧す
るように、両山部１３，１６の対向面に周方向に傾斜し
た楔部材１８ａ，１８ｂを設けた構成となっている。
【００１０】また、扉本体４ａの外側には、下部に車輪
２０を備えたリブ２１が設けられ、下記するように扉本
体４ａが下降すると、前記車輪２０がレール２２上に転
動自在に支持されるようになっている。
２０を備えたリブ２１が設けられ、下記するように扉本
体４ａが下降すると、前記車輪２０がレール２２上に転
動自在に支持されるようになっている。
【００１１】前記回転駆動手段２５は、図４に示すよう
に、図示しない駆動シリンダの駆動により進退するシリ
ンダロッド２５ａが前記回転体１２の下部に突出したア
ーム２６を左右に回動することにより回転体１２を回動
させるものである。なお、２７は回転体１２の支持ロー
ラである。
に、図示しない駆動シリンダの駆動により進退するシリ
ンダロッド２５ａが前記回転体１２の下部に突出したア
ーム２６を左右に回動することにより回転体１２を回動
させるものである。なお、２７は回転体１２の支持ロー
ラである。
【００１２】前記押圧手段３０は前記扉フード９の外側
方略中央部に設けた回動自在のレバー３１とこのレバー
３１を駆動するために加熱室３５外方に設けた駆動シリ
ンダ３３とからなる。一方、前記扉本体４ａの両側に縦
方向に設けたガイドバー３４が設けてあり、このガイド
バー３４は前記レバー３１の先端に設けた凹部３２に係
合しているため、前記扉本体４ａは図３の右側に示すよ
うに、レバー３１の凹部３２にガイドされて降下し、前
記回転体１２の山部１３と谷部１４とが扉本体４ａの谷
部１６と山部１５とに合致した状態で前記車輪２０がレ
ール２２上に位置する。ここで、駆動シリンダ３３を駆
動することにより、図３の左側に示すように、扉本体４
ａの外周部は回転体１２の内方に位置させることができ
る。
方略中央部に設けた回動自在のレバー３１とこのレバー
３１を駆動するために加熱室３５外方に設けた駆動シリ
ンダ３３とからなる。一方、前記扉本体４ａの両側に縦
方向に設けたガイドバー３４が設けてあり、このガイド
バー３４は前記レバー３１の先端に設けた凹部３２に係
合しているため、前記扉本体４ａは図３の右側に示すよ
うに、レバー３１の凹部３２にガイドされて降下し、前
記回転体１２の山部１３と谷部１４とが扉本体４ａの谷
部１６と山部１５とに合致した状態で前記車輪２０がレ
ール２２上に位置する。ここで、駆動シリンダ３３を駆
動することにより、図３の左側に示すように、扉本体４
ａの外周部は回転体１２の内方に位置させることができ
る。
【００１３】したがって、いま、扉本体４ａが昇降手段
５ｂにより、前述のように、図３の右図状態で下降し、
車輪２０がレール２２上に載置される。この状態では、
図４に示すように、回転体１２の山部１３と谷部１４
に、扉本体４ａの谷部１６と山部１５が対向している。
５ｂにより、前述のように、図３の右図状態で下降し、
車輪２０がレール２２上に載置される。この状態では、
図４に示すように、回転体１２の山部１３と谷部１４
に、扉本体４ａの谷部１６と山部１５が対向している。
【００１４】つぎに、前記駆動シリンダ３３を作動させ
て扉本体４ａを前進させ、扉本体４ａの外周部を回転体
１２の内方に位置させる（図３の左図）。その後、回転
駆動手段２５を駆動することにより回転体１２を図４に
おいて反時計回り方向に回転することにより楔部材１８
ａ，１８ｂの相対回転により扉本体４ａをパッキング１
７に圧着させて、前記ガス冷却室１の開口部２ｂを密閉
するものである。クラッチ式密閉扉４を開放するには、
前記とは逆動作を行なえばよい。なお、前記クラッチ式
密閉扉３についても同一構成となっているが、このクラ
ッチ式密閉扉３はヒンジ方式であってもよい。
て扉本体４ａを前進させ、扉本体４ａの外周部を回転体
１２の内方に位置させる（図３の左図）。その後、回転
駆動手段２５を駆動することにより回転体１２を図４に
おいて反時計回り方向に回転することにより楔部材１８
ａ，１８ｂの相対回転により扉本体４ａをパッキング１
７に圧着させて、前記ガス冷却室１の開口部２ｂを密閉
するものである。クラッチ式密閉扉４を開放するには、
前記とは逆動作を行なえばよい。なお、前記クラッチ式
密閉扉３についても同一構成となっているが、このクラ
ッチ式密閉扉３はヒンジ方式であってもよい。
【００１５】つぎに、前記構成からなる多室型熱処理炉
の操業方法を説明する。まず、図１の状態から装入・抽
出扉３を開とし、処理材Ｗをチャージテーブル１１から
ガス冷却室１内に装入する。その後、前記装入・抽出扉
３を閉とすると同時に、開閉弁Ｖ1，Ｖ2を開としてガス
冷却室１および加熱室３５内を真空排気する。そして、
前記ガス冷却室１内と加熱室３５内が、ほぼ同圧（約１
０-2Ｔｏｒｒ）になると、前記中間扉４と断熱扉３８を
開とし、処理材Ｗをハースローラ１０の駆動により加熱
室３５内に移行させ、前記中間扉４と断熱扉３８を閉と
する。インナーカバー３６内の処理材Ｗは加熱手段３９
により所定のヒートカーブにしたがって加熱処理され
る。なお、加熱期には、開閉弁Ｖ7を開とし、微量のＮ2
ガスが加熱室３５内に供給される。
の操業方法を説明する。まず、図１の状態から装入・抽
出扉３を開とし、処理材Ｗをチャージテーブル１１から
ガス冷却室１内に装入する。その後、前記装入・抽出扉
３を閉とすると同時に、開閉弁Ｖ1，Ｖ2を開としてガス
冷却室１および加熱室３５内を真空排気する。そして、
前記ガス冷却室１内と加熱室３５内が、ほぼ同圧（約１
０-2Ｔｏｒｒ）になると、前記中間扉４と断熱扉３８を
開とし、処理材Ｗをハースローラ１０の駆動により加熱
室３５内に移行させ、前記中間扉４と断熱扉３８を閉と
する。インナーカバー３６内の処理材Ｗは加熱手段３９
により所定のヒートカーブにしたがって加熱処理され
る。なお、加熱期には、開閉弁Ｖ7を開とし、微量のＮ2
ガスが加熱室３５内に供給される。
【００１６】加熱処理完了後、開閉弁Ｖ5，Ｖ6を開とし
てＮ2ガスを両室１，２５に供給し、均圧弁Ｖ8の作用に
よりほぼ同圧（約６００Ｔｏｒｒ）に復圧されると、中
間扉４と断熱扉３８を開として加熱室３５内の処理材Ｗ
をハースローラ１０の駆動によりガス冷却室１内に移行
させ、前記中間扉４と断熱扉３８を閉とする。その後、
開閉弁Ｖ1を閉とするとともに、Ｎ2ガス供給管の開閉弁
Ｖ4を開として、ガス冷却室１内にＮ2ガスを供給して冷
却室１内を５〜１０ｂａｒに保持すると同時に、循環フ
ァン（図示せず）を駆動して雰囲気を強制循環させなが
らＮ2ガスを噴出ノズル７から噴出させて加圧状態で処
理材Ｗを強制冷却して処理材Ｗのガス焼入れを行なう。
この場合、循環雰囲気はクーラー８により所定温度に冷
却される。
てＮ2ガスを両室１，２５に供給し、均圧弁Ｖ8の作用に
よりほぼ同圧（約６００Ｔｏｒｒ）に復圧されると、中
間扉４と断熱扉３８を開として加熱室３５内の処理材Ｗ
をハースローラ１０の駆動によりガス冷却室１内に移行
させ、前記中間扉４と断熱扉３８を閉とする。その後、
開閉弁Ｖ1を閉とするとともに、Ｎ2ガス供給管の開閉弁
Ｖ4を開として、ガス冷却室１内にＮ2ガスを供給して冷
却室１内を５〜１０ｂａｒに保持すると同時に、循環フ
ァン（図示せず）を駆動して雰囲気を強制循環させなが
らＮ2ガスを噴出ノズル７から噴出させて加圧状態で処
理材Ｗを強制冷却して処理材Ｗのガス焼入れを行なう。
この場合、循環雰囲気はクーラー８により所定温度に冷
却される。
【００１７】前記のようにして、処理材Ｗのガス冷却が
完了すると、開閉弁Ｖ4を閉、ベント弁Ｖ3を開としてガ
ス冷却室１内を大気圧としたのち、装入・抽出扉３を開
として処理材Ｗをハースローラ１０の駆動によりチャー
ジテーブル１１上に抽出する。
完了すると、開閉弁Ｖ4を閉、ベント弁Ｖ3を開としてガ
ス冷却室１内を大気圧としたのち、装入・抽出扉３を開
として処理材Ｗをハースローラ１０の駆動によりチャー
ジテーブル１１上に抽出する。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、ガス冷却室は耐圧構造であるとともに、その両
側の扉はクラッチ式密閉扉とし、そのうちの加熱室側の
中間扉をガス冷却室と加熱室との間に設けた扉フード内
を昇降するようにしたものである。したがって、冷却ガ
スはガス冷却室内にのみ供給して、従来のように扉フー
ド内に供給しないので冷却ガスの使用量は、従来に比べ
て約４０％減少することが可能となった。また、扉フー
ドには高圧冷却ガスが供給されないため、耐圧構造とす
る必要がなく、それだけ設備費を安価とすることができ
るという効果を奏する。
よれば、ガス冷却室は耐圧構造であるとともに、その両
側の扉はクラッチ式密閉扉とし、そのうちの加熱室側の
中間扉をガス冷却室と加熱室との間に設けた扉フード内
を昇降するようにしたものである。したがって、冷却ガ
スはガス冷却室内にのみ供給して、従来のように扉フー
ド内に供給しないので冷却ガスの使用量は、従来に比べ
て約４０％減少することが可能となった。また、扉フー
ドには高圧冷却ガスが供給されないため、耐圧構造とす
る必要がなく、それだけ設備費を安価とすることができ
るという効果を奏する。
【図１】 本発明にかかる多室型熱処理炉の断面図。
【図２】 クラッチ式密閉扉の要部断面図。
【図３】 図２のIII−III線断面におけるクラッチ式密
閉扉とその駆動機構を示す図。
閉扉とその駆動機構を示す図。
【図４】 回転体の回転機構を示す図。
【図５】 図１のガス冷却室、回転体、扉本体の関係を
示す断面図。
示す断面図。
【図６】 従来の多室型熱処理炉の断面図。
１…ガス冷却室、３，４…クラッチ式密閉扉、６…噴出
ノズルボックス、８…循環ファン、９…扉フード、１０
…ハースローラ、３５…加熱室、３６…インナーチャン
バー、３７…処理材通過用開口部、３８…断熱扉、３９
…加熱手段、Ｗ…処理材。
ノズルボックス、８…循環ファン、９…扉フード、１０
…ハースローラ、３５…加熱室、３６…インナーチャン
バー、３７…処理材通過用開口部、３８…断熱扉、３９
…加熱手段、Ｗ…処理材。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２７Ｄ 1/18 Ｆ２７Ｄ 1/18 7/00 7/00 Ｚ
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス冷却室と加熱室を中間扉により区画
した多室型熱処理炉において、前記ガス冷却室両側の処
理材通過用開口部にそれぞれクラッチ式密閉扉を設け
て、ガス冷却室を耐圧構造にするとともに、少なくとも
加熱室側のクラッチ式密閉扉を昇降式とし、かつ、加熱
室の処理材通過用開口部に断熱扉を設け、該断熱扉と前
記加熱室側のクラッチ式密閉扉とを前記加熱室とガス冷
却室との間に設けた扉フード内に配設したことを特徴と
する多室型熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7098530A JP2731127B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 多室型熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7098530A JP2731127B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 多室型熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08295926A true JPH08295926A (ja) | 1996-11-12 |
| JP2731127B2 JP2731127B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=14222240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7098530A Expired - Lifetime JP2731127B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 多室型熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2731127B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007127350A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Nachi Fujikoshi Corp | 小形真空浸炭炉 |
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