JP2000332035A - 半導体装置の樹脂封止方法 - Google Patents
半導体装置の樹脂封止方法Info
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Abstract
る。 【解決手段】 低圧型締め処理と、高圧型締め処理とを
行って半導体装置を樹脂封止する。低圧型締め処理は、
金型内に、リードフレームに搭載された半導体チップを
セットしたのち、金型1を相対的に低い圧力で型締めを
行う処理であり、金型内への樹脂の射出の開始から、少
なくとも全インナーリードの先端が射出樹脂に包含され
るまで継続する。高圧型締め処理は、少なくとも全イン
ナーリードの先端がモールド樹脂に包含された後、相対
的に低圧型締めよりも高い圧力で金型を型締めする処理
であり、低圧型締め処理に引き続き樹脂の射出並びに射
出樹脂のキュアが完了して脱型するまで継続する。
Description
脂封止する半導体装置の樹脂封止方法に関する。
型間に、半導体チップを搭載したリードフレームを配置
し、金型の型締めにより、半導体チップと、インナーリ
ードとを金型のキャビティ内に格納し、ゲートからキャ
ビティに樹脂を注入する事によって行われる。
金型は、一圧力制御で、いわゆる「高圧型締め」が行わ
れる。半導体装置の樹脂封止を高圧型締めにて行う理由
は、樹脂封止後にバリ等が生じないような封止を行うた
めである。
体装置の樹脂封止に際し、金型の上、下型間に半導体ペ
レット(半導体チップ)が挟まれていないかどうかをチ
ェックするため、最初低圧型締めを行い、金型の上、下
型間に半導体ペレットが挟めれていないことを確認した
後に、高圧型締めに切替える例が開示されている。
半導体パッケージでの半導体チップの縮小化が進み、そ
の縮小化に伴い、インナーリードが長いもの、またはイ
ンナーリード先端のピッチが小さいものがラインナップ
されはじめた。
に、金型上に残存した樹脂屑等の異物が、リードフレー
ムと、金型間に挟み込まれれるという事態が発生し、こ
れが原因で、インナーリードが変形し、さらには変形し
たインナーリードが隣のインナーリードと触れてショー
トを起こしてしまうという不具合があった。
ードの変形を防止する半導体装置の樹脂封止方法を提供
することにある。
本発明による半導体装置の樹脂封止方法においては、低
圧型締め処理と、高圧型締め処理とを行って半導体装置
を樹脂封止する半導体装置の樹脂封止方法であって、低
圧型締め処理は、金型内に、リードフレームに搭載され
た半導体チップをセットしたのち、金型を相対的に低い
圧力で型締めを行う処理であり、金型内への樹脂の射出
の開始から、少なくとも全インナーリードの先端が射出
樹脂に包含されるまで継続し、高圧型締め処理は、少な
くとも全インナーリードの先端がモールド樹脂に包含さ
れた後、相対的に低圧型締めよりも高い圧力で金型を型
締めする処理であり、低圧型締め処理に引き続き樹脂の
射出並びに射出樹脂のキュアが完了して脱型するまで継
続するものである。
金型上に残存した樹脂屑等の異物が、リードフレームと
金型間に挟み込まれていても、その異物がインナーフレ
ームに影響を与えない程度の圧力で金型の型締めをする
処理であり、高圧型締め処理は、バリを生じさせない程
度の圧力で金型の型締めをする処理である。
よって説明する。図1において、本発明方法に用いる半
導体樹脂封止装置の樹脂封止金型1は、封止用の樹脂R
を投入するポット部2と、半導体装置の外形を形成する
キャビティ部3と、ポット部2から金型1のキャビティ
部3にまで繋ぐランナー部4とを有し、さらに金型1に
は、金型1を型締めするための型締め機構5と、前記金
型1内に樹脂Rを充填するための射出機構6等を有して
いる。
めと、高圧型締めとに切替えることができる。本発明
は、低圧型締め処理と、高圧型締め処理とを行って半導
体装置の樹脂封止を行うものである。
レーム7に搭載された半導体チップ8をセットしたの
ち、金型1を相対的に低い圧力で型締めを行う処理であ
り、金型1内への樹脂Rの射出の開始から、少なくとも
全インナーリード7aの先端が注入樹脂Rに包含される
まで継続する。
換え、引き続き樹脂封止を行う。高圧型締め処理は、少
なくとも全インナーリードの先端がモールド樹脂に包含
された後、相対的に低圧型締めよりも高い圧力で金型1
を型締めする処理であり、低圧型締め処理に引き続いて
樹脂の注入から樹脂のキュアが完了して、半導体装置を
金型から脱型するまで継続する。
止方法によるタイムチャートを示す。比較のため、従来
の半導体装置の樹脂封止処理によるタイムチャートを図
2(b)に示す。
来法による通常の圧力で金型の型締めをする処理、すな
わち、バリを生じさせない程度の圧力で金型1の型締め
をする処理である。
よる通常の圧力以下の圧力で型締めをする処理である
が、本発明において、低圧型締め処理とは、正確には樹
脂封入時に、金型1に残存した樹脂屑等の異物が、リー
ドフレーム7と、金型1間に挟み込まれていても、その
異物がインナーフレーム7aに影響を与えない程度の圧
力を加えて金型1の型締めをする処理である。
リードフレーム樹脂搬送機構を用いて、型開きされた金
型1に半導体チップ8が搭載されたリードフレーム7を
セットし、ポット部2に樹脂Rを供給後、金型1を低圧
で型締めし、射出機構6を用いて金型1内に樹脂Rの射
出を開始する。
ビティ内に注入され、図3に示すように、注入された樹
脂Rが少なくとも全インナーリード8の先端を包含した
時期に、金型1の型締めを低圧型締から高圧型締めへ切
り替え、以後、通常通り樹脂の充填を完了させ、そのま
ま、樹脂のキュアをし、キュア後、金型1を型開きし
て、樹脂封止済み製品を離型し、樹脂封止済み製品をマ
ニュアルもしくは成形済み製品収納機構にて金型より取
り出す。
は、図2(b)に示すように、高圧型締め、すなわち、
バリを生じさせない程度の圧力で金型1の型締めをした
後、高圧型締めを維持して樹脂が射出され、続いてキュ
アされる。
に示すように、リードフレーム7のクランプ部であるタ
イバー部9上と、金型1の上型間に、たとえ樹脂屑等の
ような異物が挟み込まれたとしても、少なくとも全イン
ナーリード7aの先端部が金型のキャビティ内に注入さ
れた樹脂Rにより包含されるまでは低圧型締めを持続す
るため、インナーリード7aは変形せず、勿論圧潰され
るようなこともなく、一定形態を保ち、その後、高圧型
締めに切り替えて引き続き樹脂封止を続けても、タイバ
ー部9上の異物の影響を受ける事がなく、インナーリー
ドの変形は抑制される。
樹脂封入時に、金型上に例え樹脂屑等の異物が残存し、
リードフレームと、金型間に異物が挟み込まれれるとい
うような事態が発生したとしても、型締めによってイン
ナーリードが加圧されて変形するような事はなく、ひい
てはインナーリードが隣り合う他のインナーリードと接
触してショートするような事故の発生を予防できる。
ッケージでの半導体チップの縮小化並びに縮小化に伴う
インナーリードが長いもの、またはインナーリード先端
のピッチが小さい半導体装置の樹脂封止を問題なく実施
できる効果を有する。
導体樹脂封止装置の金型を示す図である。
タイムチャート、(b)は、比較のため示した従来の半
導体樹脂封止方法によるタイムチャートである。
リードが樹脂封止されてゆく様子と、高圧型締めに切替
えるタイミングを説明する図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 低圧型締め処理と、高圧型締め処理とを
行って半導体装置を樹脂封止する半導体装置の樹脂封止
方法であって、 低圧型締め処理は、金型内に、リードフレームに搭載さ
れた半導体チップをセットしたのち、金型を相対的に低
い圧力で型締めを行う処理であり、金型内への樹脂の射
出の開始から、少なくとも全インナーリードの先端が射
出樹脂に包含されるまで継続し、 高圧型締め処理は、少なくとも全インナーリードの先端
がモールド樹脂に包含された後、相対的に低圧型締めよ
りも高い圧力で金型を型締めする処理であり、低圧型締
め処理に引き続き樹脂の射出並びに射出樹脂のキュアが
完了して脱型するまで継続することを特徴とする半導体
装置の樹脂封止方法。 - 【請求項2】 低圧型締め処理は、樹脂封入時に、金型
上に残存した樹脂屑等の異物が、リードフレームと金型
間に挟み込まれていても、その異物がインナーフレーム
に影響を与えない程度の圧力で金型の型締めをする処理
であり、 高圧型締め処理は、バリを生じさせない程度の圧力で金
型の型締めをする処理であることを特徴とする請求項1
に記載の半導体装置の樹脂封止方法。
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---|---|---|---|
JP13939799A JP3327251B2 (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 半導体装置の樹脂封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP13939799A JP3327251B2 (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 半導体装置の樹脂封止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2000332035A true JP2000332035A (ja) | 2000-11-30 |
JP3327251B2 JP3327251B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=15244340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13939799A Expired - Fee Related JP3327251B2 (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 半導体装置の樹脂封止方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3327251B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7008575B2 (en) | 1999-12-16 | 2006-03-07 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
CN100433279C (zh) * | 2003-12-22 | 2008-11-12 | 株式会社瑞萨科技 | 半导体器件的制造方法 |
JP2012248780A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止方法 |
JP2014154807A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1999
- 1999-05-20 JP JP13939799A patent/JP3327251B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7008575B2 (en) | 1999-12-16 | 2006-03-07 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
US7413425B2 (en) | 1999-12-16 | 2008-08-19 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
CN100433279C (zh) * | 2003-12-22 | 2008-11-12 | 株式会社瑞萨科技 | 半导体器件的制造方法 |
JP2012248780A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止方法 |
JP2014154807A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
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