JP2000195922A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
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- JP2000195922A JP2000195922A JP36970998A JP36970998A JP2000195922A JP 2000195922 A JP2000195922 A JP 2000195922A JP 36970998 A JP36970998 A JP 36970998A JP 36970998 A JP36970998 A JP 36970998A JP 2000195922 A JP2000195922 A JP 2000195922A
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- JP
- Japan
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- arm
- rotated
- wafer
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 側方（水平方向）に占める空間を小さくし、
よってスペースの無駄をなくすことのできるウエハ搬送
装置を提供する。 【解決手段】 コントローラ６で第一モーター２ａと第
二モーター３ａとを同期して回転させて、昇降ロッド２
を昇降動させると共に回動アーム３を垂直平面上を回動
させ、継ぎ手４の下端部の軸心４ｂを水平ラインＬに沿
った進退動とし、把持アーム５でウエハＷを搬送するこ
とによって、回動アーム３等の側方への突出を抑制す
る。
よってスペースの無駄をなくすことのできるウエハ搬送
装置を提供する。 【解決手段】 コントローラ６で第一モーター２ａと第
二モーター３ａとを同期して回転させて、昇降ロッド２
を昇降動させると共に回動アーム３を垂直平面上を回動
させ、継ぎ手４の下端部の軸心４ｂを水平ラインＬに沿
った進退動とし、把持アーム５でウエハＷを搬送するこ
とによって、回動アーム３等の側方への突出を抑制す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハを、
例えばキャリアからアライナに搬送する場合に使用する
ウエハ搬送装置に関するものである。
例えばキャリアからアライナに搬送する場合に使用する
ウエハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハを、例えばキャリア
からアライナに搬送する搬送装置として、図３に示すも
のがある。この搬送装置は、本体部７に第一水平アーム
８を回動自在に設け、その第一水平アーム８の先端部に
第二水平アーム９を回動自在に設け、さらにその第二水
平アーム９の先端部に垂直アーム１０を回転自在に立設
し、その垂直アーム１０にウエハＷを保持する保持腕１
１を回転自在に設けて構成している。
からアライナに搬送する搬送装置として、図３に示すも
のがある。この搬送装置は、本体部７に第一水平アーム
８を回動自在に設け、その第一水平アーム８の先端部に
第二水平アーム９を回動自在に設け、さらにその第二水
平アーム９の先端部に垂直アーム１０を回転自在に立設
し、その垂直アーム１０にウエハＷを保持する保持腕１
１を回転自在に設けて構成している。
【０００３】そして、ウエハＷを例えばキャリアからア
ライナに搬送する場合は、保持腕１１で垂直方向にある
ウエハＷを保持した後、水平方向に９０度回転させると
共に前進してアライナへ搬送する。この搬送は、第一水
平アーム８と第二水平アーム９を水平平面上を回動させ
ることによって達成するものとしている。
ライナに搬送する場合は、保持腕１１で垂直方向にある
ウエハＷを保持した後、水平方向に９０度回転させると
共に前進してアライナへ搬送する。この搬送は、第一水
平アーム８と第二水平アーム９を水平平面上を回動させ
ることによって達成するものとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のウエハ搬送装置は、ウエハＷを搬送するため
に、第一水平アーム８と第二水平アーム９の双方を水平
平面上で回動させるものとしているので、常時、第一水
平アーム８と第二水平アーム９の双方が、本体部７から
側方へ突出する。また、ウエハＷを搬送する際、これら
第一水平アーム８と第二水平アーム９は、水平平面上を
回動するので、本体部７からウエハＷの搬送方向に突出
するのみでなく、搬送方向以外へも大きく突出すること
になる。その結果、ウエハ搬送装置が占める水平方向の
空間が大きくなってしまい、スペースが無駄となるとい
った問題が発生する。
た従来のウエハ搬送装置は、ウエハＷを搬送するため
に、第一水平アーム８と第二水平アーム９の双方を水平
平面上で回動させるものとしているので、常時、第一水
平アーム８と第二水平アーム９の双方が、本体部７から
側方へ突出する。また、ウエハＷを搬送する際、これら
第一水平アーム８と第二水平アーム９は、水平平面上を
回動するので、本体部７からウエハＷの搬送方向に突出
するのみでなく、搬送方向以外へも大きく突出すること
になる。その結果、ウエハ搬送装置が占める水平方向の
空間が大きくなってしまい、スペースが無駄となるとい
った問題が発生する。
【０００５】そこで、本発明の目的とするところは、水
平方向に占める空間を小さくすることによってスペース
の無駄をなくすことのできるウエハ搬送装置を提供する
ことにある。
平方向に占める空間を小さくすることによってスペース
の無駄をなくすことのできるウエハ搬送装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に記載のウエハ搬送装置は、装
置本体（１）に取付けられ、第一モーター（２ａ）によ
って昇降動自在とされた昇降ロッド（２）と、その昇降
ロッド（２）の上端部に取付けられ、第二モーター（３
ａ）によって垂直平面上を時計回り方向および反時計回
り方向に回動自在とされた回動アーム（３）と、その回
動アーム（３）の上端部に取付けられ、当該回動アーム
（３）に連結されたリンク機構（４ａ）によって、常に
垂直姿勢を維持する継ぎ手（４）と、その継ぎ手（４）
の上端部に取付けられ、回動アーム（３）の回動軸に直
角な水平軸の周りに第三モーター（５ａ）によって回動
自在とされ、ウエハ（Ｗ）を垂直姿勢、水平姿勢または
その間の姿勢で把持する把持アーム（５）と、および、
装置本体（１）に設けられ、第一モーター（２ａ）、第
二モーター（３ａ）および第三モーター（５ａ）を制御
するコントローラ（６）と、を備え、コントローラ
（６）で第一モーター（２ａ）と第二モーター（３ａ）
とを同期して回転させて、昇降ロッド（２）の昇降動と
回動アーム（３）の回動とを同期させ、継ぎ手（４）の
下端部の軸心（４ｂ）を水平ライン（Ｌ）に沿った進退
動とし、把持アーム（５）でウエハ（Ｗ）を搬送してな
ることを特徴とする。
めに、本発明の請求項１に記載のウエハ搬送装置は、装
置本体（１）に取付けられ、第一モーター（２ａ）によ
って昇降動自在とされた昇降ロッド（２）と、その昇降
ロッド（２）の上端部に取付けられ、第二モーター（３
ａ）によって垂直平面上を時計回り方向および反時計回
り方向に回動自在とされた回動アーム（３）と、その回
動アーム（３）の上端部に取付けられ、当該回動アーム
（３）に連結されたリンク機構（４ａ）によって、常に
垂直姿勢を維持する継ぎ手（４）と、その継ぎ手（４）
の上端部に取付けられ、回動アーム（３）の回動軸に直
角な水平軸の周りに第三モーター（５ａ）によって回動
自在とされ、ウエハ（Ｗ）を垂直姿勢、水平姿勢または
その間の姿勢で把持する把持アーム（５）と、および、
装置本体（１）に設けられ、第一モーター（２ａ）、第
二モーター（３ａ）および第三モーター（５ａ）を制御
するコントローラ（６）と、を備え、コントローラ
（６）で第一モーター（２ａ）と第二モーター（３ａ）
とを同期して回転させて、昇降ロッド（２）の昇降動と
回動アーム（３）の回動とを同期させ、継ぎ手（４）の
下端部の軸心（４ｂ）を水平ライン（Ｌ）に沿った進退
動とし、把持アーム（５）でウエハ（Ｗ）を搬送してな
ることを特徴とする。
【０００７】また、請求項２に記載のウエハ搬送装置
は、請求項１に記載の発明において、コントローラ
（６）による制御を、把持アーム（５）を前進動させる
場合には、第一モーター（２ａ）を正回転させるに同期
して第二モーター（３ａ）を正回転させて、昇降ロッド
（２）を下降させると共に、回動アーム（３）を時計回
り方向へ回動させて垂直起立姿勢とし、引き続き、第一
モーター（２ａ）を逆回転させるに同期して前記第二モ
ーター（３ａ）をそのまま正回転させて、昇降ロッド
（２）を上昇させると共に、回動アーム（３）をそのま
ま時計回り方向へ回動させて前方傾斜姿勢とし、また、
把持アーム（５）を後退動させる場合には、第一モータ
ー（２ａ）を正回転させるに同期して第二モーター（３
ａ）を逆回転させて、昇降ロッド（２）を下降させると
共に、回動アーム（３）を反時計回り方向へ回動させて
垂直起立姿勢とし、引き続き、第一モーター（２ａ）を
逆回転させるに同期して第二モータ（３ａ）をそのまま
逆回転させて、昇降ロッド（２）を上昇させると共に、
回動アーム（３）をそのまま反時計回り方向に回動させ
て後方傾斜姿勢としてなることを特徴とする。
は、請求項１に記載の発明において、コントローラ
（６）による制御を、把持アーム（５）を前進動させる
場合には、第一モーター（２ａ）を正回転させるに同期
して第二モーター（３ａ）を正回転させて、昇降ロッド
（２）を下降させると共に、回動アーム（３）を時計回
り方向へ回動させて垂直起立姿勢とし、引き続き、第一
モーター（２ａ）を逆回転させるに同期して前記第二モ
ーター（３ａ）をそのまま正回転させて、昇降ロッド
（２）を上昇させると共に、回動アーム（３）をそのま
ま時計回り方向へ回動させて前方傾斜姿勢とし、また、
把持アーム（５）を後退動させる場合には、第一モータ
ー（２ａ）を正回転させるに同期して第二モーター（３
ａ）を逆回転させて、昇降ロッド（２）を下降させると
共に、回動アーム（３）を反時計回り方向へ回動させて
垂直起立姿勢とし、引き続き、第一モーター（２ａ）を
逆回転させるに同期して第二モータ（３ａ）をそのまま
逆回転させて、昇降ロッド（２）を上昇させると共に、
回動アーム（３）をそのまま反時計回り方向に回動させ
て後方傾斜姿勢としてなることを特徴とする。
【０００８】なお、カッコ内の記号は図面および後述す
る発明の実施の形態に記載された対応要素または対応事
項を示す。
る発明の実施の形態に記載された対応要素または対応事
項を示す。
【０００９】本発明の請求項１に記載のウエハ搬送装置
によれば、コントローラで第一モーターと第二モーター
とを同期して回転させて、昇降ロッドを昇降動させると
共に回動アームを垂直平面上を回動させ、継ぎ手の下端
部の軸心を水平ラインに沿って進退動させることによっ
て、把持アームでウエハを搬送することとしている。す
なわち、昇降ロッドを垂直方向へ昇降動させると共に回
動アームを垂直平面上を回動させることによって、把持
アームを進退動させてウエハを搬送することとしてい
る。従って、昇降ロッドは装置本体から側方（水平方
向）へ突出しない。また、回動アームも搬送方向のみに
突出するのみで、それ以外の方向へは突出しない。よっ
て、水平方向の空間を無駄にすることがない。
によれば、コントローラで第一モーターと第二モーター
とを同期して回転させて、昇降ロッドを昇降動させると
共に回動アームを垂直平面上を回動させ、継ぎ手の下端
部の軸心を水平ラインに沿って進退動させることによっ
て、把持アームでウエハを搬送することとしている。す
なわち、昇降ロッドを垂直方向へ昇降動させると共に回
動アームを垂直平面上を回動させることによって、把持
アームを進退動させてウエハを搬送することとしてい
る。従って、昇降ロッドは装置本体から側方（水平方
向）へ突出しない。また、回動アームも搬送方向のみに
突出するのみで、それ以外の方向へは突出しない。よっ
て、水平方向の空間を無駄にすることがない。
【００１０】また、請求項２に記載の発明によれば、請
求項１に記載の発明の作用効果に加えて、コントローラ
によって第一モーターと第二モーターを正回転または逆
回転させて、昇降ロッドの昇降動と回動アームの回動を
制御している。従って、継ぎ手の下端部の軸心が水平ラ
インに沿って確実に進退動し、把持アームによるウエハ
の搬送が水平ラインに平行に行われる。その結果、ウエ
ハの搬送が円滑に達成される。
求項１に記載の発明の作用効果に加えて、コントローラ
によって第一モーターと第二モーターを正回転または逆
回転させて、昇降ロッドの昇降動と回動アームの回動を
制御している。従って、継ぎ手の下端部の軸心が水平ラ
インに沿って確実に進退動し、把持アームによるウエハ
の搬送が水平ラインに平行に行われる。その結果、ウエ
ハの搬送が円滑に達成される。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１および図２を参照して、本発
明の実施形態に係るウエハ搬送装置について説明する。
図１はウエハ搬送装置によってウエハＷを搬送する状態
を示す側面図で、図２はウエハ搬送装置の構造をより詳
細に示す部分断面側面図である。
明の実施形態に係るウエハ搬送装置について説明する。
図１はウエハ搬送装置によってウエハＷを搬送する状態
を示す側面図で、図２はウエハ搬送装置の構造をより詳
細に示す部分断面側面図である。
【００１２】本発明の実施形態に係るウエハ搬送装置
は、半導体ウエハＷを例えばキャリアからアライナに搬
送する場合に使用されるものである。このウエハ搬送装
置の昇降ロッド２は、装置本体１に取付けられ、第一モ
ーター２ａによって昇降動自在とされている。第一モー
ター２ａが回転すると、ベルト２ｂおよびプーリー２ｃ
を介してスクリューボルト２ｅが回転し、このスクリュ
ーボルト２ｅに螺合しているダイ２ｄが昇降動する。こ
れによってダイ２ｄに固定されている昇降ロッド２も昇
降動する。
は、半導体ウエハＷを例えばキャリアからアライナに搬
送する場合に使用されるものである。このウエハ搬送装
置の昇降ロッド２は、装置本体１に取付けられ、第一モ
ーター２ａによって昇降動自在とされている。第一モー
ター２ａが回転すると、ベルト２ｂおよびプーリー２ｃ
を介してスクリューボルト２ｅが回転し、このスクリュ
ーボルト２ｅに螺合しているダイ２ｄが昇降動する。こ
れによってダイ２ｄに固定されている昇降ロッド２も昇
降動する。
【００１３】回動アーム３は、昇降ロッド２の上端部に
下端部が取付けられ、当該下端部に設けられた第二モー
ター３ａによって垂直平面上を時計回り方向および反時
計回り方向に回動自在とされている。回動角度は、垂直
ラインから時計回り方向および反時計回り方向へそれぞ
れ６０°に設定されている。継ぎ手４は、回動アーム３
の上端部に下端部が取付けられ、回動アーム３に連結さ
れた通常のリンク機構４ａによって、常に垂直姿勢を維
持するように設定されている。
下端部が取付けられ、当該下端部に設けられた第二モー
ター３ａによって垂直平面上を時計回り方向および反時
計回り方向に回動自在とされている。回動角度は、垂直
ラインから時計回り方向および反時計回り方向へそれぞ
れ６０°に設定されている。継ぎ手４は、回動アーム３
の上端部に下端部が取付けられ、回動アーム３に連結さ
れた通常のリンク機構４ａによって、常に垂直姿勢を維
持するように設定されている。
【００１４】把持アーム５は、基端部が継ぎ手４の上端
部に取付けられ、第三モーター５ａによって回動アーム
３の回動軸に直角な水平軸の周りに回動自在とされ、ウ
エハＷを垂直姿勢、水平姿勢またはその間の姿勢で把持
する。把持アーム５は、略Ｙ字形状で先端部の二個所
（二又部）と基端部の一個所でウエハＷの周端を把持す
るものとしている。従って、例えばウエハＷの表面を吸
着保持する搬送装置等と比較して汚れが伝染しないの
で、性能的に優れるという特性を有する。
部に取付けられ、第三モーター５ａによって回動アーム
３の回動軸に直角な水平軸の周りに回動自在とされ、ウ
エハＷを垂直姿勢、水平姿勢またはその間の姿勢で把持
する。把持アーム５は、略Ｙ字形状で先端部の二個所
（二又部）と基端部の一個所でウエハＷの周端を把持す
るものとしている。従って、例えばウエハＷの表面を吸
着保持する搬送装置等と比較して汚れが伝染しないの
で、性能的に優れるという特性を有する。
【００１５】コントローラ６（ＣＰＵ）は、装置本体１
に内蔵され、第一モーター２ａ、第二モーター３ａおよ
び第三モーター５ａを制御する。このコントローラ６で
第一モーター２ａと第二モーター３ａとを同期して回転
させて、昇降ロッド２の昇降動と回動アーム３の回動と
を同期させて行う。これにより、継ぎ手４の下端部の軸
心４ｂの進退動を図１に示すように水平ラインＬに沿っ
たものとし、こうした水平方向の動きのもとに、把持ア
ーム５でウエハＷを搬送する。
に内蔵され、第一モーター２ａ、第二モーター３ａおよ
び第三モーター５ａを制御する。このコントローラ６で
第一モーター２ａと第二モーター３ａとを同期して回転
させて、昇降ロッド２の昇降動と回動アーム３の回動と
を同期させて行う。これにより、継ぎ手４の下端部の軸
心４ｂの進退動を図１に示すように水平ラインＬに沿っ
たものとし、こうした水平方向の動きのもとに、把持ア
ーム５でウエハＷを搬送する。
【００１６】上記コントローラ６による制御を、図１を
参照して、本搬送装置の動作と共に詳述する。まず、把
持アーム５でウエハＷを垂直姿勢で把持した後（図１
（ａ）参照）、該把持アーム５を前進動させるには、第
一モーター２ａを正回転させるに同期して第二モーター
３ａを正回転させて、昇降ロッド２を下降させると共
に、回動アーム３を時計回り方向へ回動させる。これに
よって回動アーム３を垂直起立姿勢とする（図１
（ｂ））。なお、この間に、コントローラ６からの信号
によって第三モーター５ａを回転させて把持アーム５を
９０°回転し、ウエハＷを垂直姿勢から水平姿勢に変え
る。
参照して、本搬送装置の動作と共に詳述する。まず、把
持アーム５でウエハＷを垂直姿勢で把持した後（図１
（ａ）参照）、該把持アーム５を前進動させるには、第
一モーター２ａを正回転させるに同期して第二モーター
３ａを正回転させて、昇降ロッド２を下降させると共
に、回動アーム３を時計回り方向へ回動させる。これに
よって回動アーム３を垂直起立姿勢とする（図１
（ｂ））。なお、この間に、コントローラ６からの信号
によって第三モーター５ａを回転させて把持アーム５を
９０°回転し、ウエハＷを垂直姿勢から水平姿勢に変え
る。
【００１７】引き続き、第一モーター２ａを上記とは逆
に逆回転させるに同期して第二モーター３ａをそのまま
正回転させて、昇降ロッド２を上昇させると共に、回動
アーム３をそのまま時計回り方向へ回動させて前方傾斜
姿勢とする（図１（ｃ））。そして、コントローラ６か
らの信号によってウエハＷを把持アーム５から離脱させ
てアライナに載置し、ウエハＷの搬送を完了する。
に逆回転させるに同期して第二モーター３ａをそのまま
正回転させて、昇降ロッド２を上昇させると共に、回動
アーム３をそのまま時計回り方向へ回動させて前方傾斜
姿勢とする（図１（ｃ））。そして、コントローラ６か
らの信号によってウエハＷを把持アーム５から離脱させ
てアライナに載置し、ウエハＷの搬送を完了する。
【００１８】新たなウエハＷを搬送するために、把持ア
ーム５を後退動させるには、図１（ｃ）に示す姿勢か
ら、まず、第一モーター２ａを正回転させるに同期して
第二モーター３ａを逆回転させて、昇降ロッド２を下降
させると共に、回動アーム３を反時計回り方向へ回動さ
せる。これによって回動アーム３を垂直起立姿勢とする
（図１（ｂ））。
ーム５を後退動させるには、図１（ｃ）に示す姿勢か
ら、まず、第一モーター２ａを正回転させるに同期して
第二モーター３ａを逆回転させて、昇降ロッド２を下降
させると共に、回動アーム３を反時計回り方向へ回動さ
せる。これによって回動アーム３を垂直起立姿勢とする
（図１（ｂ））。
【００１９】続いて、第一モーター２ａを上記とは反対
に逆回転させるに同期して第二モーター３ａをそのまま
逆回転させて、昇降ロッド２を上昇させると共に、回動
アーム３をそのまま反時計回り方向に回動させて後方傾
斜姿勢とする（図１（ｃ））。その後、所定の動作を行
って、キャリア内のウエハＷを把持して前記した動作を
行う。こうした一連の動作を繰り返すことによって、ウ
エハＷを連続的に搬送することとしている。
に逆回転させるに同期して第二モーター３ａをそのまま
逆回転させて、昇降ロッド２を上昇させると共に、回動
アーム３をそのまま反時計回り方向に回動させて後方傾
斜姿勢とする（図１（ｃ））。その後、所定の動作を行
って、キャリア内のウエハＷを把持して前記した動作を
行う。こうした一連の動作を繰り返すことによって、ウ
エハＷを連続的に搬送することとしている。
【００２０】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の請求項１に記載
のウエハ搬送装置によれば、昇降ロッドを垂直方向へ昇
降動させると共に回動アームを垂直平面上を回動させる
ことによって、把持アームを進退動させてウエハを搬送
することとしている。従って、昇降ロッドは装置本体か
ら側方（水平方向）へ突出しない。また、回動アームも
搬送方向のみに突出するのみで、それ以外の方向へは突
出しない。その結果、水平方向の空間を無駄にすること
がなく、限られた室内空間を有効に活用することができ
る。
のウエハ搬送装置によれば、昇降ロッドを垂直方向へ昇
降動させると共に回動アームを垂直平面上を回動させる
ことによって、把持アームを進退動させてウエハを搬送
することとしている。従って、昇降ロッドは装置本体か
ら側方（水平方向）へ突出しない。また、回動アームも
搬送方向のみに突出するのみで、それ以外の方向へは突
出しない。その結果、水平方向の空間を無駄にすること
がなく、限られた室内空間を有効に活用することができ
る。
【００２１】また、請求項２に記載の発明によれば、請
求項１に記載の発明の作用効果に加えて、コントローラ
によって第一モーターと第二モーターを正回転または逆
回転させて、昇降ロッドの昇降動と回動アームの回動を
制御している。従って、継ぎ手の軸心が水平ラインに沿
って確実に進退動し、把持アームによるウエハの搬送が
水平ラインに平行に行われる。その結果、ウエハの搬送
が円滑に達成される。
求項１に記載の発明の作用効果に加えて、コントローラ
によって第一モーターと第二モーターを正回転または逆
回転させて、昇降ロッドの昇降動と回動アームの回動を
制御している。従って、継ぎ手の軸心が水平ラインに沿
って確実に進退動し、把持アームによるウエハの搬送が
水平ラインに平行に行われる。その結果、ウエハの搬送
が円滑に達成される。
【図１】本発明の実施形態に係るウエハ搬送装置の動作
を示すもので、（ａ）は回動アームが後方傾斜姿勢にあ
る状態を示す側面図、（ｂ）は回動アームが垂直起立姿
勢にある状態を示す側面図、（ｃ）は回動アームが前方
傾斜姿勢にある状態を示す側面図である。
を示すもので、（ａ）は回動アームが後方傾斜姿勢にあ
る状態を示す側面図、（ｂ）は回動アームが垂直起立姿
勢にある状態を示す側面図、（ｃ）は回動アームが前方
傾斜姿勢にある状態を示す側面図である。
【図２】図１に示すウエハ搬送装置をより詳細に示す部
分断面側面図である。
分断面側面図である。
【図３】従来例に係るウエハ搬送装置を示す斜視図であ
る。
る。
１ 装置本体 ２ 昇降ロッド ２ａ 第一モーター ２ｂ ベルト ２ｃ プーリー ２ｄ ダイ ２ｅ スクリューボルト ３ 回動アーム ３ａ 第二モーター ４ 継ぎ手 ４ａ リンク機構 ４ｂ 軸心 ５ 把持アーム ５ａ 第三モーター ６ コントローラ ７ 本体部 ８ 第一水平アーム ９ 第二水平アーム １０ 垂直アーム １１ 保持腕 Ｗ ウエハ Ｌ 水平ライン
Claims (2)
- 【請求項１】装置本体に取付けられ、第一モーターによ
って昇降動自在とされた昇降ロッドと、 前記昇降ロッドの上端部に取付けられ、第二モーターに
よって垂直平面上を時計回り方向および反時計回り方向
に回動自在とされた回動アームと、 前記回動アームの上端部に取付けられ、該回動アームに
連結されたリンク機構によって、常に垂直姿勢を維持す
る継ぎ手と、 前記継ぎ手の上端部に取付けられ、前記回動アームの回
動軸に直角な水平軸の周りに第三モーターによって回動
自在とされ、ウエハーを垂直姿勢、水平姿勢またはその
間の姿勢で把持する把持アームと、および、 前記装置本体に設けられ、前記第一モーター、第二モー
ターおよび第三モーターを制御するコントローラと、を
備え、 前記コントローラで前記第一モーターと第二モーターと
を同期して回転させて、前記昇降ロッドの昇降動と回動
アームの回動とを同期させ、前記継ぎ手の下端部の軸心
を水平ラインに沿った進退動とし、前記把持アームでウ
エハーを搬送してなることを特徴とするウエハ搬送装
置。 - 【請求項２】前記コントローラによる制御を、 把持アームを前進動させる場合には、第一モーターを正
回転させるに同期して第二モーターを正回転させて、昇
降ロッドを下降させると共に、回動アームを時計回り方
向へ回動させて垂直起立姿勢とし、 引き続き、前記第一モーターを逆回転させるに同期して
前記第二モーターをそのまま正回転させて、前記昇降ロ
ッドを上昇させると共に、前記回動アームをそのまま時
計回り方向へ回動させて前方傾斜姿勢とし、 また、前記把持アームを後退動させる場合には、前記第
一モーターを正回転させるに同期して前記第二モーター
を逆回転させて、前記昇降ロッドを下降させると共に、
前記回動アームを反時計回り方向へ回動させて垂直起立
姿勢とし、 引き続き、前記第一モーターを逆回転させるに同期して
前記第二モーターをそのまま逆回転させて、前記昇降ロ
ッドを上昇させると共に、前記回動アームをそのまま反
時計回り方向に回動させて後方傾斜姿勢としてなること
を特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36970998A JP3415782B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36970998A JP3415782B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000195922A true JP2000195922A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3415782B2 JP3415782B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=18495128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36970998A Expired - Fee Related JP3415782B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3415782B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100428781B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2004-04-27 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 및 그 이송 방법 |
| KR100850181B1 (ko) | 2003-12-23 | 2008-08-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨엠피 장비의 웨이퍼 그리핑 장치 |
| CN107785296A (zh) * | 2016-08-29 | 2018-03-09 | 乐华科技股份有限公司 | 晶圆搬运装置改良结构 |
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1998
- 1998-12-25 JP JP36970998A patent/JP3415782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100428781B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2004-04-27 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 및 그 이송 방법 |
| US6991419B2 (en) | 2001-04-16 | 2006-01-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus for transferring a wafer |
| KR100850181B1 (ko) | 2003-12-23 | 2008-08-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨엠피 장비의 웨이퍼 그리핑 장치 |
| CN107785296A (zh) * | 2016-08-29 | 2018-03-09 | 乐华科技股份有限公司 | 晶圆搬运装置改良结构 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3415782B2 (ja) | 2003-06-09 |
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