JP2000258913A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. （ａ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大するポリマーと、（ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び（ｃ）下記一般式（Ａ）又は一般式（Ｂ）で表されるアセタール化合物のうち少なくとも一種を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
   

   

   式（Ａ）又は（Ｂ）中、Ｒ₁及びＲ₂は、互いに独立して直鎖、分岐あるいは環状の炭素数１〜１２個の置換基を有していてもよいアルキル基、又は炭素数７〜１８個の置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。
2. 前記（ａ）ポリマーが、水酸基を有するアルカリ可溶性ポリマーと下記一般式（Ｃ）で示されるビニルエーテル化合物及び下記一般式（Ｄ）で表されるアルコール化合物とを酸触媒下反応させて得られるポリマーであることを特徴とする請求項１に記載のポジ型感放射線性樹脂組成物。
   

   

   式（Ｃ）又は（Ｄ）中、Ｒ₃又はＲ₄は、各々独立して直鎖、分岐あるいは環状の炭素数１〜１２個の置換基を有していてもよいアルキル基、炭素数６〜１８個の置換基を有していてもよい芳香族基又は炭素数７〜１８個の置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。
3. 前記（ｃ）のアセタール化合物の総量が、前記（ａ）のポリマーの総重量に対して０．１重量部以上１００重量部未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感放射線性樹脂組成物。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感放射線性樹脂組成物により膜を形成し、当該膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。