JP2000283866A - フィルム状圧力センサ - Google Patents

フィルム状圧力センサ

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JP2000283866A
JP2000283866A JP11317233A JP31723399A JP2000283866A JP 2000283866 A JP2000283866 A JP 2000283866A JP 11317233 A JP11317233 A JP 11317233A JP 31723399 A JP31723399 A JP 31723399A JP 2000283866 A JP2000283866 A JP 2000283866A
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pressure
temperature
film
circuit pattern
pressure sensor
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JP11317233A
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Takayuki Enomoto
貴行 榎本
Hiroyo Okamura
浩代 岡村
Takafumi Kuboki
尚文 久保木
Kyosuke Hashimoto
恭介 橋本
Takuya Nishimoto
卓矢 西本
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度変化による圧力測定誤差を低減或いは解
消したフィルム状圧力センサを提供する。 【解決手段】 圧力検出部23の温度を検出する温度検
出部25を、電気抵抗が温度で変化する物質によってフ
ィルム状圧力センサ20の絶縁フィルム21a,21b上
に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルム状圧力セ
ンサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、例えば、車両のシート装置に
は、その表皮とウレタン等のシートクッション材との間
にフィルム状圧力センサが備えられ、この圧力センサを
用いて乗員がシート装置に着座しているか否かの判断を
行っている。かかるフィルム状圧力センサ10は、一例
として図12及び図13に示すように、所定の回路パタ
ーンと感圧層とが一面に形成された2枚の絶縁フィルム
を、絶縁層を介して互いに対向配置するように張り合わ
せて構成されている。
【0003】より詳細には、絶縁フィルム11a,11b
は、PET等の柔軟な絶縁性のプラスチックフィルムか
らなり、この絶縁フィルム11a,11b上に夫々所定の
形状に形成された金属箔を貼付するか、銀インク等の導
電性塗料を所定の形状に印刷することで回路パターン1
2a,12bを形成している。回路パターン12a,12b
上の所定位置には、例えば、ポリウレタン樹脂にカーボ
ンと無機充填材を混ぜた樹脂組成物からなる略円形形状
の感圧層13a,13bが印刷されている。
【0004】又、絶縁層14は、両面に粘着材を塗布し
感圧層13a,13bに相当する部分のみ打ち抜かれたP
ET等の絶縁フィルムから形成され、絶縁フィルム11
a,11b間に介在されている。尚、この絶縁層は、感圧
層の領域を除いて粘着材層を印刷等で塗布することによ
って一方の絶縁フィルム上に形成される場合もある。
【0005】かかるフィルム状圧力センサ10は、互い
に所定の間隙を有して対向配置された感圧層13a,1
3bの部分で圧力検出を行うようになっている。即ち、
図13に示す矢印P,Q方向のいずれか一方又は両方か
ら圧力が加わると、絶縁フィルム11a,11bの一方又
は両方が弾性変形して感圧層13a,13b同士が接触
し、この圧力の大小に応じて感圧層13a,13b間の接
触抵抗が変化し、この接触抵抗の変化を回路パターン1
2a,12bを介して電気的に検出することで、フィルム
状圧力センサ10に加わる圧力を測定している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】フィルム状圧力センサ
10を構成する絶縁フィルム11a,11bや感圧層13
a,13b 、回路パターン12a,12b 、絶縁層14等
の部材は、温度により電気抵抗等の電気的特性や硬度等
の物理的特性が大きく変化する。このため、温度が変わ
ると絶縁フィルム11a,11bの硬度や感圧層13a,
13bの接触抵抗、及び回路パターン12a,12bの電
気抵抗等が変化するため、同一押圧力であっても温度変
化により検出した圧力値が異なってしまう。その為、フ
ィルム状圧力センサ10に加わる押圧力を正確に測定す
ることができない。
【0007】特に、フィルム状圧力センサ10を車両の
シート装置に装着した場合等においては、同一地域であ
っても夏場の日中と冬場の夜間とで、車両室内温度が例
えば約50℃以上隔たる場合がある。同様に車両を使用
する国や地域間でも上述のような車両室内温度差が生じ
る場合がある。このような場合に、かかるフィルム状圧
力センサ10を使用すると、如何なる状況においても一
義的且つ的確な圧力検出を行うことは難しい。
【0008】本発明の目的は、温度変化による圧力測定
誤差を低減或いは解消したフィルム状圧力センサを提供
することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係るフィルム状圧力センサは、圧力検出
部の温度を検出する温度検出部が、温度で電気抵抗が変
化する物質によって絶縁フィルム上に形成されているこ
とを特徴としている。圧力検出部の温度を正確に測定す
るので、フィルム状圧力センサに顕著な温度変化による
圧力測定誤差を低減或いは解消する。
【0010】又、本発明の請求項2に係るフィルム状圧
力センサは、温度検出部を構成する回路パターンの一部
を、圧力検出部を構成する回路パターンの一部と共用し
たことを特徴としている。回路パターンの端末数を削減
しつつ、圧力検出部の温度を検出して温度変化によるフ
ィルム状圧力センサの圧力測定誤差を低減或いは解消す
る。
【0011】又、本発明の請求項3に係るフィルム状圧
力センサは、圧力検出部を構成する回路パターンの温度
変化による電気抵抗の変化を利用して、圧力検出部の温
度を測定することを特徴としている。単純な回路パター
ンによって且つ回路パターンの端末数を削減しながら、
圧力検出部の温度を検出して温度変化によるフィルム状
圧力センサの圧力測定誤差を低減或いは解消する。
【0012】又、本発明の請求項4に係るフィルム状圧
力センサは、圧力検出部の感圧部近傍に形成された感温
部の温度による電気抵抗の変化を利用して、感圧部及び
その近傍の温度を測定することを特徴としている。温度
変化が圧力特性に最も影響する感圧部の温度を測定して
圧力測定誤差をより確実に低減或いは解消する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の第
1の実施形態に係るフィルム状圧力センサについて説明
する。本発明の第1の実施形態に係るフィルム状圧力セ
ンサ20は、完成した状態を示す図1及び分解した状態
を示す図2から分かるように、所定の回路パターン22
aと感圧層23aとが一側面(図2中、上面)に形成さ
れ、且つ回路パターン22aに並んで温度検出部25が
同一面上に形成された第1の絶縁フィルム21aと、所
定の回路パターン22bと感圧層23bとが一側面(図2
中、上面)に形成された第2の絶縁フィルム21bと
を、絶縁層24を介して矢印X,Yに示すように感圧層
23a,23bが対向するように張り合わせることで構成
されている。
【0014】第1の絶縁フィルム21aは、従来のフィ
ルム状圧力センサ10と同様に、PET等の柔軟な絶縁
性のプラスチックフィルムからなり、この絶縁フィルム
上に所定の形状に形成された金属箔を貼付して回路パタ
ーン22aが形成され、この回路パターン22a上の所定
位置に略円形形状を有し、例えば、ポリウレタン樹脂に
カーボンと無機充填材を混ぜた樹脂組成物からなる感圧
層23aが印刷されている。尚、回路パターン22aは、
銀インク等の導電性塗料や白金ペーストを所定の形状に
印刷することで形成しても良い。
【0015】第1の絶縁フィルム21aの回路パターン
22a近傍に形成された温度検出部25は、一定距離隔
てて平行に配置形成された回路パターン25p,25q
と、図3(a)の断面図に示すように回路パターン25p,
25qの一端においてそれらパターンの両方に接触する
ように形成された感温層(感温部)25rとからなる。
回路パターン25p,25qは、例えば銀インク等の導電
性塗料を絶縁フィルム上に印刷することで形成されてお
り、感温部25rは、例えばポリウレタン樹脂やカーボ
ンインク等の、温度により電気抵抗が変化する物質から
形成されている。
【0016】第2の絶縁フィルム21bも、第1の絶縁
フィルム21aと同様な材質からなり、この絶縁フィル
ム21b上に金属箔の回路パターン22bが形成され、こ
の回路パターン22b上の所定位置、即ち、第1の絶縁
フィルム21aと第2の絶縁フィルム21bを絶縁層24
を介して張り合わせたとき、第1の絶縁フィルム21a
の感圧層23aと対向配置する位置に感圧層23aと同様
な材質からなる略円形形状の感圧層23bが形成されて
いる。
【0017】第1の絶縁フィルム21aと第2の絶縁フ
ィルム21bの間に挟まれた絶縁層24は、これらの絶
縁フィルム21a,21bと略同等の外形を有すると共
に、一定の圧力が作用した際、図13に示す従来例と同
様に、第1の絶縁フィルム21aの感圧層23aと第2の
絶縁フィルム21bの感圧層23bとが互いに接触するよ
うに、感圧層23a,23bより若干大きい孔24hを有
している。
【0018】絶縁層24は、従来の絶縁層14と同様
に、PET等の絶縁フィルムからなり、絶縁層24と各
絶縁フィルム21a,21bとの間は粘着材を介して密着
している。尚、絶縁フィルム21a,21bのいずれか一
方に所定厚さの粘着材を印刷等の手段によって塗布する
ことで絶縁層を形成しても良い。第1の絶縁フィルム2
1aの回路パターン22aと感圧層23a、第2の絶縁フ
ィルム21bの回路パターン22bと感圧層23b、及び
これらの周辺領域の絶縁層24と絶縁フィルム21a,
21bとで圧力検出部23を構成すると共に、第1の絶
縁フィルム21aの回路パターン25p,25qと感温層
25rとで温度検出部25を構成している。
【0019】尚、圧力検出部23の回路パターン22
a,22bの端部(感圧層と反対側端部)及び温度検出部
25の回路パターン25p,25qの端部(感温層と反対
側端部)の一部はフィルム状圧力センサ20の外部に露
出しており、図示しない外部との接続端末部を形成して
いる。フィルム状圧力センサ20は以上のように構成さ
れているので、感圧層23a,23bのいずれか一方又は
両方から圧力が加わると感圧層23a,23b間の接触抵
抗が変化し、この接触抵抗の変化を回路パターン22
a,22bの接続端末部を介して電気的に検出すること
で、フィルム状圧力センサ20に加わる圧力を測定する
ことができる。
【0020】又、感温層25rは、温度により電気抵抗
が変化する物質でできており、かかる電気抵抗の変化を
例えば電圧値変化として回路パターン25p,25qの接
続端末部を介して電気的に検出することができる。感温
層25rの物質の電気抵抗の温度特性は予め分かってい
るので、この検出値を図示しない圧力測定回路の演算部
に入力することで、フィルム状圧力センサ20の温度を
正確に測定することができる。そして、この測定された
温度を用いて、フィルム状圧力センサ20で測定した圧
力値を補正し、温度による圧力測定誤差を低減或いは解
消することが可能となる。
【0021】尚、温度検出部25を構成する回路パター
ン25p,25qと感温層25rとを、上述の実施形態の
ように、共に一方の絶縁フィルム21a上に形成するの
ではなく、図3(b)に示すように、回路パターン25
p′,25q′を一方の絶縁フィルム21b上に形成し、
感温層25r′を他方の絶縁フィルム21a上に形成し、
絶縁フィルム21a,21b同士が絶縁層24を介して重
ね合わされたとき、感温層25r′と回路パターン25
p′,25q′とが接触するようにしても良い。又、図3
(c) に示すように、回路パターン25q″と感温層25
r″とを一方の絶縁フィルム21a上に形成し、回路パタ
ーン25p″を他方の絶縁フィルム21b上に形成し、絶
縁フィルム21a,21b同士が絶縁層24を介して重ね
合わされたとき、温度検出部25″が形成されるように
しても良い。尚、図3(b)及び図3(c)の場合には、回路
パターンと感温層との接触を確保するために、絶縁層の
所定位置に温度検出部形成用の孔を形成しておくことが
必要である。
【0022】次に、本発明の第2の実施形態に係るフィ
ルム状圧力センサについて説明する。以下、第1の実施
形態のフィルム状圧力センサ20と共通する構成につい
ては、対応する符号を付して詳細な説明を省略する。第
2の実施形態に係るフィルム状圧力センサ30は、図4
に示すように、第1の絶縁フィルム31aとこれに形成
された圧力検出用の回路パターン32a、感圧層33a、
及び第2の絶縁フィルム31bとこれに形成された圧力
検出用の回路パターン32b、感圧層33b、温度検出用
の回路パターン35p,35q、感温層35r、並びに絶
縁フィルム31a,31b間に介装される絶縁層34から
構成されている。即ち、第1の実施形態に係るフィルム
状圧力センサ20のように圧力検出部23と温度検出部
25とが互いに独立して電気的に絶縁された状態で形成
されているのではなく、圧力検出部33を構成する一方
の回路パターン32bと温度検出部35を構成する一方
の回路パターン35pとが電気的に接続されている点に
特徴を有している。
【0023】このような構成を有することで、第1の実
施形態のフィルム状圧力センサ20において4つ形成さ
れていた回路パターン22a,22b,25p,25qの端
末数を3つに削減することができ、センサ外部との結線
作業を容易にすることができる。更に、本発明の第3の
実施形態に係るフィルム状圧力センサについて説明す
る。
【0024】第3の実施形態に係るフィルム状圧力セン
サ40は、図5に示すように、圧力検出部43を構成す
る一方の回路パターン42bを銀インク等の導電性塗料
を印刷・塗布することで構成すると共に、この一方の回
路パターン42bに温度検出用回路パターン45pを延在
させている。銀インク等の導電性塗料は温度により電気
抵抗が変化するので、回路パターン42a、感圧層43
a,43b、回路パターン42bを介して圧力を測定する
と共に、回路パターン42b,45bの温度による電気抵
抗の変化を利用して温度測定を行う。
【0025】このような構成を有することで、第2の実
施形態のフィルム状圧力センサ30と同様に回路パター
ンの端末数を削減できると共に、回路パターン42b,
45p自体が温度検出部を形成しているので、ポリウレ
タン樹脂やカーボンインク等の、温度により電気抵抗が
変化する物質を感温層として絶縁フィルム上に形成する
必要がなく、フィルム状圧力センサ40の製造工数を低
減することができる。
【0026】更に、本発明の第4の実施形態に係るフィ
ルム状圧力センサについて説明する。第4の実施形態に
係るフィルム状圧力センサ50は、図6に示すように、
一方の絶縁フィルム51a上において、感圧層53aから
はみ出すように感温層55rが形成されていると共に、
回路パターン55qが感温層55rと接続されて形成され
ている。回路パターン55qは、圧力検出部53を構成
している一方の回路パターン52aと同様に、金属箔を
貼付するか銀インク等の導電性塗料を印刷することで形
成され、感温層55rは、例えば、ポリウレタン樹脂に
カーボンと無機充填材を混ぜた樹脂組成物からなる。
【0027】従って、回路パターン52a、感圧層53
a,53b、回路パターン52bを介して圧力を測定する
と共に、回路パターン52a、感温層55r、回路パター
ン55qを介して温度を測定する。感温層55rが感圧層
53aの近傍に形成されているので、圧力測定時に温度
による電気抵抗の変化を最も生じ易い部分の温度測定を
確実に行うことができると共に、回路パターンの端末数
の削減を図ることができる。
【0028】更に、本発明の第5の実施形態に係るフィ
ルム状圧力センサについて説明する。第5の実施形態に
係るフィルム状圧力センサ60は、図7の分解図に示す
ように、第2の実施形態に係るフィルム状圧力センサ3
0を変形させたものである。具体的には、複数(図中4
つ)の圧力検出部と1つの感温検出部が絶縁フィルム上
にマトリックス状に形成されている。即ち、絶縁フィル
ム61には、2本の回路パターン62p,63pが図中
横方向に平行して形成され、回路パターン62pには一
定間隔隔てて感圧層62a,62bが配置され、回路パ
ターン63pには一定間隔隔てて感圧層63a,63b
が配置されている。
【0029】又、回路パターン62p,63pの一端は
夫々感温層64に接続されると共に、回路パターン62
p,63pの他端はフィルム状圧力センサ60の外部に
露出し、図示しない外部との接続端末部を形成してい
る。尚、感圧層62a,62b,63a,63b及び回
路パターン62p,63pは、金属箔を貼付するか銀イ
ンク等の導電性塗料を印刷することで形成され、感温層
64は、例えば、ポリウレタン樹脂にカーボンと無機充
填材を混ぜた樹脂組成物からなる。
【0030】絶縁フィルム65にも、絶縁フィルム61
と同様に2本の回路パターン66p,67pが図中縦方
向に形成され、回路パターン66pには感圧層66a,
66bが配置され、回路パターン67pには、感圧層6
7a,67bが配置されている。しかし、2本の回路パ
ターン66p,67pは感温層によって接続されておら
ず、互いに電気的に独立している。尚、感圧層66a,
66b,67a,67b、回路パターン66p,67p
は、絶縁フィルム61の感圧層、回路パターンと同様の
材質から構成されている。
【0031】絶縁層69は、絶縁フィルム61、絶縁層
69、絶縁フィルム65を重ね合わせたとき、図8に示
すように、上述の実施形態と同様に、対応する感圧層同
士が一定間隔隔てると共に、感圧層に一定の圧力が作用
すると感圧層同士が接触するような形状(外形、厚さ、
孔)を有している。従って、以上の絶縁フィルム61、
絶縁層69、絶縁フィルム65を重ね合わせるだけで、
本実施形態に係るフィルム状圧力センサ60を容易に完
成させることができる。
【0032】フィルム状圧力センサ60は上述の構成を
有しているので、回路パターン62p、感温層64、回
路パターン63pの抵抗値を測定することで感圧層近傍
の温度を測定できる。又、絶縁フィルム上に4つの圧力
検出部が形成されているので、以下のように絶縁フィル
ムを押圧する物体の形状を測定することができる。即
ち、回路パターン62pと回路パターン66p間の抵抗
値変化を検出することで、感圧層62aと感圧層66a
で形成される圧力検出部の圧力を検出し、同様に回路パ
ターン62pと回路パターン67pの抵抗値変化から、
感圧層62bと感圧層67aで形成される圧力検出部の
圧力を検出し、回路パターン63pと回路パターン66
pの抵抗値変化から、感圧層63aと感圧層66bで形
成される圧力検出部の圧力を検出し、回路パターン63
pと回路パターン67pの抵抗値変化から、感圧層63
bと感圧層67bで形成される圧力検出部の圧力を検出
する。その結果、マトリックス状に配置された圧力検出
部の内、どれがどのくらいの圧力で押圧されているかを
正確に判断でき、フィルム状圧力センサ60上の物体の
形状を測定できる。
【0033】回路パターン62p,63pの端部に感温
層64を接続して温度検出部を構成しているので、圧力
検出用回路パターンと温度検出用回路パターンを共用化
できる。その結果、温度検出用の回路パターンの端末数
を全く増やすことなくフィルム状圧力センサ60の温度
検出を行うことが可能となり、センサ外部との結線作業
を容易に行うことができる。
【0034】次に、上述の第5の実施形態に係るフィル
ム状圧力センサ60の変形例を説明する。かかるフィル
ム状圧力センサ70は、図9に示すように、絶縁フィル
ム71、絶縁層79、絶縁フィルム75を重ね合わせた
ものである。絶縁フィルム71上には回路パターン72
pを介して感圧層72a,72bが形成され、回路パタ
ーン73pを介して感圧層73a,73b,73cが形
成されている。又、絶縁フィルム75上には、回路パタ
ーン76pを介して感圧層76a,76bが形成され、
回路パターン77pを介して感圧層77a,77bが形
成され、回路パターン78pを介して感圧層78cが形
成されると共に回路パターン78pの端部に感温層74
の一側が接続されている。尚、絶縁フィルム71の感圧
層と絶縁フィルム75の感圧層とは、各感圧層同士が対
向配置するように夫々の絶縁フィルム上に配置されてい
る。同様に、回路パターン72pの端部は、絶縁フィル
ム同士を重ね合わせたとき、感温層74の他側と一致す
るような位置まで延在している。
【0035】絶縁層79は、フィルム状圧力センサ70
を完成したとき、対応する感圧層同士が一定間隔隔たる
と共に、各感圧層に一定の圧力が作用すると対向する感
圧層同士が接触するような形状(外形、厚さ、孔)を有
している。又、絶縁層79は、フィルム状圧力センサ7
0を完成したとき、回路パターン72pの端部を感温層
74の他側に接続させる開口を有している。
【0036】以上の構成を有するため、各絶縁フィルム
を図10に示すように配置し、互いに重ね合わせること
でフィルム状圧力センサ70を容易に完成させることが
できる。以上の構成を有するフィルム状圧力センサ70
の回路パターン72p,感温層74,回路パターン78
pを介して温度を測定する。又、回路パターン72p,
76pを介して感圧層72a,76a間の抵抗値(圧
力)を測定する。又、回路パターン72p,77pを介
して感圧層72b,77a間の抵抗値(圧力)を測定す
る。同様に、図中下側の3つの圧力検出部についても回
路パターン73pと回路パターン76p,77p,78
pを適時選択して抵抗値(圧力)測定を行う。
【0037】このように、上述のフィルム状圧力センサ
60と同様に夫々の圧力検出部毎に圧力を測定するの
で、フィルム状圧力センサ70を押圧する物体の形状を
測定することが可能である。更に、圧力検出部と温度検
出部の回路パターンを共用化しているので、温度検出用
の回路パターンの端末数を全く増やすことなくフィルム
状圧力センサの温度検出を行うことができる。
【0038】尚、絶縁フィルム上にマトリックス上に配
置される感圧センサや感温センサの数は上述の実施形態
のように限定されないことは言うまでもない。以上説明
したように、温度検出部を金属箔、銀インクやポリウレ
タン樹脂、カーボンインク等で構成することで、フィル
ム状圧力センサの一部に温度センサによる突起部を形成
させなくて済む。従って、フィルム状圧力センサ全体に
亘ってその厚さを薄く保つことができ、フィルム状圧力
センサを例えば、車両のシート装置の表皮とウレタンの
シートクッションとの間に介在させてもシートに不必要
な突起部を形成させずに済み、乗員の快適な着座状態を
確保することができる。
【0039】尚、以上説明した実施形態において、各フ
ィルム状圧力センサの温度検出特性のばらつきをなく
し、各センサが共通した温度特性を有するようにしてセ
ンサの使い勝手を向上させることも可能である。具体的
には、感温層を絶縁層で被覆する前に感温層の温度によ
る抵抗値変化を測定し、これが規定の電気的特性を有す
るようにトリミング法によって図11(a)の点線に示す
ように感温層の一部を適当な面積だけ削除したり、或い
は、図11(b)に示すように回路パターン間に感温層を
並列に形成し、同じく絶縁層で被覆する前にこの感温層
の温度による抵抗値変化を測定し、規定の電気的特性を
有するようにトリミングを行って適当な本数だけ感温層
を形成することで達成される。
【0040】トリミングの方法としては、例えば、抵抗
部品においては、特定な抵抗値になるようにレーザーで
抵抗部品に切り込みを入れたり、適当な大きさを削除す
る方法を用いていたが、レーザー装置等の設備が高価で
あった。しかし、フィルム状センサ上に形成した感温部
では、感温部をポンチ等でフィルムごと打ち抜いたり、
ナイフ等で削り取ることでトリミングが可能であり、従
来よりも設備が安価でコストメリットが大きい。
【0041】本発明のフィルム状圧力センサに係る回路
パターンの形状や、感圧層、感温層の形状は、以上説明
した実施形態の形状に限定されず、又、印刷される銀イ
ンクやポリウレタン樹脂、カーボンインク等の厚さも特
に薄く限定するものでないことは言うまでもない。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るフィ
ルム状圧力センサは、圧力検出部の温度を検出する温度
検出部が、温度で電気抵抗が変化する物質によって絶縁
フィルム上に形成されていることを特徴としている。圧
力検出部の温度を正確に測定するので、フィルム状圧力
センサに顕著な温度変化による圧力測定誤差を低減或い
は解消する。
【0043】又、本発明の請求項2に係るフィルム状圧
力センサは、温度検出部を構成する回路パターンの一部
を、圧力検出部を構成する回路パターンの一部と共用し
たことを特徴としている。回路パターンの端末数を削減
しつつ、圧力検出部の温度を検出して温度変化によるフ
ィルム状圧力センサの圧力測定誤差を低減或いは解消す
る。
【0044】又、本発明の請求項3に係るフィルム状圧
力センサは、圧力検出部を構成する回路パターンの温度
変化による電気抵抗の変化を利用して、圧力検出部の温
度を測定することを特徴としている。単純な回路パター
ンによって且つ回路パターンの端末数を削減しながら、
圧力検出部の温度を検出して温度変化によるフィルム状
圧力センサの圧力測定誤差を低減或いは解消する。
【0045】又、本発明の請求項4に係るフィルム状圧
力センサは、圧力検出部の感圧部の近傍に形成された感
温部の温度による電気抵抗の変化を利用して、感圧部及
びその近傍の温度を測定することを特徴としている。温
度変化が圧力特性に最も影響する感圧部の温度を測定し
て圧力測定誤差をより確実に低減或いは解消する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るフィルム状圧力
センサ20の平面図である。
【図2】図1のフィルム状圧力センサ20を分解した状
態で示した図である。
【図3】図1のフィルム状圧力センサ20の温度検出部
25及びその変形例を断面で示した図である。
【図4】本発明の第2の実施形態に係るフィルム状圧力
センサ30の平面図である。
【図5】本発明の第3の実施形態に係るフィルム状圧力
センサ40の平面図である。
【図6】本発明の第4の実施形態に係るフィルム状圧力
センサ50の平面図である。
【図7】本発明の第5の実施形態に係るフィルム状圧力
センサ60の平面図である。
【図8】図7の上側に位置する感圧層に沿った断面図で
ある。
【図9】図7のフィルム状圧力センサ60の変形例を示
す平面図である。
【図10】図9の上側に位置する感圧層と感温層に沿っ
て、絶縁フィルムと絶縁層を離間させた状態で示す断面
図である。
【図11】本発明の実施形態に係るフィルム状圧力セン
サの温度検出部の変形例を示した図である。
【図12】従来のフィルム状圧力センサ10の平面図で
ある。
【図13】図12におけるXIII-XIII断面図である。
【符号の説明】
20 フィルム状圧力センサ 21a 第1の絶縁フィルム 21b 第2の絶縁フィルム 22a,22b 回路パターン 23a,23b 感圧層 25 温度検出部 25p,25q 回路パターン 25r 感温層 30 フィルム状圧力センサ 31a 第1の絶縁フィルム 31b 第2の絶縁フィルム 32a,32b 回路パターン 33b 感圧層 35p 回路パターン 40 フィルム状圧力センサ 42b 回路パターン 43 圧力検出部 43a,43b 感圧層 45p 回路パターン 50 フィルム状圧力センサ 51a 絶縁フィルム 52a,52b 回路パターン 53a,53b 感圧層 55q 回路パターン 55r 感温層 60 フィルム状圧力センサ 61 絶縁フィルム 62a,62b 感圧層 62p 回路パターン 63a,63b 感圧層 63p 回路パターン 64 感温層 65 絶縁フィルム 69 絶縁フィルム 70 フィルム状圧力センサ 71 絶縁フィルム 72a,72b 感圧層 73a,73b,73c 感圧層 73p 回路パターン 75 絶縁フィルム 76a,76b 感圧層 76p 回路パターン 77a,77b 感圧層 72p 回路パターン 74 感温層 77p 回路パターン 78c 感圧層 78p 回路パターン 79 絶縁フィルム
フロントページの続き (72)発明者 久保木 尚文 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 橋本 恭介 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 西本 卓矢 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2F051 AA01 AB07 AC01 AC07 3B088 QA05

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁フィルム上に圧力検出部が形成され
    たフィルム状圧力センサにおいて、 圧力検出部の温度を検出する温度検出部が、温度で電気
    抵抗が変化する物質によって形成されていることを特徴
    とするフィルム状圧力センサ。
  2. 【請求項2】 前記温度検出部を構成する回路パターン
    の一部を、前記圧力検出部を構成する回路パターンの一
    部と共用したことを特徴とする、請求項1に記載のフィ
    ルム状圧力センサ。
  3. 【請求項3】 前記圧力検出部を構成する回路パターン
    の温度による電気抵抗の変化を利用して、前記圧力検出
    部の温度を測定することを特徴とする、請求項1に記載
    のフィルム状圧力センサ。
  4. 【請求項4】 前記圧力検出部の感圧部近傍に形成され
    た感温部の温度による電気抵抗の変化を利用して、前記
    感圧部及びその近傍の温度を測定することを特徴とす
    る、請求項1に記載のフィルム状圧力センサ。
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