NL1029207C2 - Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component. - Google Patents

Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component. Download PDF

Info

Publication number
NL1029207C2
NL1029207C2 NL1029207A NL1029207A NL1029207C2 NL 1029207 C2 NL1029207 C2 NL 1029207C2 NL 1029207 A NL1029207 A NL 1029207A NL 1029207 A NL1029207 A NL 1029207A NL 1029207 C2 NL1029207 C2 NL 1029207C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
component
wafer
pivoting
positioning device
over
Prior art date
Application number
NL1029207A
Other languages
English (en)
Inventor
Wessel Joris Wesseling
Hubert Francijn Maria Hoogers
Roland Leo Bas Slegers
Antonius Maria Rijken
Richard Adrian Hibbs
Original Assignee
Assembleon Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Assembleon Nv filed Critical Assembleon Nv
Priority to NL1029207A priority Critical patent/NL1029207C2/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL1029207C2 publication Critical patent/NL1029207C2/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67144Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component
De uitvinding heeft betrekking op een component-5 positioneringsinrichting, die is voorzien van ten minste een om een zwenkas zwenkbare wafel ondersteuning voor het ondersteunen van ten minste een van componenten voorziene wafel, welke componentpositionerings-inrichting verder is voorzien van een componentopneeminrichting die ten opzichte van de wafelondersteuningsinrichting verplaatsbaar is over een 10 zich dwars op de zwenkas uitstrekkend verplaatsingstraject.
De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het positioneren van een component.
Bij een dergelijke, uit de Europese octrooiaanvrage EP-A1-0.971.390 bekende componentpositioneringsinrichting, wordt een 15 wafel ondersteuning met een daarop gelegen, van componenten voorziene wafel in X- en Y-richting verplaatst om een op te nemen component onder een componentopneeminrichting te brengen. Vervolgens wordt de component met behulp van de componentopneeminrichting over een verplaatsingstraject naar een gewenste positie op een band gebracht. Zodra een bepaald 20 gedeelte van de wafel van componenten is ontdaan, wordt de wafel met behulp van de wafelondersteuning om de zwenkas over een hoek van bijvoorbeeld 90° gezwenkt, waarna een volgend gedeelte van de wafel van componenten kan worden ontdaan. Voor het opnemen van een component is nagenoeg telkens een verplaatsing van de componentopneeminrichting over 25 het verplaatsingstraject, een verplaatsing van de wafel in een zich dwars daarop uitstrekkende richting alsmede in een richting evenwijdig aan het verplaatsingstraject noodzakelijk.
De uitvinding beoogt een componentpositioneringsinrichting te verschaffen waarmee op eenvoudige wijze componenten van een wafel 30 kunnen worden opgenomen.
Dit doel wordt bij de componentpositioneringsinrichting 1029207 2 volgens de uitvinding bereikt doordat de componentpositionerings-inrichting is voorzien van middelen voor het zwenken van de wafel -ondersteuningsinrichting over een zodanige zwenkhoek dat na het zwenken van de wafelondersteuningsinrichting over die zwenkhoek, de op te nemen 5 component in het verplaatsingstraject is gelegen.
Op deze wijze wordt op efficiënte wijze gebruik gemaakt van de reeds aanwezige middelen voor het zwenken van de wafel-ondersteuningsinrichting om de zwenkas. Het verplaatsen van de wafel in een zich dwars op het verplaatsingstraject uitstrekkende richting is 10 hierbij niet langer noodzakelijk.
Een uitvoeringsvorm van de componentpositionerings-inrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de component-positioneringsinrichting is voorzien van middelen voor het bepalen van de zwenkhoek afhankelijk van de positie van de op te nemen component 15 voorafgaande aan het zwenken ten opzichte van het verplaatsingstraject.
De wafel dient telkens zodanig te worden gezwenkt dat een op te nemen component in het verplaatsingstraject is gelegen. Indien de wafel is voorzien van een groot aantal componenten zullen telkens een aantal componenten in het verplaatsingstraject zijn gelegen, die 20 achtereenvolgens kunnen worden opgenomen met behulp van de componentopneemi nri chti ng.
Een weer andere uitvoeringsvorm van de component- positioneringsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat i het verplaatsingstraject de zwenkas snijdt.
25 Op deze wijze is het mogelijk om met de component opneemi nri chti ng telkens uit een zich radiaal vanuit het middelpunt van de wafel uitstrekkende strook componenten op te nemen.
Hierbij is het mogelijk dat ofwel enkel de wafelondersteuningsinrichting ofwel enkel de componentopneeminrichting 30 verplaatsbaar is over het verplaatsingstraject. De over het verplaatsingstraject uit te voeren afstand dient hierbij minimaal gelijk 10 2 92 07 3 te zijn aan de helft van de diameter van de wafel.
Een nog andere uitvoeringsvorm van de component-positioneringsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat dat zowel de componentopneeminrichting als de wafelondersteunings-5 inrichting verplaatsbaar zijn over het verplaatsingstraject.
Op deze wijze kan de door de componentopneeminrichting respectievelijk de wafelondersteuningsinrichting af te leggen afstand relatief klein zijn terwijl toch over de gehele wafel aanwezige componenten kunnen worden opgenomen.
10 Een nog andere uitvoeringsvorm van de component- positioneringsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de componentopneeminrichting is voorzien van middelen voor het roteren van de opgenomen component over een rotatiehoek om de door de zwenking van de wafelondersteuningsinrichting veroorzaakte zwenking ongedaan te 15 maken.
Op deze wijze is het mogelijk dat met behulp van de componentopneeminrichting een component telkens met eenzelfde oriëntatie wordt aangeboden of geplaatst op een gewenste positie.
Nog een andere uitvoeringsvorm van de component-20 positioneringsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de componentopneeminrichting is voorzien van middelen voor het draaien van de component over een dwars op de zwenkas uitstrekkende draaiingsas.
Op deze wijze is het mogelijk om met behulp van de componentopneeminrichting een component wordt opgenomen van een zich 25 bijvoorbeeld verticaal uitstrekkende wafel en deze vervolgens aan te bieden of te plaatsen op een zich horizontaal uitstrekkend vlak.
De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het positioneren van een component, waarbij de wafel wordt gezwenkt over een zodanige zwenkhoek dat de op te nemen component in het 30 verplaatsingstraject wordt gebracht. In dit verplaatsingstraject wordt de component vervolgens met behulp van de componentopneeminrichting van de 1029207 4 wafel opgenomen. Hierbij is het mogelijk dat ofwel de component-opneeminrichting ofwel de wafel over het verplaatsingstraject wordt verplaatst. Het is echter ook mogelijk dat zowel de componentopneem-inrichting als de wafel over het verplaatsingstraject worden verplaatst.
5 De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekeningen, waarin: fig. 1 een bovenaanzicht toont van een deel van een componentpositioneringsinrichting volgens de uitvinding, fig. 2 een perspectivisch aanzicht toont van een component- i 10 positioneringsinrichting volgens de uitvinding.
In de figuren zijn overeenkomende onderdelen voorzien van eenzelfde verwijzingscijfer.
Fig. 1 toont een deel van een componentpositionerings-inrichting 1 volgens de uitvinding die is voorzien van een wafel -15 ondersteuning 2 die zwenkbaar is in en tegengesteld aan de door pijl PI aangegeven richting om een zich verticaal uitstrekkende zwenkas 3. De componentpositioneringsinrichting 1 is verder voorzien van een component-plaatsingsinrichting 4 die zich over een deel van een langgestrekt verplaatsingstraject 5 uitstrekt. De componentplaatsingsinrichting is 20 voorzien van een mondstuk 6 dat ten opzichte van de componentplaatsingsinrichting verplaatsbaar is in en tegengesteld aan de door pijl PI aangegeven richting. Het mondstuk 6 is verder ten opzichte van de componentplaatsingsinrichting draaibaar om een zich evenwijdig aan het verplaatsingstraject 5 en de pijl PI uitstrekkende draaiingsas 7. De 25 draaiingsas 7 strekt zich dwars uit op de zwenkas 3.
De wafel ondersteuning 2 is verplaatsbaar ten opzichte van de componentplaatsingsinrichting 4 in de door pijl P2 aangegeven richting, welke richting zich evenwijdig uitstrekt aan het verplaatsingstraject 5 en aan de door pijl PI aangegeven richting.
30 Door de wafel ondersteuning 2 wordt een wafel 8 ondersteund die is voorzien van een aantal, in een raster gelegen componenten 9.
1029207 5
De componentpositioneringsinrichting 1 is verder voorzien van een besturingsinrichting (niet weergegeven) waarin de onderlinge posities van de wafel ondersteuning 2, het mondstuk 6 van de component-plaatsingsinrichting 4 alsmede de posities van de op de wafel 8 gelegen 5 componenten 9 zijn opgeslagen.
Met behulp van de besturingsinrichting, wordt een zwenkhoek. φ bepaald waarover de wafel ondersteuning 2 en de daarop gelegen wafel 8 vervolgens worden gezwenkt. De zwenkhoek φ is zodanig dat na het zwenken van de wafel ondersteuning 2 en de daarop gelegen 10 wafel 8 ten minste een component 9 in het verplaatsingstraject 5 is gelegen. Vervolgens wordt het mondstuk 6 in de door pijl PI aangegeven richting over het verplaatsingstraject 5 verplaatst totdat het mondstuk 6 tegenover de op te nemen component 9 is gelegen. Indien de component 9 zich buiten de reikwijdte van de componentplaatsingsinrichting 4 bevindt, 15 wordt tevens de wafel ondersteuning 2 in de door pijl P2 aangegeven richting verplaatst waarbij de component 9 over het verplaatsingstraject 5 wordt verplaatst. Zodra het mondstuk 6 tegenover de op te nemen component 9 is gelegen, wordt de component 9 met behulp van het mondstuk 6 van de wafel 8 opgenomen. Daarna wordt het mondstuk 6 tezamen met 20 de opgenomen component 9 in een aan pijl PI tegengestelde richting verplaatst en vervolgens om de draaiingsas 7 in de door pijl R2 aangegeven richting gedraaid. Nabij een van de wafel 2 afgekeerde zijde van de componentplaatsingsinrichting 4 wordt de opgenomen component 9 aangeboden aan bijvoorbeeld een volgend mondstuk met behulp waarvan de 25 component. 9 op bijvoorbeeld een substraat wordt gepositioneerd.
Het is ook mogelijk dat met behulp van het mondstuk 6 de component 9 op een tussenpositie, een gewenste positie op een printplaat, dragerband of dergelijke wordt gepositioneerd.
Fig. 2 toont een perspectivisch aanzicht van een component-30 positioneringsinrichting 1. Zoals zichtbaar omvat de component- positioneringsinrichting 1 een aantal wafel ondersteuningen 2 die elk zijn 1029207 6 voorzien van een wafel 8. Met behulp van een overzetmechanisme (niet weergegeven) kan een wafel ondersteuning 2 met een wafel 8 met de gewenste componenten 9 naar een nabij de componentpositioneringsinrichting 4 gelegen positie worden gebracht. In deze positie is de wafel-5 ondersteuning 2 tezamen met de wafel 8 zwenkbaar in en tegengesteld aan de door pijl R1 aangegeven richting alsmede verplaatsbaar in en tegengesteld aan de door pijl P2 aangegeven richting. Met behulp van het mondstuk 6 wordt op de hierboven beschreven wijze een component 9 van de wafel 8 opgenomen en vervolgens geplaatst op een tussenpositie 10 10 (schematisch weergegeven). Vanuit deze tussenpositie 10 wordt de component 9 met behulp van een verder mondstuk opgenomen en vervolgens op een substraat geplaatst.
Gebruikelijk is de wafel 8 op een folie geplakt, waarbij de folie met behulp van een in de wafel ondersteuning gelegen opspanring is 15 opgespannen, waardoor de componenten 9 van de wafel 8 van elkaar af zijn verplaatst en aldus eenvoudig van de folie af kunnen worden genomen.
De componenten 9 zijn aan een van de folie afgekeerde zijde gebruikelijk van elektrische aansluitpunten voorzien. Indien de component 9 met de aansluitpunten naar het substraat toe op het substraat 20 dient te worden gepositioneerd, kan de met het mondstuk 6 opgenomen component 9 direct door rotatie over 90° in de door pijl R3 aangegeven richting aan een verdere componentopneem- en plaatsingsinrichting worden aangeboden.
! Indien de component 9 met de aansluitpunten van het 25 substraat af op het substraat dient te worden gepositioneerd, dient de component door rotatie over 90° in een aan pijl R3 tegengestelde richting op een tussenpositie te worden geplaatst waar de component 9 aan de verdere componentopneem- en plaatsingsinrichting wordt aangeboden.
De component 9 zou in dit geval met behulp van het 30 mondstuk 6 ook direct op het substraat kunnen worden geplaatst.
Het is ook mogelijk om enkel de componentplaatsings- 1029207 i 7 inrichting 4 of het daarmee verbonden mondstuk 6 verplaatsbaar in en tegengesteld aan de door pijl PI aangegeven richting uit te voeren, waarbij de wafel ondersteuning 2 enkel zwenkbaar is. De door het mondstuk 6 af te leggen afstand is daarbij echter relatief groot.
5 Het is ook mogelijk om enkel de wafel ondersteuning 2 verplaatsbaar in en tegengesteld aan de door pijl P2 aangegeven richting uit te voeren, waarbij het mondstuk 6 op een vaste positie is gelegen. De afstand waarover de wafel ondersteuning 2 hierbij verplaatsbaar dient te zijn is relatief groot.
10 Derhalve heeft het de voorkeur dat zowel het mondstuk 6 als de wafel ondersteuning 2 ten opzichte van elkaar verplaatsbaar zijn.
Bij voorkeur is het mondstuk 6 voorzien van middelen voor het roteren van de component 9 om een zich evenwijdig aan de zwenkas 3 uitstrekkende rotatieas. Een met behulp van het mondstuk 6 opgenomen 15 component 9 kan hierbij voorafgaande aan het aanbieden of plaatsen van de component 9 zodanig worden geroteerd dat de component 9 met een gewenste oriëntatie wordt aangeboden of geplaatst. Hierbij kan bijvoorbeeld de zwenking van de component 9 om de zwenkas 3 ongedaan worden gemaakt.
1029207

Claims (7)

1. Componentpositioneringsinrichting, die is voorzien van ten minste een om een zwenkas zwenkbare wafel ondersteuning voor het 5 ondersteunen van ten minste een van componenten voorziene wafel, welke componentpositioneringsinrichting verder is voorzien van een component-opneeminrichting die ten opzichte van de wafelondersteuningsinrichting verplaatsbaar is over een zich dwars op de zwenkas uitstrekkend verplaatsingstraject, met het kenmerk, dat de componentpositionerings-10 inrichting is voorzien van middelen voor het zwenken van de wafel -ondersteuningsinrichting over een zodanige zwenkhoek dat na het zwenken van de wafel ondersteuningsinrichting over die zwenkhoek, de op te nemen component in het verplaatsingstraject is gelegen.
2. Componentpositioneringsinrichting volgens conclusie 1, met 15 het kenmerk, dat de componentpositioneringsinrichting is voorzien van middelen voor het bepalen van de zwenkhoek afhankelijk van de positie van de op te nemen component voorafgaande aan het zwenken ten opzichte van het verplaatsingstraject.
3. Componentpositioneringsinrichting volgens conclusie 1 of 2, 20 met het kenmerk, dat het verplaatsingstraject de zwenkas snijdt.
4. Componentpositioneringsinrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat zowel de componentopneem-inrichting als de wafelondersteuningsinrichting verplaatsbaar zijn over het verplaatsingstraject.
5. Componentpositioneringsinrichting volgens een der voor gaande conclusies, met het kenmerk, dat de componentopneeminrichting is voorzien van middelen voor het roteren van de opgenomen component over een rotatiehoek om de door de zwenking van de wafelondersteuningsinrichting veroorzaakte zwenking ongedaan te maken.
6. Componentpositioneringsinrichting volgens een der voor gaande conclusies, met het kenmerk, dat de componentopneeminrichting is 1029207= voorzien van middelen voor het draaien van de component over een dwars op de zwenkas uitstrekkende draaiingsas.
7. Werkwijze geschikt voor het positioneren van een door een om een zwenkas zwenkbare, van componenten voorziene wafel ten opzichte 5 van een componentopneeminrichting die ten opzichte van de wafel verplaatsbaar is over een zich dwars op de zwenkas uitstrekkend verplaatsingstraject, met het kenmerk, dat een zwenkhoek wordt bepaald voor het zodanig zwenken van de wafel, dat na het zwenken van de wafel over die zwenkhoek, de van de wafel op te nemen component in het 10 verplaatsingstraject is gelegen. 1029207
NL1029207A 2005-06-07 2005-06-07 Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component. NL1029207C2 (nl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1029207A NL1029207C2 (nl) 2005-06-07 2005-06-07 Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1029207 2005-06-07
NL1029207A NL1029207C2 (nl) 2005-06-07 2005-06-07 Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1029207C2 true NL1029207C2 (nl) 2006-12-08

Family

ID=35841973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1029207A NL1029207C2 (nl) 2005-06-07 2005-06-07 Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL1029207C2 (nl)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997032460A1 (de) * 1996-02-29 1997-09-04 Alphasem Ag Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen, orientieren und montieren von bauelementen
US5976306A (en) * 1998-02-18 1999-11-02 Hover-Davis, Inc. Method and apparatus for removing die from an expanded wafer and conveying die to a pickup location
EP0971390A1 (de) * 1998-07-07 2000-01-12 ESEC Management SA Einrichtung zum Transportieren von integrierten Schaltungen
EP1209723A1 (en) * 2000-11-27 2002-05-29 ASM Assembly Automation Limited A wafer table for die bonding apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997032460A1 (de) * 1996-02-29 1997-09-04 Alphasem Ag Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen, orientieren und montieren von bauelementen
US5976306A (en) * 1998-02-18 1999-11-02 Hover-Davis, Inc. Method and apparatus for removing die from an expanded wafer and conveying die to a pickup location
EP0971390A1 (de) * 1998-07-07 2000-01-12 ESEC Management SA Einrichtung zum Transportieren von integrierten Schaltungen
EP1209723A1 (en) * 2000-11-27 2002-05-29 ASM Assembly Automation Limited A wafer table for die bonding apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102261989B1 (ko) 칩-본딩 시스템 및 방법
US6618937B2 (en) Method of assembling electronic applications and display devices
TW200507703A (en) Members for use in circuit board, the method and device for manufacturing the circuit board
MY126667A (en) Apparatus and method of placing solder balls onto a substrate
DK1038266T3 (da) Et apparat til automatisk fastgörelse af en pattekop
KR101991965B1 (ko) 반도체 칩을 실장하기 위한 장치
WO2003058708A1 (en) Flip chip bonder and method therefor
IL146037A0 (en) Method and device for recognising and determining a position and robot including such an apparatus
AU5058299A (en) Automated immunoassay apparatus with flexible pick-up arm
CN106879185B (zh) 用于放置电子构件的方法和设备
KR20170006343A (ko) 플립칩 본딩 장치 및 방법
CA2608595C (en) Robotic vehicle panel alignment system and process
US5542729A (en) Two sided clamp for manipulating heads of paper rolls
NL1029207C2 (nl) Componentpositioneringsinrichting alsmede een werkwijze voor het positioneren van een component.
TW201907172A (zh) 電子元件測試挑揀分類設備
US6248201B1 (en) Apparatus and method for chip processing
US20190119051A1 (en) Unloading System
CN108069085A (zh) 影像检测上料装置及编带机
TWI330052B (nl)
NL1007631C2 (nl) Werkwijze en inrichting voor het positioneren van drukplaten.
JP4221360B2 (ja) キャリアによって支持されるコンポーネントの基板上の所望の位置への移動に好適な方法、及びこのために設計される装置
JP2574663B2 (ja) 電子部品自動装着装置
TW200527578A (en) Apparatus for mounting semiconductor chips
JPS59130500A (ja) 集積回路を内蔵した半導体素子をプリント配電板に自動的に取り付ける方法並びに該方法を実施する装置
JPH07193399A (ja) 配線基板の湾曲防止クランプ機構

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
SD Assignments of patents

Owner name: ASSEMBLEON B.V.

Effective date: 20071219

VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20100101