JP2000277417A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 荷電粒子線を用いて被露光面上にパターンを描画する荷電粒子線露光装置であって、
前記荷電粒子線で被露光面上にパターンを描画するための第１、第２の制御手段と、
前記第１、第２の制御手段を各々駆動するための駆動データを時系列に記憶するための第１、第２のメモリと、
前記第１、第２の記憶手段へのそれぞれの動作を指令する動作指令を同一の時系列データ上に配して記憶し、各時系列のデータを対応する記憶手段に送る司令記憶手段とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】 前記第１または第２の制御手段は、前記荷電粒子線を偏向させる偏向器であることを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】 前記第１または第２の制御手段は、前記荷電粒子線の照射を制御する為の照射制御手段であることを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項４】 前記荷電粒子線は、複数のサブフィールドで構成されるストライプ内を描画し、前記被露光面上の複数のストライプを順次描画することを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項５】 請求項１〜４の荷電粒子線露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とする製造方法。
【請求項１】 荷電粒子線を用いて被露光面上にパターンを描画する荷電粒子線露光装置であって、
前記荷電粒子線で被露光面上にパターンを描画するための第１、第２の制御手段と、
前記第１、第２の制御手段を各々駆動するための駆動データを時系列に記憶するための第１、第２のメモリと、
前記第１、第２の記憶手段へのそれぞれの動作を指令する動作指令を同一の時系列データ上に配して記憶し、各時系列のデータを対応する記憶手段に送る司令記憶手段とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】 前記第１または第２の制御手段は、前記荷電粒子線を偏向させる偏向器であることを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】 前記第１または第２の制御手段は、前記荷電粒子線の照射を制御する為の照射制御手段であることを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項４】 前記荷電粒子線は、複数のサブフィールドで構成されるストライプ内を描画し、前記被露光面上の複数のストライプを順次描画することを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項５】 請求項１〜４の荷電粒子線露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とする製造方法。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
荷電粒子線露光装置であって、荷電粒子線を用いて被露光面上にパターンを描画する荷電粒子線露光装置であって、前記荷電粒子線で被露光面上にパターンを描画するための第１、第２の制御手段と、前記第１、第２の制御手段を各々駆動するための駆動データを時系列に記憶するための第１、第２のメモリと、前記第１、第２の記憶手段へのそれぞれの動作を指令する動作指令を同一の時系列データ上に配して記憶し、各時系列のデータを対応する記憶手段に送る司令記憶手段とを有することを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
荷電粒子線露光装置であって、荷電粒子線を用いて被露光面上にパターンを描画する荷電粒子線露光装置であって、前記荷電粒子線で被露光面上にパターンを描画するための第１、第２の制御手段と、前記第１、第２の制御手段を各々駆動するための駆動データを時系列に記憶するための第１、第２のメモリと、前記第１、第２の記憶手段へのそれぞれの動作を指令する動作指令を同一の時系列データ上に配して記憶し、各時系列のデータを対応する記憶手段に送る司令記憶手段とを有することを特徴とする。
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