JP6403935B1 - 仮止接着剤および部品製造方法 - Google Patents
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Abstract
仮止接着剤は、ロジン、セラック、炭素数5以下のアルコールである低級アルコール、および分子内に2個以上の水酸基を有するアルコール誘導体である多価アルコール誘導体、を含み、また部品製造方法は、上記仮止接着剤を用い、部品前駆体と加工用基板との間に接着用塗膜を形成し、前記加工用基板に前記部品前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記加工用基板に仮止された前記部品前駆体の被加工面を加工する加工工程を備える。
Description
また本発明は、ウエハ前駆体等の部品前駆体を高精度に加工する精密加工をも可能とする加工工程を備える部品製造方法を提供する。
たとえば、ウエハ前駆体の研磨に関していえば、仮止とは、研磨台に対しウエハ前駆体を接着固定して研磨工程を実施し、当該研磨工程後に研磨台からウエハをはがすことを想定した接着を意味する。以下の本発明の仮止接着剤に関する説明では、仮止接着剤を用い任意の部品前駆体を加工用基板に仮止し加工を行う場合の例として、集積回路に用いられるウエハの製造に関し、ウエハ前駆体を研磨台に仮止し当該ウエハ前駆体を研磨する例を主として用いる。
しかしかかる説明は、本発明の仮止接着剤の用途を何ら限定するものではない。本発明の仮止接着剤は、ウエハ前駆体以外の種々の部品前駆体に対し、良好な塗布性および接着性を示し得る。そのため、本発明の仮止接着剤は、たとえばシリコン、サファイア、ガリウムヒ素、ガラス材、磁性材、金属材、水晶、光学レンズ部材または半導体デバイス用部材等の種々の部材からなる部品前駆体を加工用基板に仮止し、加工を実施するための仮止接着剤としても広く用いられ得る。また本発明の仮止接着剤は、加工用基板に対しても良好な塗布性を示し得る。そのため、本発明の仮止接着剤を加工用基板に対し塗布して接着用塗膜を形成し、当該接着用塗膜に加工対象となる部品前駆体を当接させることで当該部品前駆体を加工用基板に対し仮止することもできる。上記加工には、研磨に加え、仮止された部品の切削、切断、研削または穴開けなど種々の加工を広く包含する。
即ち、仮止接着剤は、文字通り仮止を前提とした接着剤である。したがって、たとえば仮止接着剤で研磨台に接着されたウエハ前駆体は、研磨終了後に研磨台からはがされるとともに、研磨後のウエハに残存する仮止接着剤がアルカリ洗浄除去されることが一般的である。そのため、仮止接着剤は、接着性のみならず洗浄性にも優れるものが望ましい。これに対し本発明者らは、エポキシ系またはアクリル系等の合成樹脂と比較して洗浄性の良好な接着成分としてロジンを用いるとともに、当該ロジンにセラックを混合させて仮止接着剤を調製した。これにより上記仮止接着剤は、洗浄性に優れるとともに充分な接着性も確保されることがわかった。
つまり、ウエハ前駆体に対して塗布された仮止接着剤よりなる接着用塗膜の面内における膜厚差(以下、面内膜厚差ともいう)が有意である場合、研磨台に対し、ウエハ前駆体面が傾いた状態で仮止され、上記要素1が満たされない場合がある。
また仮止接着剤の接着性が充分でない場合等には、厳しい研磨条件で研磨されている間にウエハ前駆体の位置ズレまたはウエハ前駆体が研磨台から外れてしまう現象が発生し、上記要素2が満たされない場合がある。
さらに、ウエハ前駆体に対し仮止接着剤の濡れ広がり性が悪く、仮止接着剤の非着部分が発生した場合、研磨台に仮止されたウエハ前駆体の厚み方向において当該非着部分と重なるウエハ前駆体領域は、その周辺の領域に比べ研磨時に相対的に小さな圧力を受ける。そのため、上記要素3が満たされない。上記仮止接着剤の非着部分とは、仮止接着剤がウエハ前駆体の塗布面上で塗布されていない部分を指す。被研磨面において、部分的に研磨の圧力が小さくなると、その領域の研磨量が周辺の領域よりも少なくなる。その結果、ウエハの厚み方向において被研磨面に微小な凹凸が形成され高い平滑性が得られない。また上述する面内膜厚差が有意な場合も研磨時の圧力のかかり具合が被研磨面において不均一になり、要素3が満たされない要因となる。
かかる構成により、本発明は、ウエハ前駆体に対する濡れ広がり性が良好であり、ウエハ前駆体に塗布されてなる接着用塗膜の面内膜厚差が小さく抑制されるとともに、良好な接着性を示す仮止接着剤を実現する。そのため、本発明の仮止接着剤を用いてなる接着用塗膜が形成されたウエハ前駆体は、研磨台に対し傾斜することなく仮止されること(要素1)ができ、かつ研磨中にしっかりと研磨台に対し接着固定された状態を維持すること(要素2)ができるとともに、研磨時の圧力を被研磨面の全領域に対して均等に付与すること(要素3)ができる。
また一般的に、ウエハ前駆体の接着面に形成された接着用塗膜の膜厚差が大きい場合には、以下の問題がある。即ち、接着用塗膜の膜厚差が大きい状態で研磨台に仮止されたウエハ前駆体の被研磨面は、当該膜厚差に起因して、回転する研磨用のパッド(以下、単にパッドともいう)から受ける圧力が面内において不均等になる虞がある。この結果、被研磨面の研磨量が面内において不均一になる虞がある。または被研磨面の局所部分とパッドとの衝突圧が発生し、研磨時のウエハ前駆体のずれや傾斜が誘発され、研磨台に対するウエハ前駆体の接着性が低下する虞がある。これに対し、本発明の仮止接着剤は、上記要素1および要素3を満たすことで、さらに要素2の充足性を高める。そのため、本発明の仮止接着剤を用いて仮止されたウエハ前駆体は、より厳しい研磨条件にも対応し高精度に研磨され得る。
以上に、昨今の集積回路技術の進歩におけるウエハ前駆体の研磨加工を例に、仮止接着剤に求められる性能等について説明した。上述する要素1から要素3は、研磨加工以外の種々の精密加工においても重要である。したがって、上記説明は、研磨加工以外の種々の精密加工に関しても参照され得る。
以下に本発明の仮止接着剤についてさらに詳細に説明する。
本発明に用いられるロジンは、共役二重結合を有するアビエチン酸を主体とするものであり、具体的には、ロジン、ロジンエステル、部分または水添ロジン、重合ロジン、またはこれらのロジン樹脂とマレイン酸等の二塩基酸との変性ロジンまたはそれらのエステル誘導体等の1種または混合物が例示される。上記ロジンは、一般的に3つの環構造およびカルボキシル基を有する。上記ロジンは、松脂を溶剤抽出後、温浴で固形化された天然ロジン、またはこの精製物若しくは変性物が主流である。しかし本発明は、合成されたロジンを用いることを除外しない。
本発明に用いられるセラックは、天然セラックまたは合成セラックのいずれかまたは組み合わせである。天然セラックは、たとえばカイガラムシから抽出され精製された樹脂状の物質が例示される。合成セラックの例としては、たとえば、トリハイドロキシパルミチン酸と高級脂肪族二塩基酸のポリエステル化合物などが例示される。
上記範囲よりもロジンが多い場合には、接着力が小さくなる傾向にある。しかしかかる場合、セラックの配合比率が減るため、濡れ広がり性が良好で面内膜厚差が小さくなる。その結果、ウエハ前駆体を研磨台に対しより平行に接着固定すること、および仮止接着剤の非着部分を実質的になくすことが可能である。研磨台に対し良好な接着状態が実現されたウエハ前駆体は、被研磨面とパッドとの衝突圧がより小さく抑えられる。そのため、接着力の減少による影響が補われ、高い精度の研磨が実施されうる。
本発明の仮止接着剤には、溶剤として、炭素数5以下のアルコールである低級アルコールが含まれる。かかる低級アルコールは、一般的に沸点が低い。そのため、ウエハ前駆体に塗布された仮止接着剤を適度に乾燥させて接着用塗膜を形成する際、および研磨工程の際に蒸発除去されやすい。沸点が低いという観点からは、低級アルコールとして1価低級アルコールが選択されることが好ましい。ここでいう1価低級アルコールとは、ヒドロキシ基を1つ有する低級アルコールを意味する。また同様に沸点が低いという観点からは、沸点が140℃以下の低級アルコールが、本発明に用いられる低級アルコールとして好ましい。
溶剤として上記低級アルコールのみが用いられた仮止接着剤は、良好な接着性が発揮される。ただし、かかる仮止接着剤は、望ましい濡れ広がり性が示され難く、また面内膜厚差も大きくなる傾向にある。そのため本発明は、溶剤として、低級アルコールに加え、後述する多価アルコール誘導体を用いる。
たとえば上記低級アルコールとして、沸点の異なる2種以上の溶剤を含み、上記2種以上の低級アルコールのうちの少なくとも1種の沸点が、95℃以下であることは、本発明の好ましい一実施態様である。低級アルコールは、比較的沸点の低いものが多い。そのため、仮止接着剤に含まれる低級アルコールは、接着用塗膜から蒸発し易く、その結果、粘着性の向上に寄与する。しかし、低級アルコールを含む仮止接着剤は、当該低級アルコールの沸点が低いが故に、濡れ広がり性がやや劣る傾向にあり、かつ面内膜厚差もやや大きくなってしまう傾向にあった。これに対し、沸点の異なる2種以上の溶剤を含み、かつ沸点が95℃以下である低級アルコールを1種以上含む仮止接着剤は、良好な接着性を維持しつつ、仮止接着剤の濡れ広がり性が良好であるか、または面内膜厚差の増大を抑制することができる。
2種の低級アルコールの組合せとしては、たとえば、エタノールおよびメタノール、またはエタノールおよびイソプロピルアルコールが挙げられる。3種の低級アルコールの組合せとしては、たとえば、エタノール、イソプロピルアルコールおよびメタノールなどが挙げられる。これらの組合せは、低級アルコールとして含まれる全ての溶剤の沸点が95℃以下である。
また、2種の低級アルコールの組合せの異なる態様として、たとえば、ノルマルプロピルアルコール(沸点97.2℃)およびメタノール、またはノルマルプロピルアルコールおよびエタノールが挙げられる。また3種の低級アルコールの組合せの異なる態様として、たとえば、エタノール、イソプロピルアルコール、およびノルマルプロピルアルコールなどが挙げられる。このように、溶剤として2種以上の低級アルコールを含む場合に、少なくとも1種の低級アルコールの沸点が95℃以下であり、かつ少なくとも1種の低級アルコールの沸点が95℃を上回ってもよい。
本発明の仮止接着剤には、分子内に2個以上の水酸基を有するアルコール誘導体である多価アルコール誘導体が含まれる。上記多価アルコール誘導体は、一般的に低級アルコールよりも沸点が高い。そのため、多価アルコール誘導体は、低級アルコールが蒸発除去された後でも接着用塗膜に残存しやすい。仮止接着剤における溶剤として、上記低級アルコールと上記多価アルコール誘導体とを含む混合溶剤を用いることで、接着成分としてロジンおよびセラックを含む仮止接着剤の濡れ広がり性、面内膜厚差の減少、および接着性の向上を良好に図ることができる。本発明の仮止接着剤は、1種または2種以上の高価アルコール誘導体を含む。
上記エチレングリコールアルキルエーテル類としては、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、またはエチレングリコールジメチルエーテル等を挙げることができる。
また仮止接着剤の溶剤として沸点が上記範囲の多価アルコール誘導体が含まれる場合、良好な接着性を維持しつつ、ウエハ前駆体に塗布される際の伸びがよく、濡れ広がり性に優れた仮止接着剤を容易に調整することができる。
上記効果をより充分に得るために、仮止接着剤は、上記1価低級アルコールおよび上記多価アルコール誘導体を両方含むことが好ましい。
[式1]
固形分比率(質量%)=加熱後質量/加熱前質量×100 (1)
上記態様の仮止接着剤は、固形分比率を適度に高くして接着性を向上させるとともに、高沸点アルコールである多価アルコール誘導体の配合量を充分に確保することで、良好な濡れ広がり性を担保することができる。
本発明の部品製造方法は、仮止工程および加工工程を備える。上記仮止工程とは、上述する本発明の仮止接着剤を用い、部品前駆体と加工用基板との間に接着用塗膜を形成し、上記加工用基板に上記部品前駆体を仮止する工程である。また、加工工程は、上記仮止工程において加工用基板に仮止された上記部品前駆体の被加工面に対し加工する工程である。
たとえば、本発明の部品製造方法は、ウエハ製造方法として実施することができる。即ち、当該ウエハ製造方法は、上記部品製造方法において、部品前駆体がウエハ前駆体であり、ウエハ前駆体と加工用基板である研磨用基板との間に接着用塗膜を形成し、研磨用基板にウエハ前駆体を仮止する仮止工程、および上記仮止工程において研磨用基板に仮止されたウエハ前駆体の被研磨面を研磨する研磨工程を含む加工工程を備える。
本発明の一例であるウエハ製造方法は、上述する仮止工程および研磨工程を実施すること以外は、公知のウエハを製造するための各工程を適宜組合せることができる。
例えば、シリコン、サファイア、またはリン化ガリウム若しくは窒化ガリウム等の化合物半導体といった任意のウエハ用材料により形成された柱状体を準備する。そして上記柱状体を適度な厚みにスライスすることで仮止工程に用いられるウエハ前駆体を形成することができる。
このように形成されたウエハ前駆体は、仮止工程に供される前に、適宜、研磨剤などで表面を粗く研磨されるとともに、必要に応じて化学的エッチングにて表面処理される。
上述のとおり仮止工程および研磨工程を含む適宜の工程の実施により、高精度に研磨されたウエハを製造することができる。
接着成分として以下を準備し、表1から表3に示す割合で調整し各実施例、および各比較例を得た。尚、表中、接着成分は固形分の質量部を表し、溶剤は使用した溶剤の質量部を表す。
(接着成分)
・ロジン(マレイン酸変性ロジン)
・セラック(天然セラック)
また上記接着成分を溶解または混合するための溶剤として以下を準備した。
(低級アルコール)
・ノルマルプロピルアルコール(NPA)
・メタノール
・イソブチルアルコール
・エタノール
・イソプロピルアルコール
(多価アルコール誘導体)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(PM)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PMA)
・エチレングリコールジメチルエーテル
・プロピレングリコールモノブチルエーテル
(その他)
・メチルエチルケトン(MEK)
・酢酸ブチル
ウエハ前駆体として既に片面研磨されたシリコンウエハ前駆体(4インチ、厚み1mm程度、円板状)を準備し、非研磨面に、上述のとおり得られた各仮止接着剤1.0mlを、スピンコーティング法により塗布し塗膜を形成した。塗布条件は、2800rpm、5秒とした。塗布後、115℃、50秒の条件で上記塗膜を加熱し接着用塗膜を形成し、当該接着用塗膜が形成されたシリコンウエハ前駆体を得た。上記シリコンウエハ前駆体に形成された接着用塗膜を室内灯の下で目視にて観察し、以下のとおり評価した。
△:シリコンウエハ前駆体の非研磨面の塗膜に非着部分が1箇所以上5箇所未満確認された
×:シリコンウエハ前駆体の非研磨面の塗膜に非着部分が5箇所以上確認された
一対のステンレス鋼(SUS)治具を準備し、140℃に加熱した。そして、加熱されたステンレス鋼(SUS)の先端に各仮止接着剤を滴下して、20分後に一対のステンレス鋼(SUS)治具の先端同志を貼り合せ、室温(25℃)に冷却した。そして、JIS K6850(1999)に規定される接着剤−剛性被着材の引張せん断接着強さ試験方法に準拠して、ステンレス鋼(SUS)治具を引きはがした。引きはがすときの接着剤塗膜の破断応力(MPa)を測定し、これを仮止接着剤の接着力として以下のとおり評価した。
△:破断応力が2MPa以上3MPa未満であった
×:破断応力が2MPa未満であった
上記濡れ広がり性評価において作成したものと同様の片面研磨されたシリコンウエハ前駆体を準備し研磨面に上記と同じ条件で塗膜を形成した。そして、非接触式膜厚測定システム(フィルメトリクス株式会社製、F50自動マッピング膜厚測定システム)を用いて接着用塗膜の任意の151箇所の膜厚を測定し、以下の式(2)のとおり膜厚差(μm)を求めた。そして得られた膜厚差を以下のとおり評価した。
また上述のとおり測定された151箇所の膜厚の平均値を算出し、これを平均膜厚(μm)とした。
[式2]
面内膜厚差(μm)=測定された膜厚の最大値−測定された膜厚の最小値 (2)
△:面内膜厚差が0.2μm以上0.4μm未満であった
×:面内膜厚差が0.4μm以上であった
これに対し、実施例4から6、9、11、16、18、および20は、接着力の点でやや低い評価(△評価)であった。しかしこれらの実施例は、濡れ広がり性および面内膜厚差が良好であった。そのため、これらの実施例は、研磨台に対しウエハを傾斜させることなく仮止することが可能であり、その結果、研磨時の負荷が小さくなるため、接着力の不十分さを充分に補える範囲であった。
また、実施例10、13、15、17、19および23は、濡れ広がり性および面内膜厚差の評価がやや低い評価(△評価)であった。しかしこれらの実施例は、接着力が良好であり全体のバランスが図られているため、良好な研磨が充分に可能であった。
ロジンとセラックの配合比率の観点では、ロジンの配合比率が85%と高めに調整された実施例11またはセラックの配合比率が65%と高めに調整された実施例13に比べ、ロジン/セラック=40/60〜80/20の範囲で調整された実施例2、12、および14は、いずれの評価も良好(○評価)であり特に優れていた。
溶媒比率の観点では、低級アルコールの比率が95%と高めに調整された実施例15、または多価アルコールの比率が75%と高めに調整された実施例16に比べ、低級アルコール/多価アルコール誘導体=90/10〜30/70の範囲に調整された実施例1から3、および7は、いずれの評価も良好(○評価)であり特に優れていた。
一方、実施例17から20は、実施例2と同様に低級アルコール/多価アルコール誘導体=80/20に調整された。しかし実施例17から20は、実施例2に比べて接着力、または濡れ広がり性および面内膜厚差の評価がやや劣った。かかる評価は以下のとおり推察された。
即ち、実施例17は、低級アルコールとして、沸点が低めであるメタノールが用いられた。そのため、実施例17は、接着用塗膜が均される前に乾燥し、実施例2と比べて濡れ広がり性がやや劣り、また面内膜厚差がやや大きくなったと推察された。
実施例18は、低級アルコールとして、沸点が高めであるイソブチルアルコールが用いられた。そのため、実施例18は、接着用塗膜が乾燥し難い傾向にあり、実施例2と比べて接着力の評価がやや劣ったと推察された。
実施例19は、多価アルコール誘導体として、沸点が低めであるエチレングリコールジメチルエーテルが用いられた。そのため、実施例19は、接着用塗膜が均される前に乾燥し、実施例2と比べて濡れ広がり性がやや劣り、また面内膜厚差がやや大きくなったと推察された。
実施例20は、多価アルコールとして、沸点が高めであるプロピレングリコールモノブチルエーテルが用いられた。そのため、実施例20は、接着用塗膜が乾燥し難い傾向にあり、実施例2と比べて接着力の評価がやや劣ったと推察された。
実施例21は、接着力が高い上、濡れ広がり性が良好で面内膜厚差も0.13μmと小さくバランスがとれ良好な仮止接着剤であった。
実施例23は、実施例21から25の中でも、特に接着力が高く良好であった。かかる理由は、実施例23において多価アルコール誘導体に対する低級アルコールの配合量が顕著に多かったためと推察された。
(1)ロジン、
セラック、
炭素数5以下のアルコールである低級アルコール、および
分子内に2個以上の水酸基を有するアルコール誘導体である多価アルコール誘導体、
を含むことを特徴とする仮止接着剤。
(2)前記ロジンおよび前記セラックの配合比率が、ロジン(質量部)/セラック(質量部)=40/60から80/20の範囲である上記(1)に記載の仮止接着剤。
(3)前記低級アルコールが、1価低級アルコールであって沸点が70℃以上105℃以下であること、または前記多価アルコール誘導体が沸点115℃以上150℃以下であること、の少なくともいずれか一方を満たす上記(1)または(2)に記載の仮止接着剤。
(4)前記多価アルコール誘導体が、プロピレングリコールアルキルエーテル類またはエチレングリコールアルキルエーテル類の少なくとも一方を含む上記(1)から(3)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(5)仮止接着剤100質量%における固形分比率が、25質量%以上50質量%以下の範囲である上記(1)から(4)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(6)前記低級アルコールと前記多価アルコール誘導体との配合比率は、低級アルコール(質量部)/多価アルコール誘導体(質量部)=95/5から25/75の範囲である上記(1)から(5)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(7)仮止接着剤100質量%における固形分比率が、25質量%以上50質量%以下の範囲であり、かつ
前記低級アルコールと前記多価アルコール誘導体との配合比率は、低級アルコール(質量部)/多価アルコール誘導体(質量部)=95/5から25/75の範囲である上記(1)から(6)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(8)モース硬度9以上のウエハ前駆体を研磨用基板に仮止するための上記(1)から(7)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(9)前記低級アルコールとしてノルマルプロピルアルコールを含み、かつ
前記多価アルコール誘導体としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを含む上記(1)から(8)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(10)前記低級アルコールとして、沸点の異なる2種以上の溶剤を含み、
前記2種以上の前記低級アルコールの少なくとも1種の沸点が、95℃以下である上記(1)から(8)のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
(11)上記(1)から(10)のいずれか一項に記載の仮止接着剤を用い、部品前駆体と加工用基板との間に接着用塗膜を形成し、前記加工用基板に前記部品前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記加工用基板に仮止された前記部品前駆体の被加工面を加工する加工工程を備えることを特徴とする部品製造方法。
(12)前記部品前駆体がウエハ前駆体であり、前記ウエハ前駆体と前記加工用基板である研磨用基板との間に前記接着用塗膜を形成し、前記研磨用基板に前記ウエハ前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記研磨用基板に仮止された前記ウエハ前駆体の被研磨面を研磨する研磨工程を含む加工工程を備える上記(11)に記載の部品製造方法。
Claims (13)
- ロジン、
セラック、
炭素数5以下のアルコールである低級アルコール、および
分子内に2個以上の水酸基を有するアルコールを誘導化した誘導体である多価アルコール誘導体、
を含み、
前記ロジンおよび前記セラックの配合比率が、ロジン(質量部)/セラック(質量部)=40/60から80/20の範囲であることを特徴とする仮止接着剤。 - 前記低級アルコールが、1価低級アルコールであって沸点が70℃以上105℃以下であること、または前記多価アルコール誘導体が沸点115℃以上150℃以下であること、の少なくともいずれか一方を満たす請求項1に記載の仮止接着剤。
- 前記多価アルコール誘導体が、プロピレングリコールアルキルエーテル類またはエチレングリコールアルキルエーテル類の少なくとも一方を含む請求項1または2に記載の仮止接着剤。
- 仮止接着剤100質量%における固形分比率が、25質量%以上50質量%以下の範囲である請求項1から3のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
- 前記低級アルコールと前記多価アルコール誘導体との配合比率は、低級アルコール(質量部)/多価アルコール誘導体(質量部)=95/5から25/75の範囲である請求項1から4のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
- 仮止接着剤100質量%における固形分比率が、25質量%以上50質量%以下の範囲であり、かつ
前記低級アルコールと前記多価アルコール誘導体との配合比率は、低級アルコール(質量部)/多価アルコール誘導体(質量部)=95/5から25/75の範囲である請求項1から5のいずれか一項に記載の仮止接着剤。 - モース硬度9以上のウエハ前駆体を研磨用基板に仮止するための請求項1から6のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
- 前記低級アルコールとしてノルマルプロピルアルコールを含み、かつ
前記多価アルコール誘導体としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを含む請求項1から7のいずれか一項に記載の仮止接着剤。 - 前記低級アルコールとして、沸点の異なる2種以上の溶剤を含み、
前記2種以上の前記低級アルコールの少なくとも1種の沸点が、95℃以下である請求項1から7のいずれか一項に記載の仮止接着剤。 - 前記多価アルコール誘導体が、プロピレングリコールモノメチルエーテルである請求項1から9のいずれか一項に記載の仮止接着剤。
- 前記低級アルコールを2種以上含むとともに、
前記低級アルコールと前記多価アルコール誘導体との配合比率が、低級アルコール(質量部)/多価アルコール誘導体(質量部)=54/46から25/75である請求項1から10のいずれか一項に記載の仮止接着剤。 - 請求項1から11のいずれか一項に記載の仮止接着剤を用い、部品前駆体と加工用基板との間に接着用塗膜を形成し、前記加工用基板に前記部品前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記加工用基板に仮止された前記部品前駆体の被加工面を加工する加工工程を備えることを特徴とする部品製造方法。
- 前記部品前駆体がウエハ前駆体であり、前記ウエハ前駆体と前記加工用基板である研磨用基板との間に前記接着用塗膜を形成し、前記研磨用基板に前記ウエハ前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記研磨用基板に仮止された前記ウエハ前駆体の被研磨面を研磨する研磨工程を含む加工工程を備える請求項12に記載の部品製造方法。
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