JP2001014897A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2001014897A
JP2001014897A JP11182334A JP18233499A JP2001014897A JP 2001014897 A JP2001014897 A JP 2001014897A JP 11182334 A JP11182334 A JP 11182334A JP 18233499 A JP18233499 A JP 18233499A JP 2001014897 A JP2001014897 A JP 2001014897A
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Tetsushi Tanizaki
哲志 谷▲崎▼
Tetsuo Kato
哲夫 加藤
Mikio Asakura
幹雄 朝倉
Yasuhiro Konishi
康弘 小西
Takayuki Miyamoto
崇行 宮元
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    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/46Test trigger logic

Abstract

(57)【要約】 【課題】 任意に複数のテストモードを設定することが
可能な半導体装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る半導体装置1000は、複
数のテストモード回路1A、1Bを含む。各テストモー
ド回路は、入力信号をデコードする複数のデコード回路
AD♯1、…と複数のラッチ回路AL♯1、…とを含
む。各デコード回路からテストモード信号が発生する。
テストモード信号は、ラッチ回路に保持される。各テス
トモード回路は、対応するラッチ回路をリセットするグ
ループリセット信号を出力するデコード回路AD♯R、
…をさらに含む。これにより、任意に、かつシリアルに
複数のテストモード信号を組合せることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体装置に関
し、特にテストモードを設定する機能を有する半導体装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、半導体装置には、テスト容易
化のための動作モードであるテストモードを設定するた
めのテストモード回路が搭載されている。当該テストモ
ード回路により所定のテストモードが設定されると、半
導体装置は所定のテストモードに対応して動作する。こ
れにより、半導体装置の内部状態のテストが容易に行な
われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体装置におけるテストモード回路は、1度の設定で
所定のテストモードが設定されるように構成されている
ため、いくつかのテストモード(テスト動作)をテスト
プログラムで自由に組合わせることが不可能であった。
【0004】また、従来のテストモード回路を用いた場
合、一度の設定でテストモードに入ってしまうため、予
期せぬ入力信号の状態によっては誤ったテストモードが
設定されるという問題があった。
【0005】そこで、本発明はかかる問題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、複数のテストモ
ードを組合わせることが可能な半導体装置を提供するこ
とにある。
【0006】また、本発明のさらなる目的は、確実に所
望のテストモードを実施することができる半導体装置を
提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の一つの局面に
よると半導体装置は、内部回路と、入力信号を受ける複
数のテストモード設定回路とを備え、複数のテストモー
ド設定回路のそれぞれは、入力信号に基づき、内部回路
のテストモードを設定するテストモード信号を出力する
テストモード信号発生回路と、テストモード信号の状態
を保持する保持回路とを含む。
【0008】好ましくは、複数のテストモード設定回路
は、複数のグループに分割され、複数のグループのそれ
ぞれは、入力信号に基づき、対応する保持回路の状態を
リセットするリセット回路をさらに含む。
【0009】好ましくは、複数のテストモード設定回路
のうち所定数のテストモード設定回路は、互いに競合す
るテストモードに対応し、所定数のテストモード設定回
路のそれぞれは、互いに競合するテストモードのうちい
ずれか一つのテストモードが設定されると、他の互いに
競合するテストモードが設定されないように動作する。
【0010】この発明のさらなる局面に従うと、内部回
路と、入力信号を受ける複数のテストモード設定回路
と、入力信号に基づき、テストモードイネーブル信号を
発生するテストモード検出回路とを備え、複数のテスト
モード設定回路のそれぞれは、テストモードイネーブル
信号に応答して、入力信号に基づき、内部回路のテスト
モードを設定するテストモード信号を出力するテストモ
ード信号発生回路と、テストモード信号の状態を保持す
る保持回路とを含む。
【0011】好ましくは、複数のテストモード設定回路
は、複数のグループに分割され、複数のグループのそれ
ぞれは、テストモードイネーブル信号に応答して、入力
信号に基づき、対応する保持回路の状態をリセットする
リセット回路をさらに含む。
【0012】好ましくは、複数のテストモード設定回路
のうち所定数のテストモード設定回路は、互いに競合す
るテストモードに対応し、所定数のテストモード設定回
路のそれぞれは、互いに競合するテストモードのうちい
ずれか一つのテストモードが設定されると、他の互いに
競合するテストモードが設定されないように動作する。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して詳しく説明する。なお、同一要素には、同一
の符号または同一の記号を付し、その説明は省略する。
【0014】[実施の形態1]本発明の実施の形態1に
よる半導体装置1000について説明する。本発明の実
施の形態1による半導体装置1000は、複数のテスト
モード信号をシリアルに複数設定することを可能とす
る。
【0015】図1は、本発明の実施の形態1による半導
体装置1000の主要部の構成について説明するための
図である。図1に示される半導体装置1000は、複数
のデコーダと複数のラッチ回路とを備える。複数のデコ
ーダと複数のラッチ回路とは、複数のグループ(テスト
モード回路)に分割されている。図1においては、テス
トモード回路1A、1Bが代表的に示されている。
【0016】図1を参照して、テストモード回路1A
は、デコード回路AD♯1、AD♯2、AD♯3、AD
♯R、およびラッチ回路AL♯1、AL♯2、AL♯3
を含む。ラッチ回路AL♯1、AL♯2、AL♯3のそ
れぞれは、デコード回路AD♯1、AD♯2、AD♯3
に対応して設けられる。
【0017】デコード回路AD♯1、AD♯2、AD♯
3、AD♯Rのそれぞれは、mビットの入力信号をデコ
ードする。ラッチ回路AL♯1、AL♯2、AL♯3の
それぞれは、対応するデコード回路の出力をラッチし
て、テストモード信号A♯1、A♯2、A♯3を出力す
る。デコード回路AD♯Rは、ラッチ回路AL♯1、A
L♯2、AL♯3の状態をリセットするグループリセッ
ト信号RAを出力する。
【0018】テストモード回路1Bは、デコード回路B
D♯1、BD♯2、およびラッチ回路BL♯1、BL♯
2を含む。ラッチ回路BL♯1、BL♯2のそれぞれ
は、デコード回路BD♯1、BD♯2に対応して設けら
れる。
【0019】デコード回路BD♯1、BD♯2のそれぞ
れは、mビットの入力信号をデコードする。なお、デコ
ード回路BD♯1、BD♯2のそれぞれに、競合するテ
ストモード信号BD♯2、BD♯1を絡める。すなわ
ち、一方のテストモード信号がイネーブル状態であれば
他方はイネーブル状態にならないように排他処理を行な
う。
【0020】ラッチ回路BL♯1、BL♯2のそれぞれ
は、対応するデコード回路の出力をラッチして、テスト
モード信号B♯1、B♯2を出力する。デコード回路B
D♯Rは、mビットの入力信号を受けてラッチ回路BL
♯1、BL♯2の状態をリセットするグループリセット
信号RBを出力する。
【0021】テストモード回路に含まれるデコード回路
の回路構成例を図2〜図3に示す。図2に示す論理回路
10は、mビットの入力信号が所定の状態(H/L)の
とき、デコード出力としてイネーブル状態を出力する。
また、図3に示す論理回路12は、mビットの入力信号
のうちnビット(m>n)を入力として受け、これらが
所定の状態(H/L)のとき、デコード出力としてイネ
ーブル状態を出力する。この場合、mビットの入力信号
のうちの当該nビット以外の信号の状態は、デコード出
力に影響を与えない。
【0022】なお、デコード回路BD♯1、BD♯2の
それぞれに関しては、上述したmビットまたはnビット
の信号に加えて、競合するテストモード信号BD♯2、
BD♯1を入力信号とする。
【0023】テストモード回路に含まれるラッチ回路の
回路構成例を図4〜図5に示す。図4に示される回路
は、NOR回路14、16で構成されるRSフリップフ
ロップである。このRSフリップフロップは、リセット
端子Rからグループリセット信号を、セット端子Sから
デコード回路の出力を受け、出力端子Qからテストモー
ド信号を出力する。なお、リセット端子Rの信号がHレ
ベル、セット端子Sの信号がLレベルであれば、出力端
子QからLレベルの信号が出力される。リセット端子R
の信号がLレベル、セット端子Sの信号がHレベルであ
れば、出力端子QからはHレベルの信号が出力される。
リセット端子Rの信号がLレベル、セット端子Sの信号
がLレベルであれば、出力端子Qの信号は前の値を保持
する。
【0024】図5に示される回路は、論理回路18、イ
ンバータ20、22、24、トランスファゲート26、
およびNMOSトランジスタ28を含む同期型ラッチ回
路である。論理回路18は、クロックとリセット端子R
の信号とを受ける。インバータ20は、論理回路18の
出力を反転する。トランスファゲート26は、論理回路
18の出力およびインバータ20の出力に応答して、セ
ット端子Sの信号を出力端子Qに出力する。インバータ
22および24から構成されるラッチは、出力端子Qに
接続されている。NMOSトランジスタ28は、出力端
子Qと接地電位との間に接続され、ゲートにリセット端
子Rの信号を受ける。図5に示す回路の論理動作は、図
4に示す回路と同じである。
【0025】図1を参照して、mビットの入力信号がテ
ストモード信号A♯1の設定コードであれば、デコード
回路AD♯1でデコードした結果がラッチ回路AL♯1
にラッチされ、テストモード信号A♯1がディスイネー
ブル状態(たとえば、Lレベル)からイネーブル状態
(たとえば、Hレベル)になる。
【0026】この後、mビットの入力信号がテストモー
ド信号A♯1の設定コードでなくなっても、ラッチ回路
AL♯1は状態を保持するため、テストモード信号A♯
1はイネーブル状態を保持する。テストモード回路1B
の基本動作は、テストモード回路1Aと同じである。
【0027】このように、テストモード回路は、新たに
別のテストモード信号の設定を行なっても他のテストモ
ード信号の状態を保持する。すなわち、各テストモード
回路は、シリアルに複数のテストモード信号を設定する
ことができる。したがって、各テストモード回路は、任
意のテストモードの組合わせを実現できる。さらに、上
述したグループリセット信号により、グループ単位でテ
ストモード信号をリセットすることが可能となる。
【0028】たとえば、入力信号に基づき、テストモー
ド信号A♯1→A♯3→B♯1の順で、テストモード信
号を設定してデバイステストを実施したとする。テスト
終了後、テストモード信号B♯1に対応するテストモー
ドを実施したい場合、次の手順でテストモード信号A♯
1、A♯3をリセットする。
【0029】まず、テストモード回路1Aをリセットす
るためのmビットの入力信号を与える。これを受けてデ
コード回路AD♯Rは、ラッチ回路の状態をリセットす
るグループリセット信号RAを出力する。これにより、
すべてのラッチ回路AL♯1〜AL♯3は、リセットさ
れる。この結果、テストモード回路1Aの出力するすべ
てのテストモード信号A♯1〜A♯3が、リセットされ
ることになる(ディスイネーブル状態になる)。
【0030】ところで、競合するテストモード信号がシ
リアルに設定されると、テスト動作が不良となり、正確
なテスト判定ができない。そこで、テストモード回路1
Bに示されるように、デコード回路BD♯1、BD♯2
のそれぞれに、競合するテストモード信号BD♯2、B
D♯1を絡めることにより、競合するテストモード信号
がシリアルに設定されることを回避する。
【0031】このように、本発明の実施の形態1による
半導体装置1000によれば、シリアルに複数のテスト
モード信号を設定することができる。また、グループ単
位でテストモード信号をリセットすることもできる。し
かも、競合するテストモード信号がシリアルに設定され
ることを回避できる。この結果、半導体装置のテストプ
ログラムの設定の自由度が増すため、より精度の高いテ
ストを行なうことが可能となる。
【0032】[実施の形態2]本発明の実施の形態2に
よる半導体装置2000について説明する。本発明の実
施の形態1による半導体装置2000は、2段階の手順
でテストモードの設定を行なう。
【0033】図6は、本発明の実施の形態2による半導
体装置2000の主要部の構成について説明するための
図である。図6に示される半導体装置2000において
は、複数のテストモード回路と、テストモードにエント
リするのか、テストモードをリセットするのかを検知す
るテストモード検出回路3とを備える。図6において
は、テストモード回路2A、2Bが代表的に示されてい
る。
【0034】テストモード検出回路3は、デコード回路
MDとラッチ回路MLとを含む。デコード回路MDは、
mビットの入力信号をデコードして、エントリ信号(テ
ストモードにエントリする)またはリセット信号(テス
トモードをリセットする)を出力する。ラッチ回路ML
は、デコード回路MDの出力をラッチして、テストモー
ドイネーブル信号Eを出力する。
【0035】テストモード回路2Aは、デコード回路A
D♯1、AD♯2、AD♯3、AD♯R、ラッチ回路A
L♯1、AL♯2、AL♯3、およびOR回路5♯1、
5♯2、5♯3を含む。ラッチ回路AL♯1、AL♯
2、AL♯3のそれぞれは、デコード回路AD♯1、A
D♯2、AD♯3に対応して設けられる。OR回路5♯
1、5♯2、5♯3のそれぞれは、ラッチ回路AL♯
1、AL♯2、AL♯3に対応して設けられる。
【0036】実施の形態2では、デコード回路AD♯
1、AD♯2、AD♯3のそれぞれは、テストモードイ
ネーブル信号Eに応答して、mビットの入力信号をデコ
ードする。対応するmビットの入力信号が入力されかつ
テストモードイネーブル信号Eがイネーブル状態になる
と、各テストモード信号がイネーブル状態になる。ラッ
チ回路AL♯1、AL♯2、AL♯3のそれぞれは、対
応するデコード回路の出力をラッチして、テストモード
信号A♯1、A♯2、A♯3を出力する。
【0037】デコード回路AD♯Rは、mビットの入力
信号をデコードしてラッチ回路AL♯1、AL♯2、A
L♯3の状態をリセットするグループリセット信号RA
を出力する。OR回路5♯1、5♯2、5♯3は、グル
ープリセット信号RAを受けるとともに、インバータ4
を介してテストモードイネーブル信号Eの反転信号/E
を受ける。
【0038】テストモードイネーブル信号Eがディスイ
ネーブル状態(Lレベル)、またはグループリセット信
号RAがイネーブル状態(Hレベル)であれば、ラッチ
回路はリセットされる。
【0039】テストモード回路2Bは、デコード回路B
D♯1、BD♯2、BD♯R、ラッチ回路BL♯1、B
L♯2、およびOR回路6♯1、6♯2を含む。ラッチ
回路BL♯1、BL♯2のそれぞれは、デコード回路B
D♯1、BD♯2に対応して設けられる。OR回路6♯
1、6♯2のそれぞれは、ラッチ回路BL♯1、BL♯
2に対応して設けられる。
【0040】実施の形態2では、デコード回路BD♯
1、BD♯2のそれぞれは、テストモードイネーブル信
号Eに応答して動作する。対応するmビットの入力信号
が入力されかつテストモードイネーブル信号Eがイネー
ブル状態のとき、各テストモード信号がイネーブル状態
になる。さらに、上述したように、デコード回路BD♯
1、BD♯2のそれぞれに、競合するテストモード信号
BD♯2、BD♯1を絡める。これにより、一方のテス
トモード信号がイネーブル状態であれば他方はイネーブ
ル状態にならないように排他処理を行なう。ラッチ回路
BL♯1、BL♯2のそれぞれは、対応するデコード回
路の出力をラッチして、テストモード信号B♯1、B♯
2を出力する。
【0041】デコード回路BD♯Rは、mビットの入力
信号をデコードしてラッチ回路の状態をリセットするグ
ループリセット信号RBを出力する。OR回路6♯1、
6♯2は、グループリセット信号RBとテストモードイ
ネーブル信号Eの反転信号/Eとを受ける。
【0042】テストモードイネーブル信号Eがディスイ
ネーブル状態(Lレベル)、またはグループリセット信
号RBがイネーブル状態(Hレベル)であれば、ラッチ
回路BL♯1、BL♯2はリセットされる。
【0043】すなわち、テストモードイネーブル信号E
がディスイネーブル状態であれば、いずれかのテストモ
ード信号に対応するmビットの入力信号が入力された場
合であっても、テストモード信号が設定されることはな
い。
【0044】また、実施の形態2では、テストモードイ
ネーブル信号Eの反転信号/Eが全てのテストモード回
路のラッチ回路に入っているので、テストモードイネー
ブル信号Eをディスイネーブル(リセット)にするmビ
ットの入力信号が入力されると、テストモードから抜け
るとともに全てのテストモード信号がリセットされる。
【0045】なお、各デコード回路の構成例は、図2〜
図3で説明したとおりであるが、実施の形態2における
デコード回路AD♯1、AD♯2、AD♯3は、上記し
たmビットまたはnビットの信号に加えてテストモード
イネーブル信号Eを入力に受ける。また、デコード回路
BD♯1、BD♯2は、上記したmビットまたはnビッ
トの信号と競合するテストモード信号とに加えてテスト
モードイネーブル信号Eを入力に受ける。
【0046】このように、本発明の実施の形態2による
半導体装置2000によれば、テストモード検出回路を
設けることにより、誤ったテストモード信号が設定され
ることを防ぐことができる。このため、確実に所望のテ
ストを実施することが可能となる。
【0047】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0048】
【発明の効果】以上のように、請求項1〜請求項3に係
る半導体装置によれば、シリアルに、任意の組合せで複
数のテストモード信号を設定することができる。また、
グループ単位でテストモード信号をリセットすることも
できる。しかも、競合するテストモード信号がシリアル
に設定されることを回避できる。これにより、テストプ
ログラムの設定の自由度が増すため、より精度の高いテ
ストを行なうことが可能となる。
【0049】請求項4〜請求項6に係る半導体装置によ
れば、テストモード検出回路を設け、テストモードが検
出されることにより、シリアルに、任意の組合せで複数
のテストモード信号を設定することができる。この結
果、誤ったテストモード信号が設定されることなく、任
意のテストモードの組合わせを実現することができる。
この際、グループ単位でテストモード信号をリセットす
ることもできる。しかも、競合するテストモード信号が
シリアルに設定されることを回避できる。このため、確
実に所望のテストを実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1における半導体装置1
000の主要部の構成について説明するための図であ
る。
【図2】 テストモード回路に含まれるデコード回路の
構成の一例をしめす図である。
【図3】 テストモード回路に含まれるデコード回路の
構成の一例をしめす図である。
【図4】 テストモード回路に含まれるラッチ回路の構
成の一例をしめす図である。
【図5】 テストモード回路に含まれるラッチ回路の構
成の一例をしめす図である。
【図6】 本発明の実施の形態2における半導体装置2
000の主要部の構成について説明するための図であ
る。
【符号の説明】
1A,1B,2A,2B テストモード回路、3 テス
トモード検出回路、4インバータ、AD♯1〜AD♯
3,BD♯1〜BD♯2,AD♯R,AD♯R,MD
デコード回路、AL♯1〜AL♯3,BL♯1〜BL♯
2,ML ラッチ回路、5♯1〜5♯3,6♯1〜6♯
OR回路、1000,2000 半導体装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朝倉 幹雄 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 小西 康弘 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 宮元 崇行 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 2G032 AG01 AH01 AH04 AK12 AK14 5L106 DD11 GG05

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部回路と、 入力信号を受ける複数のテストモード設定回路とを備
    え、 前記複数のテストモード設定回路のそれぞれは、 前記入力信号に基づき、前記内部回路のテストモードを
    設定するテストモード信号を発生するテストモード信号
    発生回路と、 前記テストモード信号の状態を保持する保持回路とを含
    む、半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記複数のテストモード設定回路は、複
    数のグループに分割され、 前記複数のグループのそれぞれは、 前記入力信号に基づき、対応する保持回路の状態をリセ
    ットするリセット回路をさらに含む、請求項1に記載の
    半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記複数のテストモード設定回路のうち
    所定数のテストモード設定回路は、互いに競合するテス
    トモードに対応し、 前記所定数のテストモード設定回路のそれぞれは、 前記互いに競合するテストモードのうちいずれか一つの
    テストモードが設定されると、他の互いに競合するテス
    トモードが設定されないように動作する、請求項1に記
    載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 内部回路と、 入力信号を受ける複数のテストモード設定回路と、 前記入力信号に基づき、テストモードイネーブル信号を
    発生するテストモード検出回路とを備え、 前記複数のテストモード設定回路のそれぞれは、 前記テストモードイネーブル信号に応答して、前記入力
    信号に基づき、前記内部回路のテストモードを設定する
    テストモード信号を発生するテストモード信号発生回路
    と、 前記テストモード信号の状態を保持する保持回路とを含
    む、半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記複数のテストモード設定回路は、複
    数のグループに分割され、 前記複数のグループのそれぞれは、 前記テストモードイネーブル信号に応答して、前記入力
    信号に基づき、対応する保持回路の状態をリセットする
    リセット回路をさらに含む、請求項4に記載の半導体装
    置。
  6. 【請求項6】 前記複数のテストモード設定回路のうち
    所定数のテストモード設定回路は、互いに競合するテス
    トモードに対応し、 前記所定数のテストモード設定回路のそれぞれは、 前記互いに競合するテストモードのうちいずれか一つの
    テストモードが設定されると、他の互いに競合するテス
    トモードが設定されないように動作する、請求項4に記
    載の半導体装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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