JP2000505598A

JP2000505598A - 部品を受け取り、位置付け、組み立てるための方法及び装置

Info

Publication number: JP2000505598A
Application number: JP09530486A
Authority: JP
Inventors: ヴィルツ，グスタフ; フォルスター，マルティーン
Original assignee: アルファセム・アクチェンゲゼルシャフト
Priority date: 1996-02-29
Filing date: 1996-02-29
Publication date: 2000-05-09
Also published as: KR100319546B1; WO1997032460A1; US6171049B1; EP0883979B1; KR19990087273A; EP0883979A1; MY115065A; DE59603376D1

Abstract

(57)【要約】加工素材（１）、例えば半導体チップが運搬ユニット（２）を用いて設置平面（３）から取り外され、分配平面（５）に運搬される。その結果、配置通路（４）は、２つの動作段階でカバーされ、各々の加工素材はこの配置通路の領域に配置された中間ステーション（６）に預けられる。運搬ユニット（２）は、２つの作動ヘッド（７，８）を有し、各々、収納平面から中間ステーションへ加工素材を運搬すると同時に、中間ステーションから分配平面へと加工素材を運搬する。中間ステーションに対し加工素材を枢動又は回転するかを選択することができ、その結果として、その最下表面が分配ヘッド（８）により把持されることができる。

Description

【発明の詳細な説明】部品を受け取り、位置付け、組み立てるための方法及び装置本発明は、好ましくは平坦な物体を、操作ステーション、特に請求項１の前文に係わる半導体チップの自動積み込み装置（chip loading automatic machine）上に、周期的に受け取り、配置し、預けるための方法に関する。これによって、例えば半導体チップは、周期的な態様で分配平面に置かれているアンダーレイ（ undcrlay）上に配置されるように、ウェハー即ち収納平面に配列されているマガジン（magazine）から高精度且つ大きな速度で取り外されなければならない。収納平面と分配平面とは、同時に平行に並べられてもよく、或いは同一平面にあるようにすることもできる。しかしながら、配置通路は可能な限り小さくあるべきであり、加速されるべき質量も同様に小さくなければならない。スイス、ベルグ、ＣＨ−８５７２アルファゼム（Alphasem）ＡＧの会社文書によって、比較可能な型式の方法及び装置が知られるようになり、この方法及び装置では、収納平面と分配平面とが、互いに直角に配置されている。単一の受け取りヘッドを備えた枢動アームが９０度の枢軸運動を実行し、これと共に周期的な態様で堅くクランプされたウェハーから、導かれたアンダーレイまで半導体チップを運搬する。サイクルの速度は、他の運搬ユニットと比較して、この構成で増加させることができる。しかしながら、すべての知られた方法及び装置の欠点は、全配置通路を通過する対象が常に同じ側で強く把持されており、これによって運搬装置に対する相対位置を変化させないという事実にある。これと同時に、運搬の間の位置変化又は平坦な対象の約１８０度の回転でさえ可能ではない。しかしながら、ある分野、特に電子技術における応用では、対象を最上部で下向きに配置するのが望ましい。従って、本発明の目的は、配置通路をカバーすることをはかどらせ、選択的に対象の相対位置変化が可能であるような、上述した型式の方法を提供することである。特に、半導体チップの自動積み込み装置では、ウェハーから取り外された型を、動作側を下向きに配置すること（flip-ship）ができるようにすべきである。本発明によれば、この目的は、請求項１における特徴を有する方法を用いて達成される。２つの異なるサイクルへと配置通路を細分化することは、配置通路の領域に並べられる中間ステーションにおける対象をその位置を変え、特に完全に回転させることを可能にする。把持手段が、対象を本質的に側面からその最上部を把持し、対象の最下部はそれを把持するのに自由に残されている。収納平面から中間ステーションまで、中間ステーションから分配平面まで対象を同時に運搬することによって、２サイクルの前進にも係わらず、時間の損失が無い。ある一定の操作方法に対して、対象は収納平面における最上部で把持され、中間ステーションまで運搬される。中間ステーションにおいては、それは、ひっくり返され、分配平面上でその最上部に配置されるために最下部で把持される。しかしながら、勿論、最上部で再び対象を把持し、これによって同じ位置にそれを置くか或いは、さらなる運搬及び又は分配平面上での配置のためにより有利となる幾分異なった角度位置にのみにそれを持ってくるため任意の空間軸の回りに回転させることによる適切な場所にそれを置くことも考えられる。有利な効果を奏するように、その対象は、分配平面に関するその相対位置における中間ステーションでのその相対位置から独立に、対象がクランプされる受け取り位置と対象が分配される分配位置との間で前方に配置される。これによって、運動の進路を、簡単化することができ、中間ステーションは、配置通路の半分の通路に厳密に設置する必要はない。好ましくは、中間ステーションにおける対象は、空気力学的に作動可能なクランプ装置により保持されるのがよく、該装置を用いてクランプのための可撓性チューブ状部分が膨張され、解放のための部分が収縮される。この態様では、損害の危険性無しに、非常に薄い部品もまた厳密に保持され得る。把持用ジョーズ（ gripping jaws）又はその類似物がうるさくすることが起こらず、対象の全表面が両側で自由に残される。対象の性質によれば、勿論、クランプ用ジョーズによって中間ステーションでこれを保持することも可能である。これらのクランプ用ジョーズは、様々な仕方で対象を保持することができ、それらは運動的に駆動され、又は、例えば電磁気的、熱膨張によるものなどの他手段でも作動され得る。本発明は、請求項６の特徴を構成している、平坦な対象の周期的な受け取り、配置、預けのための装置にも係わる。既知の装置とは対照的に、運搬ユニットは２つの作動ヘッドと、各々の作動ヘッドが備える受け取りヘッド及び預けヘッドと、を備えている。受け取りヘッドは対象を収納平面から中間ステーションまで運搬し、預けヘッドは、ここから対象を引き出して、該対象を分配平面まで運搬する。ここに、中間ステーションにおける対象は、その横位置を選択的に変えることができる。２つの作動ヘッドへのこの分離は、ヘッドが非常に小さい距離を単にカバーするだけでよいという利点をも追加する。この中間ステーションは、任意の空間軸の回りに回転可能に及び又は枢動可能に取り付けられ、これによって対象の最上部を受け取りヘッドで把持し、把持手段の中にクランプし、対象の最下部を、預けヘッドで把持し、把持手段により移動されるようになっている。これによって、中間ステーションは、回転軸の回りの枢動レバーに回転可能に取り付けられるのが好ましい。同時に、枢動レバー軸は、枢動軸レバーを枢動させるときに回転軸が選択的に静止又は回転するような態様でギアにより回転軸に接続されている。これらの比較的簡単な機構によって、枢動レバーの枢動運動のコースにある中間ステーションは、枢動運動が補償され、対象が枢動運動の端部においてさえ同じ相対位置をなおまだ呈するような態様で動かすことができる。他方、回転位置が固定されるならば、クランプされた対象は、共に枢動され、この態様においてその相対位置を変化させる。回転軸への枢動レバーのギア連動した接続の代わりに、中間ステーションは、勿論、分離した駆動手段、例えば中間ステーションに直接取り付けられた電気モータ又は空気式駆動手段などを介して動かされてもよい。中間ステーション上での把持手段は、有利な効果を奏するように、少なくとも一つの可撓性接触表面を有し、該接触表面は、対象を把持するため圧力をかけられた状態で膨張し、対象を解放するため真空の状態で収縮することができる。把持手段は、同時にある距離に配置された２つの支持プロフィールを有してもよく、ここでは、可撓性接触表面が、該支持プロフィール上を移動されるチューブ状部分により形成される。その代わりに、把持手段の一方の側が、画定された位置への配置を達成するために、堅い迫持台として形成されるようにしてもよい。一方の側の支持プロフィールが支持手段に固定され、チューブ状部分が支持手段の空洞部と作動的に接続され、及び支持手段が中空軸として形成された回転軸の回りに回転可能であり、該回転軸を介して空洞部が圧力源又は真空源と接続され得るとき、さらに特別に有用な構成となる。可能な限り小さい運搬通路を維持するために、収納平面と分配平面とは、互いに対して９０度の角度で交差するのが好ましい。これによって、運搬ユニットは枢動アームとして形成され、該アーム上には、同一枢動平面において、受け取りヘッドと分配ヘッドとが互いに角度をなして配置されている。しかしながら、これら平面のこのような配置は、あらゆる応用の場合において可能ではない。従って、収納平面と分配平面とが互いに平行に、或いは同一平面内で駆動するというさらなる労力が無い場合も考えられる。運搬ユニットは、同時に線形運動を実行してもよく、又は同様に枢動運動を実行してもよい。しかしながら、これらの運動状熊では、枢動平面は収納平面又は分配平面に対して直角でなく平行に動く。もし枢動アームが、様々な空間軸に配置可能であり、且つ、中間ステーションも運ぶ可動部の上に構成されるならば、互いに隣接する同一平面にある対象を、運搬できるようにしてもよい。次に、可動部は、各々の場合において、正確な受け取り位置に運搬ユニットを駆動する。本発明の一実施例が図面に表され、引き続いて、より詳細に説明される。示された図面は以下の通りである。図１は、運搬する半導体チップ又はウェハーからアンダーレイへの型の運搬ユニットを表す斜視図である。図２は、枢動レバーに固定された中間ステーションを通る断面図である。図３は、対象を回転させるときの中間ステーションを表す概略図である。図４は、対象を平面に沿って平行運動するときの中間ステーションを表す概略図である。図５は、対象をクランプするときの中間ステーションの把持手段を通る重み拡大された断面図である。図６は、対象を解放するときの図５に係わる把持手段を表す図である。図７ａ乃至図７ｄは、回転手続きを含んで運搬するときの図１に係わる運搬ユニットの運動コースを表す図である。図８ａ乃至図８ｄは、回転手続きを含まないで運搬するときの図１に係わる運搬ユニットの運動コースを表す図である。図１は、半導体積み込み自動装置の作動ステーションを例として示しており、該装置を用いて収納平面３にクランプされたウェハー２８から個々の半導体チップ１が取り外され、周期的な態様で運搬装置３０に導かれるアンダーレイ２９へと配置されなければならない。これと同時に、アンダーレイ２９は、分配平面５の中で動いている。収納平面３と分配平面５とは、互いに対し直角に並べられているので、配置通路４上の個々の半導体チップ１は、総合で９０度の枢動運動をカバーしなければならない。配置通路は、枢動アーム２４としてここに形成された運搬ユニット２の助けでカバーされる。運搬ユニットは空間軸ｘ、ｙ及びｚに動くことが可能な可動部２７に固定されているので、この運搬ユニットは、収納平面及び又は分配平面上の任意座標の各々まで動くことが可能である。いわゆるダイボンダー（die-bonder）の半導体処理技術は、当該技術分野における当業者に一般に知られているので、ここでは繰り返さない。運搬ユニット２は２つの作動ヘッド、明確には、１つの受け取りヘッド７と１つの分配ヘッド８とを備えている。この２つのヘッドは、互いに対し例えば５０度の工作角度αをなすように配置された同じ枢動平面上の部分アーム２５及び２６に形成されている。枢動アーム２４は例えば４０度の枢動角度βの回りに枢動可能であり、該アームの中では、それらの角度形成運動にある２つのツールヘッド７及び８が、決して重なり合わないが、例えば１０度の相違角度γの回りで互いから距離を隔てた状態に持続的に維持している。受け取りヘッド７及び分配ヘッド８は、さらなる上昇運動が受け取り又は分配のためにカバーされ得るような、それ自体知られている態様で形成されている。これらのヘッドは、空気作用で作動し、真空を用いて配置通路上で半導体チップ１を保持し、若しくは、過剰の圧力を用いてヘッドからチップを解放する。勿論、他の手段、例えば電磁場の手段を用いて対象を把持したり解放したりするヘッドもまた考えられる。枢動アーム２４の駆動は、異なる方法及び態様で実行することができる。好ましくは、枢動運動はゼネバ運動（Geneva motion）により制御されるのがよく、これによって各々の角度位置を非常にゆっくりと移動することができる。しかしながら、このような運動は、当該技術分野の当業者にも知られており、ここでは詳細な説明はしないことにする。配置通路４の領域では、中間ステーション６が引き続いてなお詳細に説明される仕方及び態様で可動部２７に固定されている。この中間ステーションは、その分配把持手段９において、その援助によりクランプされ、エッジ領域で保持される半導体チップ１を有する。枢動角度βをカバーするとき、受け取りヘッド７は、各々の場合において、、分配平面３からのみ中間ステーション６まで半導体チップ１を運搬し、これと同時に分配ヘッド８は中間ステーションから収納平面５まで第２のチップを運搬する。２つのヘッド７及び８の各々が配置通路４の半分を完全に覆わないので、半導体チップを受け取り又は分配するためには、明らかに、中間ステーション６は、同時に相違角度γの回りに動かなければならない。しかしながら、中間ステーションの相対運動が必要とならず、ヘッド７及び８の両方が静止した中間ステーションに到達する応用も考えられる。中間ステーション６が動かされ、同時に相違角度γをカバーする態様によれば、その最上部即ちその動作側で把持された半導体チップ１は、完全に回転されて、その最下部で分配ヘッド８に把持されるか、又は、半導体チップがその相対位置において同じままであって、その最上部即ち動作側で再び分配ヘッド８により把持された状態となる。両方の作動型式は図示された装置で可能であり、転換のためたった一つのハンドグリップのみが要求される。この中間ステーションの機能の詳細は、図２から理解することができる。中間ステーション６は、回転軸１２の回り即ちそれ自身の軸の回りに枢動レバーに回転可能に取り付けられている。回転軸１２は、圧力又は真空を用いた空気作動式の把持手段を供給するためにも機能する中空軸として形成されている。枢動レバー１３は枢動レバー軸１４に接続されており、該枢動レバー軸は、例えばローラーベアリングを介してベアリングスリーブ３２に取り付けられている。この回転駆動は、ベルト駆動手段３４により実行され、該駆動手段は好ましくは枢動アーム２４（図１）の駆動手段に連結されている。枢動レバー軸１４と回転軸１２との間のギア連動した接続は、駆動ホイール１５及び駆動ホイール１７により実行される。これらホイールの回転運動は、同じ方向でなければならないので、それらは歯が付けられたベルト１６（図３及び図４）によって互いに連結される。しかしながら、中間のホイールを適用することも考えられる。駆動ホイール１５は、枢動レバー軸１４に関して、それがフリーホイールを有するような態様でこの枢動レバー軸１４にローラーベアリング３１を介して取り付けられる。しかし、クランプ用ねじ１９によって、駆動ホイール１５は枢動レバー軸１４に正に適合した状態で接続されることができる。しかし、その代わりに、駆動ホイール１５はクランプ用ねじ１８によって取り付けられている枢動レバー軸に関してロックされるようにしてもよい。その代わりに、クランプ用ねじへの係止手段は、勿論、他の設計手段、例えば掛け金器具又はその類似物によっても達成することができる。駆動ホイール１５のこれら２つの作動型式は、図３及び図４に示される中間ステーション６の２つの異なる相対運動を引き起こす。重みを付けて概略化されたこれらの図は、回転軸１２又は枢動レバー軸１４の方向における、駆動ホイール１５、歯が付けられたベルト１６及び駆動ホイール１７を備えた平面図を示している。把持手段の間には、最上部１０及び最下部１１をクランプされた半導体チップ１が存在している。０度、９０度及び１８０度の各々の場合について、枢動レバー１３の３つの枢動位置が表されている。もし駆動ホイール１５がクランプ用ねじによって枢動レバー軸１４に関して係止されたならば、このホイールはこのレバー軸と一緒に枢動し、歯が付けられたベルト１６は駆動ホイール１７にいかなる回転運動も伝達しない。かくして、回転軸１２は静止した状態を保ち、中間ステーション６の位置は、全体として枢動レバー１３に関して変化しない状態に維持される。クランプされていない半導体チップ１は、同時に約１８０度回転されて、最下部１１が上に向いた状態となり、最上部１０が下に向いた状態となる。この配置が図３に表されている。この振る舞いは、駆動ホイール１５がクランプ用ねじ１８によって枢動レバー軸１４の取付部に関して係止されるときには異なる。この場合には、駆動ホイール１７を備えた回転軸１２は、静止した駆動ホイール１７の回りに回転し、このとき歯が付けられたベルト１６を介して相対回転運動が駆動ホイール１７に働かされる。これによって、この伝達比率は、この相対運動を介して中間ステーション６が図４に示すように面平行（plane-parallel）に枢動されるように選択される。９０度位置並びに１８０度位置において、常に最上部１０は上向きであり、最下部は下向きにある。図３及び図４に係わる作動モードの両方において、図１に係る配置通路４に関する中間ステーション６は、１０度の相違角度βをカバーしている。中間ステーションに関する把持手段の詳細は、図２、図５及び図６を介して説明される。杷持手段は、ｃ形状の断面を備えた２つの支持プロフィール２０及び２０’からなり、これらのプロフィールはある距離に並べられ、互いに向き合っている。これらのプロフィールは、その囲いが領域中で切り離されているチューブにより形成されている。同時に、チューブの突出部は、空洞部２３を有するホルダー２２の中に挿入されている。中空軸として形成された回転軸１２は、この空洞部と作動的に接続されている。可撓性チューブ２１が２つの支持プロフィール２０及び２０’へと押し込まれ、これによって、２つの平行なチューブ部分が支持プロフィール上で互いに接続されて弧の形状を呈している。支持プロフィール間の距離は、膨張されたチューブに与えられた半導体チップ１が、図５に示すように平行な側面エッジに把持されるように選択される。もしチューブが真空作用の下で収縮するならば、それは支持プロフィール２０及び２０’の輪郭に適合し、半導体チップ１は解放される（図６）。回転軸１２を介して時間通りに正確な位置で適切な制御を介して圧力及び真空が適用される。４つのシーケンスで続いて示される図７ａ乃至図７ｄによって、いわゆるフリップモードでの装置の作動が説明されており、この場合、その動作側を下向きにした状態の半導体チップがアンダーレイの上に置かれている。図７ａは、受け取りヘッド７がウェハー２８から半導体チップ１を取り上げる作動サイクルを示している。同時に、分配ヘッド８が中間ステーション６において半導体チップを把持している。枢動アーム２４は、４０度のその枢動角度βから始まる。図７ｂでは、枢動アーム２４は２０度の枢動角度の半分をカバーしている。ツールヘッド７及び８の両方は、各々、半導体チップを保持し、中間ステーション６は、受け取り位置に戻るように枢動し、該受け取り位置では、それは図３に係る９０度位置を呈している。実際のこの位置は、作動サイクルに対応していないが、持続的な運動の進路において一度循環するだけである。図７ｃは、完全な枢動角度がカバーされている作動サイクルを示している。分配ヘッド８はその半導体チップを終端位置に運搬し、該終端位置では、この半導体チップを分配平面に分配することができる。同時に、中間ステーション６もまた、受け取り位置に戻って完全に枢動され、次いで、受け取りヘッド７により正確な位置に容易に配置される半導体チップをその把持手段を用いて引き取ることができる。図７ｄは、図７ｂと同様に、枢動角度の半分を戻って枢動したときの枢動アーム２４を示している。しかしながら、受け取りヘッド７及び分配ヘッド８は、空である。チップを搭載した中間ステーション６は、受け取り位置に戻るように枢動し、これと共に半導体チップのヘッドの向きを変える。最後に、図７ａに係わる位置が再び採用されて、この位置で運搬手続きが新たに開始される。図８ａ乃至図８ｄは、通常の動作における運搬運動を示しており、これは半導体チップのヘッドの向きを変えないことを意味している。図８ａに係わる最初の位置は、基本的に図７と同様である。受け取りヘッド７は、ウェハー２８から半導体チップ１を取り外し、分配ヘッド８は、この地点まで中間ステーション６にクランプされた半導体チップを把持する。枢動アーム２４が図８ｂに係わる枢動角度の半分を枢動したとき、ヘッド７及び８の両方が半導体チップを搭載し、空の中間ステーションが枢動する。しかし、ここにおいて枢動運動はギアにより補償され、中間ステーションは図４に係わる９０度位置を呈する。図８ｃによれば、分配ヘッド８がその分配位置まで達し、中間ステーション６が受け取りヘッド７に半導体チップを受け取る準備が整う。図８ｄに係る枢動アーム２４が枢動すると、搭載された中間ステーション６も受け取り位置にまで再び枢動するが、しかし半導体チップを回転させないで枢動する。図８ａに表されたように、半導体チップは、分配ヘッド８によりその最上部で引き続いて再び把持され、さらに運搬され、最終的に、その最下部でアンダーレイの上へと分配される。

【手続補正書】【提出日】１９９８年９月２日（１９９８．９．２）【補正内容】（１）翻訳文第６ページ第７行目〜同ページ第９行目の『分配平面３からのみ中間ステーション６まで半導体チップ１を運搬し、これと同時に分配ヘッド８は中間ステーションから収納平面５まで第２のチップを運搬する。』を以下の通りに改める。『収納平面３からのみ中間ステーション６まで半導体チップ１を運搬し、これと同時に分配ヘッド８は中間ステーションから分配平面５まで第２のチップを運搬する。』（２）翻訳文第７ページ第３行目〜同ページ第５行目の『駆動ホイール１５は、枢動レバー軸１４に関して、それがフリーホイールを有するような態様でこの枢動レバー軸１４にローラーベアリング３１を介して取り付けられる。』を以下の通りに改める。『駆動ホイール１５は、枢動レバー軸１４に関して、それが自由に回転可能であるような態様でこの枢動レバー軸１４にローラーベアリング３１を介して取り付けられる。』（３）翻訳文第８ページ第４行目の『相違角度β』を『相違角度γ』に改める。（４）特許請求の範囲の翻訳文を別紙の通りに改める。（請求項６のみを変更し、他の請求項は変更しない）請求の範囲１．作動ステーション、特に可動の運搬ユニット（２）を備えた半導体チップ積み込み自動装置において、好ましくは平坦な対象（１）を周期的に受け取り、配置し、預ける方法であって、前記対象は、前記運搬ユニットによって収納平面（３）から一表面に受け取られ、配置通路（４）を通過して分配平面（５）へと移動されて、該分配平面に配置され、前記対象（１）は、２つの配置サイクルで前記通路（４）をカバーし、これらの配置サイクルの間に前記対象は、把持手段（９）を介して本質的に側面から前記配置通路の領域に並べられた中間ステーション（６）で保持され、前記運搬ユニット（２）は、各々の場合において同時に、収納平面（３）から中間ステーション（６）まで、及び中間ステーション（６）から分配平面（５）まで対象を運搬し、中間ステーション（６）における対象（１）の相対的側面位置は、配置サイクルの間で選択的に変えられることを特徴とする、前記方法。２．収納平面（３）における対象（１）は、最上部（１０）で把持されて、中間ステーション（６）まで運搬され、任意の空間軸の回りを前記中間ステーションにおいて回転又は枢動されて最下部で把持され、最上部で分配平面（５）へと分配されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。３．前記分配平面に関するその相対位置にある中間ステーション（６）での前記対象は、前記対象がクランプされる受け取り位置と前記対象が分配される分配位置との間で前方に移動されることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。４．中間ステーション（６）における前記対象は、可撓性のあるチューブ部分がクランプのときは膨張し解放のときは収縮する空気作用によって作動可能なクランプ用器具を介して保持されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の方法。５．中間ステーション（６）における前記対象は、クランプ用ジョーズを介して保持されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の方法。６．作動ステーション、特に可動の運搬ユニット（２）を備えた半導体チップ積み込み自動装置において、好ましくは平坦な対象（１）を周期的に受け取り、配置し、預ける装置であって、前記対象（１）は、前記運搬ユニットによって前記収納平面（３）から一表面に受け取られ、配置通路（４）を通過して分配平面（５）へと移動されて、該分配平面に配置され、各々の場合における運搬ユニット（２）は、受け取りヘッド（７）と分配ヘッド（８）とを有し、配置通路（８）の領域には、本質的に側面から対象（１）を把持し、且つ、対象（１）の相対的側面位置を選択的に変えることができる把持手段（９）を有する中間ステーション（６）が構成されており、受け取りヘッド（７）が収納平面（３）から前記中間ステーションまで対象を運搬すると同時に、分配ヘッド（８）が前記中間ステーションから分配平面（５）まで対象を運搬するような態様で運搬ユニット（２）を動かすことが可能であることを特徴とする、前記装置。７．中間ステーション（６）は、対象（１）が、最上部（１０）で受け取りヘッド(7)により把持されて把持手段の中にクランプされることができ、最下部（１１）で分配ヘッド（８）により把持されて把持手段（９）から取り外されることができるような態様で、任意の空間軸の回りを回転可能及び又は枢動可能に取り付けられていることを特徴とする、請求項６に記載の装置。８．中間ステーション（６）は、その部分に対して枢動レバー軸（１４）の回りを枢動可能である枢動レバー（１３）に枢動可能に取り付けられ、前記枢動レバー軸は、歯に連動する態様で、且つ、前記枢動レバーを枢動したときに回転軸が選択的に静止した状態を維持し又は回転するような態様で回転軸に接続されていることを特徴とする、請求項７に記載の装置。９．回転軸の歯に適合する駆動ホイール（１５）が枢動レバー軸（１４）に取り付けられ、このホイールは、枢動レバー軸（１４）又は前記枢動レバー軸のためのベアリングに関して係止可能であることを特徴とする、請求項８に記載の装置。１０．前記回転軸の歯は、歯が付けられたベルトの歯であることを特徴とする、請求項９に記載の装置。１１．前記把持手段（９）は、少なくとも一つの接触表面を有し、該接触表面は、対象（１）を把持するときには圧力作用の下で膨張することができ、対象（１）を解放するときには真空作用の下で収縮することができることを特徴とする、請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載の装置。１２．前記把持手段は正の係止手段を有することを特徴とする、請求項１１に記載の装置。１３．前記把持手段（９）はある距離に並べられた２つの支持プロフィール（２０，２０'）を有し、前記可撓性の接触表面は、前記支持プロフィールの上で押されるチューブ状部分（２１）により形成されていることを特徴とする、請求項１１に記載の装置。１４．前記支持プロフィール（２０，２０'）はホルダー（２２）に一方の側で固定され、前記チューブ状部分（２１）は前記ホルダー内の空洞部（２３）に作動的に接続され、前記ホルダーは、中空軸として形成された回転軸（１２）の回りを回転可能であり、該中空軸を介して中空の空間（２３）が圧力源又は真空源と接続することができることを特徴とする、請求項１３に記載の装置。１５．収納平面（３）と分配平面（５）とは好ましくは９０度の角度で互いに対し傾斜され、前記運搬ユニット（２）は枢動アーム（２４）として形成され、該枢動アームには、同じ枢動平面において受け取りヘッド（７）と分配ヘッド（８）とが互いに角度をなして配置、構成されていることを特徴とする、請求項６乃至請求項１４のいずれか１項に記載の装置。１６．枢動アーム（２４）は、様々な空間軸（ｘ、ｙ、ｚ）で可動であって、中間ステーション（６）も運搬するホルダー（２７）上に形成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。

Claims

【特許請求の範囲】１．作動ステーション、特に可動の運搬ユニット（２）を備えた半導体チップ積み込み自動装置において、好ましくは平坦な対象（１）を周期的に受け取り、配置し、預ける方法であって、前記対象は、前記運搬ユニットによって収納平面（３）から一表面に受け取られ、配置通路（４）を通過して分配平面（５）へと移動されて、該分配平面に配置され、前記対象（１）は、２つの配置サイクルで前記通路（４）をカバーし、これらの配置サイクルの間に前記対象は、把持手段（９）を介して本質的に側面から前記配置通路の領域に並べられた中間ステーション（６）で保持され、前記運搬ユニット（２）は、各々の場合において同時に、収納平面（３）から中間ステーション（６）まで、及び中間ステーション（６）から分配平面（５）まで対象を運搬し、中間ステーション（６）における対象（１）の相対的側面位置は、配置サイクルの間で選択的に変えられることを特徴とする、前記方法。２．収納平面（３）における対象（１）は、最上部（１０）で把持されて、中間ステーション（６）まで運搬され、任意の空間軸の回りを前記中間ステーションにおいて回転又は枢動されて最下部で把持され、最上部で分配平面（５）へと分配されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。３．前記分配平面に関するその相対位置にある中間ステーション（６）での前記対象は、前記対象がクランプされる受け取り位置と前記対象が分配される分配位置との間で前方に移動されることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。４．中間ステーション（６）における前記対象は、可撓性のあるチューブ部分がクランプのときは膨張し解放のときは収縮する空気作用によって作動可能なクランプ用器具を介して保持されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の方法。５．中間ステーション（６）における前記対象は、クランプ用ジョーズを介して保持されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の方法。６．作動ステーション、特に可動の運搬ユニット（２）を備えた半導体チップ積み込み自動装置において、好ましくは平坦な対象（１）を周期的に受け取り、配置し、預ける装置であって、前記対象（１）は、前記運搬ユニットによって前記収納平面（３）から一表面に受け取られ、配置通路（４）を通過して分配平面（５）へと移動されて、該分配平面に配置され、各々の場合における運搬ユニット（２）は、受け取りヘッド（７）と分配ヘッド（８）とを有し、配置通路（８）の領域には、本質的に側面から対象（１）を把持する把持手段（９）を有する中間ステーション（６）が構成されており、受け取りヘッド（７）が収納平面（３）から前記中間ステーションまで対象を運搬すると共に、分配ヘッド（８）が前記中間ステーションから分配平面（５）まで対象を運搬するような態様で運搬ユニット（２）を動かすことが可能であり、この場合に対象（１）の相対的側面位置を選択的に変えることができることを特徴とする、前記装置。７．中間ステーション（６）は、対象（１）が、最上部（１０）で受け取りヘッド（７）により把持されて把持手段の中にクランプされることができ、最下部（１１）で分配ヘッド（８）により把持されて把持手段（９）から取り外されることができるような態様で、任意の空間軸の回りを回転可能及び又は枢動可能に取り付けられていることを特徴とする、請求項６に記載の装置。８．中間ステーション（６）は、その部分に対して枢動レバー軸（１４）の回りを枢動可能である枢動レバー（１３）に枢動可能に取り付けられ、前記枢動レバー軸は、歯に連動する態様で、且つ、前記枢動レバーを枢動したときに回転軸が選択的に静止した状態を維持し又は回転するような態様で回転軸に接続されていることを特徴とする、請求項７に記載の装置。９．回転軸の歯に適合する駆動ホイール（１５）が枢動レバー軸（１４）に取り付けられ、このホイールは、枢動レバー軸（１４）又は前記枢動レバー軸のためのベアリングに関して係止可能であることを特徴とする、請求項８に記載の装置。１０．前記回転軸の歯は、歯が付けられたベルトの歯であることを特徴とする、請求項９に記載の装置。１１．前記把持手段（９）は、少なくとも一つの接触表面を有し、該接触表面は、対象（１）を把持するときには圧力作用の下で膨張することができ、対象（１）を解放するときには真空作用の下で収縮することができることを特徴とする、請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載の装置。１２．前記把持手段は正の係止手段を有することを特徴とする、請求項１１に記載の装置。１３．前記把持手段（９）はある距離に並べられた２つの支持プロフィール（２０，２０'）を有し、前記可撓性の接触表面は、前記支持プロフィールの上で押されるチューブ状部分(21)により形成されていることを特徴とする、請求項１１に記載の装置。１４．前記支持プロフィール（２０，２０'）はホルダー（２２）に一方の側で固定され、前記チューブ状部分（２１）は前記ホルダー内の空洞部（２３）に作動的に接続され、前記ホルダーは、中空軸として形成された回転軸（１２）の回りを回転可能であり、該中空軸を介して中空の空間（２３）が圧力源又は真空源と接続することができることを特徴とする、請求項１３に記載の装置。１５．収納平面（３）と分配平面（５）とは好ましくは９０度の角度で互いに対し傾斜され、前記運搬ユニット（２）は枢動アーム（２４）として形成され、該枢動アームには、同じ枢動平面において受け取りヘッド（７）と分配ヘッド（８）とが互いに角度をなして配置、構成されていることを特徴とする、請求項６乃至請求項１４のいずれか１項に記載の装置。１６．枢動アーム（２４）は、様々な空間軸（ｘ、ｙ、ｚ）で可動であって、中間ステーション（６）も運搬するホルダー（２７）上に形成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。