JP2000309561A - 新規な部分保護トリスフェノール類とその製造方法 - Google Patents

新規な部分保護トリスフェノール類とその製造方法

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JP2000309561A JP24775599A JP24775599A JP2000309561A JP 2000309561 A JP2000309561 A JP 2000309561A JP 24775599 A JP24775599 A JP 24775599A JP 24775599 A JP24775599 A JP 24775599A JP 2000309561 A JP2000309561 A JP 2000309561A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】特に、選んだ水酸基のみが保護剤にて保護され
た部分保護トリスフェノール類とその製造方法を提供す
ることにある。 【解決手段】本発明によれば、一般式(I) 【化1】 (式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1
〜4のアルコキシル基を示し、R2 は炭素数1〜6のア
ルキル基又は炭素数5若しくは6のシクロアルキル基を
示し、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキ
シカルボニルメチル基、アルキル基の炭素数が1〜4で
あるアルコキシカルボニル基又はテトラヒドロピラニル
基を示し、mは0〜2の整数であり、nは0〜3の整数
である。)で表わされる部分保護トリスフェノール類と
その製造方法が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、トリスフェノール
類の有する3つの水酸基のうち、特に選択した2つの水
酸基のみを保護剤にて保護してなる、化学増幅型レジス
ト用溶解抑制剤として好適に用いることができる部分保
護トリスフェノール類と、更には、その製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、ポジ型フォトレジストを用いて、
半導体を微細加工することは、広く行なわれているが、
このような背景の下に、集積回路は、近年、その集積度
を一層高めてきており、超LSI等の半導体基板の製造
においては、0.5μm以下の線幅からなる超微細パター
ンの加工が必要とされるに至っている。そして、このよ
うな解像度を達成するために、フォトリソグラフィーに
用いられる露光装置の使用波長が益々短波長化してお
り、最近では、遠紫外光やエキシマレーザ光(XeC
l、KrF、ArF等)の実用化が研究されている。
【0003】しかしながら、従来のノボラック樹脂とナ
フトキノンジアジド化合物とからなるポジ型フォトレジ
ストを遠紫外光やエキシマレーザ光のような放射線を用
いてパターン形成すると、ノボラック樹脂とナフトキノ
ンジアジド化合物が上記放射線領域において吸収が強い
ために、放射線がフォトレジストの層の底部まで到達し
難く、正確なパターンが形成されない。
【0004】そこで、このような問題を解決するため
に、化学増幅型レジスト組成物が提案されている。この
化学増幅型レジスト組成物には、従来、2成分系ポジ型
フォトレジストと3成分系ポジ型フォトレジストとが知
られているが、このうち、例えば、3成分系ポジ型フォ
トレジストは、放射線を吸収して酸を発生する化合物
(酸発生剤)とポリ(p−ヒドロキシスチレン)等のよ
うなアルカリ可溶性ポリマー(ベースポリマー)とから
なるフォトレジストに所謂酸分解性溶解抑制剤を配合し
てなるものであって、遠紫外光やエキシマレーザ光等の
放射線の照射によって露光部の酸発生剤に酸を生成さ
せ、この酸を触媒として、溶解抑制剤に化学反応を起こ
させ、かくして、放射線が照射された露光部のみについ
て、フォトレジストのアルカリ現像液に対する溶解性を
増加させて、コントラストの高いポジ画像を形成させる
ものである。
【0005】上記酸分解性溶解抑制剤としては、基本的
な要求特性として、上記遠紫外光やエキシマレーザ光等
の放射線の透過性(即ち、透明性)にすぐれると共に、
フォトレジストの溶剤やベースポリマーとの相溶性にす
ぐれ、しかも、現像時に画像部の耐エッチング性を向上
させることが望ましいが、従来、これらすべてを満足さ
せるような溶解抑制剤は知られていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、化学増
幅型レジスト組成物における上述したような問題を解決
するために鋭意研究した結果、部分保護トリスフェノー
ル類に関し、詳しくは、トリスフェノール類の有する3
つの水酸基のうち、2つを保護してなる部分保護トリス
フェノール類が上述した要求に応えることができること
を見出して、本発明に至ったものである。即ち、本発明
は、化学増幅型レジスト組成物における酸分解性溶解抑
制剤として有用である部分保護トリスフェノール類を提
供することを目的とする。
【0007】また、従来、例えば、トリスフェノール類
の水酸基のエーテル化は、一般には、ハロゲン化酢酸エ
ステルとトリスフェノール類との縮合反応によっている
が、この反応によれば、3つの水酸基のうちの特に選ん
だ水酸基のみを選択的にエーテル化することはできな
い。例えば、トリスフェノール類1モル部に対して、エ
ーテル化剤1/3モル部を用いても、3つの水酸基のう
ちの特に選んだ水酸基のみを選択的にエーテル化するこ
とはできない。
【0008】そこで、本発明によれば、ヒドロキシベン
ズアルデヒド類の水酸基を予め、ベンジルエーテルとし
た後、これをフェノール類と縮合させることによって、
トリスフェノール類の特に選んだ水酸基のみがベンジル
エーテル化されたトリスフェノール類を得、このトリス
フェノール類の残りの2つの水酸基を保護剤にて保護し
た後、上記ベンジルエーテルを水素化分解することによ
って、特に、選んだ水酸基のみが保護基で保護されたト
リスフェノール類を容易に得ることができることを見出
して、本発明に至ったものである。即ち、本発明は、こ
のように、特に、選んだ水酸基のみが保護剤にて保護さ
れた部分保護トリスフェノール類の製造方法を提供する
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一般式
(I)
【0010】
【化8】
【0011】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基
又は炭素数1〜4のアルコキシル基を示し、R2 は炭素
数1〜6のアルキル基又は炭素数5若しくは6のシクロ
アルキル基を示し、Xはアルキル基の炭素数が1〜4で
あるアルコキシカルボニルメチル基、アルキル基の炭素
数が1〜4であるアルコキシカルボニル基又はテトラヒ
ドロピラニル基を示し、mは0〜2の整数であり、nは
0〜3の整数である。)で表わされる部分保護トリスフ
ェノール類が提供される。
【0012】更に、本発明によれば、一般式(II)
【0013】
【化9】
【0014】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基
又は炭素数1〜4のアルコキシル基を示し、mは0〜2
の整数であり、mが2であるとき、R1 は相互に同一で
もよく、異なっていてもよい。)で表わされるヒドロキ
シベンズアルデヒド類にアルカリの存在下にハロゲン化
ベンジルを反応させて、一般式(III)
【0015】
【化10】
【0016】(R1 及びmは前記と同じであり、Bzは
ベンジル基を示す。)で表わされるベンジルオキシベン
ズアルデヒド類を得る第1工程と、次いで、このベンジ
ルオキシベンズアルデヒド類に酸触媒の存在下に一般式
(IV)
【0017】
【化11】
【0018】(式中、R2 は炭素数1〜6のアルキル基
又は炭素数5若しくは6のシクロアルキル基を示し、n
は0〜3の整数であり、nが2以上であるとき、R2
相互に同一でもよく、異なっていてもよい。)で表わさ
れるフェノール類を反応させて、一般式(V)
【0019】
【化12】
【0020】(式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前
記と同じである。)で表わされるモノベンジル化トリス
フェノール類を得る第2工程と、次いで、このモノベン
ジル化トリスフェノール類にアルキル基の炭素数が1〜
4であるハロゲン化酢酸アルキルエステル、アルキル基
の炭素数が1〜4であるジアルキルカーボネート及び2,
3−ジヒドロ−4−H−ピランから選ばれる保護剤を反
応させて、分子中の2つの水酸基を保護して、一般式
(VI)
【0021】
【化13】
【0022】(式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前
記と同じであり、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であ
るアルコキシカルボニルメチル基、アルキル基の炭素数
が1〜4であるアルコキシカルボニル基及びテトラヒド
ロピラニル基から選ばれる保護基を示す。)で表わされ
る水酸基が保護されたトリスフェノール類を得る第3工
程、次いで、この水酸基が保護されたトリスフェノール
類を水素化分解触媒の存在下に水素化分解する第4工程
とからなることを特徴とする一般式(I)
【0023】
【化14】
【0024】(式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前
記と同じであり、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であ
るアルコキシカルボニルメチル基、アルキル基の炭素数
が1〜4であるアルコキシカルボニル基及びテトラヒド
ロピラニル基から選ばれる保護基を示す。)で表わされ
る部分保護トリスフェノール類の製造方法が提供され
る。
【0025】
【発明の実施の形態】本発明による新規な部分保護トリ
スフェノール類は、一般式(I)
【0026】
【化15】
【0027】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基
又は炭素数1〜4のアルコキシル基を示し、R2 は炭素
数1〜6のアルキル基又は炭素数5若しくは6のシクロ
アルキル基を示し、Xはアルキル基の炭素数が1〜4で
あるアルコキシカルボニルメチル基、アルキル基の炭素
数が1〜4であるアルコキシカルボニル基又はテトラヒ
ドロピラニル基を示し、mは0〜2の整数であり、nは
0〜3の整数である。)で表わされる。
【0028】上記一般式(I)で表わされる部分保護ト
リスフェノール類において、R1 は炭素数1〜4のアル
キル基又は炭素数1〜4のアルコキシル基である。従っ
て、R1 の具体例として、メチル基、エチル基、プロピ
ル基又はブチル基のようなアルキル基か、又はメトキシ
ル基、エトキシル基、プロポキシル基又はブトキシル基
を挙げることができる。ここに、アルキル基が炭素数3
以上であるとき、そのアルキル基は直鎖状、分岐鎖状、
いずれでもよい。また、アルコキシル基が炭素数3以上
であるとき、アルコキシル基に含まれるそのアルキル基
は、直鎖状、分岐鎖状、いずれでもよい。同様に、R2
は、炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数5若しくは6
のシクロアルキル基である。従って、R2 の具体例とし
て、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペン
チル基又はヘキシル基のようなアルキル基か、又はシク
ロペンチル基又はシクロヘキシル基のようなシクロアル
キル基を挙げることができる。ここに、アルキル基が炭
素数3以上であるとき、そのアルキル基は、直鎖状、分
岐鎖状、いずれでもよい。更に、mが2であるとき、R
2 は相互に同一でもよく、異なっていてもよく、また、
nが2以上であるとき、R3 は相互に同一でもよく、異
なっていてもよい。しかし、特に好ましくは、mは0又
は1であり、nは1又は2であり、R2 は、1つはメチ
ル基、他の1つはシクロヘキシル基である。
【0029】また、上記一般式(I)において、Xはア
ルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキシカルボニル
メチル基、アルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキ
シカルボニル基又はテトラヒドロピラニル基であるが、
好ましくは、Xはt−ブトキシカルボニルメチル基、t
−ブトキシカルボニル基又はテトラヒドロピラニル基で
ある。
【0030】従って、本発明による好ましい部分保護ト
リスフェノール類の具体例として、例えば、(1)4,4'
−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−2−シ
クロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2−ヒ
ドロキシベンゼン、(2)4,4'−ビス(1−t−ブトキ
シカルボニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチル
−フェニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼン、(3)
4,4'−ビス(1−テトラヒドロピラニルオキシ−2−シ
クロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2−ヒ
ドロキシベンゼン、(4)4,4'−ビス(1−t−ブトキ
シカルボニルメトキシフェニル)メチル−3−メトキシ
−4−ヒドロキシベンゼン等を挙げることができる。
【0031】このような部分保護トリスフェノール類
は、本発明に従って、一般式(II)
【0032】
【化16】
【0033】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基
又は炭素数1〜4のアルコキシル基を示し、mは0〜2
の整数であり、mが2であるとき、R1 は相互に同一で
もよく、異なっていてもよい。)で表わされるヒドロキ
シベンズアルデヒド類にアルカリの存在下にハロゲン化
ベンジルを反応させて、一般式(III)
【0034】
【化17】
【0035】(R1 及びmは前記と同じであり、Bzは
ベンジル基を示す。)で表わされるベンジルオキシベン
ズアルデヒド類を得る第1工程と、次いで、このベンジ
ルオキシベンズアルデヒド類に酸触媒の存在下に一般式
(IV)
【0036】
【化18】
【0037】(式中、R2 は炭素数1〜6のアルキル基
又は炭素数5若しくは6のシクロアルキル基を示し、n
は0〜3の整数であり、nが2以上であるとき、R2
相互に同一でもよく、異なっていてもよい。)で表わさ
れるフェノール類を反応させて、一般式(V)
【0038】
【化19】
【0039】(式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前
記と同じである。)で表わされるモノベンジル化トリス
フェノール類を得る第2工程と、次いで、このモノベン
ジル化トリスフェノール類にアルキル基の炭素数が1〜
4であるハロゲン化酢酸アルキルエステル、アルキル基
の炭素数が1〜4であるジアルキルカーボネート及び2,
3−ジヒドロ−4−H−ピランから選ばれる保護剤を反
応させて、分子中の2つの水酸基を保護して、一般式
(VI)
【0040】
【化20】
【0041】(式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前
記と同じであり、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であ
るアルコキシカルボニルメチル基、アルキル基の炭素数
が1〜4であるアルコキシカルボニル基及びテトラヒド
ロピラニル基から選ばれる保護基を示す。)で表わされ
る水酸基が保護されたトリスフェノール類を得る第3工
程と、次いで、この水酸基が保護されたトリスフェノー
ル類を水素化分解触媒の存在下に水素化分解する第4工
程とからなる方法によって得ることができる。
【0042】このような本発明による部分保護トリスフ
ェノール類の製造工程を次のスキームに示す。
【0043】
【化21】
【0044】先ず、前記一般式(II)で表わされるヒド
ロキシベンズアルデヒド類をベンジル化する第1工程に
ついて説明する。
【0045】前記一般式(II)で表わされるヒドロキシ
ベンズアルデヒド類において、R1は前述したとおりで
あり、従って、好ましい具体例として、例えば、o−ヒ
ドロキシベンズアルデヒド、m−ヒドロキシベンズアル
デヒド、p−ヒドロキシベンズアルデヒド、3−メトキ
シ−4−ヒドロキシベンズアルデヒド等を挙げることが
できる。
【0046】一般式(III)で表わされるモノベンジル化
トリスフェノール類は、通常、ジメチルホルムアミドの
ような有機溶媒中、前記ヒドロキシベンズアルデヒド類
1モル部に対して、例えば、炭酸カリウムのようなアル
カリの1〜2モル部の存在下に、塩化ベンジルのような
ハロゲン化ベンジルをヒドロキシベンズアルデヒド類1
モル部に対して、通常、1〜2モル部の範囲で反応させ
ることによって得ることができる。反応時間は、特に、
限定されるものではないが、通常、30〜120℃、好
ましくは、40〜80℃の範囲である。
【0047】反応終了後、例えば、得られた反応混合物
にトルエン、メチルイソブチルケトン等のような有機溶
媒と水とを加えて、反応混合物を洗浄し、油層から有機
溶媒を留去すれば、残渣として、又は、溶媒を濃縮、留
去した後、n−ヘプタン、n−ヘキサン、トルエン等の
ような炭化水素系の晶析溶媒を加えて晶析することによ
って、反応生成物を得ることができる。
【0048】第2工程は、このようにして得られる前記
一般式(III)で表わされるベンジルオキシベンズアルデ
ヒド類に前記一般式(IV)で表わされるフェノール類を
反応させてモノベンジル化トリスフェノール類を得る工
程である。
【0049】前記一般式(IV)で表わされるフェノール
類において、R2 及びnは前記したとおりであるが、本
発明によれば、特に、好ましい具体例として、例えば、
2−シクロヘキシル−5−メチルフェノールを挙げるこ
とができる。
【0050】第2工程において、ベンジルオキシベンズ
アルデヒド類とフェノール類との反応は、通常、アルコ
ール溶剤中、酸触媒の存在下に、ベンジルオキシベンズ
アルデヒド類1モル部に対して、フェノール類2モル部
以上、通常、2〜10モル部、好ましくは、2〜6モル
部を反応させる。
【0051】上記アルコール溶剤としては、用いる反応
原料、得られる生成物の溶解度、反応条件、反応の経済
性等を考慮して、メタノール、エタノール、イソプロピ
ルアルコール、n−プロピルアルコール、t−ブチルア
ルコール、イソブチルアルコール、n−ブチルアルコー
ル等のような低級脂肪族アルコールが好ましく用いられ
る。特に、メタノールが好ましく用いられる。
【0052】このようなアルコール溶剤は、通常、用い
るベンジルオキシベンズアルデヒド類100重量部に対
して、10〜1000重量部、好ましくは、20〜40
0重量部の範囲で用いられるが、これに限定されるもの
ではない。
【0053】上記酸触媒としては、反応溶剤であるアル
コール溶剤に溶解する酸が好ましく、従って、例えば、
塩酸、硫酸、無水硫酸、p−トルエンスルホン酸、メタ
ンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、シュウ
酸、ギ酸、リン酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸
等を好ましい具体例として挙げることができる。このよ
うな酸触媒は、例えば、35%塩酸の場合は、ベンジル
オキシベンズアルデヒド類100重量部に対して、1〜
500重量部、好ましくは、5〜50重量部の範囲で用
いられる。
【0054】反応は、通常、0℃から90℃、好ましく
は、0〜50℃にて、窒素気流下に攪拌しながら、1〜
72時間程度、通常、1〜24時間程度行なえばよい。
【0055】反応終了後、例えば、得られた反応混合物
にアンモニア水、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ
を加えて、酸触媒を中和し、水層を分離し、得られた油
層から溶媒を減圧蒸留により留去した後、得られた蒸留
残渣に水や、又は適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化
水素、脂肪族炭化水素、脂肪族ケトン又はこれらの2種
以上の混合溶剤を晶析溶剤として加え、溶解させた後、
冷却することによって、目的とするモノベンジル化トリ
スフェノール類を晶析させ、かくして、その高純度品を
容易に得ることができる。
【0056】目的とするモノベンジル化トリスフェノー
ル類によっては、水が有効な晶析溶媒である。しかし、
目的とするモノベンジル化トリスフェノール類によって
は、有機溶媒が有効な晶析溶媒である。有機溶剤として
は、晶析条件、精製効果、経済性等を考慮して、芳香族
炭化水素としては、例えば、トルエン、キシレン、クメ
ン等を挙げることができ、脂肪族炭化水素としては、例
えば、n−ぺンタン、n−ヘキサン、イソヘキサン、n
−ヘプタン、n−オクタン、イソオクタン、n−デカ
ン、2,2−ジメチルブタン、石油エーテル、石油ベンジ
ン、リグロイン、ケロシン、石油スピリット、石油ナフ
サ、2−ペンテン、混合ペンテン、シクロヘキサン、メ
チルシクロヘキサン等を挙げることができる。また、脂
肪族ケトンとしては、例えば、イソプロピルケトン、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソプ
ロピルケトン等を挙げることができる。
【0057】このような晶析溶剤は、通常、反応混合物
100重量部に対して、20〜1000重量部、好まし
くは、50〜500重量部の範囲で加えることによっ
て、反応液から、目的とするモノベンジル化トリスフェ
ノール類を高純度に晶析させることができる。このよう
にして得られたモノベンジル化トリスフェノール類を必
要に応じて上記晶析溶媒を用いて再結晶させることによ
って、一層の高純度品を得ることができる。
【0058】第3工程は、このようにして得られるモノ
ベンジル化トリスフェノール類の2つの水酸基を保護剤
にて保護する工程である。この保護剤としては、アルキ
ル基の炭素数が1〜4であるハロゲン化酢酸アルキルエ
ステル、アルキル基の炭素数が1〜4であるジアルキル
カーボネート又は2,3−ジヒドロ−4−H−ピランが用
いられる。
【0059】ハロゲン化酢酸アルキルエステルにおい
て、ハロゲン原子は、好ましくは、塩素原子又は臭素原
子であり、また、アルキル基は、メチル基、エチル基、
プロピル基又はブチル基であり、炭素数が3以上である
アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよいが、本発明
においては、特に、t−ブチル基が好ましい。従って、
本発明によれば、ハロゲン化酢酸アルキルエステルの好
ましい具体例として、例えば、クロロ酢酸t−ブチルや
ブロモ酢酸t−ブチルを挙げることができる。
【0060】同様に、ジアルキルカーボネートにおい
て、アルキル基は、メチル基、エチル基、プロピル基又
はブチル基であり、炭素数が3以上であるアルキル基
は、直鎖状でも分岐鎖状でもよいが、本発明において
は、特に、t−ブチル基が好ましい。従って、本発明に
おいて、ジアルキルカーボネートの好ましい具体例とし
て、ジ−t−ブチルカーボネートを挙げることができ
る。
【0061】次に、モノベンジル化トリスフェノール類
の2つの水酸基をハロゲン化酢酸アルキルエステルやジ
アルキルカーボネートで保護するには、モノベンジル化
トリスフェノール類1モル部に適宜の反応溶剤、例え
ば、ジメチルホルムアミド中、炭酸カリウムのようなア
ルカリの存在下に、通常、2〜5モル部の前記ハロゲン
化酢酸アルキルエステル又はジアルキルカーボネートを
反応させればよい。炭酸カリウムも、モノベンジル化ト
リスフェノール化合物1モル部に対して、通常、0.1〜
5モル部の範囲で用いられる。反応は、通常、50〜1
20℃の範囲で、数時間、例えば、2〜20時間、行な
えばよい。
【0062】反応終了後、例えば、反応混合物に適宜の
有機溶剤、例えば、トルエン、シクロヘキサン等と水と
を加え、洗浄し、分液し、必要に応じて、有機層を酸水
溶液で洗浄、中和し、有機層から溶剤を留去し、残渣に
メタノールのような脂肪族低級アルコールや、必要に応
じて、前述したような芳香族炭化水素類や脂肪族ケトン
類を加えて、晶析させ、又はこれらの洗浄溶剤を留去さ
せることによって、2つの水酸基が上記保護剤にて保護
されたトリスフェノール類を得ることができる。
【0063】他方、モノベンジル化トリスフェノール類
を2,3−ジヒドロ−4−H−ピランにてテトラヒドロピ
ラニルエーテル化するには、モノベンジル化トリスフェ
ノール類に、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラ
ン、メチルエチルケトン等のような適宜の反応溶剤中、
酸触媒の存在下に2,3−ジヒドロ−4−H−ピランを反
応させることによって得ることができる。
【0064】2,3−ジヒドロ−4−H−ピランは、トリ
スフェノール化合物1モル部に対して、通常、3〜10
モル部の範囲で用いられる。酸触媒としては、例えば、
p−トルエンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸ピリ
ジニウム、濃塩酸、硫酸等が用いられ、反応は、例え
ば、0〜25℃の範囲の温度で数分から数十時間、行な
えばよい。
【0065】このようにして、反応が終了すれば、直ち
に、2つの水酸基がテトラヒドロピラニルエーテル化さ
れたトリスフェノール類を結晶として得ることができる
場合があるが、場合によっては、反応終了後、反応混合
物にアルカリ水溶液を加えて、反応混合物を洗浄、中和
した後、分液し、有機層から溶剤を減圧下に留去し、得
られた残渣を、例えば、カラム精製することによって、
目的物を得ることができる。
【0066】本発明によれば、第4工程として、このよ
うにして得られた2つの水酸基が保護されたトリスフェ
ノール類を適宜の有機溶剤中、例えば、テトラヒドロフ
ラン中に溶解させて、水素化分解触媒の存在下、常圧下
に水素を吹き込んで、水素化分解することによって、目
的とする2つの水酸基が保護されていると共に、1つの
水酸基が遊離であるトリスフェノール類を得ることがで
きる。水素化分解触媒としては、例えば、パラジウム/
カーボン粉末が好ましく用いられる。反応温度は、特
に、限定されるものではないが、通常、0〜80℃の範
囲である。
【0067】反応終了後は、例えば、得られた反応混合
物から触媒を濾別し、減圧下に溶媒を留去すれば、目的
物を残渣として得ることができる。また、減圧下に溶媒
を留去した後、必要に応じて、晶析溶媒を加え、得られ
た結晶を濾取してもよい。
【0068】
【発明の効果】一般に、トリスフェノール類の水酸基の
すべてを保護剤で保護することは容易であるが、しか
し、トリスフェノール類の水酸基の一部のみを保護剤で
保護することは、非常に困難であり、まして、トリスフ
ェノール類の水酸基のうちの特に選んだ2つの水酸基の
みを保護剤で保護した部分保護トリスフェノール類を高
純度で高収率にて得ることは、不可能である。
【0069】ここに、本発明によれば、ヒドロキシベン
ズアルデヒド類の水酸基を予め、ベンジルエーテルとし
た後、これをフェノール類と縮合させることによって、
トリスフェノール類の特に選んだ水酸基のみがベンジル
エーテル化されたトリスフェノール類を得、このトリス
フェノール類の残りの2つの水酸基を保護剤にて保護し
た後、上記ベンジルエーテルを水素化分解することによ
って、特に、選んだ水酸基のみが保護されたトリスフェ
ノール類を容易に得ることができる。
【0070】しかも、このような本発明による部分保護
トリスフェノール類、特に、トリスフェノール類の2つ
の水酸基をt−ブトキシカルボニルメチルエーテル化
し、又はt−ブトキシカルボニル化し、又はテトラヒド
ロピラニルエーテル化した部分保護トリスフェノール類
は、分子中に1つの水酸基を有するので、フォトレジス
トの溶剤やベースポリマーとの相溶性にすぐれ、かくし
て、前述したように、酸分解性溶解抑制剤として有用で
ある。更に、本発明による部分保護トリスフェノール類
は、例えば、すべての水酸基が保護されたトリスフェノ
ール類や保護率の異なったトリスフェノール類からなる
酸分解性溶解抑制剤と適宜の割合で併用することによっ
て、溶解度を調整するために好適に用いることができ
る。
【0071】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではな
い。
【0072】実施例1 (4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−
2−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−
2−ヒドロキシベンゼン(1)の製造) 第1工程(2−ベンジルオキシベンズアルデヒドの製
造) ジメチルホルムアミド185gと炭酸カリウム82.8g
(0.6モル)とをフラスコに仕込み、これにサリチルア
ルデヒド61g(0.5モル)を滴下した。これに温度5
0℃にて塩化ベンジル75.9g(0.6モル)を1時間で
滴下した。滴下終了後、70℃で2時間攪拌した。得ら
れた反応混合物にトルエン185gと水330gを加え
て水洗した。10mmHgの減圧下、内温90℃で溶媒
を留去して、2−ベンジルオキシベンズアルデヒド10
4.5gを褐色液状の蒸留残渣(純度97.9%)として得
た(収率96.5%)。
【0073】第2工程(4,4'−ビス(1−ヒドロキシ−
2−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−
2−ベンジルオキシベンゼンの製造) 2−シクロヘキシル−5−メチルフェノール201g
(1.06モル)とメタノール50gと35%塩酸10g
とをフラスコに仕込み、これにメタノール24gに溶解
させた2−ベンジルオキシベンズアルデヒド97.3g
(0.46モル)を60℃にて2時間で滴下した。滴下終
了後、60℃で3時間攪拌したとき、結晶が析出した。
そこで、反応混合物にメタノール125gとトルエン3
75gと水50gを加え、更に、16%水酸化ナトリウ
ム水溶液を加えて中和した。この後、溶媒285gを留
去し、水150gを加えて、析出した結晶を濾取して、
4,4'−ビス(1−ヒドロキシ−2−シクロヘキシル−5
−メチル−フェニル)メチル−2−ベンジルオキシベン
ゼン259.5gを白色結晶(純度99.7%)として得た
(収率98.3%)。
【0074】第3工程(4,4'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルメトキシ−2−シクロヘキシル−5−メチル
−フェニル)メチル−2−ベンジルオキシベンゼンの製
造) 4,4'−ビス(1−ヒドロキシ−2−シクロヘキシル−5
−メチル−フェニル)メチル−2−ベンジルオキシベン
ゼン86.4g(0.15モル)とジメチルホルムアミド2
60gと炭酸カリウム62.3g(0.45モル)とをフラ
スコに仕込み、これに温度50℃でクロロ酢酸t−ブチ
ル67.7g(0.45モル)を1時間で滴下した。滴下終
了後、70℃で24時間攪拌し、更に、100℃で4時
間攪拌した。得られた反応混合物にトルエン85gと水
300gを加えて水洗した。10mmHgの減圧下、内
温110℃で溶媒を留去し、残渣にメタノール360g
とトルエン20gを加えて、晶析させた後、濾過して、
4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−2
−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2
−ベンジルオキシベンゼン111.9g(純度97.1%)
を白色結晶として得た(収率90.3%)。
【0075】第4工程(4,4'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルメトキシ−2−シクロヘキシル−5−メチル
−フェニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼンの製造) 4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−2
−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2
−ベンジルオキシベンゼン8.0g(0.01モル)とテト
ラヒドロフラン80gと5%パラジウム/カーボン粉末
(50%含水品)1.6gをフラスコに仕込み、窒素置換
した後、攪拌しながら、40℃、常圧下に水素を反応液
中に8時間吹き込んだ。反応終了後、得られた反応混合
物から触媒を濾別し、30mmHgの減圧下に溶媒を留
去した後、トルエンとメタノールを加えて、晶析させ
た。結晶を濾取して、目的とする4,4'−ビス(1−t−
ブトキシカルボニルメトキシ−2−シクロヘキシル−5
−メチル−フェニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼン
を白色結晶(純度97.4%)を得た(収率90.1%)。
全収率は77.2%であった。
【0076】融点:162.9℃(DSC法) 赤外線吸収スペクトル(cm-1): 3448.5:−OH 1736.8:−C=O 1604.7:フェニル基 1573.8:フェニル基 プロトン核磁気共鳴スペクトル(400MHz、DMS
O−d6 溶媒):
【0077】
【化22】
【0078】
【表1】
【0079】実施例2 (4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルオキシ−2
−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2
−ヒドロキシベンゼン(2)の製造)
【0080】第1及び第2工程は実施例1と同じであ
る。
【0081】第3工程(4,4'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチル−
フェニル)メチル−2−ベンジルオキシベンゼンの製
造) 4,4'−ビス(1−ヒドロキシ−2−シクロヘキシル−5
−メチル−フェニル)メチル−2−ベンジルオキシベン
ゼン57.4g(0.1モル)とジメチルホルムアミド8.6
gとトルエン172gと炭酸カリウム1.4g(0.01モ
ル)とをフラスコに仕込み、これに温度70〜94℃で
ジ−t−ブチルカーボネート58.9g(0.27モル)を
2.5時間で滴下した。滴下終了後、100℃で15時間
攪拌した後、水100gを加えて2回水洗した。100
mmHgの減圧下、内温65℃で溶媒を留去し、4,4'−
ビス(1−t−ブトキシカルボニルオキシ−2−シクロ
ヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2−ベンジ
ルオキシベンゼン62.4g(純度98.6%)を淡黄色の
固体状の蒸留残渣として得た(収率91.2%)。
【0082】第4工程(4,4'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチル−
フェニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼンの製造) 4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルオキシ−2−
シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メチル−2−
ベンジルオキシベンゼン9.0g(0.0116モル)とテ
トラヒドロフラン80gと5%パラジウム/カーボン粉
末(50%含水品)1.8gをフラスコに仕込み、窒素置
換した後、攪拌しながら、温度40〜60℃、常圧下に
水素を反応液中に24時間吹き込んだ。得られた反応混
合物から触媒を濾別し、14mmHgの減圧下に溶媒を
留去して、4,4'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルオ
キシ−2−シクロヘキシル−5−メチル−フェニル)メ
チル−2−ヒドロキシベンゼン8.1gを白色ガラス状固
体(純度97.9%)として得た(収率100%)。
【0083】融点:(ガラス状のため、測定できず) 赤外線吸収スペクトル(cm-1): 3468.7:−OH 1757.0:−C=O 1498.6:フェニル基 1455.2:フェニル基 プロトン核磁気共鳴スペクトル(400MHz、DMS
O−d6 溶媒):
【0084】
【化23】
【0085】
【表2】
【0086】実施例3 (4,4'−ビス(1−テトラヒドロピラニルオキシ−2−
シクロヘキシル−5−メチルフェニル)メチル−2−ヒ
ドロキシベンゼン(3)の製造)
【0087】第1及び第2工程は実施例1と同じであ
る。
【0088】第3工程(4,4'−ビス(1−テトラヒドロ
ピラニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチルフェ
ニル)メチル−2−ベンジルオキシベンゼンの製造) 4,4'−ビス(1−ヒドロキシ−2−シクロヘキシル−5
−メチルフェニル)メチル−2−ベンジルオキシベンゼ
ン28.9g(0.05モル)とp−トルエンスルホン酸一
水和物0.094gとを酢酸エチル90gと共にフラスコ
に仕込んで溶解させた。これに温度20〜27℃で3,4
−ジヒドロ−2Hーピラン25.2g(0.03モル)を1
時間で滴下した。この後、20℃で7時間攪拌したと
き、結晶が析出した。これを濾取して、乾燥して、4,4'
−ビス(1−テトラヒドロピラニルオキシ−2−シクロ
ヘキシル−5−メチルフェニル)メチル−2−ベンジル
オキシベンゼン22.0gを白色結晶として得た(収率5
9.3%)。
【0089】第4工程(4,4'−ビス(1−テトラヒドロ
ピラニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチルフェ
ニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼンの製造) 4,4'−ビス(1−テトラヒドロピラニルオキシ−2−シ
クロヘキシル−5−メチルフェニル)メチル−2−ベン
ジルオキシベンゼン11.6g(0.0156モル)とテト
ラヒドロフラン150gと5%パラジウム/カーボン粉
末(50%含水品)3.5gをフラスコに仕込み、窒素置
換した後、攪拌しながら、温度20〜30℃、常圧下に
水素を反応液中に8時間吹き込んだ。この後、撹拌を止
めて、一晩、放置して、反応を終了させた。このように
して得られた反応混合物から触媒を濾別し、20mmH
gの減圧下に溶媒を留去して、4,4'−ビス(1−テトラ
ヒドロピラニルオキシ−2−シクロヘキシル−5−メチ
ルフェニル)メチル−2−ヒドロキシベンゼン77%を
含む白色ガラス状固体11.0gを得た。これをシリカゲ
ルカラム(展開溶媒ヘプタン70%−酢酸エチル30
%)を用いて精製して、白色ガラス状固体(純度97.5
%)として得た(収率33%)。
【0090】融点:(ガラス状のため、測定できず) 赤外線吸収スペクトル(cm-1): 3369.4:−OH 2925.8:アルキル基 1608.5:フェニル基 1573.8:フェニル基 プロトン核磁気共鳴スペクトル(400MHz、CDC
3 溶媒):
【0091】
【化24】
【0092】
【表3】
【0093】実施例4 (2,2'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−
3,5−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキシ−4−
ヒドロキシベンゼン(4)の製造) 第1工程(3−メトキシ−4−ベンジルオキシベンズア
ルデヒドの製造) ジメチルホルムアミド228gと炭酸カリウム82.8g
(0.6モル)と共に3−メトキシ−4−ヒドロキシベン
ズアルデヒド76g(0.5モル)を四つ口フラスコに仕
込み、これに温度60℃にて塩化ベンジル66.4g(0.
525モル)を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃
で5時間攪拌した。得られた反応混合物にトルエン19
0gと水330gを加えて水洗した。70mmHgの減
圧下、溶媒270gを留去した後、得られた蒸留残渣に
n−ヘプタン265gとトルエン80gとを加えて、晶
析し、得られた結晶を濾取して、3−メトキシ−4−ベ
ンジルオキシベンズアルデヒド102.6gを白色結晶と
して得た(収率84.8 %)。
【0094】第2工程(2,2'−ビス(1−ヒドロキシ−
3,5−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキシ−4−
ベンジルオキシベンゼンの製造) 3,5−ジメチルフェノール18.3g(0.15モル)とメ
タノール3gと35%塩酸1.2gと共に3−メトキシ−
4−ベンジルオキシベンズアルデヒド12.1g(0.05
モル)をフラスコに仕込み、50℃にて2時間反応させ
た。反応終了後、得られた反応混合物にトルエン36g
と8%水酸化ナトリウム水溶液36gを加えて、塩酸を
中和し、分液した。得られた油層にリン酸0.5gを加え
て中和し、水洗した後、4mmHgの減圧下に溶媒を留
去した。蒸留残渣にトルエン18gを加えて、析出した
粗結晶9.2gを濾取した。この粗結晶9.2gをトルエン
28gから再結晶して、2,2'−ビス(1−ヒドロキシ−
3,5−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキシ−4−
ベンジルオキシベンゼン(純度98.1%)6.1gを得た
(収率25.6%)。
【0095】第3工程(2,2'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルメトキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチル
−3−メトキシ−4−ベンジルオキシベンゼンの製造) 2,2'−ビス(1−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニ
ル)メチル−3−メトキシ−4−ベンジルオキシベンゼ
ン5.9g(0.0143モル)とジメチルホルムアミド1
8gと炭酸カリウム4.6g(0.033モル)と共にクロ
ロ酢酸t−ブチル5.2g(0.035モル)をフラスコに
仕込み、撹拌下に温度70℃で22時間反応させた。得
られた反応混合物にトルエン18gと水18gを加えて
水洗した。6mmHgの減圧下、内温100℃で溶媒を
留去して、2,2'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメ
トキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキ
シ−4−ベンジルオキシベンゼン10.7gを黄色のシロ
ップ状物として得た(収率100%)。
【0096】第4工程(2,2'−ビス(1−t−ブトキシ
カルボニルメトキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチル
−3−メトキシ−4−ヒドロキシベンゼンの製造) 2,2'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−3,
5−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキシ−4−ベ
ンジルオキシベンゼン10.7g(0.015モル)とテト
ラヒドロフラン100gと5%パラジウム/カーボン粉
末(50%含水品)2.1gをフラスコに仕込み、窒素置
換した後、攪拌しながら、40℃、常圧下に水素を反応
液中に6時間吹き込んだ。反応終了後、得られた反応混
合物から触媒を濾別し、10mmHgの減圧下に溶媒を
留去した後、n−ヘプタン15gを加えて、晶析させ
て、白色結晶5.9gを得た。この結晶を酢酸エチルとn
−ヘプタンとの混合溶媒から再結晶して、目的とする2,
2'−ビス(1−t−ブトキシカルボニルメトキシ−3,5
−ジメチルフェニル)メチル−3−メトキシ−4−ヒド
ロキシベンゼン(純度96.8%)3.2gを得た(収率4
0.7%)。全収率は8.8%であった。
【0097】融点:124.1℃(DSC法) 赤外線吸収スペクトル(cm-1): 3488.0:−OH 2979.8:アルキル基 1750.3:−C=O 1610.5:フェニル基 1521.1:フェニル基 プロトン核磁気共鳴スペクトル(400MHz、DMS
O−d6 溶媒):
【0098】
【化25】
【0099】
【表4】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C07C 45/71 C07C 45/71 47/575 47/575 Fターム(参考) 4C062 AA22 4H006 AA01 AA02 AB76 AC25 AC42 AC43 AC80 BD70 BE20 BJ20 BJ50 BN30 BP30 GP03 GP12 KA14

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式(I) 【化1】 (式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1
    〜4のアルコキシル基を示し、R2 は炭素数1〜6のア
    ルキル基又は炭素数5若しくは6のシクロアルキル基を
    示し、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキ
    シカルボニルメチル基、アルキル基の炭素数が1〜4で
    あるアルコキシカルボニル基又はテトラヒドロピラニル
    基を示し、mは0〜2の整数であり、nは0〜3の整数
    である。)で表わされる部分保護トリスフェノール類。
  2. 【請求項2】一般式(II) 【化2】 (式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1
    〜4のアルコキシル基を示し、mは0〜2の整数であ
    り、mが2であるとき、R1 は相互に同一でもよく、異
    なっていてもよい。)で表わされるヒドロキシベンズア
    ルデヒド類にアルカリの存在下にハロゲン化ベンジルを
    反応させて、一般式(III) 【化3】 (R1 及びmは前記と同じであり、Bzはベンジル基を
    示す。)で表わされるベンジルオキシベンズアルデヒド
    類を得る第1工程と、次いで、このベンジルオキシベン
    ズアルデヒド類に酸触媒の存在下に一般式(IV) 【化4】 (式中、R2 は炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数5
    若しくは6のシクロアルキル基を示し、nは0〜3の整
    数であり、nが2以上であるとき、R2 は相互に同一で
    もよく、異なっていてもよい。)で表わされるフェノー
    ル類を反応させて、一般式(V) 【化5】 (式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前記と同じであ
    る。)で表わされるモノベンジル化トリスフェノール類
    を得る第2工程と、次いで、このモノベンジル化トリス
    フェノール類にアルキル基の炭素数が1〜4であるハロ
    ゲン化酢酸アルキルエステル、アルキル基の炭素数が1
    〜4であるジアルキルカーボネート及び2,3−ジヒドロ
    −4−H−ピランから選ばれる保護剤を反応させて、分
    子中の2つの水酸基を保護して、一般式(VI) 【化6】 (式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前記と同じであ
    り、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキシ
    カルボニルメチル基、アルキル基の炭素数が1〜4であ
    るアルコキシカルボニル基及びテトラヒドロピラニル基
    から選ばれる保護基を示す。)で表わされる水酸基が保
    護されたトリスフェノール類を得る第3工程、次いで、
    この水酸基が保護されたトリスフェノール類を水素化分
    解触媒の存在下に水素化分解する第4工程とからなるこ
    とを特徴とする一般式(I) 【化7】 (式中、R1 、R2 、Bz、m及びnは前記と同じであ
    り、Xはアルキル基の炭素数が1〜4であるアルコキシ
    カルボニルメチル基、アルキル基の炭素数が1〜4であ
    るアルコキシカルボニル基及びテトラヒドロピラニル基
    から選ばれる保護基を示す。)で表わされる部分保護ト
    リスフェノール類の製造方法。
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