JP2000263787A

JP2000263787A - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドプリンタ並びにインクジェットヘッドの製造方法

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Publication number: JP2000263787A
Application number: JP34548099A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Nishi; 眞一西; Katsuaki Komatsu; 克明小松; Takao Yamaguchi; 隆雄山口; Kunihiro Yamauchi; 邦裕山内; Yoshio Takeuchi; 良夫竹内
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1998-12-04
Filing date: 1999-12-03
Publication date: 2000-09-26
Anticipated expiration: 2019-12-03
Also published as: JP3729244B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高速で、しかも高画質の画像記録を行うことが
可能で、かつ電極を設ける作業が容易で低コストで高精
度なインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの
製造方法を提供することである。【解決手段】電極１０５、１０６に電圧を印加して、イ
ンク室１０２を構成する空間形状を変形させて、インク
をノズル穴１０８から吐出させるインクジェットヘッド
であって、インク室１０２が相対する分極性を付与した
圧電性材料基板１０３、１０３と、別途に相対する非圧
電性材料基板１０４、１０４とで囲まれて形成されてお
り、さらに圧電性材料基板１０３、１０３は、少なくと
も圧電性材料からなる２層が積層されてなり、その積層
面が非圧電性材料基板１０４、１０４と略平行に積層さ
れてなり、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反
するように構成され、圧電性材料基板１０３、１０３及
び非圧電性材料基板１０４のインク室１０２に面する面
に電極１０５を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極に電圧を印加
して、インク室を構成する空間形状を変形させて、イン
クをノズル孔から吐出させるインクジェットヘッド及び
インクジェットヘッドプリンタ並びにインクジェットヘ
ッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット方式の印字装置には、電
極に電圧を印加してインク室を区画する隔壁を変形させ
てインクをノズル孔から吐出するものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のインクジェット
ヘッドで、高速で、しかも高画質の画像記録を行なおう
とすると、多数のノズル孔をライン状に有するインクジ
ェットヘッドが要望される。このような多ノズルをライ
ン状に有するインクジェットヘッドは、実用的な見地か
ら、駆動効率が高く、軽量、安価で、加工性が良好でし
かも強度の高いものが望まれている。

【０００４】また、分極した圧電性セラミックスは製造
上長さに制限があるため、分極した圧電性セラミックス
隔壁によって区画された複数のインク室を形成し、この
複数のインク室を有する分極した圧電性セラミックスを
非圧電性セラミックス基板上に並べて接着することが行
われるが、複数の分極した圧電性セラミックスの接続で
は、接続部においてインク室の間隔を一定に位置合わせ
することが困難であり、高精度なインクジェットヘッド
を得ることが難しい。

【０００５】また、インク室を変形させてインクを吐出
させるシェアモード型のインクジェットヘッドで、高速
で、しかも高画質の画像記録を行うために好ましいシェ
ブロン型のインクジェットヘッドが知られているが、従
来のシェブロン型の作り方では、圧電性セラミックス基
板上に複数の溝を有する分極した圧電性セラミックスを
重ねて並べて配置して隔壁によって区画された複数のイ
ンク室を有するインクジェットヘッドを製造することに
なり、２枚の圧電性セラミックスを位置合わせして製造
することが困難であり、高精度なインクジェットヘッド
を得ることが難しい。

【０００６】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことが可能
で、かつ電極を設ける作業が容易で低コストで高精度な
インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドプリン
ター並びにインクジェットヘッドの製造方法を提供する
ことである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、かつ
目的を達成するために、本発明は、以下のように構成し
た。

【０００８】請求項１に記載の発明は、『電極に電圧を
印加して、インク室を構成する空間形状を変形させて、
インクをノズル孔から吐出させるインクジェットヘッド
であって、前記インク室が相対する分極性を付与した圧
電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで
囲まれて形成されており、さらに前記圧電性材料基板
は、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層され、そ
の積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層されて
なり、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反する
ように構成され、前記圧電性材料基板及び前記非圧電性
材料基板のインク室に面する面に電極を設けたことを特
徴とするインクジェットヘッド。』である。

【０００９】この請求項１に記載の発明によれば、イン
ク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別
途に相対する非圧電性材料基板とで囲まれて形成されて
おり、さらに圧電性材料基板は、すくなくとも圧電性材
料からなる２層が積層されてなり、その積層面が非圧電
性材料基板と略平行に積層されてなり、この圧電性材料
からなる層の分極方向が相反するように構成され、圧電
性材料基板及び非圧電性材料基板のインク室に面する面
に電極を設けるから、非圧電性材料基板には電極を設け
ないようにして圧電性材料基板のみに電極を設ける場合
に比べて電極を設ける作業が容易で低コストであり、圧
電性材料基板を低電圧で駆動可能で、しかも圧電性材料
基板の変形量が大きく、高効率駆動であり、さらに多ノ
イズに対応可能であるとともに、高周波駆動可能で小液
滴多階調吐出可能であることで、高速で、しかも高画質
の画像記録を行うことができる。

【００１０】請求項２に記載の発明は、『前記相対する
分極性を付与した圧電性材料基板のそれぞれの基板の前
記インク室に面する面と、前記相対する非圧電性材料基
板のうちのいずれか１つの非圧電性材料基板の前記イン
ク室に面する面に電極を設けたことを特徴とする請求項
１項に記載のインクジェットヘッド。』である。

【００１１】この請求項２に記載の発明によれば、相対
する分極性を付与した圧電性材料基板のそれぞれの基板
のインク室に面する面と、相対する非圧電性材料基板の
うちのいずれか１つの非圧電性材料基板のインク室に面
する面に電極を設けるから、非圧電性材料基板には電極
を設けないようにして圧電性材料基板のみに電極を設け
る場合に比べて電極を設ける作業が容易で低コストであ
り、圧電性材料基板を低電圧で駆動可能で、しかも圧電
性材料基板の変形量が大きく、高効率駆動であり、さら
に多ノイズに対応可能であるとともに、高周波駆動可能
で小液滴多階調吐出可能であることで、高速で、しかも
高画質の画像記録を行うことができる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、『前記インク室
は、多段に形成されていることを特徴とする請求項１ま
たは請求項２に記載のインクジェットヘッド。』であ
る。この請求項３に記載の発明によれば、多段のインク
室により多ノイズ化され、より高速で、高画質の画像記
録を行うことができ解像度が向上する。

【００１３】請求項４に記載の発明は、『前記圧電性材
料基板は、平面形状または曲面形状であることを特徴と
する請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のイン
クジェットヘッド。』である。

【００１４】この請求項４に記載の発明によれば、圧電
性材料基板が平面形状で低コストであり、または曲面形
状でよりインク室を構成する空間形状の変形量が大き
く、高速で、高画質の画像記録を行うことができる。

【００１５】請求項５に記載の発明は、『前記圧電性材
料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なるこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
記載のインクジェットヘッド。』である。

【００１６】この請求項５に記載の発明によれば、圧電
性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異な
ることで、インク室を構成する空間形状をノズル孔の位
置に応じて変形させることができ、より効率的にノズル
孔からインクを吐出させることができる。

【００１７】請求項６に記載の発明は、『前記圧電性材
料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を
有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれ
か１項に記載のインクジェットヘッド。』である。

【００１８】この請求項６に記載の発明によれば、圧電
性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる
層を有することで、インク室を構成する空間形状を種々
に変形させて、インクを効率的にノズル孔から吐出させ
ることができる。

【００１９】請求項７に記載の発明は、『電極に電圧を
印加して隔壁で区画されたインク室を変形させて、イン
クをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであっ
て、非圧電性材料基板上に、複数枚の分極性を付与した
圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性材料基板
に複数の溝を設け、更にこの圧電性材料基板上に別途に
非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区
画された複数のインク室を備えるようにしたことを特徴
とするインクジェットヘッド。』である。

【００２０】この請求項７に記載の発明によれば、非圧
電性材料基板上に、複数枚の分極性を付与した圧電性材
料基板を並べて設けた後、圧電性材料基板に複数の溝を
設け、更にこの圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料
基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数
のインク室を傭えることで、位置精度が低下することな
くインク室を形成することができ、低コストで高精度な
長手方向に長い長尺状のラインヘッドを得ることが可能
で、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことができ
る。

【００２１】請求項８に記載の発明は、『前記複数枚の
圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成することを特
徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。』で
ある。

【００２２】この請求項８に記載の発明によれば、複数
枚の圧電性材料基板同士の接続部に溝を形成すること
で、より一層インク室の位置精度を向上することができ
る。請求項９に記載の発明は、『前記圧電性材料基板
が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてな
ることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘ
ッド。』である。

【００２３】この請求項９に記載の発明によれば、圧電
性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積
層されてなり、低コストで高精度なラインヘッドを得る
ことが可能である。

【００２４】請求項１０に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項
１乃至請求項９のいずれか１項に記載のインクジェット
ヘッド。』である。

【００２５】この請求項１０に記載の発明によれば、圧
電性材料基板が非金属材料であり、インク室の隔壁を確
実に変形させることができる。

【００２６】請求項１１に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニ
ア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石
英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求
項１乃至請求項９のいずれか１項に記載のインクジェッ
トヘッド。』である。

【００２７】この請求項１１に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジル
コニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイ
ド、石英の少なくとも１つから選ばれることで、インク
室の隔壁を変形させても圧電性材料基板を確実に支持す
ることができる。

【００２８】請求項１２に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表
面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求
項７乃至請求項１１のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッド。』である。

【００２９】この請求項１２に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板と圧電性材料基板との間の接着面の表面
粗さを、１．０μｍ以下とすることで、接着面の凹部に
柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込
みを防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小
にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低
下、電圧上昇を引き起こすことがないようにすることが
できる。

【００３０】請求項１３に記載の発明は、『前記少なく
とも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性
材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項９乃至請求項１１のいずれか１
項に記載のインクジェットヘッド。』である。

【００３１】この請求項１３に記載の発明によれば、少
なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板間の
接着面の表面粗さを、１．０μｍ以下とすることで、接
着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹
脂）の入り込みを防止することにより、実効的に接着面
の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下
し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがないように
することができる。

【００３２】請求項１４に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、
プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とす
る請求項７乃至請求項１３のいずれか１項に記載のイン
クジェットヘッド。』である。

【００３３】この請求項１４に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面
をプラズマ処理及びＵＶ処理することにより、有機物汚
染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向上
させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それによ
り圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができる。請
求項１５に記載の発明は、『前記少なくとも２層の圧電
性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表
面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特
徴とする請求項９乃至請求項１３のいずれか１項に記載
のインクジェットヘッド。』である。

【００３４】この請求項１５に記載の発明によれば、少
なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧
電性材料間の接着表面をプラズマ処理及びＵＶ処理をす
ることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体へ
の接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不
良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の駆動不良
をなくすことができる。

【００３５】請求項１６に記載の発明は、『前記請求項
１乃至請求項１５のいずれかに記載のインクジェットヘ
ッドを備えることを特徴とするインクジェットヘッドプ
リンタ。』である。

【００３６】この請求項１６に記載の発明によれば、高
速で、しかも高画質の画像記録を行うことが可能であ
る。

【００３７】請求項１７に記載の発明は、『電極に電圧
を印加して、インク室を構成する空間形状を変形させ
て、インクをノズル孔から吐出させるインクインクジェ
ットヘッドの製造方法であって、前記インク室が相対す
る分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する
非圧電性材料基板とで囲んで形成し、前記圧電性材料基
板に電極を設け、さらに前記圧電性材料基板は、少なく
とも２層の圧電性材料からなり、その積層面が前記非圧
電性材料基板と略平行に積層され、この圧電性材料から
なる層の分極方向が相反することを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。』である。

【００３８】この請求項１７に記載の発明によれば、イ
ンク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、
別途に相対する非圧電性材料基板とで囲んで形成し、圧
電性材料基板に電極を設け、さらに圧電性材料基板は、
少なくとも２層の圧電性材料からなり、その積層面が非
圧電性材料基板と略平行に積層され、この圧電性材料か
らなる層の分極方向が相反するから、低コストで、圧電
性材料基板を低電圧で駆動可能で、しかも圧電性材料基
板の変形量が大きく、高効率駆動であり、さらに多ノイ
ズに対応可能であるとともに、高周波駆動可能で小液滴
多諧調吐出可能であることで、高速で、しかも高画質の
画像記録を行うインクジェットヘッドを製造することが
できる。

【００３９】請求項１８に記載の発明は、『前記インク
室を、少なくとも２層の圧電性材料基板を非圧電性材料
基板に貼り合わせ、この貼り合わせた後圧電性材料基板
に溝加工し、もう一枚の非圧電性材料基板を前記圧電性
材料基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求
項１７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』で
ある。

【００４０】この請求項１８に記載の発明によれば、イ
ンク室を、少なくとも２層の圧電性材料基板を非圧電性
材料基板に貼り合わせ、この貼り合わせた後圧電性材料
基板に溝加工し、もう一枚の非圧電性材料基板を圧電性
材料基板に貼り合わせて成形することで、インク室を低
コストで、かつインク室の位置合わせが容易で高精度に
形成することができる。

【００４１】請求項１９に記載の発明は、『前記インク
室を、溝加工した少なくとも２層の圧電性材料基板を１
枚の非圧電性材料基板に貼り合わせ、もう１枚の非圧電
性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形す
ることを特徴とする請求項１７に記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。』である。

【００４２】この請求項１９に記載の発明によれば、イ
ンク室を溝加工した少なくとも２層の圧電性材料基板を
１枚の非圧電性材料基板に貼り合わせ、もう１枚の非圧
電性材料基板を圧電性材料基板に貼り合わせて成形する
ことで、インク室を低コストで、かつインク室の位置合
わせが容易で高精度に形成することができる。

【００４３】請求項２０に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板に、電極を設けることを特徴とする請求項１
７乃至請求項１９のいずれか１項に記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。』である。

【００４４】この請求項２０に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板に電極を設けることで、圧電性材料基板
の電極への電気的接続が非圧電性材料基板の電極を介し
て行うことができ、外部の電源との電気的接続が容易
で、作業性も向上する。

【００４５】請求項２１に記載の発明は、『前記インク
室は、多段に形成することを特徴とする請求項１７乃至
請求項２０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法。』である。

【００４６】この請求項２１に記載の発明によれば、多
段のインク室を形成することで、多ノイズ化され、より
高速で、高画質の画像記録を行うことができる解像度が
向上するインクジェットヘッドを製造することができ
る。

【００４７】請求項２２に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板は、平面形状または曲面形状であることを特徴
とする請求項１７乃至請求項２１のいずれか１項に記載
のインクジェットヘッドの製造方法。』である。

【００４８】この請求項２３に記載の発明によれば、圧
電性材料基板が平面形状で低コストで、または曲面形状
でよりインク室を構成する空間形状の変形量が大きく、
高速で、高画質の画像記録を行なうインクジェットヘッ
ドを製造することができる。

【００４９】請求項２３に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なる
ことを特徴とする請求項１７乃至請求項２２のいずれか
１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』であ
る。

【００５０】この請求項２４に記載の発明によれば、圧
電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異
なることで、インク室を構成する空間形状をノズル孔の
位置に応じて変形させ、より効率的にノズル孔からイン
クを吐出させることが可能なインクジェットヘッドを製
造することができる。

【００５１】請求項２４に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層
を有することを特徴とする請求項１７乃至請求項２３の
いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。』である。

【００５２】この請求項２４に記載の発明によれば、圧
電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からな
る層を有することで、インク室を構成する空間形状を種
々に変形させて、インクを効率的にノズル孔から吐出さ
せることが可能なインクジェットヘッドを製造すること
ができる。

【００５３】請求項２５に記載の発明は、『電極に電圧
を印加して隔壁で区画されたインク室を変形させてイン
クをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドの製造
方法であって、非圧電性材料基板上に複数枚の分極性を
付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性
材料基板に複数の溝を設け、更にその後圧電性材料基板
上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁
によって区画された複数のインク室を備えるようにした
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。』
である。

【００５４】この請求項２５に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板上に複数枚の分極性を付与した圧電性材
料基板を並べて設けた後、圧電性材料基板に複数の溝を
設け、更にその後圧電性材料基板上に別途に非圧電性材
料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複
数のインク室を備えることで、位置精度が低下すること
なくインク室を形成することができ、低コストで高精度
な長手方向に長い長尺状のラインヘッドを得ることが可
能である。

【００５５】請求項２６に記載の発明は、『前記複数枚
の圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成することを
特徴とする請求項２５に記載のインクジェットヘッドの
製造方法。』である。

【００５６】この請求項２６に記載の発明によれば、複
数枚の圧電性材料基板同士の接続部に溝を形成すること
で、より一層インク室の位置精度が向上する。

【００５７】請求項２７に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層
されてなることを特徴とする請求項２５に記載のインク
ジェットヘッド。』である。

【００５８】この請求項２７に記載の発明によれば、圧
電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が
積層されてなり、低コストで高精度なラインヘッドを得
ることが可能である。

【００５９】請求項２８に記載の発明は、『前記圧電性
材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項
１７乃至請求項２７のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。』である。

【００６０】この請求項２８に記載の発明によれば、圧
電性材料基板が非金属材料であり、インク室の隔壁を確
実に変形させることができるインクジェットヘッドを製
造することができる。

【００６１】請求項２９に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニ
ア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石
英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求
項１７乃至請求項２７のいずれか１項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。』である。

【００６２】この請求項２９に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジル
コニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイ
ド、石英の少なくとも１つから選ばれることで、インク
室の隔壁を変形させても圧電性材料基板を確実に支持可
能なインクジェットヘッドを製造することができる。

【００６３】請求項３０に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表
面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求
項１７乃至請求項２９のいずれか１項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。』である。

【００６４】この請求項３０に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板と圧電性材料基板との間の接着表面の表
面粗さは、１．０μｍ以下であり、接着面の凹部に柔軟
性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込みを
防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小にと
どめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低下、電
圧上昇を引き起こすことがないようにすることが可能な
インクジェットヘッドを製造することができる。

【００６５】請求項３１に記載の発明は、『前記少なく
とも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性
材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項１７乃至請求項２９のいずれか
１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』であ
る。

【００６６】この請求項３１に記載の発明によれば、少
なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧
電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下で
あり、接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエ
ポキシ樹脂）の入り込みを防止することにより、実効的
に接着面の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動
力が低下し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがな
いようにすることが可能なインクジェットヘッドを製造
することができる。

【００６７】請求項３２に記載の発明は、『前記非圧電
性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、
プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とす
る請求項１７乃至請求項３１のいずれか１項に記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法。』である。

【００６８】この請求項３２に記載の発明によれば、非
圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面
をプラズマ処理及びＵＶ処理をすることにより、有機物
汚染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向
上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それに
より、圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができ
る。

【００６９】請求項３３に記載の発明は、『前記少なく
とも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性
材料間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理され
ていることを特徴とする請求項１７乃至請求項３１のい
ずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。』である。

【００７０】この請求項３３に記載の発明によれば、少
なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧
電性材料間の接着表面をプラズマ処理およびＵＶ処理を
することにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体
への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着
不良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の駆動不
良をなくすことができる。

【００７１】

【発明の実施の形態】以下、本発明のインクジェットヘ
ッド及びインクジェットヘッドプリンタ並びにインクジ
ェットヘッドの製造方法の実施の形態を挙げて説明する
が、この発明の態様はこれに限定されない。

【００７２】図１乃至図１１はインクジェットヘッドを
示し、図１は斜視図、図２は正面図、図３は断面図であ
る。この実施形態のインクジェットヘッド１０１は、イ
ンクジェットヘッドプリンターに備えられ、電極に電圧
を印加して、インク室１０２を構成する空間形状を変形
させて、インクをノズル孔１０８から吐出させる。この
インクジェットヘッド１０１は、インク室１０２が相対
する２層の分極性を付与した圧電性材料基板１０３、１
０３と、別途に相対する非圧電性材料基板１０４、１０
４とで囲まれて形成されている。この圧電性材料基板１
０３、１０３は、２層１０３ａ、１０３ｂの圧電性材料
からなり、その積層面が非圧電性材料基板１０４、１０
４を略平行に積層され、この圧電性材料からなる層１０
３ａ、１０３ｂの分極方向が相反するように構成されて
いる。圧電性材料基板とは、実質的に圧電性材料からな
る基板を言う。実質的とは、該基板の９０％以上、好ま
しくは９５％以上が圧電性材料であることを言う。ま
た、非圧電性材料基板とは、実質的に非圧電性材料から
なる基板を言う。実質的にとは、該基板の９０％以上、
好ましくは９５％が、非圧電性材料であることを言う。
分極方向とは、電界をかけた際に分極する方向であり、
圧電性材料にあらかじめ分極処理を施すことにより、決
まるものである。また、圧電性材料基板１０３、１０３
の２層１０３ａ、１０３ｂが貼り合わせて形成され、こ
の層の貼り合わせ方法として、例えば接着（熱硬化、熱
可塑、熱ＵＶ硬化）、溶着、膜成長等がある。

【００７３】圧電性材料基板１０３、１０３には、裏表
の両面に電極１０５、１０６が設けられ、一方の非圧電
性材料基板１０４の内側面にも電極１０５が設けられて
いる。電極１０５、１０６は、蒸着、スパッタリング、
あるいはメッキ等によって圧電性材料基板１０３、１０
３に設けられ、蒸着、スパッタリングによれば、高純
度、かつ高機能膜に形成でき、メッキでは安価で、細部
に形成することができる。電極１０５、１０６となる金
属は、金、銀、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、
タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特
性、加工性の点から、金、アルミニウムが良く、メッ
キ、蒸着、スパッタで形成される。

【００７４】インク室を形成する一方の非圧電性材料基
板１０４に電極１０５を設けることができ、これにより
圧電性材料基板１０３、１０３の電極１０５、１０６へ
の電気的接続が非圧電性材料基板１０４の電極を介して
行うことができ、外部の電源との電気的接続が容易で、
作業性も向上する。インク室を形成する相対する非圧電
性材料基板１０４、１０４のいずれにも電極を設けるこ
とができる。

【００７５】このインクジェットヘッド１０１には、図
３に示すようにインク供給口１０７よりインクがインク
室１０２に供給され、インク供給口１０７はノズル孔１
０８と対向する位置に形成されている。

【００７６】このようにインク室１０２が相対する分極
性を付与した圧電性材料基板１０３、１０３と、別途に
相対する非圧電性材料基板１０４、１０４とで囲まれて
形成されており、さらに圧電性材料基板１０３、１０３
は、圧電性材料からなる２層１０３ａ、１０３ｂが積層
され、その積層面が非圧電性材料基板１０４、１０４と
略平行に積層されてなり、この圧電性材料からなる層１
０３ａ、１０３ｂの分極方向が相反するように構成さ
れ、圧電性材料基板１０３、１０３及び一方の非圧電性
材料基板１０４のインク室１０２に面する面に電極１０
５を設けるから、非圧電性材料基板１０４には電極１０
５を設けないようにして圧電性材料基板１０３、１０３
のみに電極１０５を設ける場合に比べて電極１０５を設
ける作業が容易で低コストであり、圧電性材料基板１０
３、１０３を低電圧で駆動可能である。しかも圧電性材
料基板１０３、１０３の変形量が大きく、高効率駆動で
あり、さらに多ノイズに対応可能であるとともに、高周
波駆動可能で小液滴多階調吐出可能であることで、高速
で、しかも高画質の画像記録を行うことができる。

【００７７】このインク室１０２は、図４に示すよう
に、２層１０３ａ、１０３ｂの圧電性材料を有する圧電
性材料基板１０３を非圧電性材料基板１０４に貼り合わ
せ（図４（ａ））、この貼り合わせた後圧電性材料基板
１０３に溝１９０を加工し（図４（ｂ））、この溝加工
した圧電性材料基板１０３に別途に別の非圧電性材料基
板１０４を貼り合わせて形成する（図４（ｃ））。圧電
性材料基板１０３及び非圧電性材料基板１０４のインク
室１２０に面する面には、別途に別の非圧電性材料基板
１０４を貼り合わせる前に電極１０５を設ける。

【００７８】このように２層１０３ａ、１０３ｂの圧電
性材料を有する圧電性材料基板１０３を非圧電性材料基
板１０４に貼り合わせ、この貼り合わせた後溝加工する
ことで、インク室１０２を低コストで、かつインク室の
位置合わせが容易で高精度に形成することができる。こ
のように非圧電性材料基板１０４上に圧電性基板１０３
の一部を残して形成したものも、本発明のインクジェッ
トヘッドのインク室を構成する圧電性材料基板に該当
し、本発明のインクジェットヘッドの一態様を成すもの
である。

【００７９】この発明のインクジェットヘッドの製造で
は、圧電性材料基板１０３を非圧電性材料基板１０４に
重ねて設けた後に、この圧電性材料基板１０３に溝１９
０を設けて、インク室１０２を形成するが、この溝１９
０を設ける際、溝１９０は非圧電性材料基板１０４が、
露出する溝１９０をつくっても良いし、少し非圧電性材
料基板１０４上に圧電性材料基板１０３の一部を残して
形成しても良い。

【００８０】また、インク室１０２は、図５に示すよう
に、２層１０３ａ、１０３ｂの圧電性材料を有する圧電
性材料基板１０３を非圧電性材料基板１０４に貼り合わ
せ（図５（ａ））、この貼り合わせた後、別途に別の非
圧電性材料基板１０４を貼り合わせて形成することもで
きる（図５（ｂ））。

【００８１】このように一方の非圧電性材料基板１０
４、２層１０３ａ、１０３ｂの圧電性材料を有する圧電
性材料基板１０３、別の非圧電性材料基板１０４を順に
貼り合わせることで、インク室１０２を低コストで形成
でき、かつ組み付け性がよい。この実施の形態でも、圧
電性材料基板１０３及び非圧電性材料基板１０４のイン
ク室１２０に面する面には、別途に別の非圧電性材料基
板１０４を貼り合わせる前に電極１０５を設ける。

【００８２】また、インクジェットヘッド１０１は、図
６に示すように、インク室１０２を多段に形成すること
ができ、多段のインク室１０２により多ノズル化され、
より高速で、高画質の画像記録を行うことができ解像度
が向上する。図６（ａ）の実施の形態では、１段目に空
気室１２０の両側にインク室１０２が形成され、２段目
でも同様に空気室１２０の両側にインク室１０２が形成
され、インク室１０２が１段目と２段目で同じ位置に対
応して形成されている。

【００８３】図６（ｂ）の実施の形態では、１段目に空
気室１２０の間にインク室１２０が形成され、２段目で
は空気室１２０の両側にインク室１０２が形成され、１
段目のインク室１０２には２段目の空気室１２０が対応
して形成され、１段目の空気室１２０には２段目のイン
ク室１０２が対応して形成されており、より解像度が向
上する。

【００８４】空気室１２０は、インク室１０２とは隔離
されたインクの入らない部屋で、この両側にインク室１
０２を設ける場合、両側の隔壁が独立して駆動し、両側
のインク室１０２がインクを射出することを可能とし、
高速駆動に対応が可能となる。

【００８５】また、インクジェットヘッド１０１は、図
１乃至図６に示すように圧電性材料基板１０３は、平面
形状に形成されるが、図７に示すように、曲面形状に形
成することができる。図１乃至図６に示すように圧電性
材料基板１０３が平面形状の場合には、低コストであ
り、また図７に示すように曲面形状の場合には、図７
（ａ）に示す状態から図７（ｂ）に示す状態に変形し、
平面形状の場合に比べてよりインク室１２０を構成する
空間形状の変形量が大きくなり、高速で、高画質の画像
記録を行うことができる。

【００８６】さらに、インクジェットヘッド１０１は、
図８に示すように、圧電性材料基板１０３、１０３は２
層１０３ａ、１０３ｂの積層方向の長さＬ１、Ｌ２が異
なるように形成することができる。このように２層１０
３ａ、１０３ｂの積層方向の長さＬ１、Ｌ２が異なるこ
とで、インク室１０２を構成する空間形状をノズル孔１
０８の位置に応じて変形させることができ、より効率的
にノズル孔１０８からインクを吐出させることができ
る。

【００８７】また、インクジェットヘッド１０１は、図
９乃至図１１に示すように構成することができる。図９
のインクジェットヘッド１０１は、２枚の圧電性材料基
板１０３、１０３は、それぞれ３層１０３ｅ、１０３
ｆ、１０３ｇを有し、層１０３ｅと層１０３ｇは圧電性
非金属無機材料からなり、層１０３ｆは非圧電性非金属
無機材料からなり、図９（ａ）に示すように層１０３ｅ
と層１０３ｇは分極方向が矢印で示すように相反してお
り、図９（ｂ）に示すように変形する。層１０３ｆは、
非圧電性非金属無機材料に限定されることなく、圧電性
非金属無機材料、あるいは有機材料でもよい。

【００８８】図１０のインクジェットヘッド１０１は、
２枚の圧電性材料基板１０３、１０３は、それぞれ４層
１０３ｈ、１０３ｉ、１０３ｊ、１０３ｋを有し、各層
１０３ｈ、１０３ｉ、１０３ｊ、１０３ｋは圧電性非金
属無機材料からなり、図１０（ａ）に示すように分極方
向が矢印で示すように相反しており、図１０（ｂ）に示
すように変形する。層１０３ｉ、１０３ｊは、圧電性非
金属無機材料に限定されることなく、非圧電性非金属無
機材料、あるいは有機材料でもよい。

【００８９】図１１のインクジェットヘッド１０１は、
２枚の圧電性材料基板１０３、１０３は、それぞれ４層
１０３ｌ、１０３ｍ、１０３ｎ、１０３ｏを有し、各層
１０３ｌ、１０３ｍ、１０３ｎ、１０３ｏは圧電性非金
属無機材料からなり、図１０（ａ）に示すように分極方
向が矢印で示すように相反しており、図１１（ｂ）に示
すように変形する。層１０３ｍ、１０３ｎは、圧電性非
金属無機材料に限定されることなく、非圧電性非金属無
機材料、あるいは有機材料でもよい。

【００９０】このように図９乃至図１１の実施形態で
は、２枚の圧電性材料基板１０３、１０３は、３層以上
有し、この３層以上のうちの中側の層が圧電性非金属無
機材料、非圧電性非金属無機材料、有機材料のいずれか
であり、インク室１０２を構成する空間形状を種々に変
形させて、インクをノズル孔から吐出させることができ
る。

【００９１】図１２は多ノズル型のインクジェットヘッ
ドを示す図であり、図１２（ａ）は非圧電性材料基板に
圧電性材料基板を接着した状態を示し、図１２（ｂ）は
圧電性材料基板に溝加工した状態を示し、図１２（ｃ）
はインク室と空気室とを形成した状態を示している。

【００９２】この実施の形態のインクジェットヘッド１
は、非圧電性材料基板２上に、分極方向が相反する２層
積層した圧電性材料基板３を端面を突合せて複数並べて
設け（図１２（ａ））、この接着した後、２層を通して
溝３ａを所定間隔で複数形成し（図１２（ｂ））、別途
に別の非圧電性材料基板８を圧電性材料基板３に接着す
ることで、２層積層の隔壁３ｂで区画された複数のイン
ク室４と空気室５を交互に備える。

【００９３】このように複数の分極した圧電性材料基板
３を並べて配置する際に、この圧電性材料基板３の端面
を突合せた接続部２０（接続部とは、圧電性材料基板を
並べて配置する際のつなぎ目のことである。）に溝３ａ
を形成することが好ましく、この場合接続部２０にわず
かな隙間があってもより一層位置精度が低下することな
くインク室４と空気室５を形成することができる。この
実施の形態では、非圧電性材料基板２、８は、１枚を示
しているが、複数枚であっても良い。

【００９４】その後、インク室４と空気室５とを区画す
る隔壁３ｂのインク室及び空気室に面する面の全面に電
極６、７を設け、非圧電性材料基板２のインク室４に面
する面に電極６を設ける。その後非圧電性材料基板８を
隔壁３ｂに接着してインク室４を空気室５を形成し、イ
ンク室４の一方側にはノズル孔９が形成されたノズルプ
レートが貼られ、他方側にインク供給口１０が形成され
る（１２（ｃ））。

【００９５】図１３は多ノズル型のインクジェットヘッ
ドを示す断面図、図１４は多ノズル型のインクジェット
ヘッドの駆動状態を示し、図１４（ａ）は変形前の状態
を示し、図１４（ｂ）はインク室の変形状態を示し、図
１４（ｃ）は変形後の状態を示す図である。

【００９６】このインクジェットヘッド１には、インク
供給口１０よりインクがインク室に供給され、インク供
給口１０はノズル孔９と対向する位置に形成されてい
る。このインクジェットヘッド１の電極６、７に電圧を
印加すると、インク室を区画する隔壁３ｂが変形して、
インク室４内のインクがノズル孔９から吐出する。

【００９７】このようにインクジェットヘッド１は、非
圧電性材料基板２上に、分極方向が相反する２層の圧電
性材料基板３を積層して設け、この２層の積層の圧電性
材料基板３に溝を所定間隔で複数形成して２層積層の隔
壁３ｂによって区画された複数のインク室４を備えてお
り、分極した圧電性材料基板３は製造上長さに制限があ
っても、分極した圧電性材料基板３を複数個非圧電性材
料基板２上に並べて接着した後に、溝加工するから複数
の分極した圧電性材料基板３の接続部２０において位置
精度が低下することなくインク室４を形成することがで
き、低コストで高精度なラインヘッドを得ることが可能
で、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことができ
る。

【００９８】また、図１５のインクジェットヘッドの製
造工程に示すように、図１５（ａ）の非圧電性材料基板
２上に、分極した２層を有する圧電性材料基板３を複数
並べて設け、この分極した圧電性材料基板３の接続部２
０に、図１５（ｂ）の接続部の拡大図に示すように、僅
かな隙間２１があっても、この接続部２０に溝３ａを形
成することで（図１５（ｃ））、より一層位置精度が低
下することなくインク室４を形成することができる。

【００９９】図１６及び図１７はシェブロン型のインク
ジェットヘッドの積層された２層の圧電性材料からなる
層の分極方向が相反する態様を示す図である。図１６の
実施の形態では、図１６（ａ）に示すように、分極方向
が相反する圧電性材料からなる層２０３ａ、２０３ｂを
有する圧電性材料基板２０３、２０３は層２０３ａ、２
０３ｂの分極方向が非圧電性材料基板２及び非圧電性材
料基板８に対して互いに向かう方向に形成され、また図
１６（ａ）に示すように、層２０３ａ、２０３ｂの分極
方向が非圧電性材料基板２及び非圧電性材料基板８に対
して互いに離れる方向に形成される。

【０１００】このインクジェットヘッド１は、インク室
４が相対する２層の分極性を付与した圧電性材料基板２
０３、２０３と、別途に相対する２枚の非圧電性材料基
板２、８とで囲まれて形成され、圧電性材料基板２０
３、２０３には、裏表の両面に電極６、７が設けられ、
また一方の非圧電性材料基板２のインク室４に面する面
に電極６が設けられる。

【０１０１】図１７の実施の形態では、図１７（ａ）に
示すように、分極方向が相反する圧電性材料からなる層
２０３ａ、２０３ｂを有する圧電性材料基板２０３、２
０３は、層２０３ａ、２０３ｂの分極方向が非圧電性材
料基板２及び非圧電性材料基板８に対して水平で、かつ
互いに逆向方向に形成される。また、図１７（ｂ）に示
すように、層２０３ａと層２０３ｂとの間に電極７が設
けられ、層２０３ａ及び層２０３ｂと非圧電性材料基板
２との間に電極６が層２０３ａと層２０３ｂ間に連続し
て形成され、同様に層２０３ａ及び層２０３ｂと非圧電
性材料基板８との間に電極６が層２０３ａと層２０３ｂ
間に連続して形成されている。

【０１０２】この発明において圧電性材料基板の圧電性
材料は、電圧を加えることにより応力変化を生じるもの
であれば特に限定されず、公知のものが用いられ、有機
材料からなる基板であっても良いが、圧電性非金属材料
からなる基板が好ましく、この圧電性非金属材料からな
る基板として、例えば成形、焼成等の工程を経て形成さ
れるセラミックス基板、又は成形、焼成を必要としない
で形成される基板等がある。有機材料としては、有機ポ
リマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が
挙げられる。

【０１０３】セラミックス基板としては、ＰＺＴ（Ｐｂ
ＺｒＯ₃−ＰｂＴｉＯ₃、第三成分添加ＰＺＴがあり、第
三成分としてはＰｂ（Ｍｇ_1/2Ｎｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｍ
ｎ_1/3Ｓｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｃｏ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃等があ
り、さらにＢａＴｉＯ₃、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴ
ａＯ₃等を用いて形成することができる。

【０１０４】また、成形、焼成を必要としないで形成さ
れる基板として、例えば、ゾルゲール法、積層基板コー
ティング等で形成することができる。ゾルゲール法によ
れば、ゾルは所定の化学組成を持つ均質な溶液に、水、
酸あるいはアルカリを添加し、加水分解等の化学変化を
起こさせることによって調整される。さらに、溶媒の蒸
発や冷却等の処理を加えることによって、目的組成の微
粒子あるいは非金属無機微粒子の前躯体を分散したゾル
が作成され、基板とすることができる。異種元素の微量
添加も含めて、化学組成の均一な化合物を得ることがで
き、出発原料には一般にケイ酸ナトリウム等の水に可溶
な金属塩あるいは金属アルコキシドが用いられ、金属ア
ルコキシドは、一般式Ｍ（ＯＲ）ｎで表される化合物
で、ＯＲ基が強い塩基性を持つため容易に加水分解さ
れ、有機高分子のような縮合過程を経て、金属酸化物あ
るいはその水和物に変化する。

【０１０５】また、積層基板コーティングとして、気相
から蒸着させる方法があり、気相からセラミックの基板
を作成する方法には、物理的手段による蒸着方法と、気
相あるいは基板表面の化学反応による製法の二通りに分
類され、さらに、物理蒸着方（ＰＶＤ）は、真空蒸着
法、スパッター法、イオンプレーティング法等に細分さ
れ、また化学的方法にも気相化学反応法（ＣＶＤ）、プ
ラズマＣＶＤ法などがある。物理蒸着法（ＰＶＤ）とし
ての真空蒸着法は、真空中で対象とする物質を加熱して
蒸発させ、その蒸気を基板上に付着させる方法で、スパ
ッター法は目的物質（ターゲット）に高エネルギー粒子
を衝突させ、ターゲット表面の原子・分子が衝突粒子と
運動量を交換して、表面からはじきだされるスパッタリ
ング現象を利用する方法である。またイオンプレーティ
ング法、イオン化したガス雰囲気中で蒸着を行う方法で
ある。また、ＣＶＤ法では、膜を構成する原子・分子あ
るいはイオンを含む化合物を気相上体にしたのち、適当
なキャリヤーガスで反応部に導き、加熱した基板上で反
応あるいは反応析出させることによって膜を形成し、プ
ラズマＣＶＤ法はプラズマエネルギーで気相状態を発成
させ、４００℃〜５００℃までの比較的低い温度範囲の
気相化学反応で、膜を析出させる。

【０１０６】この発明において非圧電性材料基板として
は、基板の材料は特に限定されず、有機材料からなる基
板であっても良いが、非圧電性非金属材料からなる基板
が好ましく、この非圧電性非金属材料からなる基板とし
て、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコ
ン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なく
とも１つから選ばれることが好ましい。

【０１０７】この非圧電性材料基板は、例えば成形、焼
成等の工程をへて形成されるセラミックス基板、又は成
形、焼成を必要としないで形成される基板等があり、焼
成等の工程をへて形成されるセラミックス基板として、
例えばＡｌ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、それらの混合、混融体、さ
らにＺｒＯ₂、ＢｅＯ、ＡｅＮ、ＳｉＣ等を用いること
ができる。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリ
マーと有機物とのハイブリッド材料が挙げられる。

【０１０８】次に、非圧電性材料基板と圧電性材基板の
物性値について説明する。

【０１０９】圧電性材料基板の密度［ｇ／ｃｍ² ］は、
特に限定されないが、３〜１０が好ましく、非圧電性材
料基板の密度［ｇ／ｃｍ²］は、特に限定されないが、
０．８〜１０が好ましい。非圧電性材料基板の密度と圧
電性材料基板の密度との関係は特に限定されないが、前
者が後者に比べて、より好ましくは半分以下であり、ヘ
ッド全体が軽くなり、コンパクトなヘッドができる。

【０１１０】圧電性材料基板のヤング率又は弾性係数
［ＧＰａ］は、特に限定されないが、５０〜２００が好
ましく、非圧電性材料基板のヤング率［ＧＰａ］は、特
に限定されないが、１００〜４００が好ましい。非圧電
性材料基板のヤング率と圧電性材料基板のヤング率との
関係は特に限定されないが、前者は、後者に比べてより
大きいことが好ましく、前者はより好ましくは２００以
上である。圧電性材料基板の隔壁の変位を強固に変える
ことができ、かつ自身の変形が少ないために、効率的な
駆動ができ、低電圧化が可能である。

【０１１１】圧電性材料基板の熱膨張係数［ｐｐｍ／ｄ
ｅｇ］は、特に限定されないが、７〜８が好ましく、非
圧電性材料基板の熱膨張係数［ｐｐｍ／ｄｅｇ］は、特
に限定されないが、０．６〜７が好ましい。両者の差
は、特に限定されないが、５以下、より好ましくは３以
下であり、駆動時の発熱や、環境温度の変化に伴い、基
板間の膨張によるそりやストレスでの破壊を防止でき
る。

【０１１２】圧電性材料基板の熱伝導率［Ｗ／ｃｍ・ｄ
ｅｇ］は、特に限定されないが、０．００５〜０．１が
好ましく、非圧電性材料基板の熱伝導率［Ｗ／ｃｍ・ｄ
ｅｇ］は、特に限定されないが、０．０３〜０．３が好
ましい。非圧電性材料基板の熱伝導率と圧電性材料基板
の熱伝導率との関係は特に限定されないが、前者は後者
に比べて大きいほど好ましく、圧電性材料基板の駆動時
に発生する熱を非圧電性材料基板を通して外部に逃がす
ことができる。

【０１１３】圧電性材料基板の誘電率は、特に限定され
ないが、１０００〜４０００が好ましく、非圧電性材料
基板の誘電率は、特に限定されないが、４〜１００が好
ましい。非圧電性材料基板の誘電率と圧電性材料基板の
誘電率との関係は特に限定されないが、前者は後者に比
べて小さいほど好ましく、より好ましくは１０以下であ
り、圧電性材料基板を駆動するための電極パターンを非
圧電性材料基板上に設置することにより、圧電性材料基
板自身の容量に加えて付加的な容量を発生させるので、
インク室の容量を増大させ、発熱量を増大させ、駆動効
率を低下させる。したがって非圧電性材料基板の誘電率
が小さいほど付加容量を小さくできる。

【０１１４】圧電性基板の硬度［Ｈｖ１．０／ＧＰａ］
は、特に限定されないが、２〜１０が好ましく、非圧電
性材料基板の硬度［Ｈｖ１．０／ＧＰａ］は、特に限定
されないが、２〜２０が好ましい。非圧電性材料基板の
硬度と、圧電性材料基板の硬度との関係は特に限定され
ないが、前者が後者に比べて大きいことが好ましく、よ
り好ましくは、前者が後者の１．５倍以上であり、製造
工程での欠けを防止でき、歩留まり劣化を防止できる。

【０１１５】圧電性材料基板の曲げ強さ［Ｋｇｆ／ｃｍ
²］は、特に限定されないが、５００〜２０００が好ま
しく、非圧電性材料基板の曲げ強さ［Ｋｇｆ／ｃｍ²］
は、特に限定されないが、３０００〜９０００が好まし
い。非圧電性材料基板の曲げ強さと、圧電性材料基板の
曲げ強さとの関係は特に限定されないが、前者が後者に
比べて大きいことが好ましく、より好ましくは、前者が
後者の２倍以上であり、長尺のインクジェットヘッドを
安定して製造できる。

【０１１６】圧電性材料基板の体積抵抗率［Ω・ｃｍ］
は、特に限定されないが、０．５〜１０が好ましく、非
圧電性材料基板の体積抵抗率［Ω・ｃｍ］は、特に限定
されないが、７〜１０が好ましい。非圧電性材料基板の
体積抵抗率と圧電性材料基板の体積抵抗率との関係は特
に限定されないが、電子デバイスとしてのリーク電流を
減らす観点で、前者が後者に比べて大きいことが好まし
い。

【０１１７】また、非圧電性材料基板と圧電性材料基板
との間の接着表面の表面粗さＲａは、非圧電性材料基板
と圧電性材料基板とを引き剥し、それぞれの剥離面の表
面粗さを測定し、その両方の値の平均値を採用し、その
値が１．０μｍ以下が好ましく、更に好ましくは０．３
μｍ以下、より好ましくは０．１μｍが好ましく、接着
方面の表面粗さＲａが１．０μｍを越えると、接着面に
柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）が多数入
り込み、圧電性非金属材料を有する基板の駆動力が低下
し、感度低下、電圧上昇を引き起こし、好ましくない。

【０１１８】この非圧電性材料基板と圧電性材料基板の
接着表面の表面粗さＲａと駆動電圧値との関係を表１に
表す。表１表１で、◎は接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例
えばエポキシ樹脂）が入り込みがなく、駆動電圧が低
く、劣電力化が達成されている場合、○は入り込みが僅
かである場合、×は多数入り込みがある場合を示してい
る。

【０１１９】また、非圧電性材料基板と圧電性材料基板
との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理され
る。プラズマ処理は、真空チャンバーの中に非圧電性材
料基板や圧電性材料基板を置き、Ａｒ、Ｎ₂、Ｏ₂の１つ
または混合ガスを注入し、外部からの電磁界で、プラズ
マ状態にする処理であり、表面のエッチング性を高める
ために、ＣＦ₄等のフッ素系炭化水素ガスを用いても良
い。また、ＵＶ処理は紫外線発光ランプを直接非圧電性
材料基板や圧電性材料基板に照射する処理であり、オゾ
ンでのクリーニング効果を出すために、Ｏ₂雰囲気下で
も良い。

【０１２０】このように接着表面をプラズマ処理及びＵ
Ｖ処理することにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表
面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等
の接着不良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の
駆動不良をなくし、安定なインクジェットヘッドを製造
できる。

【０１２１】次に、この発明の実施の形態についての実
施例を以下に説明する。［図１乃至図５の実施例］非圧電性材料基板としてアル
ミナ基板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用
いた。アルミナ基板とＰＺＴ基板の接着すべき面は、ア
セトン超音波洗浄を３分間行ない、ＩＰＡ超音波洗浄を
３分間行ない、さらに純水超音波洗浄を３分間行ない、
Ｎ₂ブロー乾燥後、ＵＶランプ（ウシオ電気製）の照射
を３分間行ない清浄化した。

【０１２２】４０×５０ｍｍ角、厚さ０．９ｍｍのアル
ミナ基板（日本特殊陶業製）を準備し、このアルミナ基
板上に２液性エポシキ接着剤を薄く塗布した。また、４
０×５０ｍｍ角、厚さ０．１５５ｍｍのＰＺＴ基板を重
ね、その上に更に２液性エポキシ接着剤を薄く塗布し、
同様のＰＺＴ基板を重ね、１２０℃、５ｋｇ／ｃｍ²の
加熱プレス機で、２０分間加圧接着硬化させた。各々接
着剤厚みは２μｍであった。

【０１２３】上記３層接着基板上に、４０×５０ｍｍ
角、３０μｍ厚のドライフィルム（デュポン製ＦＸ−１
３０）をラミネーターで圧着する。

【０１２４】次に、ディスコ製ダイシングソーＤＦＤ−
６４１にて幅７０．５μｍの溝を、１４１μｍピッチで
短辺方向に、２５６本加工する。この溝はドライフィル
ムと２枚の積層ＰＺＴを加工して形成する。

【０１２５】上記、溝加工済み基板を真空蒸着器に入れ
て２回の斜め蒸着により、４μｍ厚のアルミ電極膜を壁
の側面と底部に設ける。

【０１２６】上側に位置するＰＺＴ基板上のドライフィ
ルムと、その上に形成されたアルミ電極膜をＮ−メチル
ピロリドン溶液に浸漬して、除去する。

【０１２７】その後、上記基板上に２液性エポキシ接着
剤を薄く塗布した（４０×５０×０．９ｔ）アルミナ基
板を重ね、１２０℃、５ｋｇ／ｃｍ²、２０分間で加熱
加圧接着し、アクチュエータを形成する。

【０１２８】上記組立て済みアクチュエータ基板を、デ
ィスコ製ダイシングソーＤＦＤ−６４１にて、長辺方向
に６ｍｍ幅に切断し、７個のアクチュエータチップを製
造した。

【０１２９】上記アクチュエータに、２液式エポキシ接
着剤を転写印刷し、図３に示すノズルプレートと裏面プ
レートを位置合わせし、１２０℃、１０分間で接着す
る。

【０１３０】ノズルプレートは表面にテフロン系微粒子
を分散した０．３μｍ厚の撥インク層を設けた３８ｍｍ
×２．１ｍｍ×７５μｍ厚のポリイミドフィルム（宇部
興産製ユーピレックス）にエキシマレーザー加工で外径
２０μｍ、内径３０μｍのノズル孔を２５６＋８＝２６
４個設けた。

【０１３１】裏面プレートは３８ｍｍ×２１ｍｍ角、７
５μｍ厚のポリイミドフィルム（宇部興産製ユーピレッ
クス）にエキシマレーザー加工で５０μｍ×３７．２ｍ
ｍの矩形のインク流入口を設けた。

【０１３２】前記アクチュエータチップの電極膜はアル
ミナ基板の後端部または別途設けられたビアホールを経
由して外部駆動回路基板へ接続される。接続方法は、後
端部へアルミ蒸着するか無電解Ｎｉメッキや金メッキ電
極を設けた後ワイヤボンディングや異方性導電膜で行わ
れる。

【０１３３】［図６の実施例］非圧電性材料基板として
アルミナ基板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板
を用い、図１乃至図５の実施例と同様にして１段目の空
気室及びインク室を形成し、その後２段目の空気室及び
インク室を形成した。

【０１３４】［図７の実施例］図１乃至図５の実施例と
同様にして、ディスコ製ダイシングソーＤＦＤ−６４１
にて幅７０．５μｍの溝を、１４１μｍピッチで短辺方
向に、２５６本加工し、この溝はドライフィルムと２枚
の積層ＰＺＴを加工して形成した後に、溝内をサンドプ
ラストすることにより壁部材をわん曲形状に加工した。
その他は、図１乃至図５の実施例と同様である。［図８の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基板
を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、２層
のＰＺＴ基板の長さが下側のＰＺＴ基板が長く、上側の
ＰＺＴ基板が短い以外は、図１乃至図５の実施例と同様
である。［図９の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基板
を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、図１
乃至図５の実施例と同様であるが、４０×５０ｍｍ角、
厚さ０．１５５ｍｍのＰＺＴ基板と、ＰＺＴ基板の間
に、４０×５０ｍｍ角、厚さ０．１５５のアルミナ基板
をはさみ、同様に加圧接着した。［図１０の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基
板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、図
１乃至図５の実施例と同様であるが、ＰＺＴ基板を４層
作成した。下２層のＰＺＴ基板の分極方向が相反し、上
２層のＰＺＴ基板の分極方向が相反する。［図１１の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基
板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、図
１乃至図５の実施例と同様であるが、ＰＺＴ基板を４層
作成した。下２層のＰＺＴ基板の分極方向が同方向で、
上２層のＰＺＴ基板の分極方向が同方向で、下２層と上
２層の分極方向が相反する。［図１２乃至図１４の実施例］非圧電性材料基板として
アルミナ基板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板
を用い、図１乃至図５の実施例と同様であるが、４０×
３００ｍｍ角、厚さ０．９ｍｍのアルミナ基板上に、４
０×５０角、厚さ０．１５５のＰＺＴ基板を６枚そろえ
て重ね、更に６枚を重ね同様の接着剤を用いて加圧接着
硬化させた。

【０１３５】上記組立て済みアクチュエータ基板を、デ
ィスコ製ダイシングソーＤＦＤ−６４１にて、長辺方向
に６ｍｍ幅に切断し６×３００ｍｍのラインヘッドチッ
プを製造する。［図１５の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基
板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、図
１乃至図５の実施例と同様であるが、ＰＺＴ基板の接続
部に溝を形成した。［図１６の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基
板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用い、図
１乃至図５の実施例と同様であるが、ＰＺＴ基板の裏表
両面に電極を形成した。［図１７の実施例］非圧電性材料基板としてアルミナ基
板を用い、圧電性材料基板としてＰＺＴ基板を用いた。
アルミナ基板とＰＺＴ基板の接着すべき面は、アセトン
超音波洗浄を３分間行ない、ＩＰＡ超音波洗浄を３分間
行ない、さらに純水超音波洗浄を３分間行ない、Ｎ₂ブ
ロー乾燥後、ＵＶランプ（ウシオ電気製）の照射を３分
間行ない清浄化した。

【０１３６】アルミ電極を真空蒸着で形成した４０×５
０ｍｍ角、厚さ０．９ｍｍのアルミナ基板（日本特殊陶
業製）を準備し、このアルミナ基板上に２液性エポシキ
接着剤を薄く塗布した。また、４０×５０ｍｍ角、厚さ
０．１５５ｍｍのＰＺＴ基板を重ね、その上に更に銀ペ
ースト導電性接着剤を薄く塗布し、同様のＰＺＴ基板を
重ね、１２０℃、５ｋｇ／ｃｍ²の加熱プレス機で、２
０分間加圧接着硬化させた。各々接着剤厚みは２μｍで
あった。

【０１３７】次に、ディスコ製ダイシングソーＤＦＤ−
６４１にて幅７０．５μｍの溝を、１４１μｍピッチで
短辺方向に、２５６本加工する。この溝はドライフィル
ムと２枚の積層ＰＺＴを加工して形成する。

【０１３８】その後、上記基板上に２液性エポキシ接着
剤を薄く塗布したアルミ電極を真空蒸着で形成した（４
０×５０×０．９ｔ）アルミナ基板を重ね、１２０℃、
５ｋｇ／ｃｍ²、２０分間で加熱加圧接着し、アクチュ
エータを形成する。

【０１３９】上記組立て済みアクチュエータ基板を、デ
ィスコ製ダイシングソーＤＦＤ−６４１にて、長辺方向
に６ｍｍ幅に切断し、７個のアクチュエータチップを製
造し、その他は図１乃至図５の実施例と同様である。

【０１４０】

【発明の効果】請求項１乃至３６に記載の発明は、課題
を解決するための手段の欄でそれぞれ記載した効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】シェブロン型のインクジェットヘッドの斜視図
である。

【図２】シェブロン型のインクジェットヘッドの正面図
である。

【図３】シェブロン型のインクジェットヘッドの断面図
である。

【図４】シェブロン型のインクジェットヘッドの製造を
示す図である。

【図５】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の実
施形態の製造を示す図である。

【図６】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の実
施形態の正面図である。

【図７】シェブロン型のインクジェットヘッドのさらに
他の実施形態の正面図である。

【図８】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の実
施形態の正面図である。

【図９】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の実
施形態の正面図である。

【図１０】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の
実施形態の正面図である。

【図１１】シェブロン型のインクジェットヘッドの他の
実施形態の正面図である。

【図１２】多ノズル型のインクジェットヘッドを示す図
である。

【図１３】多ノズル型のインクジェットヘッドを示す断
面図である。

【図１４】多ノズル型のインクジェットヘッドの駆動状
態を示す図である。

【図１５】インクジェットヘッドの製造工程に示す図で
ある。

【図１６】シェブロン型のインクジェットヘッドの積層
された２枚の圧電性材料からなる層の分極方向が相反す
る態様を示す図である。

【図１７】シェブロン型のインクジェットヘッドの積層
された２枚の圧電性材料からなる層の分極方向が相反す
る態様を示す図である。

【符号の説明】

１、１０１インクジェットヘッド２、８、１０４非圧電性材料基板３ａ溝４、１０２インク室５、１２０空気室６、７、１０５、１０６電極９、１０８ノズル孔１０、１０７インク供給口２０接続部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山口隆雄東京都日野市さくら町１番地コニカ株式会社内 (72)発明者山内邦裕東京都日野市さくら町１番地コニカ株式会社内 (72)発明者竹内良夫東京都日野市さくら町１番地コニカ株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF21 AF93 AG14 AG45 AP02 AP14 AP22 AP25 AP51 AP61 AP75 AQ02 AQ10 BA05 BA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電極に電圧を印加して、インク室を構成す
る空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出さ
せるインクジェットヘッドであって、前記インク室が相
対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対
する非圧電性材料基板とで囲まれて形成されており、さ
らに前記圧電性材料基板は、少なくとも圧電性材料から
なる２層が積層され、その積層面が前記非圧電性材料基
板と略平行に積層されてなり、この圧電性材料からなる
層の分極方向が相反するように構成され、前記圧電性材
料基板及び前記非圧電性材料基板のインク室に面する面
に電極を設けたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項２】前記相対する分極性を付与した圧電性材料
基板のそれぞれの基板の前記インク室に面する面と、前
記相対する非圧電性材料基板のうちのいずれか１つの非
圧電性材料基板の前記インク室に面する面に電極を設け
たことを特徴とする請求項１項に記載のインクジェット
ヘッド。
【請求項３】前記インク室は、多段に形成されているこ
とを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインク
ジェットヘッド。
【請求項４】前記圧電性材料基板は、平面形状または曲
面形状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３の
いずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の
積層方向の長さが異なることを特徴とする請求項１乃至
請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッ
ド。
【請求項６】前記圧電性材料基板が、少なくとも１層の
非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請求
項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジェッ
トヘッド。
【請求項７】電極に電圧を印加して隔壁で区画されたイ
ンク室を変形させて、インクをノズル孔から吐出するイ
ンクジェットヘッドであって、非圧電性材料基板上に、
複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設け
た後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、更にこの
圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けるこ
とにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備
えるようにしたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項８】前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続部
に、溝を形成することを特徴とする請求項７に記載のイ
ンクジェットヘッド。
【請求項９】前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電性
材料からなる２層が積層されてなることを特徴とする請
求項７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】前記圧電性材料基板が、非金属材料であ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１
項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒
化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコ
ン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選
ばれることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれ
か１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料
基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下で
あることを特徴とする請求項７乃至請求項１１のいずれ
か１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】前記少なくとも２層の圧電性材料を有す
る圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さ
は、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項９乃
至請求項１１のいずれか１項に記載のインクジェットヘ
ッド。
【請求項１４】前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料
基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理
されていることを特徴とする請求項７乃至請求項１３の
いずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】前記少なくとも２層の圧電性材料を有す
る圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズ
マ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求
項９乃至請求項１３のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッド。
【請求項１６】前記請求項１乃至請求項１５のいずれか
に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とす
るインクジェットヘッドプリンタ。
【請求項１７】電極に電圧を印加して、インク室を構成
する空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出
させるインクインクジェットヘッドの製造方法であっ
て、前記インク室が相対する分極性を付与した圧電性材
料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲んで
形成し、前記圧電性材料基板に電極を設け、さらに前記
圧電性材料基板は、少なくとも２層の圧電性材料からな
り、その積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層
され、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】前記インク室を、少なくとも２層の圧電
性材料基板を非圧電性材料基板に貼り合わせ、この貼り
合わせた後圧電性材料基板に溝加工し、もう一枚の非圧
電性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形
することを特徴とする請求項１７に記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。
【請求項１９】前記インク室を、溝加工した少なくとも
２層の圧電性材料基板を１枚の非圧電性材料基板に貼り
合わせ、もう１枚の非圧電性材料基板を前記圧電性材料
基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求項１
７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】前記非圧電性材料基板に、電極を設ける
ことを特徴とする請求項１７乃至請求項１９のいずれか
１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２１】前記インク室は、多段に形成することを
特徴とする請求項１７乃至請求項２０のいずれか１項に
記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２２】前記圧電性材料基板は、平面形状または
曲面形状であることを特徴とする請求項１７乃至請求項
２１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
【請求項２３】前記圧電性材料基板は、少なくとも２層
の積層方向の長さが異なることを特徴とする請求項１７
乃至請求項２２のいずれか１項に記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項２４】前記圧電性材料基板が、少なくとも１層
の非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請
求項１７乃至請求項２３のいずれか１項に記載のインク
ジェットヘッドの製造方法。
【請求項２５】電極に電圧を印加して隔壁で区画された
インク室を変形させてインクをノズル孔から吐出するイ
ンクジェットヘッドの製造方法であって、非圧電性材料
基板上に複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並
べて設けた後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、
更にその後圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板
を設けることにより、隔壁によって区画された複数のイ
ンク室を備えるようにしたことを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。
【請求項２６】前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続
部に、溝を形成することを特徴とする請求項２５に記載
のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２７】前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電
性材料からなる２層が積層されてなることを特徴とする
請求項２５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項２８】前記圧電性材料基板が、非金属材料であ
ることを特徴とする請求項１７乃至請求項２７のいずれ
か１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２９】前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒
化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコ
ン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選
ばれることを特徴とする請求項１７乃至請求項２７のい
ずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３０】前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料
基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下で
あることを特徴とする請求項１７乃至請求項２９のいず
れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３１】前記少なくとも２層の圧電性材料を有す
る圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さ
は、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１７
乃至請求項２９のいずれか１項に記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項３２】前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料
基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理
されていることを特徴とする請求項１７乃至請求項３１
のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項３３】前記少なくとも２層の圧電性材料を有す
る圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズ
マ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求
項１７乃至請求項３１のいずれか１項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。