JP2000352510A - 互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する装置およびこの装置の製造方法 - Google Patents

互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する装置およびこの装置の製造方法

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    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks

Abstract

(57)【要約】 【課題】互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を
検出する装置およびこの装置の製造方法において、作業
環境に温度変動が生じてもメジャーテープの反りが回避
され、或いは少なくとも低減できるようにする。 【解決手段】メジャーテープ(29)は、テープ長手方
向に互いに間隔を持って配置される少なくとも2つの固
定個所(155)において第1の物体(3)に固定され
ており、且つこれら固定個所の間でテープ長手方向に弾
性伸張している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いに相対運動可
能な2つの物体の相対位置を検出する検出装置であっ
て、両物体のうち第1の物体に別個のメジャーテープが
取り付けられ、メジャーテープが、テープ長手方向に配
分されたメジャーマークの少なくとも1つのトラックを
有し、両物体のうち第2の物体が、メジャーマークに応
答するセンサ装置を担持し、センサ装置が両物体の相対
運動に伴い前記トラックに沿って走行するようにした前
記検出装置およびこの装置の製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、メジャーテープの非平面性によ
り測定精度が損なわれないように、また第2の物体の運
動が(第2の物体はメジャーテープ上方を通過する)メ
ジャーテープの起伏により阻止されないようにするた
め、メジャーテープに折り目や反りが生じないように努
力が払われている。比較的大きな温度変動がある作業環
境においては位置検出装置が使用されることがある。こ
の温度変動は同時に位置検出装置全体にも発生すること
があるが、位置検出装置の個々の個所に局所的に発生す
ることもある。作業環境の温度が降下すると、第1の物
体とメジャーテープとの熱伝導挙動および(または)熱
膨張挙動が異なっているために、たとえば第1の物体が
熱伝導率の大きな金属から成り、メジャーテープが熱に
対して実質的に伝導能がより小さな材料からなっている
場合には、第1の物体のほうがメジャーテープよりも速
くおよび(または)強く熱収縮する。このような温度降
下の結果、メジャーテープが第1の物体の熱収縮にすば
やく十分に追従しないならば、メジャーテープに反りが
発生する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、互い
に相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する装置
およびこの装置の製造方法において、作業環境に温度変
動が生じてもメジャーテープの反りが回避され、或いは
少なくとも低減できるようにすることである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、第1の観点によれば、メジャーテープが、
テープ長手方向に互いに間隔を持って配置される少なく
とも2つの固定個所において第1の物体に固定されてお
り、且つこれら固定個所の間でテープ長手方向に弾性伸
張していることを特徴とするものである。メジャーテー
プのこの弾性伸張は、メジャーテープが第1の物体の熱
収縮に追従することができ、平滑性を失うことなく同様
に収縮することができるような領域を提供する。これに
より、第1の物体とメジャーテープに対し熱挙動が極め
て異なる材料を使用するケースに対しても、温度変動が
生じたときメジャーテープに起伏が発生するのが避けら
れる。メジャーテープは、テープ長手方向にて互いに対
向するテープ端部の領域においてのみ第1の物体に固定
されているのが合目的である。同様に、特に非常に長い
テープの場合にはテープ端部の間にも固定個所を設けて
もよい。すなわちこのように非常に長いメジャーテープ
の場合には、第1の物体の鉛直方向下側に設けられてい
るメジャーテープはその中央領域が第1の物体から離間
して、測定精度が損なわれる恐れがあるからである。
【0005】実際には、メジャーテープの弾性伸張がメ
ジャーテープの縦方向の1メートルあたり少なくとも3
0μm、有利には少なくとも50μm、高々有利にはほ
ぼ70ないし100μmであるのが好ましいことが明ら
かとなった。
【0006】メジャーテープが、切り売り製品として製
造され備蓄ローラから取り出されるテープ材により形成
されていてよい。この場合もメジャーテープの弾性伸張
は、テープ材の巻き取り巻き戻しの際に生じる可能性の
ある起伏や反りをなくすようにメジャーテープを伸張さ
せる上で有利である。
【0007】メジャーテープが金属材料から製造されて
いるのが有利であるが、プラスチック材料でもよい。重
要なことは、メジャーテープの意図的な伸張を少なくと
も十分に、所望の場合には塑性領域ではなくて弾性領域
で行なうことができるようにメジャーテープの材料を選
定することである。特に、弾性領域の下部部分の弾性伸
張が弾性限界値よりもさらに低いようにメジャーテープ
の材料を選定してよい。
【0008】基本的には、メジャーマークは任意の形状
でメジャーテープに設けることができる。メジャーテー
プの形状およびセンサ装置によるメジャーマークの走査
の種類に関しては、基本的には制限はない。たとえばメ
ジャーマークは光学的方法、誘導性方法または容量性方
法または磁気抵抗或いはホール要素を用いて、または渦
流発生の原理に従って読み取ることができる。メジャー
マークを形成するため、メジャーテープはたとえば光学
的に読み取り可能な破線パターンまたは磁気的なプラス
極とマイナス極を交互に備えた磁化パターンを有してい
てよい。また、メジャーテープが導電ワイヤーを備えて
いてもよい。第1の観点による本発明の有利な実施形態
によれば、メジャーテープは、メジャーマークの形成の
ため、テープ長手方向に連続している材料脆弱ゾーンま
たは材料破断部を備えている。メジャーマークを走査す
るためのセンサ装置が電場または磁場を放出し、この場
がメジャーテープの材料により影響を受ける場合には、
材料脆弱部または材料破断部は、メジャーテープの誘電
率または透磁率が脆弱ゾーンまたは破断ゾーンとは異な
るようなテープ領域を意味している。このような誘電率
または透磁率の変動はセンサ装置により検知され、たと
えばフィールドプレート或いはホールセンサにより検知
される。たとえば、比較的高いニッケル含有量、たとえ
ばほぼ75重量%以下のニッケルを含んだ鋼からなる金
属格子テープが使用され、この金属格子テープに、数値
例を挙げればほぼ1mmのピッチ間隔でほぼ0.5mm
幅のスリットだけが形成される。これらのスリットはほ
ぼ0.5mm幅の細条部により互いに切り離されてい
る。
【0009】メジャーマークは、テープ長手方向に規則
的な間隔で連続しているマーク群を有している。連続す
る2つのマークの間隔が既知であれば、センサ装置によ
り走査されたマークの数量から、第2の物体が走破した
距離を決定することができる。第2の物体の初期位置が
既知であれば、走破した距離を用いて第2の物体の終端
位置を決定することができる。
【0010】この構成に代えて、或いはこの構成に加え
て、メジャーマークは参照マーク群を有していてよい。
参照マーク群は、第1の物体に対する第2の物体の初期
位置を検知することなく参照マーク群のうち高々数個の
少量の連続する参照マーク上方を走行することにより第
1の物体に対する第2の物体の最終位置を少なくとも近
似的に決定できるように構成され、および(または)メ
ジャーテープに局在している。このような参照マーク
は、特に、規則的に配置されるメジャーマークと関連付
けると有意義であり、センサ装置の機能が低下した後、
或いはその電流が降下した後、よって第2の物体に関す
る位置情報が失われた後、すぐにこの第2の物体の位置
を少なくとも大まかに検出することができる。このため
に特に適しているのは、いわゆるスペースコード化され
た参照マークであり、すなわち、テープ縦方向に互いに
対を成して隣接している参照マークが、これら対の少な
くとも一部分に対して異なっているような間隔を有して
いる参照マークである。個々の対の参照マーク間の間隔
はたとえば電子メモリに表の形で保持されており、線さ
装置によって操作される2つの隣接する参照マーク間の
測定間隔から直接第2の物体の位置を少なくとも近似的
に決定することができる。
【0011】本発明の第1の観点の他の実施形態では、
第1の物体は縦軸線を備えた縦長体であり、特にリニア
ガイド装置のガイドレールであり、メジャーテープは前
記縦軸線の方向で縦長体に取り付けられている。
【0012】この縦長体を準備するため、縦長片を分断
個所においてビレット材から分断することがしばしば行
なわれる。リニアガイド装置のガイドレールは数メート
ルの長さのレールビレット材として圧延方法、押出し方
法または連続鋳造方法で製造されることがある。顧客の
要望に応じて、これらのレールビレットから個々のレー
ル片が切断されて短くされる。レールビレットを短くし
てレール片を形成させた後にレール片にメジャーテープ
を備えさせる場合、そのための処理コストおよび時間コ
ストは非常に大きい。これは、メジャーテープの弾性伸
張の処理を個々のレール片ごとに行なわねばならないか
らである。また、短くしたレール片の長さがまちまちで
あることが多く、したがってレール片の固定とメジャー
テープの伸張とを可能にする装置が対応的に適合できな
ければならないことを考慮すると、構造的な問題も生じ
る。
【0013】上述したような処置を簡単にするため、本
発明は、第2の観点によれば、第1の観点による装置の
製造方法にも関わり、すなわち第1の物体が縦長体であ
り、縦長片としてビレット材から分断個所において分断
されるようにした方法に関わる。このような方法におい
て、本発明によれば、分断される縦長片よりも長い、所
望の場合には複数倍長いビレット材の一部分にわたって
延びるメジャーテープを使用すること、このメジャーテ
ープをまず、その縦軸線方向において互いに対向してい
る端部の領域でのみ、弾性伸張させた状態で端部側の固
定個所においてビレット材に固定すること、次にメジャ
ーテープを、縦軸線方向において分断個所の両側で分断
個所付近の補助的な固定個所においてビレット材に固定
すること、次にビレット材をメジャーテープとともに分
断個所付近の前記固定個所において切断することが提案
される。
【0014】したがって、この方法においては、すでに
短縮されたビレット材の縦長片にメジャーテープが取り
付けられるのではなく、顧客の要望に応じてビレット材
から個々の縦長片を切り取る前にメジャーテープが取り
付けられる。さらに、使用されるメジャーテープの長さ
は、個々の縦長片に対して十分であるばかりでなく、同
じビレット材から切断される複数本の縦長片に対しても
十分な長さである。たとえば、圧延設備においてはほぼ
6mの長さのレールビレットが製造される。次にこのレ
ールビレットに、それぞれのレールビレットのほぼ全長
にわたって延びるメジャーテープが取り付けられる。こ
のメジャーテープはそのテープ両端部においてレールビ
レットに固定され、その際弾性領域において伸張せしめ
られる。個々のレール片を、全長にわたってメジャーテ
ープを備えたこのレールビレットから切り離す必要があ
る場合には、メジャーテープは所定の個所、すなわち各
所定の分断個所の両側において付加的にレールビレット
に固定され、次にレールビレットをメジャーテープとと
もに所定の分断個所で切断する。この処理の結果、分断
されたレール片はそれぞれメジャーテープを担持し、メ
ジャーテープはその両端部においてそれぞれのレール片
に固定され、これらテープ両端部の間で弾性応力のもと
にあり、レールビレットの残余部が残っている場合にも
これにメジャーテープが具備されており(すなわち元の
メジャーテープの残余部を備えている)、この残余のメ
ジャーテープはそのテープ両端部においてレールビレッ
トの残余部に固定され、これらテープ両端部の間で弾性
応力のもとにある。このようにして1本のレールビレッ
トから複数本のレール片が切断され、その際レールビレ
ットごとにただ1回のメジャーテープを伸張させる処理
が必要であるにすぎない。
【0015】特に、使用されるビレット材が無端ビレッ
トである場合には、使用されるメジャーテープの長さ
は、このビレット材の切断される個々の縦長片の長さよ
りも長く、特に著しく長く、しかしメジャーテープはビ
レット材の一部の長さにわたって制限されて延びてい
る。
【0016】第2の観点では、メジャーテープを固定個
所において溶接により、特に点溶接によりビレット材に
固定し、たとえば抵抗溶接方法で固定するのが有利であ
る。機械的な作用およびアグレッシブの化学薬品から保
護するため、メジャーテープをカバーにより覆うことが
望まれる場合がしばしばある。この場合、基本的には、
個々の縦長片をビレット材から切断した後で、カバーを
取り付けることが可能である。しかしながら、本発明の
第2の観点による方法の他の有利な構成では、ビレット
材を切断する前に、ビレット材とメジャーテープとは別
個の、ビレット材の前記一部分の長さにわたって延びる
メジャーテープカバーを、ビレット材に対して不動に該
ビレッド材に取り付け、メジャーテープカバーを分断個
所においてビレット材およびメジャーテープとともに切
断し、所望の場合には切断前に、分断個所付近でビレッ
ト材および(または)メジャーテープに固定する。これ
には以下のような利点がある。メジャーテープを取り付
けたビレット材は製造場所ですぐに個々の縦長片に分割
されずに、むしろ他の作業場に提供されて、そこで貯蔵
し、所定の時期に顧客の要望に応じて個々の縦長片に切
断されることが多い。このときメジャーテープが保護さ
れていなければ、メジャーテープの損傷を防止すること
はできない。しかしながら、まだ分割されていないビレ
ット材にメジャーテープカバーが取り付けられれば、早
期にメジャーテープを完全にカプセリングすることがで
き、ビレット材の搬送時、その貯蔵時、或いは他の処理
を行うときに生じるような作用から保護することができ
る。
【0017】メジャーテープカバーとして、その縦軸線
の方向に延びる縦縁に沿って、所望の場合にはほぼ連続
してビレット材に固定されるカバーベルトを使用するこ
とができる。しかしながら、他の形状のカバーを使用し
てもよい。たとえばメジャーテープをビレット材の縦溝
に挿入し、次に縦溝をより硬いカバー体で充填するよう
にしてもよい。
【0018】本発明の第3の観点によれば、本発明は、
互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する
検出装置であって、両物体のうち第1の物体がマーク領
域に配分されたメジャーマークを担持し、両物体のうち
第2の物体がメジャーマークに応答するセンサ装置を担
持し、センサ装置が両物体の相対運動に伴ってマーク領
域を走行し、メジャーマークが第1の物体とは別個のカ
バーベルトにより覆われており、カバーベルトが、その
第1の物体側の平面によって第1の物体の載置面に載置
され、且つベルト縦方向に延びている両縦縁に沿ってそ
れぞれ少なくとも1つの縦溶接継ぎ目により第1の物体
に固定されている検出装置に関わり、この検出装置は特
に前記第1の観点にしたがって構成され、そして前記第
2の観点の範囲内で製造される。
【0019】カバーベルトの幅公差は避けがたいもので
ある。したがって、カバーベルトがその縦方向において
(仮にわずかではあっても)長さが変化するのを阻止で
きない。縦溶接継ぎ目においても、これを正確に直線状
に形成することはできず、ある程度正確な直線からずれ
るものである。縦溶接継ぎ目は直接カバーベルトの縦縁
に形成させることができる。しかし、上記のカバーベル
トの幅公差と縦溶接継ぎ目の非直線性とが存在すると、
カバーベルトに沿ったいくつかの個所で溶接されないこ
とがある。その結果溶接個所が密でなくなる。さらに、
これにより、カバーベルトの縦方向で大きさの異なる熱
量がカバーベルトに導入される。熱の導入により、溶接
の際に熱応力がカバーベルトの材料に発生し、カバーベ
ルトを変形させる。他方熱の導入が不均一であるとカバ
ーベルトの変形が不規則になり、溶接結果をかなり阻害
することになる。
【0020】本発明の第3の観点の課題は、カバーベル
トの溶接時に優れた溶接結果が得られるような方法を提
供することである。この課題を解決するため、本発明の
第3の観点によれば、縦溶接継ぎ目は、ベルト縦方向に
対して横方向にカバーベルトの隣接の縦縁から間隔を持
って延びており、且つ載置面の領域で、第1の物体とと
もにカバーベルトの材料溶融ゾーンを形成している。
【0021】この解決法では、縦溶接継ぎ目がカバーベ
ルトの縦縁から間隔を持って形成されるので、カバーベ
ルトの長手方向において均一な熱の導入が保証されてい
る。したがって常に等量のカバーベルトの材料が溶融
し、第1の物体と溶着する。これにより、溶接によって
生じるカバーベルトの変形が減少することが判明した。
また密でない溶接個所も避けられる。
【0022】メジャーマークは第1の物体のレリーフ状
の凹部に埋設され、カバーベルトはこのレリーフ状の凹
部に挿入されている。これにより、メジャーマークばか
りでなくカバーベルトも機械的損傷から十分に保護され
る。
【0023】カバーベルトの外面が境を接している第1
の物体の表面領域とほぼ面一になるようにカバーベルト
がレリーフ状の凹部に挿入されていてよい。このように
して、カバーベルトと第1の物体の間の移行部が実質的
に無段階になるので、第1の物体とカバーベルトからな
る構造ユニットの外面には起伏が実質的になくなる。こ
のため、所望の場合は、第2の物体を第1の物体に対し
て完全に密封するのが容易になる。特にガイドレール上
を往復台が可動に案内されているリニアガイド装置の場
合は、ガイドレールに密接して往復台内部への塵埃の侵
入を防ぐとともに、往復台から潤滑剤が流出するのを阻
止するパッキンを往復台に備えさせることが多い。カバ
ーベルトがガイドレールに面一に差し込まれることによ
り、往復台のパッキンの磨耗現象が避けられ、或いは必
要に応じてパッキンの形状を修正する必要がない。
【0024】本発明の第3の観点による溶接方法には、
カバーベルトがほぼ面一にレリーフ状の凹部に挿入され
るという上記のケースの場合、特別な利点がある。この
けーすにおいて、縦溶接継ぎ目をカバーベルトの縦縁と
レリーフ状の凹部の側面との間の突合せ領域に形成させ
るならば、カバーベルトおよび(または)レリーフ状の
凹部の幅公差のためにカバーベルトとレリーフ状の凹部
の側面との間に生じる隙間により、溶接過程が阻害され
ることになる。本発明の第3の観点に従って溶接継ぎ目
がカバーベルトとレリーフ状の凹部との突合せ領域では
なく、ベルト中心方向へ形成されることにより、上記の
ような隙間を考慮する必要がなくなる。カバーベルトは
より大きな幅公差で製造することができる。同時に、レ
リーフ状の凹部に対してもより大きな製造公差を考慮す
ることができる。突合せ溶接の代わりに、カバーベルト
を貫通するように溶接が行なわれ、その際カバーベルト
と第1の物体との材料溶融は理想的には完全に第1の物
体の載置面の領域で行なわれる。
【0025】レリーフ状の凹部が段状の凹部として形成
され、カバーベルトのための載置面が凹部の支持段部に
より形成されていると、特に有利である。この場合に
は、溶接過程が直接カバーベルトの縦縁で行われるので
はなく、ベルト中心方向へずれていても、溶接過程によ
りメジャーマークが影響されないよう保証される。すな
わちレリーフ状の凹部を段状に形成することにより、メ
ジャーマークは凹部の、支持段部に対して低くなった個
所に取り付けられるので、メジャーマークは溶接の際に
生じる熱に対して保護されている。
【0026】カバーベルトがレーザー溶接により第1の
物体に取り付けられているのが有利である。これは、レ
ーザー溶接により非常に幅狭の溶接継ぎ目を形成でき、
比較的小さな溶接ゾーンが生じるにすぎず、溶融時間を
比較的短くできるので有利である。したがって、レーザ
ー溶接の際の熱の発生によるメジャーマークへの悪影響
は実質的に心配ない。
【0027】レーザー溶接以外の他の溶接方法も基本的
には可能である。たとえば、カバーベルトを電子線溶接
またはプラズマ溶接により第1の物体に取り付けてもよ
い。基本的には、メジャーマークは第1の物体の材料の
なかへ一体に形成される。たとえば凹部のエッチング、
磁気状態の印加により行われる。本発明の第3の観点の
他の構成によれば、メジャーマークは、第1の物体とカ
バーベルトとは別個のマーク担持体に配置されている。
マーク担持体とはたとえば金属ベルトであり、そのなか
に規則的なおよび(または)非周期的なインターバルの
スリットがメジャーマークとして形成されている。
【0028】さらに本発明は、第4の観点によれば、互
いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する検
出装置にして、両物体のうち第1の物体がマーク領域に
配分されたメジャーマークを担持し、両物体のうち第2
の物体がメジャーマークに応答するセンサ装置を担持
し、センサ装置が両物体の相対運動に伴ってマーク領域
を走行するようにした前記検出装置を製造する方法に関
し、この方法においては、メジャーマークを第1の物体
とは別個のカバーベルトにより覆い、カバーベルトを、
その第1の物体側の平面によって第1の物体の載置面に
載置し、且つベルト縦方向に延びている両縦縁に沿って
それぞれ少なくとも1つの縦溶接継ぎ目により第1の物
体に固定する。この方法は、特に第1の観点および(ま
たは)第3の観点による検出装置を製造する方法に適し
ている。
【0029】本発明によれば、第4の観点による方法で
は、縦溶接継ぎ目を、ベルト縦方向に対して横方向にカ
バーベルトの隣接の縦縁から間隔を持って取り付け、し
かも縦溶接継ぎ目が、所望の場合にはもっぱら載置面の
領域でのみ、第1の物体とともにカバーベルトの材料溶
融部を生じさせるように取り付ける。ここでは、すでに
本発明の第3の観点について述べた構成が実質的に適用
される。
【0030】これから得られる、カバーベルトの縦縁の
間隔で溶接を行なうという利点は、縦溶接継ぎ目の外側
に残っているカバーベルトの縁帯を切り離すという要望
がある場合も維持される。これは溶接後に生じる。切り離
し・溶接が生じるように溶接過程を選定し、溶接エネル
ギーの大きさを選定することにより、溶接時にすでにこ
れらの縁帯の切り離しを行なうようにしてもよい。
【0031】最後に、本発明の第5の観点によれば、本
発明は、互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を
検出する検出装置にして、両物体のうち第1の物体がマ
ーク領域に配分されたメジャーマークを担持し、両物体
のうち第2の物体がメジャーマークに応答するセンサ装
置を担持し、センサ装置が両物体の相対運動に伴ってマ
ーク領域を走行するようにした前記検出装置を製造する
方法であって、メジャーマークを第1の物体とは別個の
カバーベルトにより覆い、カバーベルトを、その第1の
物体側の平面によって第1の物体の載置面に載置し、且
つベルト縦方向に延びている両縦縁に沿ってそれぞれ少
なくとも1つの縦溶接継ぎ目により第1の物体に固定す
るようにした方法に関する。この方法は、特に第1の観
点および(または)第3の観点による検出装置を製造す
る方法に適している。
【0032】この第5の観点の課題は、溶接時の熱の発
生により生じるカバーベルトの変形を少なくしようとい
うものである。このため、本発明によれば、カバーベル
トの異なる2つの縦縁に隣接する溶接継ぎ目を実質的に
同時に形成させる。すなわち、まず縦縁の一方に沿って
溶接を行なう場合には、カバーベルトがそのベルト面で
比較的強く変形することを考慮せねばならない。その結
果生じるカバーベルトの湾曲は、特にカバーベルトの長
さが長い場合は、たとえばメートルのオーダーである
と、カバーベルトがもはや正確に第1の物体に溶接され
なくなる。これを解消するため、本発明の第5の観点で
は、カバーベルトの両縦縁に沿って同時に溶接が行なわ
れる。この場合、一方の縦縁での溶接により生じる、カ
バーベルトのベルト端部での湾曲傾向は、他の縦縁での
溶接により生じる湾曲傾向により実質的に相殺され、そ
の結果カバーベルトは実質的に直線になり、湾曲がな
い。
【0033】特に、実質的に同時に形成される縦溶接継
ぎ目を同じ溶接装置で形成させるのが好ましい。この場
合、実質的に同時に形成される縦溶接継ぎ目を、カバー
ベルトの縦方向の同じ端部から同時に形成させるのが合
目的である。
【0034】実質的に同時に形成される縦溶接継ぎ目
を、二重焦点光学系を備えたレーザー溶接機を用いて形
成させることができる。この種のレーザー溶接機は入手
可能であり、たとえばHaas-Laser GmbH社により種々の
高出力レーザー機が提供されており、たとえば"HL 3006
D"と呼ばれる型式のものがある。
【0035】
【発明の実施の形態】次に、添付の図面を用いて本発明
を詳細に説明する。図1はリニアガイド装置を示すもの
であり、このリニアガイド装置は、担持ベース1上に固
定されているガイドレール3と、ガイドレール3上をレ
ール縦軸線5に沿って可動に案内される走行体7とを備
えている。ガイドレール3は、担持ベース1上に載置す
るための固定面9と、固定面9に対向しているヘッド面
11と、固定面9とヘッド面11とを結合させている2
つの側面13とを有している。ガイドレール3の側面1
3はそれぞれ1つの台形状の戻し部15を備えている。
図示していないボルト(レール縦軸線5に沿って規則的
な間隔で配分して配置され、ガイドレール3をヘッド面
3側から貫通している)により、ガイドレール3は担持
ベース1に螺着されている。
【0036】走行体7はガイドレール3をほぼU字状に
取り囲んでおり、この場合走行体7はヘッド面11の細
条領域17によりガイドレール3に隣接し、且つ細条領
域17により結合されている2つの脚領域19によりガ
イドレール3の側面13に隣接している。走行体7は、
該走行体で支持されている無端の転動体ループ21によ
りガイドレール3上をころがり案内されている。転動体
ループ21は走行体7の脚領域19に配置されている。
その転動体はガイドレール3の走行軌道23において転
動する。走行軌道23は台形状の戻し部15の傾斜側面
25に形成されている。走行体7の両脚領域19はそれ
ぞれ2つの転動体ループ21を担持しており、より厳密
には、これら転動体ループ21が縦軸線5を含むガイド
レール3の縦中心面に関し対象に位置するように担持し
ている。転動体ループ21の転動体はたとえばボール、
ころ、円筒体または針である。
【0037】このリニアガイド装置は任意に使用でき
る。たとえば工作機械において工具または工作物を可動
に案内するために使用でき、或いは操作装置または測定
システムにも使用できる。これらの使用例においてはい
ずれの場合も、ガイドレール3に沿った走行体7の正確
な位置を検出する必要がある。これはたとえば工作物に
おける個々の加工工程を精密に制御できるようにするた
めである。このためリニアガイド装置は、全体を27で
示した位置測定装置を有している。位置測定装置27
は、基本的な構成要素として、ガイドレール3で保持さ
れるメジャーテープ29と、走行体7により担持される
センサヘッド31とを有している。メジャーテープ29
は実質的にガイドレール3の全長にわたって敷設されて
おり、いかなる場合も、走行体7がガイドレール3の軸
線方向に該ガイドレール3に対して相対的に有している
運動遊び空間全体にわたって敷設されている。走行体7
がガイドレール3に対して相対運動すると、センサヘッ
ド31はメジャーテープ29を走査し、測定信号導線3
3を介して対応するセンサ信号を特にマイクロプロセッ
サで処理される評価回路35へ送る。評価回路35は、
送られてきたセンサ信号を用いてガイドレール3に沿っ
た走行体7の位置を求める。センサヘッド31を直接メ
ジャーテープ29に対向するように走行体7に配置し
て、センサヘッド31によるメジャーテープ29の走査
に対する外部の影響、たとえば外部の電磁場による影響
をできるだけ少なくするのが有利である。この場合、特
殊なシールド要素によりセンサヘッド31を外部の放射
場から遮蔽するようにしてもよい。
【0038】メジャーテープ29の一部分を図3に示し
た。メジャーテープ29は多数の等間隔のスリット37
を有している。スリット37はメジャーテープ29の長
手方向に連続するように該メジャーテープ29に穿設さ
れており、細条部39により互いに切り離されている。
連続する2つのスリット37の間隔はメジャーテープ2
9のスケールの目幅に対応している。この間隔は図3に
おいてdで示されており、たとえば1mmである。bは
スリット37の幅で、たとえば0.5mmである。細条
部39も同様に0.5mm幅である。
【0039】メジャーテープ29は金属から製造されて
おり、たとえばニッケルを比較的多く含んだ鋼から製造
されている。この場合細条部39は透磁率の高いゾーン
を形成する。これに対してスリット37は透磁率の小さ
いゾーンを形成する。メジャーテープ29を走査するた
め、たとえば、永久磁石により予め磁気付勢された磁気
抵抗部を持つフィールドプレートを使用することができ
る。或いは、たとえばホールプローブを使用してもよい。
格子状に構造化されたメジャーテープ29の交互的な透
磁率は、フィールドプレートまたはホールプローブがメ
ジャーテープ29に沿って移動したときに磁束密度を周
期的に変動させる。磁束密度が変動すると、センサヘッ
ド31の検知部材(これはフィールドプレートまたはホ
ールプローブ或いは他の部材である)において電圧また
は電流を変化させ、この変化はセンサ信号として評価回
路35へ送られる。センサ信号は高周波数の正弦状の基
本振動を有することがあり、その振幅は変動する磁束密
度に応じて変調される。評価回路35はこの振幅の変動
を一連のパルスに置換する。このパルスは任意の形状を
有していてよく、たとえばパルス列は正弦状、長方形ま
たは三角形の形状を有していてよい。また、ほぼ理想的
なパルスのパルス列も考えられる。スケールの目幅、す
なわち目盛りとして用いられる2つのスリット37の間
隔は既知であり、センサ信号に含まれているそれぞれの
パルスはセンサヘッド31により走査されるスリット3
7(または細条部39)に対応しているので、センサヘ
ッド31から送られてくるパルス数から、走行体7がガ
イドレール3に沿って走行した距離を決定することがで
きる。走行体7の初期位置が既知であれば、走行した距
離から現時点での走行体7の位置を決定することができ
る。リニアガイド装置の作業を記録する前に位置測定装
置27の参照化を行なって、たとえばガイドレール3上
での走行体7の終端位置に対する参照測定値および(ま
たは)走行体7の他の際立った位置に対する参照測定値
を得るようにするのが合目的である。これらの参照測定
値は、リニアガイド装置の作業中に、ガイドレール3上
での走行体7の現時点の相対位置を決定するためのベー
スとして用いられる。
【0040】たとえば位置測定装置27に対する電圧供
給が不足した場合には、上記の参照測定値が失われるこ
とが考えられる。この場合に新たに測定システムの参照
化をしなくて済むようにするため、メジャーテープ29
は、スケールマークの第1のトラックを形成しているス
リット37以外に、他の平行なトラックに間隔を持って
コード化された参照スリット41を担持している。参照
スリット41は走行体7の迅速な位置決定を可能にす
る。これらの参照スリット41のうち対を成して隣接し
あっている参照スリットはそれぞれ異なった間隔を有し
ている。たとえば図3において左側の参照スリット41
と中央の参照スリット41は間隔Xを有し、これに対
し中央の参照スリット41と右側の参照スリット41の
間隔はXである。また左側の参照スリット41と、こ
のスリットのすぐ左側のスリットとの間隔はXであ
る。
【0041】評価回路35は、供給されるセンサ信号の
うち、参照スリット41のオーバーランに関わる信号パ
ルスと、スリット37のオーバーランに関わる信号パル
スとを区別することができる。このためセンサヘッド3
1は、たとえば2つの別個のセンサ要素を有することが
でき、そのうち一方のセンサ要素がスリット37のトラ
ックを走査し、他方のセンサ要素が参照スリット41の
トラックを走査する。この場合評価回路35は、連続す
る2つの参照スリット41の間の距離を走破する際にス
リット37により生じる信号パルスの数量から、連続す
る2つの参照スリット41の間隔を算出する。それぞれ
隣接する参照スリット41間の対ごとに異なっている間
隔は評価回路35に作表して記憶されている。したがっ
てガイドレール3に沿った走行体7の実際の位置は、走
行体7および走行体7とともにセンサヘッド31が連続
する2つの参照スリット41上を通過し、両参照スリッ
ト41間の間隔が算出され、予め記憶されている表にお
いて、参照スリット41のどの対がこの算出された間隔
を有しているか、そしてこの対の参照スリット41がメ
ジャーテープ29に沿ってどこにあるかを調べることに
より決定することができる。
【0042】ガイドレール3上の走行体7の運動方向に
関する情報を得るため、センサヘッド31は長手方向に
互いにずらして配置される2つのセンサ要素を有するこ
とができる。これらセンサ要素は両方ともスリット37
のトラックを走査する。これら2つのセンサ要素により
提供される位相がずれた信号から走行体の運動方向を決
定することができる。基本的には、メジャーテープ29
に、スケール目幅が同じ2つの平行なスリット37のト
ラックを設け、両トラックのスリット37を互いにずら
して配置してもよい。この場合、両トラックの走査はず
れていない2つのセンサ要素を用いて行なう。
【0043】本発明の範囲内では、基本的には、回転体
の長手方向の位置および(または)角度位置を検出して
もよい。この場合には、1個または複数個のトラックの
メジャーマークを備えたメジャーテープを円弧に沿って
或いは螺旋に沿って回転体に取り付けることができる。
トラックを適当に増やせば、たとえばそれぞれのトラッ
クを角度メジャーとして利用することができる。それぞ
れのトラックの個々のメジャーマークは長手方向におけ
る位置を検出するために使用される。この原理は、セン
サヘッドが平面に対し相対的に互いに直交する2つの運
動方向に運動できるようなケースに対しても適用でき
る。
【0044】たとえば、特定の縦部分において他の縦部
分よりも高解像度が要求される場合、センサ装置とその
下流側の演算段とを適当に構成すれば、スリット37を
周期的に配置する代わりに、スリット37の非周期的な
パターンも可能である。
【0045】基本的には、当業者により場合に応じて決
定できるような任意のマーク列またはマークプロフィー
ルが可能である。メジャーテープ29は、リニアガイド
装置の耐用期間中できるだけ交換しないようにする必要
はないが、特に工作機械においては作業条件が非常に過
酷であるので、メジャーテープ29をガイドレール3に
格納して保護するのが望ましく、衝突或いは衝撃のよう
な機械的な作用、冷媒および潤滑剤の作用、その他のア
グレッシブな化学薬品の作用、およびたとえばリニアモ
ータにより生じる磁場のような外側の場の作用に対して
保護するのが望ましい。さらに、リニアガイド装置が揺
動荷重或いは振動荷重を受けた場合にメジャーテープ2
9がスリップしたり剥離したりする恐れがないようにメ
ジャーテープ29をガイドレール3に取り付けるのが望
ましい。
【0046】図1に図示したリニアガイド装置の場合、
メジャーテープ29は縦軸線5の方向に延びる縦溝43
内に収納されている。縦溝43はメジャーテープ29の
ための受容ダクトを形成しており、ガイドレールの外面
45に形成されている。縦溝43は両側面13の一方
に、その走行軌道23に設けるのが有利であり、特にこ
の側面13の台形状の戻り部15の底部に設けるのが有
利である。或いは、この種の縦溝43をガイドレール3
のヘッド11または担持ベース1に穿設して、そのなか
にメジャーテープ29を埋め込んでもよい。
【0047】メジャーテープ29は縦溝43のなかに完
全に埋設されている。メジャーテープ29を保護するた
め、メジャーテープ29を縦溝43内に完全にカプセリ
ングしているカバーベルト47が設けられている。カバ
ーベルト47は前述した可能な外的影響からメジャーテ
ープ29を保護している。センサヘッド31によるメジ
ャーテープ29の走査はカバーベルト47により阻害さ
れない。カバーベルト47は金属からなっているのが有
利で、たとえばほぼ0.1mm厚の金属箔から形成され
ている。金属製のカバーベルト47の透磁率が全体的に
一様であれば、メジャーテープ29の交互性の透磁率の
走査はカバーベルト47により阻害されない。
【0048】次に図2を参照する。メジャーテープ29
は平坦な状態で縦溝43の溝底に載置されている。メジ
ャーテープ29は、後述するように、そのテープ端部だ
けがガイドレール3に固定されており、すなわち溶接に
より固定されている。場合によってはメジャーテープ4
3を縦溝43のなかに圧入して、テープ端部の間を摩擦
保持により縦溝43の側面に固定し、ガイドレール3か
ら離間しないようにしてもよい。これは、特に、カバー
ベルト47が直接メジャーテープ29に載置されるので
はなく、カバーベルトとメジャーテープの間にわずかな
間隔がある場合に行なわれる。
【0049】カバーベルト47は、その長手方向に対し
て横方向に見ると、両側がメジャーテープ29から突出
しており、メジャーテープ29から突出している両縁部
分によりそれぞれ支持段部49に載置されている。支持
段部49は縦溝43のそれぞれの側面に形成されてい
る。したがって支持段部49はカバーベルト47のため
の載置面を形成している。支持段部49と縦溝43と
は、境界を接しているガイドレール3の表面領域へ少な
くともほぼ面一に移行するように構成され、サイズを選
定されている。ここで、少なくともほぼ面一に移行する
とは、カバーベルト47の幅狭側の縦縁と縦溝43の側
面との間に間々小さな隙間は避けられないことを考慮し
たものである。この隙間は、図2においてカバーベルト
47の両側縁に符号51で示されている。隙間51は、
縦溝43が製造上鋭稜な段差移行部を有するものではな
く、たとえば縦溝43を研削ディスクによりガイドレー
ル3に穿設した場合のように、丸い段差移行部を有して
いることから生じるものである。隙間51は通常は、ガ
イドレール3に対する走行体7の密封にほとんどの場合
無視できる程度に影響するにすぎないが、以下に述べる
ように他の観点では支障をきたすこともある。メジャー
テープ29を外部に対して密封するため、カバーベルト
47はその両側縁に沿ってガイドレール3と溶接され
る。これに対応する溶接継ぎ目を図2において53で示
す。溶接方法としてはレーザー溶接を適用するのが有利
である。基本的には、電子溶接またはプラズマ溶接を適
用してもよい。いま、カバーベルト47とガイドレール
3との突合せ溶接を試みようとすると、すなわちカバー
ベルト47の幅狭側が縦溝43の側面に対し鈍角で突合
せになっている個所で溶接を行なうと、隙間51が溶接
結果に悪影響することがある。これに加えて、カバーベ
ルト47と縦溝43との製造公差のために、ガイドレー
ル3に沿った隙間51の大きさがまちまちになることが
ある。その結果、ガイドレール3に沿ってかなり異なる
溶接結果が得られることになる。このため、カバーベル
ト47の側縁に直接溶接するのではなく、いくぶんベル
ト中心部のほうへずらして溶接するのが有利である。こ
れによれば溶接は、支持段部49によって形成されるカ
バーベルト47用載置面の領域においてカバーベルト4
7とガイドレール3との材料溶融が行なわれるように実
施される。すなわちカバーベルト47を貫通するように
溶接される。このような溶接方法の結果を図2に示す。溶
接継ぎ目53は隣接するカバーベルト47の側縁から間
隔を持って延びている。カバーベルト47の材料溶融は
その側縁においては認められず、特にカバーベルト47
とガイドレール3の材料溶融も認められない。数値例と
しては、カバーベルト47のベルト幅はほぼ6.9mm
であり、溶接継ぎ目53の幅はそれぞれほぼ0.3m
m、溶接継ぎ目53の中心から隣接するカバーベルト4
7の側縁までの間隔はほぼ0.4mmである。
【0050】この場合レーザー溶接が特に適している。
というのは、レーザー溶接は非常に小さな溶融ゾーンを
可能にし、したがって精密な溶接継ぎ目53をもたらす
ことができるからである。カバーベルト47の中心に対
する溶接継ぎ目53のずれはメジャーテープ29および
そのメジャーマークに対してほとんど影響しない。なぜ
なら特にレーザー溶接の場合熱の影響は小さく、溶接の
際に生じる加熱によるメジャーマークの精度への影響の
恐れを考慮する必要がないからである。
【0051】次に図4ないし図6を参照する。図1ない
し図3に図示した構成要素と同じ構成要素または同じ作
用をする構成要素であれば、図1ないし図3で使用した
符号に100をプラスして記すことにする。以下で特に
説明しない限りは、これらの構成要素の説明は図1ない
し図3の実施形態を参照するにとどめる。
【0052】図1のリニアガイド装置のガイドレール3
は、通常その都度の適用例に適した長さのレールトラッ
クに短縮される。このレールトラックは標準的な長さで
はたとえばほぼ6mである。或いはレールトラックは無
端トラックとして圧延、鋳造または押出し成形により製
造される。この種のレールトラックを図4に示す。103
がレールトラックである。このレールトラック103に
は、個々のレール片に分割する前にほぼその全長にわた
ってメジャーテープ129を備えさせる。メジャーテー
プ129はテープ一端においてレールトラック103に
固定され、有利には抵抗点溶接により固定される。図4
において155が溶接点である。レールトラック103
の縦溝143に挿入されるメジャーテープ129は縦溝
143内に実質的に平坦に位置するように単に緊張せし
められるのではなく、テープ他端をもレールトラック1
03に固定する前に伸張装置157により弾性伸張せし
められる。図ではかなり概略的に示した伸張装置157
は、レールトラック103に締め付け固定可能な締め付
け部分159と、この締め付け部分159に対し相対的
に変位可能な能動部分161とを有することができる。
能動部分161はグリップ163によりメジャーテープ
129に作用することができる。たとえばグリップ16
3はメジャーテープ129のメジャーマークとして用い
られるスリット137に係合することができる。能動部
分161を締め付け部分159に対して変位させるた
め、たとえば微動ねじ165を設けてよい。変位量はた
とえばスケール装置167で読み取ることができる。微
動ねじ165の操作によりメジャーテープ129の所望
の伸張、たとえば1mあたりほぼ70−100μmが達
成されると、メジャーテープ129は溶接点155とは
逆の側のテープ端部においてもレールトラック103に
固定され、この場合も点溶接によって固定するのが有利
である。次にメジャーテープ129は、その両テープ端
部の間において弾性的に伸張付勢して保持され、この伸
張付勢によりメジャーテープ129の起伏が解消され
る。起伏は、メジャーテープ129に対して、備蓄ロー
ラから巻き戻されるテープ材料を使用する場合に発生す
ることがある。端部側の点溶接部の間においてメジャー
テープ129をレールトラック103にさらに固定する
ことはさしあたり行なわない。
【0053】次に、メジャーテープ129をカバーベル
ト147により覆う。カバーベルト147はレールトラ
ック103のほぼ全長にわたって縦溝143内に挿入さ
れ、レールトラック103と溶接される。この状況を図
5に示す。カバーベルト147をレールトラック103
と溶接するため、長手方向に延びるカバーベルト147
の両側縁に沿って且つ両側縁からわずかに間隔を持っ
て、それぞれ1つの縦溶接継ぎ目153を図に示唆した
溶接装置169を用いて形成させる。これらの縦溶接継
ぎ目153は時間的に同時にカバーベルト147のベル
ト一端から形成される。これは、溶接時にカバーベルト
147が最小限の変形しかしないことを保証する。縦溶
接継ぎ目153は中断することなくほぼカバーベルト1
47の全長にわたって延びている。さらにカバーベルト
147のベルト端部には横溶接継ぎ目171が形成さ
れ、カバーベルト147の下方にメジャーテープ129
を完全にカプセリングするようになっている。
【0054】溶接装置169は、強度が等しい2つのレ
ーザー光線173を放出する二重焦点型レーザー溶接機
であるのが有利である。しかしこの場合も他の溶接方
法、たとえば電子線溶接を採用してもよい。
【0055】図6は、カバーベルト147が完全にレー
ルトラック103に取り付けられた状態を示している。
この場合メジャーテープ129は不動状態で縦溝143
内にある。このように準備を完了したレールトラック1
03から、メジャーテープをカバーしたままで、顧客の
要望に応じて個々のレール片が切り取られる。分離予定
の個所を図6では破線175で示唆した。この分離個所
により、たとえば図1のリニアガイド装置において使用
されるレール片3がレールトラック103から切り取ら
れる。レールトラック103を分離個所175で切断す
る前に、メジャーテープ129は分離個所175の両側
で局部的にレールトラック103に固定される。このた
め、レールトラック103の長手方向において分離個所
175の左右に溶接点177が設定される。これらの溶
接点177をカバーベルト147が貫通し、溶接点17
7はメジャーテープ129をレールトラック103と点
状に溶接させる。したがって、このように分離個所に近
い位置でメジャーテープ129とレールトラック103
とを溶接することにより、メジャーテープの弾性伸張が
失われることなくレール片3の切り取りが行なわれる。
むしろ溶接点177は、レール片3を切り取った後、短
くされたレールトラック103に残っているメジャーテ
ープ129の残余部分或いは切り取られたレール片3に
付属しているメジャーテープ129の部分のための端部
側の固定個所を形成する。切り取られたレール片3に
も、短くされたレールトラック103にも、メジャーテ
ープ129の付属部分が弾性的に伸張付勢された状態で
残っている。レール片3を切り取った後、溶接点177
においては、横溶接継ぎ目171の場合と同様に横溶接
によりそれぞれのメジャーテープ部分の完全な密封が得
られる。
【0056】メジャーテープ129がレールトラック1
03に弾性伸張状態で取り付けられると、メジャーマー
ク、たとえば図3のスリット37および参照スリット4
1は、この時点ですでにメジャーテープ129に存在し
ている。しかし、メジャーテープ129をレールトラッ
ク103に取り付けた後にメジャーマークをメジャーテ
ープ129に形成させるようにしてもよい。
【0057】メジャーテープ129をレールトラック1
03に取り付ける前に該メジャーテープ129にメジャ
ーマークを備えさせる場合には、メジャーテープ129
を弾性伸張させた状態で適当な締め付け装置で締め付
け、メジャーマークを最終取り付け状態での目標ピッチ
でメジャーテープ129に形成させてよい。或いは、伸
張されていないメジャーテープにメジャーマークを形成
してもよい。この場合には、いわゆるマイナスピッチで
メジャーテープにメジャーマークが設けられる。ここで
マイナスピッチとは、メジャーテープの最終取り付け状
態、すなわち伸張状態での所望の目標間隔よりも狭い相
互間隔でメジャーマークをメジャーテープに設けること
である。
【0058】最後に挙げた方式を採用する場合には、マ
イナスピッチの大きさは、メジャーマークを設ける際に
通常避けがたい製造公差を考慮しても、ピッチの所望の
真正寸法を得るためにいかなる場合もメジャーテープの
伸張が必要であるように選定される。しかしながら、メ
ジャーマークを比較的高精度でメジャーテープに設ける
方法が提供されても、メジャーマーク間に間隔公差が生
じることがある。いくつかの連続するメジャーマークだ
けを考えてみると、この間隔公差は問題にならない程度
のオーダーであることも考えられる。しかし全長に数千
個のメジャーマークを備えた数メートルの長さのメジャ
ーテープを考えると、理論的に最も不都合な場合には、
それぞれ2つの連続するメジャーマーク間の間隔公差が
すべて加算される。その結果、メジャーテープ上の最初
のメジャーマークはほぼ正確に所望の位置に配置されて
いるが、数メートルの間隔で配置される最後のメジャー
マークは所望の目標位置に対してずれており、そのずれ
の大きさは、測定作動時にかなりの測定誤差が生じる恐
れがあるほどの大きさである。これに対して、メジャー
マークを意図的にマイナスピッチでメジャーテープに設
けて、このマイナスピッチを後でメジャーテープの弾性
伸張により補償すれば、最終生産物においては、メジャ
ーマークを表わすスケールの精度は非常に高いものにな
る。数値例を挙げると、図3のスリット37を所望のピ
ッチである1mmの間隔で設ける代わりに0.999m
mのピッチ間隔で非伸張状態のメジャーテープに設ける
ことができる。したがってピッチ間隔は意図的に1μm
だけ短く選定される。この場合70−100μmの範囲
の伸張があれば、対を成して連続しているスリット間に
平均して1mmの所望のピッチ間隔が得られ、さらにメ
ジャーテープの第1のメジャーマークがほぼ正確に最後
のスリットの目標間隔を有していることが明らかとなっ
た。
【0059】メジャーテープをレールトラックに取り付
ける際にメジャーテープをどの程度回転させねばならな
いかを、実験的に求めた伸張決定量の形で予め設定する
ことができる。また、メジャーテープを伸張させるため
にメジャーテープに作用させねばならない力の値を予め
設定するようにしてもよい。しかし、個々のケースに依
存した量だけメジャーテープを回転させるのが有利であ
る。このため、メジャーテープの伸張を測定作業台で行
なうことができる。測定作業台は構成された参照測定シ
ステムを有し、この測定システムのデータを、メジャー
テープをレールトラックに取り付けて伸張させる際に得
られる測定値と比較することができる。この測定作業台
の上にレールトラックを張設してよい。図4のように一
端をレールトラックに固定したメジャーテープは、他端
である自由端を測定作業台の伸張装置により把持され、
当初は「止められて」張設されているので、張った状態で
あり、まだ弾性範囲内で伸張していない。
【0060】参照測定システムは、校正された参照メジ
ャーバーと、参照メジャーバーを走行することができる
参照測定ヘッドとを有している。参照測定ヘッドには、
レールトラックに取り付けられるメジャーテープを走行
する第2の測定ヘッドが組み合わされる。参照測定ヘッ
ドはその都度レールトラックに沿って所定の距離を走行
する。参照測定システムは実際の距離に相当している走
行距離の値を提供する。同時に第2の測定ヘッドは、レ
ールトラックに保持されているメジャーテープのメジャ
ーマークを走査する。その際発生するパルスはカウント
される。このようにして求めた実際カウント値を、メジ
ャーマークが適正なピッチ間隔を持っている場合に得ら
れる目標カウント値と比較する。この目標カウント値
は、参照測定ヘッドが走行した距離と、レールトラック
に取り付けられるメジャーテープのメジャーマークのピ
ッチ間隔の所望の真正量から得られる。
【0061】当初メジャーテープがまだ伸張しておら
ず、そのメジャーマークがマイナスピッチで設けられて
いる場合は、検出された実際カウント値は目標カウント
値よりも大きい。これは、メジャーマークのピッチが小
さすぎるために、メジャーマークが目標ピッチ間隔を持
っている場合以上のメジャーマークが参照測定ヘッドの
走行距離で得られるからである。メジャーテープが再三
一定量だけより強く伸張し、この伸張の結果がすぐに参
照測定システムにより検討されることにより、メジャー
テープに対する目標状態に反復的に接近することができ
る。
【0062】このようにして得られたメジャーテープの
精度は、事前に分離個所の両側でメジャーテープがレー
ルトラックに固定されているので、後の時点でレールト
ラックから個々のレール片を切り離しても維持される。
したがって、多数のレール片を準備し、それぞれのレー
ル片に高精度で敷設されたメジャーテープを担持させる
には、前述した伸張・測定処理を、短縮されていないレ
ールトラックにおいて1回実施すれば十分である。これ
は時間コストと処理コストをかなり低減させる。
【0063】上記の伸張・測定処理によれば、メジャー
テープはその全長にわたって連続的にレールトラックに
固定することができ、一般的には担持体に固定すること
ができる。図3のスリット37,41をメジャーテープ2
9に設けるため、フォトレジスト技術を適用するのが有
利である。この場合、たとえばほぼ0.3m厚の無端金
属テープが備蓄ローラから巻き戻され、所望の場合には
くせとり部または平滑部を通過させた後、フォト処理部
へ搬送させる。このフォト処理部においては、金属テー
プの比較的短い部分だけを、スリットを形成させる目的
で処理する。この短い部分はたとえばほぼ10cmの長
さである。したがって金属テープは歩進的にフォト処理
部を通過するよう搬送され、場合によっては前後に設け
られる他の処理部へ搬送される。金属テープをさらに搬
送し、制動し、緊張を維持させるため、テープ材の加工
分野で知られているような適当な把持・制動機構が設け
られる。
【0064】フォト処理部においては、それぞれ処理さ
れる金属テープ部分に、徹底的なクリーニングおよび乾
燥を行なった後、フォトレジストの層が被着され、フォ
トレジスト層はフォトマスクを通じて露光される。フォ
トマスクは、図3のスリット37,41のパターンに相
当するスリットパターンを有している。露光されたフォ
トレジストを適当に中間処理した後、特に現像した後、
金属テープの被処理部分には、スリット37,41を生
じさせる露出個所を備えた塗料パターンが残る。次に金
属テープの被処理部分をエッチング浴に浸漬する。エッ
チング浴のエッチング溶液は、塗料のない個所にスリッ
ト37,41を金属テープの材料に腐食生成させる。金属
テープはエッチング浴を通過した後再び徹底的にクリー
ニングされ、他の処理部へ供給される。スリット37,4
1を具備させた金属テープはたとえば再び備蓄ローラに
巻き取ってよい。
【0065】図3に図示したメジャーテープ29の場
合、参照スリット41はスリット37に平行なトラック
に位置するようにメジャーテープ29に形成されてい
る。特にガイドレールが非常に小型の場合には、参照ス
リット41をスリット37から十分な間隔で設けるには
メジャーテープの幅が狭すぎるケースが生じる。スリッ
ト37と参照スリット41がメジャーテープの幅方向に
おいて互いに密接して位置するような場合には、スリッ
ト37から発生するセンサ信号を参照スリット41から
発生するセンサ信号に重畳することがあり、その結果評
価回路35が、スリット37の走査による信号パルスな
のか参照スリット41による信号パルスなのか判別でき
なくなる。これにより位置測定装置の機能が阻害される。
このように、スリットのトラックを2個以上並設するた
めにメジャーテープ上に十分なスペースが提供されない
ケースに対しては、図7の変形実施形態が適している。
このじっしけいたいでは、縦溝43の支持段部49の1
つが拡幅されている。この拡幅部は、ガイドレール3に
直接穿設される参照穴41’のためのスペースを提供す
る。参照穴41’は、スリット37,41と同様にして、
センサ機構から放出された磁場の磁束密度を変動させ
る。したがって参照穴41’はスリット37,41と同じ
ように検出を行なう。たとえば0.6mmの径で穿設さ
れる参照穴41’は、参照スリット41の代わりのもの
である。この場合メジャーテープ29はスリット37だ
けを担持し、したがって幅狭にすることができる。参照
穴41’はカバーベルト47により覆われているので、
汚染および損傷から保護されている。
【0066】メジャーテープとカバーベルトの間に中間
空間ができないよう配慮されることがある。カバーベル
トは、メジャーテープとの間にしっかりした結合部が存
在しないようにメジャーテープ上に載置されねばならな
い。この場合次のような問題が生じる。溶接の最、溶接ミ
スを回避するには、カバーベルトをガイドレールの縦溝
に圧入する必要がある。このため、使用される溶接装置
は、実際の溶接位置よりもいくぶん先行して位置する押
さえつけ装置を有している。この押さえつけ装置は、カ
バーベルトを押さえつけることにより、該カバーベルト
の下に中間空間なしに存在しているメジャーテープをも
機械的な押圧作用に曝すので、この押さえつけ装置メジ
ャーテープに対して不具合な作用を持っていることが明
らかになった。この押圧作用のためにメジャーテープが
変形するが、この変形はいかなる場合も二度と消滅する
ことはない。したがって最終的には、カバーベルトを押
さえつけることによりメジャーテープの精度に狂いが生
じる恐れがある。
【0067】このような問題を避けて通るため、縦溝4
3の支持段部49をわずかに傾斜させる。これを図8に
示す。図8からわかるように、支持段部49によって形
成される載置面は溝の外面のほうへわずかに加工してお
り、その角度αはたとえば約2゜である。カバーベルト
をこのように傾斜した支持段部に対し押し付けると、カ
バーベルトがわずかに湾曲するので、その下にあるメジ
ャーベルトからわずかに離間するこのようにしてメジャ
ーベルトは機械的な過圧作用から保護される。よって上
述のような変形の問題は生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の種々の観点を実現させることのできる
リニアガイド装置の断面図である。
【図2】図1に示したリニアガイド装置のガイドレール
の一部分を示す図で、段状溝に挿入され、カバーベルト
により覆われるメジャーテープをも併せて示した図であ
る。
【図3】図2のメジャーテープの平面図である。
【図4】図1に図示したリニアガイド装置の製造段階を
示す図である。
【図5】図1に図示したリニアガイド装置の製造段階を
示す図である。
【図6】図1に図示したリニアガイド装置の製造段階を
示す図である。
【図7】図2の変形実施形態を示す図である。
【図8】カバーベルト用の支持段部の領域におけるガイ
ドレールの詳細図である。
【符号の説明】
1 担持ベース 3 ガイドレール(第1の物体) 7 走行体(第2の物体) 29 メジャーテープ 37 スリット(メジャーマーク) 41 参照スリット(メジャーマーク) 155 溶接点(固定個所)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブルーノ シュネース ドイツ連邦共和国 デー・97478 クネッ ツガウ ハウプトシュトラーセ 93 (72)発明者 ヘルベルト キルヒナー ドイツ連邦共和国 デー・97422 シュヴ ァインフルト エバースベルクシュトラー セ 6

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互いに相対運動可能な2つの物体(3,
    7)の相対位置を検出する検出装置であって、両物体
    (3,7)のうち第1の物体(3)に別個のメジャーテ
    ープ(29)が取り付けられ、メジャーテープ(29)
    が、テープ長手方向に配分されたメジャーマーク(3
    7,41)の少なくとも1つのトラックを有し、両物体
    (3,7)のうち第2の物体(7)が、メジャーマーク
    (37,41)に応答するセンサ装置(31)を担持
    し、センサ装置(31)が両物体(3,7)の相対運動
    に伴い前記トラックに沿って走行するようにした前記検
    出装置において、 メジャーテープ(29)が、テープ長手方向に互いに間
    隔を持って配置される少なくとも2つの固定個所(15
    5)において第1の物体(3)に固定されており、且つ
    これら固定個所の間でテープ長手方向に弾性伸張してい
    ることを特徴とする検出装置。
  2. 【請求項2】メジャーテープ(29)が、テープ長手方
    向にて互いに対向するテープ端部の領域においてのみ第
    1の物体(3)に固定されていることを特徴とする、請
    求項1に記載の検出装置。
  3. 【請求項3】メジャーテープ(29)の弾性伸張がメジ
    ャーテープ(29)の縦方向の1メートルあたり少なく
    とも30μm、有利には少なくとも50μm、高々有利
    にはほぼ70ないし100μmであることを特徴とす
    る、請求項1または2に記載の検出装置。
  4. 【請求項4】メジャーテープ(29)が、切り売り製品
    として製造され備蓄ローラから取り出されるテープ材に
    より形成されていることを特徴とする、請求項1から3
    までのいずれか一つに記載の検出装置。
  5. 【請求項5】メジャーテープ(29)が金属材料から製
    造されていることを特徴とする、請求項1から4までの
    いずれか一つに記載の検出装置。
  6. 【請求項6】メジャーテープ(29)が、メジャーマー
    クの形成のため、テープ長手方向に連続している材料脆
    弱ゾーンまたは材料破断部(37,41)を備えている
    ことを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一つ
    に記載の検出装置。
  7. 【請求項7】メジャーマーク(37,41)が、テープ
    長手方向に規則的な間隔で連続しているマーク群(3
    7)を有していることを特徴とする、請求項1から6ま
    でのいずれか一つに記載の検出装置。
  8. 【請求項8】メジャーマーク(37,41)が参照マー
    ク群(41)を有し、参照マーク群(41)は、第1の
    物体(3)に対する第2の物体(7)の初期位置を検知
    することなく参照マーク群(41)のうち高々数個の少
    量の連続する参照マーク(41)上方を走行することに
    より第1の物体(3)に対する第2の物体(7)の最終
    位置を少なくとも近似的に決定できるように構成され、
    および(または)メジャーテープ(29)に局在してい
    ることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか一
    つに記載の検出装置。
  9. 【請求項9】テープ長手方向に互いに対を成して隣接し
    ている参照マーク(41)が互いに間隔を有し、この間
    隔は対の少なくとも一部分に対して異なっていることを
    特徴とする、請求項8に記載の検出装置。
  10. 【請求項10】第1の物体(3)が縦軸線(5)を備え
    た縦長体であり、特にリニアガイド装置のガイドレール
    であり、メジャーテープ(29)が前記縦軸線(5)の
    方向で縦長体(3)に取り付けられていることを特徴と
    する、請求項1から9までのいずれか一つに記載の検出
    装置。
  11. 【請求項11】請求項10に記載の装置の製造方法であ
    って、縦長体(3)を準備するため、縦長片を分断個所
    (175)においてビレット材(103)から分断する
    ようにした前記方法において、 分断される縦長片(3)よりも長い、所望の場合には複
    数倍長いビレット材(103)の一部分にわたって延び
    るメジャーテープ(129)を使用すること、このメジ
    ャーテープ(129)をまず、その縦軸線方向において
    互いに対向している端部の領域でのみ、弾性伸張させた
    状態で端部側の固定個所(155)においてビレット材
    (103)に固定すること、次にメジャーテープ(12
    9)を、縦軸線方向において分断個所(175)の両側
    で分断個所付近の補助的な固定個所(177)において
    ビレット材(103)に固定すること、次にビレット材
    (103)をメジャーテープ(129)とともに分断個
    所付近の前記固定個所(177)において切断すること
    を特徴とする方法。
  12. 【請求項12】メジャーテープ(129)を固定個所
    (155,177)において溶接により、特に点溶接に
    よりビレット材(103)に固定することを特徴とす
    る、請求項11に記載の方法。
  13. 【請求項13】ビレット材(103)を切断する前に、
    ビレット材(103)とメジャーテープ(129)とは
    別個の、ビレット材(103)の前記一部分の長さにわ
    たって延びるメジャーテープカバー(147)を、ビレ
    ット材(103)に対して不動に該ビレッド材(10
    3)に取り付け、メジャーテープカバー(147)を分
    断個所(175)においてビレット材(103)および
    メジャーテープ(129)とともに切断し、所望の場合
    には切断前に、分断個所(175)付近でビレット材
    (102)および(または)メジャーテープ(129)
    に固定することを特徴とする、請求項11または12に
    記載の方法。
  14. 【請求項14】メジャーテープカバー(147)とし
    て、その縦軸線の方向に延びる縦縁に沿って、所望の場
    合にはほぼ連続してビレット材(103)に固定される
    カバーベルトを使用することを特徴とする、請求項13
    に記載の方法。
  15. 【請求項15】互いに相対運動可能な2つの物体(3,
    7)の相対位置を検出する検出装置であって、両物体
    (3,7)のうち第1の物体(3)がマーク領域に配分
    されたメジャーマーク(37,41)を担持し、両物体
    (3,7)のうち第2の物体(7)がメジャーマーク
    (37,41)に応答するセンサ装置(31)を担持
    し、センサ装置(31)が両物体(3,7)の相対運動
    に伴ってマーク領域を走行し、メジャーマーク(37,
    41)が第1の物体(3)とは別個のカバーベルト(4
    7)により覆われており、カバーベルト(47)が、そ
    の第1の物体(3)側の平面によって第1の物体の載置
    面(49)に載置され、且つベルト縦方向に延びている
    両縦縁に沿ってそれぞれ少なくとも1つの縦溶接継ぎ目
    (53)により第1の物体(3)に固定されている、特
    に請求項1から10までのいずれか一つに記載の検出装
    置および特に請求項11から14までのいずれか一つに
    記載の方法に従って製造された検出装置において、縦溶
    接継ぎ目(53)が、ベルト縦方向に対して横方向にカ
    バーベルト(47)の隣接の縦縁から間隔を持って延び
    ており、且つ載置面(49)の領域で、第1の物体
    (3)とともにカバーベルト(47)の材料溶融ゾーン
    を形成していることを特徴とする検出装置。
  16. 【請求項16】メジャーマーク(37,41)が第1の
    物体(3)のレリーフ状の凹部(43)に埋設され、カ
    バーベルト(47)がこのレリーフ状の凹部(43)に
    挿入されていることを特徴とする、請求項15に記載の
    検出装置。
  17. 【請求項17】カバーベルト(47)の外面が境を接し
    ている第1の物体(3)の表面領域(45)とほぼ面一
    になるようにカバーベルト(47)がレリーフ状の凹部
    (43)に挿入されていることを特徴とする、請求項1
    6に記載の検出装置。
  18. 【請求項18】レリーフ状の凹部(43)が段状の凹部
    として形成され、カバーベルト(47)のための載置面
    が凹部の支持段部(49)により形成されていることを
    特徴とする、請求項16または17に記載の検出装置。
  19. 【請求項19】カバーベルト(47)がレーザー溶接に
    より第1の物体(3)に取り付けられていることを特徴
    とする、請求項15から18までのいずれか一つに記載
    の検出装置。
  20. 【請求項20】メジャーマーク(37,41)が、第1
    の物体(3)とカバーベルト(47)とは別個のマーク
    担持体(29)に配置されていることを特徴とする、請
    求項15から19までのいずれか一つに記載の検出装
    置。
  21. 【請求項21】互いに相対運動可能な2つの物体(3,
    7)の相対位置を検出する検出装置にして、両物体
    (3,7)のうち第1の物体(3)がマーク領域に配分
    されたメジャーマーク(37,41)を担持し、両物体
    (3,7)のうち第2の物体(7)がメジャーマーク
    (37,41)に応答するセンサ装置(31)を担持
    し、センサ装置(31)が両物体(3,7)の相対運動
    に伴ってマーク領域を走行するようにした前記検出装置
    を製造する方法であって、メジャーマーク(37,4
    1)を第1の物体(3)とは別個のカバーベルト(4
    7)により覆い、カバーベルト(47)を、その第1の
    物体(3)側の平面によって第1の物体の載置面(4
    9)に載置し、且つベルト縦方向に延びている両縦縁に
    沿ってそれぞれ少なくとも1つの縦溶接継ぎ目(53)
    により第1の物体(3)に固定するようにした、特に請
    求項1から10までのいずれか一つに記載の検出装置お
    よび(または)特に請求項15から20までのいずれか
    一つに記載の検出装置を製造する方法において、 縦溶接継ぎ目(53)を、ベルト縦方向に対して横方向
    にカバーベルト(47)の隣接の縦縁から間隔を持って
    取り付け、しかも縦溶接継ぎ目(53)が、所望の場合
    にはもっぱら載置面(49)の領域でのみ、第1の物体
    (3)とともにカバーベルト(47)の材料溶融部を生
    じさせるように取り付けることを特徴とする方法。
  22. 【請求項22】互いに相対運動可能な2つの物体(3,
    7)の相対位置を検出する検出装置にして、両物体
    (3,7)のうち第1の物体(3)がマーク領域に配分
    されたメジャーマーク(37,41)を担持し、両物体
    (3,7)のうち第2の物体(7)がメジャーマーク
    (37,41)に応答するセンサ装置(31)を担持
    し、センサ装置(31)が両物体(3,7)の相対運動
    に伴ってマーク領域を走行するようにした前記検出装置
    を製造する方法であって、メジャーマーク(37,4
    1)を第1の物体(3)とは別個のカバーベルト(4
    7)により覆い、カバーベルト(47)を、その第1の
    物体(3)側の平面によって第1の物体の載置面(4
    9)に載置し、且つベルト縦方向に延びている両縦縁に
    沿ってそれぞれ少なくとも1つの縦溶接継ぎ目(53)
    により第1の物体(3)に固定するようにした、特に請
    求項1から10までのいずれか一つに記載の検出装置お
    よび(または)特に請求項15から20までのいずれか
    一つに記載の検出装置を製造する方法において、 カバーベルト(47)の異なる2つの縦縁に隣接する溶
    接継ぎ目(53)を実質的に同時に形成させることを特
    徴とする方法。
  23. 【請求項23】実質的に同時に形成される縦溶接継ぎ目
    (53)を同じ溶接装置で形成させることを特徴とす
    る、請求項22に記載の方法。
  24. 【請求項24】実質的に同時に形成される縦溶接継ぎ目
    (53)を、カバーベルト(47)の縦方向の一端部か
    ら同時に形成させることを特徴とする、請求項23に記
    載の方法。
  25. 【請求項25】実質的に同時に形成される縦溶接継ぎ目
    (153)を、二重焦点光学系を備えたレーザー溶接機
    (169)を用いて形成させることを特徴とする、請求
    項22から24までのいずれか一つに記載の方法。
  26. 【請求項26】メジャーテープ(29)を別個の担持体
    (3)に取り付けるための方法であって、特に請求項1
    から10までのいずれか一つに記載の検出装置を準備す
    るための前記方法において、 メジャーテープ(29)を、テープ縦方向に互いに間隔
    を持って配置される少なくとも2つの固定個所(15
    5)において、これら固定個所(155)の間で弾性伸
    張させて担持体(3)に固定することを特徴とする方
    法。
JP2000141902A 1999-05-14 2000-05-15 互いに相対運動可能な2つの物体の相対位置を検出する装置の製造方法 Expired - Lifetime JP3437146B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012525752A (ja) * 2009-04-29 2012-10-22 ワイドミュラー インターフェース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト バス加入者モジュールの非接触エネルギー/データ供給用のシステム

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6468203B2 (en) 2000-04-03 2002-10-22 Neoguide Systems, Inc. Steerable endoscope and improved method of insertion
US8517923B2 (en) 2000-04-03 2013-08-27 Intuitive Surgical Operations, Inc. Apparatus and methods for facilitating treatment of tissue via improved delivery of energy based and non-energy based modalities
US8888688B2 (en) 2000-04-03 2014-11-18 Intuitive Surgical Operations, Inc. Connector device for a controllable instrument
US6610007B2 (en) 2000-04-03 2003-08-26 Neoguide Systems, Inc. Steerable segmented endoscope and method of insertion
US20020133964A1 (en) * 2001-02-13 2002-09-26 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetic length measuring device
DE10211155A1 (de) * 2002-03-14 2003-09-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zur Herstellung eines ringförmigen Maßstabs
JP4509483B2 (ja) * 2002-03-30 2010-07-21 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング リニアエンコーダ及びリニアガイドユニット
DE10243021A1 (de) * 2002-09-17 2004-03-25 Ina-Schaeffler Kg Führungsschiene eines Linearwälzlagers
JP4230810B2 (ja) * 2003-04-24 2009-02-25 株式会社ミツトヨ 測長装置
DE102004027218A1 (de) * 2004-06-03 2005-12-29 Seeger Gmbh Meßeinrichtung mit Linearführung
DE502005001053D1 (de) 2005-03-08 2007-08-30 Bosch Rexroth Mechatronics Massverkörperung mit parallelen Massbändern
EP1731878A1 (de) * 2005-06-07 2006-12-13 AMO Automatisierung Messtechnik Optik GmbH Maschinenführungselement mit kompensiertem Längenmesssystem
EP1742023A1 (de) * 2005-07-06 2007-01-10 Schneeberger Holding AG Linearführungssystem mit Vorrichtung zur Positionsmessung
DE102005047009A1 (de) * 2005-09-30 2007-04-05 Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh Absolutes Positionsmesssystem
DE102006003916A1 (de) * 2006-01-27 2007-08-02 Robert Bosch Gmbh Längskörper und Herstellungsverfahren für einen Längskörper
DE102006003915B4 (de) * 2006-01-27 2019-05-09 Robert Bosch Gmbh Längskörper mit einer eine Längsrichtung definierenden Längsachse
DE102006003980A1 (de) * 2006-01-27 2007-08-02 Schaeffler Kg Linearführungseinheit mit Längenmesssystem
DE102006029384A1 (de) * 2006-06-27 2008-01-03 Schaeffler Kg Führungsschiene für ein Linearwälzlager
DE102007009994A1 (de) 2007-03-01 2008-09-04 Robert Bosch Gmbh Induktiver Sensor
DE102007027740B4 (de) * 2007-06-16 2024-02-08 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Kraftfahrzeug mit einem beweglichen Dach und einem ausfahrbaren Überrollschutzelement
DE102007042796A1 (de) 2007-09-07 2009-03-12 Robert Bosch Gmbh Führungsschiene mit absoluter Maßverkörperung
JP5053039B2 (ja) * 2007-10-31 2012-10-17 株式会社森精機製作所 位置検出装置
US7530177B1 (en) * 2007-11-08 2009-05-12 Mitutoyo Corporation Magnetic caliper with reference scale on edge
DE102008022312B4 (de) 2008-05-06 2022-12-01 Robert Bosch Gmbh Abtastvorrichtung mit U-förmigem Deckel und Linearlager
DE202008006293U1 (de) * 2008-05-08 2008-07-10 Schneeberger Holztechnik Ag Maßelement
DE102008046740A1 (de) 2008-09-11 2010-03-18 Schaeffler Kg Maßverkörperung in Profilschienenführung
DE102008063598A1 (de) * 2008-12-18 2010-08-05 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Wälzlagerung zweier zumindest axial zueinander verschiebbarer Bauteile, insbesondere für Getriebe-Schaltelemente
US20100162582A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 Chih-Mao Shiao Positioning Device of a Magnetic Ruler
DE102009009308A1 (de) 2009-02-17 2010-08-19 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit Abtastvorrichtung
US20100315071A1 (en) * 2009-06-10 2010-12-16 Timo Galm Read head
DE102009043293A1 (de) * 2009-09-29 2011-03-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
CH703722B1 (de) 2010-09-14 2014-08-15 Bosch Gmbh Robert Kollektion von Linearlagern mit im Wesentlichen identischer Abtastbaugruppe.
DE102010053008A1 (de) 2010-11-30 2012-05-31 Robert Bosch Gmbh Positionsmesseinrichtung mit lageverstellbarem Referenzpuls
DE102010054102A1 (de) 2010-12-10 2012-06-14 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit gesonderter Maßverkörperung
WO2012079600A1 (de) 2010-12-16 2012-06-21 Pepperl+Fuchs Gmbh Lesekopf
EP2652446B1 (de) 2010-12-16 2017-01-18 Pepperl & Fuchs GmbH Positionsbestimmungssystem
US8903548B2 (en) * 2010-12-16 2014-12-02 Pepperl + Fuchs Gmbh Position finding system
DE102011079464A1 (de) * 2011-07-20 2013-01-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
DE102011118532B4 (de) 2011-11-15 2020-10-29 Robert Bosch Gmbh Belichtungsvorrichtung mit Wendeeinrichtung und Verfahren zum Betrieb der Belichtungsvorrichtung
DE102013223289A1 (de) 2013-11-15 2015-05-21 Robert Bosch Gmbh Führungsschiene mit verschlossenen Referenzbohrungen
DE102015207275B4 (de) * 2015-04-22 2018-06-07 Robert Bosch Gmbh Maßverkörperung mit signalkompensierenden Markierungen
JP6615206B2 (ja) * 2015-08-19 2019-12-04 株式会社Fuji 測定装置
JP6085658B1 (ja) * 2015-10-28 2017-02-22 Thk株式会社 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置
CN106839962A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 无锡乐华自动化科技有限公司 一种弹性钢片回路式机床导轨检测机构和检测流程
JP6234497B2 (ja) * 2016-03-15 2017-11-22 Thk株式会社 エンコーダ装置及びエンコーダ装置付き運動案内装置
DE102016205575A1 (de) 2016-04-05 2017-10-05 Robert Bosch Gmbh Führungswagen mit Verformungssensor am Laufbahnelement
DE102016208918B4 (de) 2016-05-24 2024-05-02 Robert Bosch Gmbh Führungsschiene mit Temperiernut und Verschlussteil
ES2700616T3 (es) * 2016-09-12 2019-02-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Dispositivo de medición de longitud y procedimiento para su montaje
DE102017201968A1 (de) 2017-02-08 2018-08-09 Robert Bosch Gmbh Führungsschiene mit Maßverkörperung an der Kopfseite
NL2018393B1 (nl) * 2017-02-20 2018-09-17 Wila Bv Inrichting voor het inklemmen van een gereedschap en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke inrichting
DE102017204879A1 (de) * 2017-03-23 2018-09-27 Robert Bosch Gmbh Linearwälzlager mit magnetoresistivem Positionsmesssystem
EP3623767A1 (de) * 2018-09-17 2020-03-18 Siemens Aktiengesellschaft Welle und verfahren zur herstellung einer welle, rotor und elektrische maschine
DE102018216828A1 (de) * 2018-10-01 2020-04-02 Robert Bosch Gmbh Adapter zur Befestigung einer Sensoreinheit an einem Maschinentisch
DE102018130985B3 (de) * 2018-10-02 2020-03-05 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Profilschiene und Verfahren zur Herstellung einer Profilschiene für eine Linearführung
FR3093561A1 (fr) * 2019-03-08 2020-09-11 Fels Dispositif de gestion du déplacement d’un chariot mobile le long d’un rail
DE102019212557A1 (de) * 2019-08-22 2021-02-25 Robert Bosch Gmbh Linearwälzlager mit Wegmesssystem und Schadendetektion
CN111426283B (zh) * 2020-04-14 2022-12-06 昆山金智汇坤建筑科技有限公司 一种用于建筑现场测量的激光扫描设备
TWI752751B (zh) * 2020-12-09 2022-01-11 上銀科技股份有限公司 用於偵測線性滑軌狀態的裝置和方法
DE102022000249A1 (de) 2022-01-24 2023-07-27 isel-automation GmbH & Co. KG Linearprofil und Lineareinheit
DE102022121460A1 (de) 2022-08-25 2024-03-07 TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG Maßverkörperungseinheit für eine induktive Längenmesseinrichtung einer Werkzeugmaschine, Verfahren und Werkzeug zum Herstellen der Maßverkörperungseinheit sowie Längenmesseinrichtung und Werkzeugmaschine
CN115950487B (zh) * 2023-03-09 2023-05-23 淮安市文善电子有限公司 一种自动焊锡机用竖料检测装置

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE297233C (ja)
DE245482C (ja)
DE294558C (ja)
DE269439C (ja)
DE297234C (ja)
DE297261C (ja)
US3816002A (en) * 1972-10-10 1974-06-11 H Wieg Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members
US4198757A (en) * 1976-07-09 1980-04-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Fastening apparatus for longitudinal measuring system
IT1152526B (it) * 1982-09-03 1987-01-07 Giacomo Giacomello Trasdutture a nastro metallico per misure micrometriche di grandezze lineari
DE3245914C1 (de) 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3316082A1 (de) * 1983-05-03 1984-11-08 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3577910D1 (de) * 1984-07-18 1990-06-28 Rsf Elektronik Gmbh Lineares messsystem.
US4785149A (en) * 1985-10-25 1988-11-15 Gilliland Malcolm T Distributed station welding system
DD245482A1 (de) * 1985-12-31 1987-05-06 Zeiss Jena Veb Carl Anordnung zur lagefixierung eines flexiblen messbandes bei der abtastung in laengenmesssystemen
DD269439A1 (de) * 1988-03-07 1989-06-28 Zeiss Jena Veb Carl Verfahren zur herstellung einer messverkoerperung fuer ein laengenmesssystem mit optoelektronischer durchlichtabtastung eines strukturierten, bandfoermigen und eleastischen teilungstraegers
DD294558A5 (de) * 1990-05-18 1991-10-02 Carl Zeiss Jena Gmbh,De Verfahren und anordnung zum kalibrieren eines digitalen laengenmesssystems
DD297234A5 (de) * 1990-08-08 1992-01-02 Carl Zeiss Jena Gmbh,De Anordnung zur lagestabilisierung eines flexiblen teilungstraegers eines laengenmesssystems an einer maschine
DD297233A5 (de) * 1990-08-08 1992-01-02 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur lagefixierung eines flexiblen teilungstraegers eines laengenmesssystems an einer maschine
DD297261A5 (de) * 1990-08-08 1992-01-02 Carl Zeiss Jena Gmbh,De Anordnung zur lagefixierung eines flexiblen teilungstraegers eines laengenmesssystems an einer maschine
DD297700B5 (de) * 1990-09-07 1994-03-31 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren zum messen von laengen
DE4309863C1 (de) * 1993-03-26 1994-06-09 Stahl R Foerdertech Gmbh Positionsmeßeinrichtung sowie Verfahren zum Ablesen eines binären Codewortes
JP3134590B2 (ja) * 1993-05-13 2001-02-13 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 スケール装置
DE4318017C2 (de) * 1993-05-29 1998-11-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4406797C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19526517C2 (de) * 1995-07-20 2000-08-24 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Befestigung einer Längenmeßeinrichtung
JPH0953638A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Nippon Thompson Co Ltd 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット
FR2746498B1 (fr) * 1996-03-22 1998-04-30 Valeo Capteur de deplacement adaptatif en course
EP0836078B1 (de) * 1996-10-11 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012525752A (ja) * 2009-04-29 2012-10-22 ワイドミュラー インターフェース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト バス加入者モジュールの非接触エネルギー/データ供給用のシステム

Also Published As

Publication number Publication date
DE50005476D1 (de) 2004-04-08
US6564468B2 (en) 2003-05-20
DE19922363A1 (de) 2000-11-23
EP1052480A1 (de) 2000-11-15
JP3437146B2 (ja) 2003-08-18
EP1052480B1 (de) 2004-03-03
US20020129508A1 (en) 2002-09-19

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