JP2000256636A - 液状仮着接着剤 - Google Patents
液状仮着接着剤Info
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- JP2000256636A JP2000256636A JP11057163A JP5716399A JP2000256636A JP 2000256636 A JP2000256636 A JP 2000256636A JP 11057163 A JP11057163 A JP 11057163A JP 5716399 A JP5716399 A JP 5716399A JP 2000256636 A JP2000256636 A JP 2000256636A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、スピン塗布にあって、表面平坦性
が大幅に良化すると共に、外周端部にあって「液戻り」
の現象が少なく、ウエハの生産性に優れる液状仮着接着
剤の提供にある。 【解決手段】 本発明の液状仮着接着剤は、酸無水物が
付加されたノボラック型エポキシ樹脂、および／または
ロジン類を主成分とし、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート溶媒に溶解したことを特徴とし、
更に、該主成分１００重量部に対し、さらに、弗素系界
面活性剤を０．５重量部〜５重量部の割合で含有させる
か、または軟化点調整剤を更に添加したことを特徴とす
る。
が大幅に良化すると共に、外周端部にあって「液戻り」
の現象が少なく、ウエハの生産性に優れる液状仮着接着
剤の提供にある。 【解決手段】 本発明の液状仮着接着剤は、酸無水物が
付加されたノボラック型エポキシ樹脂、および／または
ロジン類を主成分とし、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート溶媒に溶解したことを特徴とし、
更に、該主成分１００重量部に対し、さらに、弗素系界
面活性剤を０．５重量部〜５重量部の割合で含有させる
か、または軟化点調整剤を更に添加したことを特徴とす
る。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、化
合物半導体ウエハ等の鏡面研磨加工に際し、研磨定盤と
ウエハを仮着固定する液状仮着接着剤に関するものであ
る。
合物半導体ウエハ等の鏡面研磨加工に際し、研磨定盤と
ウエハを仮着固定する液状仮着接着剤に関するものであ
る。
【０００１】
【従来の技術】最近の高密度化された半導体ウエハ、化
合物半導体ウエハ等にあっては、その鏡面研磨加工にお
いて、研磨レベルが１０Å以下の高精度が求められてお
り、さらに、ウエハの大口径化によるコストダウンの動
向もあって、大面積の塗布面の平坦性が特に求められて
いる。このようなウエハの研磨作業にあっては、ウエハ
を定盤上にノボラック型エポキシ樹脂、および／または
ロジン類を主成分とした液状仮着接着剤により仮着して
行われているが、ウエハの鏡面化にあっては、仮着接着
剤をいかに均一に塗布されるかが重要な課題である。
合物半導体ウエハ等にあっては、その鏡面研磨加工にお
いて、研磨レベルが１０Å以下の高精度が求められてお
り、さらに、ウエハの大口径化によるコストダウンの動
向もあって、大面積の塗布面の平坦性が特に求められて
いる。このようなウエハの研磨作業にあっては、ウエハ
を定盤上にノボラック型エポキシ樹脂、および／または
ロジン類を主成分とした液状仮着接着剤により仮着して
行われているが、ウエハの鏡面化にあっては、仮着接着
剤をいかに均一に塗布されるかが重要な課題である。
【０００２】しかしながら、液状仮着接着剤は、通常、
スピンコーターを使用して定盤上に塗布されるが、その
表面平滑性が不充分であり、また、その塗布面の中心部
にあっては比較的均一に塗布されるものの、その外周端
部にあっては、所謂「液戻り」の現象により盛り上がり
が生じ、ウエハを載置し鏡面加工しても、その周辺部は
カッティングされて廃棄せざるを得ないのが現状であ
る。
スピンコーターを使用して定盤上に塗布されるが、その
表面平滑性が不充分であり、また、その塗布面の中心部
にあっては比較的均一に塗布されるものの、その外周端
部にあっては、所謂「液戻り」の現象により盛り上がり
が生じ、ウエハを載置し鏡面加工しても、その周辺部は
カッティングされて廃棄せざるを得ないのが現状であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の目的
は、表面平坦性が大幅に良化する液状仮着接着剤を提供
することにある。本発明の第２の目的は、外周端部にあ
って「液戻り」の現象が少なく、ウエハの生産性に優れ
る液状仮着接着剤の提供にある。
は、表面平坦性が大幅に良化する液状仮着接着剤を提供
することにある。本発明の第２の目的は、外周端部にあ
って「液戻り」の現象が少なく、ウエハの生産性に優れ
る液状仮着接着剤の提供にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の液状仮着接着剤
は、酸無水物が付加されたノボラック型エポキシ樹脂、
および／またはロジン類を主成分とし、プロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート溶媒に溶解したこ
とを特徴とする。上記の液状仮着接着剤において、その
主成分１００重量部に対し、さらに、弗素系界面活性剤
を０．５重量部〜５重量部の割合で含有させたことを特
徴とする。上記の液状仮着接着剤において、軟化点調整
剤を更に添加したことを特徴とする。
は、酸無水物が付加されたノボラック型エポキシ樹脂、
および／またはロジン類を主成分とし、プロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート溶媒に溶解したこ
とを特徴とする。上記の液状仮着接着剤において、その
主成分１００重量部に対し、さらに、弗素系界面活性剤
を０．５重量部〜５重量部の割合で含有させたことを特
徴とする。上記の液状仮着接着剤において、軟化点調整
剤を更に添加したことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液状仮着接着剤に
ついて説明する。接着剤主成分である酸無水物が付加さ
れたノボラック型エポキシ樹脂（以下、エポキシ樹脂と
いう）は、フェノールノボラックエポキシ樹脂等のノボ
ラック型エポキシ樹脂と一価または多価のフェノール
類、又はアルコール類との反応生成物に、更に、ヘキサ
ヒドロ無水フタル酸等の酸無水物を付加させることによ
り得られるもので、軟化点が６０℃〜１２０℃、酸価が
８０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂であ
る。軟化点が１２０℃を越えると接着時にウエハの熱歪
みか発生するので好ましくなく、また、酸価が８０ｍｇ
ＫＯＨ／ｇより低いとアルカリ可溶性が低下する。この
ような樹脂としては、例えば東都化成（株）製ＡＸ３１
１Ｍ（固型分濃度７０％、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
等が挙げられる。また、エポキシ樹脂における金属イオ
ンの含有量としては、５０ｐｐｂ以下が好ましく、ま
た、天然樹脂と相違して金属イオン含有量を容易に減少
することができるので、精密加工用仮着接着剤における
金属イオン含有量の制御が容易となる。
ついて説明する。接着剤主成分である酸無水物が付加さ
れたノボラック型エポキシ樹脂（以下、エポキシ樹脂と
いう）は、フェノールノボラックエポキシ樹脂等のノボ
ラック型エポキシ樹脂と一価または多価のフェノール
類、又はアルコール類との反応生成物に、更に、ヘキサ
ヒドロ無水フタル酸等の酸無水物を付加させることによ
り得られるもので、軟化点が６０℃〜１２０℃、酸価が
８０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂であ
る。軟化点が１２０℃を越えると接着時にウエハの熱歪
みか発生するので好ましくなく、また、酸価が８０ｍｇ
ＫＯＨ／ｇより低いとアルカリ可溶性が低下する。この
ような樹脂としては、例えば東都化成（株）製ＡＸ３１
１Ｍ（固型分濃度７０％、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
等が挙げられる。また、エポキシ樹脂における金属イオ
ンの含有量としては、５０ｐｐｂ以下が好ましく、ま
た、天然樹脂と相違して金属イオン含有量を容易に減少
することができるので、精密加工用仮着接着剤における
金属イオン含有量の制御が容易となる。
【０００６】また、ロジン系樹脂としては、ロジン、ロ
ジンエステル、部分または水添ロジン、重合ロジン、ま
たはこれらのロジン樹脂とマレイン酸等の二塩基酸との
変性ロジンまたはそれらのエステル誘導体等の少なくと
も１種が挙げられる。ロジン系樹脂における金属イオン
の含有量は、通常、二千ｐｐｂのオーダーであるので、
通常の方法により脱金属処理を施し、数百ｐｐｂのオー
ダー、好ましくは３０ｐｐｂのオーダーとしておくとよ
い。
ジンエステル、部分または水添ロジン、重合ロジン、ま
たはこれらのロジン樹脂とマレイン酸等の二塩基酸との
変性ロジンまたはそれらのエステル誘導体等の少なくと
も１種が挙げられる。ロジン系樹脂における金属イオン
の含有量は、通常、二千ｐｐｂのオーダーであるので、
通常の方法により脱金属処理を施し、数百ｐｐｂのオー
ダー、好ましくは３０ｐｐｂのオーダーとしておくとよ
い。
【０００７】上記のエポキシ樹脂、および／またはロジ
ン類は、溶媒に溶解されて本発明の液状仮着接着剤とさ
れるが、本発明においては、プロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート（以下、ＰＧＭＥＡという）
を溶媒とすると、他の有機溶媒に比して塗布面の平坦性
に優れるものとできるが、トルエン、イソプロピルアル
コール、酢酸エチル、メチルエチルケトン、メチルプロ
ピレングリコール、メチルイソブチルケトン、ｎ−ブタ
ノール、キシレン等の有機溶媒を併用してもよい。
ン類は、溶媒に溶解されて本発明の液状仮着接着剤とさ
れるが、本発明においては、プロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート（以下、ＰＧＭＥＡという）
を溶媒とすると、他の有機溶媒に比して塗布面の平坦性
に優れるものとできるが、トルエン、イソプロピルアル
コール、酢酸エチル、メチルエチルケトン、メチルプロ
ピレングリコール、メチルイソブチルケトン、ｎ−ブタ
ノール、キシレン等の有機溶媒を併用してもよい。
【０００８】また、本発明の液状仮着接着剤には、スピ
ンコートにおいてその外周端部における「液戻り」の現
象を少なくできるものとして、弗素系界面活性剤を添加
するとよく、これにより、ウエハの生産性に優れるもの
とできる。
ンコートにおいてその外周端部における「液戻り」の現
象を少なくできるものとして、弗素系界面活性剤を添加
するとよく、これにより、ウエハの生産性に優れるもの
とできる。
【０００９】弗素系界面活性剤としては、例えば３Ｍ社
製「フロラードＦＣ４３０」、同社製「フロラードＦＣ
１７１」、大日本インキ化学社製「メガファックＲ−０
８」、旭硝子社製「サーフロンＫＣ−４０」、同社製
「サーフロンＫＨ４０」等が挙げられる。
製「フロラードＦＣ４３０」、同社製「フロラードＦＣ
１７１」、大日本インキ化学社製「メガファックＲ−０
８」、旭硝子社製「サーフロンＫＣ−４０」、同社製
「サーフロンＫＨ４０」等が挙げられる。
【００１０】弗素系界面活性剤は、エポキシ樹脂、およ
び／またはロジン類１００重量部に対して０．５重量部
〜５重量部、好ましくは１重量部〜３重量部の割合で添
加される。多いと、接着性を阻害するので好ましくな
い。
び／またはロジン類１００重量部に対して０．５重量部
〜５重量部、好ましくは１重量部〜３重量部の割合で添
加される。多いと、接着性を阻害するので好ましくな
い。
【００１１】また、本発明の液状仮着接着剤には、軟化
点調整剤を添加してもよく、例えば、トルエンスルホン
酸エチルアミド、フタル酸エステル系化合物、オキシ酸
エステル系化合物およびマレイン酸樹脂等の脂肪族二塩
基酸エステル系化合物からなる可塑剤群から選ばれる１
種或は２種以上の混合物を挙げることができる。可塑剤
は、エポキシ樹脂、および／またはロジン類１００重量
部に対し１重量部〜５重量部、好ましくは２重量部〜３
重量部の範囲で含有させるとよい。
点調整剤を添加してもよく、例えば、トルエンスルホン
酸エチルアミド、フタル酸エステル系化合物、オキシ酸
エステル系化合物およびマレイン酸樹脂等の脂肪族二塩
基酸エステル系化合物からなる可塑剤群から選ばれる１
種或は２種以上の混合物を挙げることができる。可塑剤
は、エポキシ樹脂、および／またはロジン類１００重量
部に対し１重量部〜５重量部、好ましくは２重量部〜３
重量部の範囲で含有させるとよい。
【００１２】本発明の液状仮着接着剤は、ウエハまたは
定盤上に固型分濃度１０％〜４０％、好ましくは２５％
〜３５％の溶液としてスピンコータ塗布用とされるが、
スピン条件としては、スタート時１００ｒｐｍ〜３００
ｒｐｍで２秒、エンド時２０００ｒｐｍ〜３０００ｒｐ
ｍで３秒とされるとよく、塗布量としては、乾燥後膜厚
０．５μｍ〜３μｍ、好ましくは０．５μｍ〜２μｍと
されるとよい。
定盤上に固型分濃度１０％〜４０％、好ましくは２５％
〜３５％の溶液としてスピンコータ塗布用とされるが、
スピン条件としては、スタート時１００ｒｐｍ〜３００
ｒｐｍで２秒、エンド時２０００ｒｐｍ〜３０００ｒｐ
ｍで３秒とされるとよく、塗布量としては、乾燥後膜厚
０．５μｍ〜３μｍ、好ましくは０．５μｍ〜２μｍと
されるとよい。
【００１３】溶媒が除去された後、ウエハを研磨定盤上
に加熱圧着されることにより確実に固定され、次いで、
アルカリ研磨液による研磨加工等が施され、加工後には
スクレバー、ナイフ等を利用して定盤上等から剥離され
る。
に加熱圧着されることにより確実に固定され、次いで、
アルカリ研磨液による研磨加工等が施され、加工後には
スクレバー、ナイフ等を利用して定盤上等から剥離され
る。
【００１４】接着剤は、ウエハと定盤等との接着固定を
図り、研磨時における４０℃〜５０℃の昇温やアルカリ
研磨液に耐えて、鏡面研磨に到達することが必要である
と共に、研磨加工後には、例えばカミソリの刃先をウエ
ハの接着端面に挿入し、一挙に剥離しうることが求めら
れる。また、剥離されたウエハに付着している接着剤
は、一次洗浄をアルカリ性の洗浄剤で、次いで仕上げリ
ンスを純水で行うことにより除去される。
図り、研磨時における４０℃〜５０℃の昇温やアルカリ
研磨液に耐えて、鏡面研磨に到達することが必要である
と共に、研磨加工後には、例えばカミソリの刃先をウエ
ハの接着端面に挿入し、一挙に剥離しうることが求めら
れる。また、剥離されたウエハに付着している接着剤
は、一次洗浄をアルカリ性の洗浄剤で、次いで仕上げリ
ンスを純水で行うことにより除去される。
【００１５】アルカリ性洗浄剤としては、テトラメチル
アンモニウムオキサイド、アルカノールアミン、アミノ
アルコール、水溶性アミン類等の有機アミン、無機アル
カリ、またはこれらの塩の水溶液を使用するとよい。
アンモニウムオキサイド、アルカノールアミン、アミノ
アルコール、水溶性アミン類等の有機アミン、無機アル
カリ、またはこれらの塩の水溶液を使用するとよい。
【００１６】
【実施例】次に、本発明を実施例および比較例により具
体的に説明する。 （実施例１） 下記の組成 ・ ヘキサヒドロ無水フタル酸が付加されたノボラック型エポキシ樹脂（東都化 成（株）製ＡＸ３１１Ｍ、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分７０重量％、トル エン／イソプーピルアルコール（重量比１／２）混合溶媒３０％） ・・・・ ２９．０重量部 ・弗素系界面活性剤（３Ｍ社製「フロラードＦＣ４３０」） ・・・・ ０．０１重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ ７１．０重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度３．８ｍＰａｓ／２５
℃）を、シリコンウエハ（６吋）からなる基板上に、塗
布条件 装置：ミカサ製スピンコーター１Ｈ３６０型 条件：初期回転２５０ｒｐｍ／２ｓｅｃ〜フル回転２０
００ｒｐｍ／３ｓｅｃで塗布した後、電気オーブンを使
用し８０℃×５分の条件下で加熱乾燥した。
体的に説明する。 （実施例１） 下記の組成 ・ ヘキサヒドロ無水フタル酸が付加されたノボラック型エポキシ樹脂（東都化 成（株）製ＡＸ３１１Ｍ、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分７０重量％、トル エン／イソプーピルアルコール（重量比１／２）混合溶媒３０％） ・・・・ ２９．０重量部 ・弗素系界面活性剤（３Ｍ社製「フロラードＦＣ４３０」） ・・・・ ０．０１重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ ７１．０重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度３．８ｍＰａｓ／２５
℃）を、シリコンウエハ（６吋）からなる基板上に、塗
布条件 装置：ミカサ製スピンコーター１Ｈ３６０型 条件：初期回転２５０ｒｐｍ／２ｓｅｃ〜フル回転２０
００ｒｐｍ／３ｓｅｃで塗布した後、電気オーブンを使
用し８０℃×５分の条件下で加熱乾燥した。
【００１７】乾燥後、塗布面のフラットネスを触針式表
面粗さ計｛（株）東京精密製、サーフコム５７４Ａ｝を
用いて測定したところ、平均膜厚は０．５μｍであり、
塗布平滑性（Ｒmax 値）は、０．１０μｍであった。 （実施例２） 下記の組成 ・白菊ロジン（荒川化学工業（株）製、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・ １０．０重量部 ・水添ロジン（理化ハーキュレス（株）製、フォーラルＡＸ、酸価１６０ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・ １０．０重量部 ・弗素系界面活性剤（３Ｍ社製「フロラードＦＣ４３０」） ・・・・ ０．０１重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ ７０．０重量部 ・トルエン／イソプロピルアルコール／酢酸エチル（重量比２／１／１） ・・・・ １０．０重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度３．５ｍＰａｓ／２５
℃）を、実施例１同様に塗布し、接着剤層を同様に得
た。得られた接着剤層について同様に測定したところ、
平均膜厚は１．５μｍであり、Ｒmax 値は０．０９μｍ
であった。 （実施例３） 下記の組成 ・精製ロジン（荒川化学工業社製、ＫＲ６１０、酸価１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・ ８．９０重量部 ・水添ロジン（理化ハーキュレス社製、フォーラルＡＸＥ、酸価１６０ｍｇＫＯ Ｈ／ｇ） ・・・・ ４．４５重量部 ・マレイン酸樹脂（荒川化学製、マルキード３２# ） ・・・・ ６．６８重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ １０．０重量部 ・トルエン ・・・・ ２３．３２重量部 ・イソプロピルアルコール ・・・・ ４６．６５重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度２．４ｍＰａｓ／２５
℃）を、実施例１同様に塗布し、接着剤層（軟化点８８
℃、接着力１６ｋｇ／ｃｍ2 ）を同様に得た。得られた
接着剤層について同様に測定したところ、平均膜厚は
０．９μｍであり、Ｒmax 値は０．１２μｍであった。
面粗さ計｛（株）東京精密製、サーフコム５７４Ａ｝を
用いて測定したところ、平均膜厚は０．５μｍであり、
塗布平滑性（Ｒmax 値）は、０．１０μｍであった。 （実施例２） 下記の組成 ・白菊ロジン（荒川化学工業（株）製、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・ １０．０重量部 ・水添ロジン（理化ハーキュレス（株）製、フォーラルＡＸ、酸価１６０ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・ １０．０重量部 ・弗素系界面活性剤（３Ｍ社製「フロラードＦＣ４３０」） ・・・・ ０．０１重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ ７０．０重量部 ・トルエン／イソプロピルアルコール／酢酸エチル（重量比２／１／１） ・・・・ １０．０重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度３．５ｍＰａｓ／２５
℃）を、実施例１同様に塗布し、接着剤層を同様に得
た。得られた接着剤層について同様に測定したところ、
平均膜厚は１．５μｍであり、Ｒmax 値は０．０９μｍ
であった。 （実施例３） 下記の組成 ・精製ロジン（荒川化学工業社製、ＫＲ６１０、酸価１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・ ８．９０重量部 ・水添ロジン（理化ハーキュレス社製、フォーラルＡＸＥ、酸価１６０ｍｇＫＯ Ｈ／ｇ） ・・・・ ４．４５重量部 ・マレイン酸樹脂（荒川化学製、マルキード３２# ） ・・・・ ６．６８重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・・ １０．０重量部 ・トルエン ・・・・ ２３．３２重量部 ・イソプロピルアルコール ・・・・ ４６．６５重量部 の溶液（固形分２０重量％、粘度２．４ｍＰａｓ／２５
℃）を、実施例１同様に塗布し、接着剤層（軟化点８８
℃、接着力１６ｋｇ／ｃｍ2 ）を同様に得た。得られた
接着剤層について同様に測定したところ、平均膜厚は
０．９μｍであり、Ｒmax 値は０．１２μｍであった。
【００１８】この接着剤層面を研磨定盤上に載置し、１
５０℃で加熱圧着固定した後、アルカリ研磨液による研
磨加工を施し、次いで、スクレバーを使用して剥離した
ところ、剥離性に優れるものであった。 （比較例１） 下記の組成 ・ ヘキサヒドロ無水フタル酸が付加されたノボラック型エポキシ樹脂（東都化 成（株）製ＡＸ３１１Ｍ、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分７０重量％、トル エン／イソプーピルアルコール（重量比１／２）混合溶媒３０％） ・・・・ ２１．４重量部 ・トルエン ・・・・ ７８．６重量部 の溶液（固形分１５重量％、粘度２ｍＰａｓ／２５℃）
を、シリコンウエハ（６吋）からなる基板上に、塗布条
件 装置：ミカサ製スピンコーター１Ｈ３６０型 条件：初期回転１０００ｒｐｍ／２ｓｅｃ〜フル回転３
０００ｒｐｍ／３ｓｅｃで塗布した後、電気オーブンを
使用し８０℃×５分の条件下で加熱乾燥した。得られた
接着剤層について実施例１同様に測定したところ、平均
膜厚は１．５μｍであり、Ｒmax 値は０．４６μｍであ
った。 （比較例２〜比較例９）比較例１における溶媒を、下記
表１の如く代え、比較例１同様の平均膜厚で塗布し、同
様にＲmax 値を測定した。その結果を下記表１に同時に
示す。なお、混合溶媒の混合比は重量比である。
５０℃で加熱圧着固定した後、アルカリ研磨液による研
磨加工を施し、次いで、スクレバーを使用して剥離した
ところ、剥離性に優れるものであった。 （比較例１） 下記の組成 ・ ヘキサヒドロ無水フタル酸が付加されたノボラック型エポキシ樹脂（東都化 成（株）製ＡＸ３１１Ｍ、酸価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分７０重量％、トル エン／イソプーピルアルコール（重量比１／２）混合溶媒３０％） ・・・・ ２１．４重量部 ・トルエン ・・・・ ７８．６重量部 の溶液（固形分１５重量％、粘度２ｍＰａｓ／２５℃）
を、シリコンウエハ（６吋）からなる基板上に、塗布条
件 装置：ミカサ製スピンコーター１Ｈ３６０型 条件：初期回転１０００ｒｐｍ／２ｓｅｃ〜フル回転３
０００ｒｐｍ／３ｓｅｃで塗布した後、電気オーブンを
使用し８０℃×５分の条件下で加熱乾燥した。得られた
接着剤層について実施例１同様に測定したところ、平均
膜厚は１．５μｍであり、Ｒmax 値は０．４６μｍであ
った。 （比較例２〜比較例９）比較例１における溶媒を、下記
表１の如く代え、比較例１同様の平均膜厚で塗布し、同
様にＲmax 値を測定した。その結果を下記表１に同時に
示す。なお、混合溶媒の混合比は重量比である。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【発明の効果】本発明の液状仮着接着剤は、塗布表面平
坦性が大幅に良化すると共に、スピンコートに際し、そ
の外周端部にあって「液戻り」の現象が少なく、ウエハ
の生産性に優れるものである。
坦性が大幅に良化すると共に、スピンコートに際し、そ
の外周端部にあって「液戻り」の現象が少なく、ウエハ
の生産性に優れるものである。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4J040 BA201 BA202 EC071 EC072 EC311 EC312 HB04 HB31 HB32 HB34 HD13 JA02 JB05 KA31 KA38 LA08 LA11 MA01 MA02 NA20 PA20 PA42
Claims (3)
- 【請求項１】 酸無水物が付加されたノボラック型エポ
キシ樹脂、および／またはロジン類を主成分とし、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶媒に
溶解したことを特徴とする液状仮着接着剤。 - 【請求項２】 該主成分１００重量部に対し、さらに、
弗素系界面活性剤を０．５重量部〜５重量部の割合で含
有させたことを特徴とする請求項１記載の液状仮着接着
剤。 - 【請求項３】 軟化点調整剤を更に添加したことを特徴
とする請求項１記載の液状仮着接着剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11057163A JP2000256636A (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 液状仮着接着剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-03-04 JP JP11057163A patent/JP2000256636A/ja active Pending
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