JP2004122770A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のインク流路20を区画し少なくとも一部が圧電素子1a、1bで形成された隔壁5と、前記複数のインク流路20の配列方向に沿って前記インク流路20の上面を閉鎖する上壁と前記インク流路20の下面を閉鎖する下壁23により形成された筒状のインク流路20を有し、前記圧電素子1a、1bの変形により流路内のインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記上壁、下壁23の少なくとも一部がAlN−BNであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【選択図】 図1
Description
10.前記ヒートシンクが記録ヘッドを搭載するキャリッジに設けられていることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
形、焼成を必要としないで形成される基板等がある。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられる。
よって、目的組成の微粒子あるいは非金属無機微粒子の前躯体を分散したゾルが作成され、基板とすることができる。異種元素の微量添加も含めて、化学組成の均一な化合物を得ることができ、出発原料には一般にケイ酸ナトリウム等の水に可溶な金属塩あるいは金属アルコキシドが用いられ、金属アルコキシドは、一般式M(OR)nで表される化合物で、OR基が強い塩基性を持つため容易に加水分解され、有機高分子のような縮合過程を経て、金属酸化物あるいはその水和物に変化する。
接着されたアクチュエータ基板1の前端面には、ノズル穴3が開設されたノズルプレート2が接着剤を介して接着される。
よりも更に熱伝導率が高い天板11が設けられることを特徴とする。
熱伝導率が高いマシナブルセラミックスを用いる。熱伝導率は圧電素子1よりも5W/mK以上高いことが好ましく、より好ましくは10W/mK以上、最も好ましくは50W/mK以上高いことである。
レート2表面のワイピング時のガイドをなす部材として機能している。
悪い(0.1〜0.3W/mK)が、Agを添加することで、接着剤12の熱伝導率は3〜5W/mKに改善される。一般に、熱伝導率k(W/mK)を持つ材料の厚みがL(m)、面積がA(m2)の時、その材料の伝熱抵抗Rcは、Rc=L/k・A(K/W)で表されるので、Lをできるだけ小さく、Aをできるだけ大きくすることが好ましい。
/mK)が、窒化アルミニウム(AlN)、アルミナ又はシリカといった高熱伝導率のセラミック粒子を添加することで、熱伝導率が改善され(AlNの場合で0.5〜1.0W/mK)、アクチュエータ基板1の熱を有効にカバープレート6側に放熱することができる。このカバープレート6とアクチュエータ基板1との間の接着剤の膜厚は、5〜10μmが好ましい。5μmより薄いと接着層に気泡が入り易く、10μmより厚いとインクチャネル4の変形効率が低下する。
る。例えば、上記(株)住金セラミックス社製のAlN−BNでは、ε=7.1、(株)住金セラミックス社製の「ホトベールII」では、ε=〜6、(株)京セラ社製の「フォルステライト」では、ε=6.8である。これはPZTの誘電率が2000〜4000であるのに比べて極めて低い。
a、(株)住金セラミックス社製の「ホトベールII」の曲げ強度は440MPaである。この曲げ強度が100MPaよりも小さいと、吐出効率が低下して駆動電圧が高くなるために好ましくない。
プレート2からも放熱することができる。
0.1〜0.2W/mK程度であるのに比べて、放熱効果を高めることができる。中でも、線膨張係数がアクチュエータ基板1に近いコバールや42アロイが好ましい。
分極した圧電素子(住友金属社製「H5D」:、熱伝導率W=1.5W/mK、線膨張係数=5×10-6/℃)にダイヤモンドカッターを用いて、インクチャネルとなる幅80μm、深さ200μm、長さ6cmのインク溝を768溝設けてアクチュエータ基板を形成し、このインクチャネル内の側壁に無電解めっきによりニッケル電極を形成した。
アルミニウム製の天板(厚さ1mm)を接着した。
接着剤として、熱伝導性粒子を含まない普通のエポキシ系接着剤(W=0.3W/mK)を使用した以外は、実施例1と同一とした。
電極をアルミニウムで形成し、接着剤として、熱伝導性粒子を含まない普通のエポキシ系接着剤(W=0.3W/mK)を使用し、更にノズルプレートにステンレスを使用した以外は、実施例1と同一とした。
電極をアルミニウムで形成し、カバープレートをマイカセラミック系のマシナブルセラミックスである(株)住金セラミックスアンドクォーツ社製の「ホトベールII」(W=19.5W/mK)を、熱伝導性粒子を含まない普通のエポキシ系接着剤(W=0.3W/mK)で接着し、ノズルプレートとしてステンレスを使用した以外は、実施例1と同一とした。
カバープレートにアルミナセラミックス基板(熱伝導率W=33W/mK)を使用し、接着剤として熱伝導性粒子を含まない普通のエポキシ系接着剤(W=0.3W/mK)を用いた以外は、実施例1と同一とした。
カバープレートに脱分極した圧電素子(PZT:熱伝導率W=1.5W/mK)を使用し、天板にエンジニヤリングプラスチックであるPEI(ポリエーテルイミド:熱伝導率W=0.1W/mK)を使用し、接着剤として熱伝導性粒子を含まない普通のエポキシ系接着剤(W=0.3W/mK)を用いた以外は、実施例1と同一とした。
B:印刷ムラが目立たず、鮮明であった。
C:やや印刷ムラが目立ち、やや画質が劣化していた。
D:印刷ムラが目立ち、画質が悪かった。
C:加工性、接着性などの生産性がやや劣っていた。
1a、1b:圧電素子
2:ノズルプレート
3:ノズル穴
4:インクチャネル
5:側壁(隔壁)
6:カバープレート
7:マニホールド
8:FPC
9:金属電極
10:ACF
11:天板
12:接着剤
13:筐体
14:接着剤
20:インク流路
21:圧電素子
22:隔壁
23:下壁
24:電極
25:電極
Claims (21)
- 複数のインク流路を区画し少なくとも一部が圧電素子で形成された隔壁と、前記複数のインク流路の配列方向に沿って前記インク流路の上面を閉鎖する上壁と前記インク流路の下面を閉鎖する下壁により形成された筒状のインク流路を有し、前記圧電素子の変形により流路内のインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記上壁、下壁の少なくとも一部がAlN−BNであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 複数のインク流路を区画する隔壁と、前記複数のインク流路の配列方向に沿って前記インク流路の上面を閉鎖する上壁と前記インク流路の下面を閉鎖する下壁により形成された筒状のインク流路を有し、前記上壁、下壁の少なくとも一部が圧電素子で形成され、前記圧電素子の変形により流路内のインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記上壁、下壁の少なくとも一部がAlLN−BNであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 前記AlN−BNが、ヒートシンクに熱的に結合されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記AlN−BNとヒートシンクがAg粒子を含有したエポキシ系接着剤で結合されていることを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記AlN−BNとヒートシンクの間の接着剤の膜厚は、50−70μmであることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ヒートシンクの厚みは1.0mm−10.0mmであることを特徴とする請求項3、4又は5に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記AlN−BNと圧電素子が窒化アルミニウム、アルミナ又はシリカを含有したエポキシ系接着剤で接合されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記隔壁がAlN−BNで形成されており、AlN−BNと圧電素子が窒化アルミニウム、アルミナ又はシリカを含有したエポキシ系接着剤で結合されていることを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記AlN−BNと圧電素子の間の接着剤の膜厚は、5−10μmであることを特徴とする請求項7又は8に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ヒートシンクが記録ヘッドを搭載するキャリッジに設けられていることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ヒートシンクは記録ヘッドを搭載するキャリッジに対し熱的に結合していることを特徴とする請求項3〜6又は10のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 分極された圧電素子に多数の溝を形成してアクチュエータ基板を構成し、該アクチュエータ基板の上面にカバープレートを接着することにより、上記圧電素子により区画される多数の圧力発生室を形成し、隣接する圧力発生室間の圧電素子に電界を印加することにより該圧電素子を変形させて圧力発生室内のインクをノズルプレートに形成されたノズル穴から吐出させるようにしたインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記カバープレートは、上記圧電素子よりも熱伝導率が高く、上記カバープレートの線膨張係数(Lc)と上記圧電素子の線膨張係数(Lp)の差が、|Lc−Lp|≦5×10-6/℃の条件を満たすマシナブルセラミックスからなると共に、該カバープレートに、カバープレートよりも熱伝導率が高い天板が設けられることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 上記カバープレートは、ヤング率が50〜200GPaであることを特徴とする請求項12記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記カバープレートは、曲げ強度が100Mpa以上であることを特徴とする請求項12又は13記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記カバープレートは、ビッカース硬度が5.0GPa以下であることを特徴とする請求項12、13又は14記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記カバープレートは、誘電率(ε)が100以下であることを特徴とする請求項12〜15のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記天板は、記録ヘッドをキャリッジに搭載するための支持体となることを特徴とする請求項12〜16のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記天板の厚みは、1.0mm〜10.0mmであることを特徴とする請求項17記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記カバープレートと上記天板とを接着する接着剤は、エポキシ系接着剤に、Ag粒子を添加してなることを特徴とする請求項12〜18のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記カバープレートと上記圧電素子とを接着する接着剤は、エポキシ系接着剤に、窒化アルミニウム、アルミナ又はシリカを添加してなることを特徴とする請求項12〜19のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
- 上記天板とカバープレートとの間の接着剤の膜厚は、50〜70μmであり、上記圧電素子とカバープレートとの間の接着剤の膜厚は、5〜10μmであることを特徴とする請求項12〜20のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
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