JP2000246269A - 排水処理装置 - Google Patents
排水処理装置Info
- Publication number
- JP2000246269A JP2000246269A JP11050726A JP5072699A JP2000246269A JP 2000246269 A JP2000246269 A JP 2000246269A JP 11050726 A JP11050726 A JP 11050726A JP 5072699 A JP5072699 A JP 5072699A JP 2000246269 A JP2000246269 A JP 2000246269A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- reaction tank
- reaction
- granular carrier
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粒状担体を反応槽内に均一に分散させ、かつ
沈降槽の水の揺れを軽減して粒状担体の反応槽への保持
性を高めた排水処理装置を提供すること。 【解決手段】 槽の下部において互いに連通した反応槽
１２と沈降槽１３とを有し、反応槽１２内に粒状担体２
０を添加して攪拌することで粒状担体２０を反応槽１２
内に分散させ、粒状担体２０及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽１２内に保持するフッ素含有排水又はリ
ン酸含有排水の排水処理装置において、反応槽１２の攪
拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用すること
を特徴とする。
沈降槽の水の揺れを軽減して粒状担体の反応槽への保持
性を高めた排水処理装置を提供すること。 【解決手段】 槽の下部において互いに連通した反応槽
１２と沈降槽１３とを有し、反応槽１２内に粒状担体２
０を添加して攪拌することで粒状担体２０を反応槽１２
内に分散させ、粒状担体２０及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽１２内に保持するフッ素含有排水又はリ
ン酸含有排水の排水処理装置において、反応槽１２の攪
拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用すること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
から排出されるフッ素含有排水、またはリン酸含有排水
の処理装置に関する。
から排出されるフッ素含有排水、またはリン酸含有排水
の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フッ素は半導体製造業や化学工業などの
分野で大量に使用されている物質である。しかし、人体
に対しては有害な物質であり、水質汚濁防止法によって
放流基準が１５ｍｇ／Ｌ以下と定められており、また多
くの自治体ではさらに厳しい上乗せ基準が設けられてい
る。
分野で大量に使用されている物質である。しかし、人体
に対しては有害な物質であり、水質汚濁防止法によって
放流基準が１５ｍｇ／Ｌ以下と定められており、また多
くの自治体ではさらに厳しい上乗せ基準が設けられてい
る。
【０００３】また、リン酸イオンもエッチング剤として
半導体製造業で使用される物質である。近年閉鎖系水域
における富栄養化が問題となっており、リンの排出削減
の要求は厳しさを増しているのが現状である。
半導体製造業で使用される物質である。近年閉鎖系水域
における富栄養化が問題となっており、リンの排出削減
の要求は厳しさを増しているのが現状である。
【０００４】ところで、排水中のフッ素を処理する方法
としては、一般的にフッ素含有排水にカルシウム化合物
等を加え、フッ素を難溶性のフッ化カルシウムとして固
液分離して処理する方法が知られている。
としては、一般的にフッ素含有排水にカルシウム化合物
等を加え、フッ素を難溶性のフッ化カルシウムとして固
液分離して処理する方法が知られている。
【０００５】上記の方法では、処理水のフッ素濃度をお
およそ２０ｍｇ／Ｌ程度とするのが限界であり、さらに
処理性を向上させる必要がある場合には、後段にアルミ
ニウム塩等のフッ素吸着能力を利用した処理システムを
設置するのが一般的である。
およそ２０ｍｇ／Ｌ程度とするのが限界であり、さらに
処理性を向上させる必要がある場合には、後段にアルミ
ニウム塩等のフッ素吸着能力を利用した処理システムを
設置するのが一般的である。
【０００６】しかしながら、アルミニウム塩等を用いた
処理設備を設置する場合、その敷地が必要であるばかり
でなく、脱水性の悪いスラッジが大量に発生し、また多
量の薬剤を必要とする点が課題であった。
処理設備を設置する場合、その敷地が必要であるばかり
でなく、脱水性の悪いスラッジが大量に発生し、また多
量の薬剤を必要とする点が課題であった。
【０００７】上記課題を解決する方法として、槽の下部
において互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応
槽内には粒状担体を添加して適当な流動状態を保ち、沈
降槽の効果によって粒状担体及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽内に保持するフッ素含有排水の処理方法
が提案されている（特開平１０−２００７８２号公報参
照）。
において互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応
槽内には粒状担体を添加して適当な流動状態を保ち、沈
降槽の効果によって粒状担体及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽内に保持するフッ素含有排水の処理方法
が提案されている（特開平１０−２００７８２号公報参
照）。
【０００８】この処理技術によるフロー図の一例を図３
に示す。
に示す。
【０００９】図３において、反応槽１内には粒状螢石等
の粒状担体５が入れてあり、強力な攪拌によって適当な
流動状態を保っている。
の粒状担体５が入れてあり、強力な攪拌によって適当な
流動状態を保っている。
【００１０】フッ素含有排水６とカルシウム化合物７は
反応槽１内に連続的に供給され、適正なｐＨに調整しな
がら攪拌される。反応槽１内でフッ素とカルシウムが反
応し、フッ化カルシウムの結晶が生成すると同時に、粒
状担体５を核とした結晶成長効果によりフッ素の処理効
率を増大させることができる。
反応槽１内に連続的に供給され、適正なｐＨに調整しな
がら攪拌される。反応槽１内でフッ素とカルシウムが反
応し、フッ化カルシウムの結晶が生成すると同時に、粒
状担体５を核とした結晶成長効果によりフッ素の処理効
率を増大させることができる。
【００１１】反応槽１内に流動している粒状担体５は、
反応槽１と下部が接続した沈降槽２の水流が上昇流とな
るが、沈降槽２内でそれ自身の重量により沈降し、反応
槽１内に返還されるためにおおよそ保持することが可能
である。従って粒状担体５を反応槽１に連続的に供給す
る必要はない。
反応槽１と下部が接続した沈降槽２の水流が上昇流とな
るが、沈降槽２内でそれ自身の重量により沈降し、反応
槽１内に返還されるためにおおよそ保持することが可能
である。従って粒状担体５を反応槽１に連続的に供給す
る必要はない。
【００１２】沈降槽２を経た後、凝集槽３内において、
凝集剤８を添加してフッ化カルシウム微粒子を凝集させ
てフロック化（粗大化）し、さらに沈降槽４でフロック
を沈降分離することで沈降槽上澄水、すなわち処理水９
が得られる。
凝集剤８を添加してフッ化カルシウム微粒子を凝集させ
てフロック化（粗大化）し、さらに沈降槽４でフロック
を沈降分離することで沈降槽上澄水、すなわち処理水９
が得られる。
【００１３】これら処理工程を経ることで処理水９のフ
ッ素濃度は５ｍｇ／Ｌ程度以下となり、アルミニウム塩
等を用いた処理工程を設置することなくフッ素を高度処
理することが可能となる。
ッ素濃度は５ｍｇ／Ｌ程度以下となり、アルミニウム塩
等を用いた処理工程を設置することなくフッ素を高度処
理することが可能となる。
【００１４】また、リン酸含有排水もフッ素と同様にカ
ルシウム塩を添加し、リン酸とカルシウムの化合物を生
成させることで処理が可能である。この処理反応もフッ
素とカルシウムの反応と同様に結晶化反応であるため
に、図１に示した処理装置によって処理効率を増大させ
ることが可能である。
ルシウム塩を添加し、リン酸とカルシウムの化合物を生
成させることで処理が可能である。この処理反応もフッ
素とカルシウムの反応と同様に結晶化反応であるため
に、図１に示した処理装置によって処理効率を増大させ
ることが可能である。
【００１５】上述のように、フッ素・リン酸共に同じカ
ルシウム薬剤を使用した凝集沈殿処理が可能であるとい
う理由から、半導体製造工場ではフッ酸、リン酸の両方
を含む酸系排水として受け入れ、一つの処理設備を使用
してフッ素・リン酸の両方を処理することが多い。
ルシウム薬剤を使用した凝集沈殿処理が可能であるとい
う理由から、半導体製造工場ではフッ酸、リン酸の両方
を含む酸系排水として受け入れ、一つの処理設備を使用
してフッ素・リン酸の両方を処理することが多い。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】互いに槽の下部を連通
させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状担体を添加してフ
ッ素またはリン酸を処理する図３の処理装置において、
反応槽１内の攪拌は粒状担体５を均一に混合するために
比較的強い攪拌を行う必要がある。しかし、沈降槽２が
反応槽１と連通しているために、強い攪拌を行うことで
沈降槽２の水に大きい揺れが生じ、揺れによって粒状担
体５の沈降性が悪化し、流出する粒状担体量が増加する
という問題があった。また、反応槽１の攪拌機として一
般的な攪拌機１０を使用した場合のフローパターンは図
３に示されるように、槽壁側では上昇流となるために連
通した槽下部を通して沈降槽２内に水が流入しやすく、
揺れが大きくなりやすいという問題点があった。また、
沈降性を増すために沈降槽２の水面積（表面積）を大き
くし、沈降槽２内の水上昇速度すなわち水面積負荷を小
さくした場合には所要敷地が増大するという問題点があ
った。
させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状担体を添加してフ
ッ素またはリン酸を処理する図３の処理装置において、
反応槽１内の攪拌は粒状担体５を均一に混合するために
比較的強い攪拌を行う必要がある。しかし、沈降槽２が
反応槽１と連通しているために、強い攪拌を行うことで
沈降槽２の水に大きい揺れが生じ、揺れによって粒状担
体５の沈降性が悪化し、流出する粒状担体量が増加する
という問題があった。また、反応槽１の攪拌機として一
般的な攪拌機１０を使用した場合のフローパターンは図
３に示されるように、槽壁側では上昇流となるために連
通した槽下部を通して沈降槽２内に水が流入しやすく、
揺れが大きくなりやすいという問題点があった。また、
沈降性を増すために沈降槽２の水面積（表面積）を大き
くし、沈降槽２内の水上昇速度すなわち水面積負荷を小
さくした場合には所要敷地が増大するという問題点があ
った。
【００１７】それ故に、本発明の課題は、互いに槽の下
部を連通させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状担体を添
加してフッ素またはリン酸を処理する装置において、粒
状担体を反応槽内に均一に分散させ、かつ沈降槽の水の
揺れを軽減して粒状担体の反応槽への保持性を高めた排
水処理装置を提供することにある。
部を連通させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状担体を添
加してフッ素またはリン酸を処理する装置において、粒
状担体を反応槽内に均一に分散させ、かつ沈降槽の水の
揺れを軽減して粒状担体の反応槽への保持性を高めた排
水処理装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明によ
れば、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈降槽
とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して攪拌する
ことで前記粒状担体を前記反応槽内に分散させ、前記粒
状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前記反応槽内
に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排水の排水処
理装置において、前記反応槽内におけるフローパターン
を、少なくとも前記沈降槽に隣接する槽壁側においては
下降流と成るようにしたことを特徴とする排水処理装置
が得られる。
れば、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈降槽
とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して攪拌する
ことで前記粒状担体を前記反応槽内に分散させ、前記粒
状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前記反応槽内
に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排水の排水処
理装置において、前記反応槽内におけるフローパターン
を、少なくとも前記沈降槽に隣接する槽壁側においては
下降流と成るようにしたことを特徴とする排水処理装置
が得られる。
【００１９】請求項２記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽内におけるフローパターンを、槽壁側におい
ては下降流と成り、槽中央部においては上昇流と成るよ
うにしたことを特徴とする排水処理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽内におけるフローパターンを、槽壁側におい
ては下降流と成り、槽中央部においては上昇流と成るよ
うにしたことを特徴とする排水処理装置が得られる。
【００２０】請求項３記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽内におけるフローパターンを、槽壁側におい
ては下降流とし、槽中央部においては上昇流とする流れ
制御手段を具備したことを特徴とする排水処理装置が得
られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽内におけるフローパターンを、槽壁側におい
ては下降流とし、槽中央部においては上昇流とする流れ
制御手段を具備したことを特徴とする排水処理装置が得
られる。
【００２１】請求項４記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使
用することを特徴とする排水処理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水又はリン酸含有排水の排水処理装置において、
前記反応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使
用することを特徴とする排水処理装置が得られる。
【００２２】請求項５記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水の排水処理装置において、前記反応槽の攪拌機
として放射状バッフル付攪拌機を使用することを特徴と
する排水処理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するフッ素
含有排水の排水処理装置において、前記反応槽の攪拌機
として放射状バッフル付攪拌機を使用することを特徴と
する排水処理装置が得られる。
【００２３】請求項６記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するリン酸
含有排水の排水処理装置において、前記反応槽の攪拌機
として放射状バッフル付攪拌機を使用することを特徴と
する排水処理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状担体を添加して攪拌することで前記粒状担
体を前記反応槽内に分散させ、前記粒状担体及び反応生
成物の少なくとも一部を前記反応槽内に保持するリン酸
含有排水の排水処理装置において、前記反応槽の攪拌機
として放射状バッフル付攪拌機を使用することを特徴と
する排水処理装置が得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の一実施形態に係る排水処理
装置の構成略図、図2は図1に示す排水処理装置の要部の
構成略図である。
て説明する。図１は本発明の一実施形態に係る排水処理
装置の構成略図、図2は図1に示す排水処理装置の要部の
構成略図である。
【００２５】本実施形態の排水処理装置は、反応槽１２
の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用する
ことを特徴としている。放射状バッフル付攪拌機１４
は、図２から明らかなように、反応槽１２内の比較的上
層部に設置されたフラットパドル翼のような放射流形翼
１５と、反応槽１２の底面に設置されたバッフル１６と
よばれる邪魔板とから構成されている。反応槽１２内の
フローパターンは、図２に示されるように、反応槽１２
の槽壁側を旋回して緩やかに下降する回転流ａと、反応
槽１２の槽中心部の強力な竜巻状上昇流ｂとから成り、
有効な１ループフローパターンを形成することができ
る。槽中心部の竜巻状上昇流ｂは非常に強力で、粒状担
体２０の均一混合攪拌が可能となる。
の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用する
ことを特徴としている。放射状バッフル付攪拌機１４
は、図２から明らかなように、反応槽１２内の比較的上
層部に設置されたフラットパドル翼のような放射流形翼
１５と、反応槽１２の底面に設置されたバッフル１６と
よばれる邪魔板とから構成されている。反応槽１２内の
フローパターンは、図２に示されるように、反応槽１２
の槽壁側を旋回して緩やかに下降する回転流ａと、反応
槽１２の槽中心部の強力な竜巻状上昇流ｂとから成り、
有効な１ループフローパターンを形成することができ
る。槽中心部の竜巻状上昇流ｂは非常に強力で、粒状担
体２０の均一混合攪拌が可能となる。
【００２６】本実施形態によれば、反応槽１２内のフロ
ーパターンは、槽壁側においては緩やかな下降流ａであ
り、水流が沈降槽１３内に流入しにくいために沈降槽１
３の水の揺れが軽減し、反応槽１３への粒状担体（粒状
螢石）２０の保持性を高めることができる。
ーパターンは、槽壁側においては緩やかな下降流ａであ
り、水流が沈降槽１３内に流入しにくいために沈降槽１
３の水の揺れが軽減し、反応槽１３への粒状担体（粒状
螢石）２０の保持性を高めることができる。
【００２７】
【実施例】以下に図１及び図２に示す実施形態の実施例
を比較例と共に説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
を比較例と共に説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
【００２８】（実施例１）図１に示す連続排水処理装置
によるフッ素、リン酸含有模擬排水の処理例を工程順に
説明する。
によるフッ素、リン酸含有模擬排水の処理例を工程順に
説明する。
【００２９】まず、容積１０Ｌの反応槽１２に粒状担体
として粒状螢石２０（純度９６％、粒度５０〜１５０ｍ
ｅｓｈ）を１Ｌ（約１．７ｋｇ）を投入した。
として粒状螢石２０（純度９６％、粒度５０〜１５０ｍ
ｅｓｈ）を１Ｌ（約１．７ｋｇ）を投入した。
【００３０】粒状螢石２０は反応槽１２内において放射
状バッフル付攪拌機１４によって適当な混合状態を保っ
ている。
状バッフル付攪拌機１４によって適当な混合状態を保っ
ている。
【００３１】次に、フッ化ナトリウム及びリン酸二水素
カリウムを市水に溶解し、フッ素イオン及びリン酸イオ
ン濃度をそれぞれ１００ｍｇ／Ｌ，５０ｍｇ／Ｌとした
模擬排水２１を、１０Ｌ／ｈｒで反応槽１２に連続的に
流入させた。
カリウムを市水に溶解し、フッ素イオン及びリン酸イオ
ン濃度をそれぞれ１００ｍｇ／Ｌ，５０ｍｇ／Ｌとした
模擬排水２１を、１０Ｌ／ｈｒで反応槽１２に連続的に
流入させた。
【００３２】同時に、塩化カルシウム２水和物を市水に
溶解し、カルシウム濃度２０，０００ｍｇ／Ｌとしたカ
ルシウム溶液２２を、反応槽１２に０．３Ｌ／ｈｒで連
続的に流入させた。
溶解し、カルシウム濃度２０，０００ｍｇ／Ｌとしたカ
ルシウム溶液２２を、反応槽１２に０．３Ｌ／ｈｒで連
続的に流入させた。
【００３３】模擬排水２１とカルシウム溶液２２は、反
応槽１２内で混合され、フッ素及びリン酸とカルシウム
が反応して結晶が生成する。
応槽１２内で混合され、フッ素及びリン酸とカルシウム
が反応して結晶が生成する。
【００３４】次に、前記混合物は反応槽１２の下部を経
て、水面積３．３ｃｍ2の沈降槽１３に流入する。この
場合の沈降槽１３内での水上昇速度すなわち水面積負荷
は３０ｍ／ｈｒである。
て、水面積３．３ｃｍ2の沈降槽１３に流入する。この
場合の沈降槽１３内での水上昇速度すなわち水面積負荷
は３０ｍ／ｈｒである。
【００３５】その後、排水は沈降槽１３から越流して凝
集槽１７に流入する。
集槽１７に流入する。
【００３６】凝集槽１７では、高分子凝集剤ダイヤフロ
ック社製ＡＰ−１２０を市水に溶解し、１０００ｍｇ／
Ｌとしたポリマー溶液２３を２０ｍＬ／ｈｒ連続的に添
加し、攪拌機１８で緩やかに攪拌した。コロイドである
反応生成物は、凝集槽１７にてフロック化し、沈降槽１
９内に流入する。
ック社製ＡＰ−１２０を市水に溶解し、１０００ｍｇ／
Ｌとしたポリマー溶液２３を２０ｍＬ／ｈｒ連続的に添
加し、攪拌機１８で緩やかに攪拌した。コロイドである
反応生成物は、凝集槽１７にてフロック化し、沈降槽１
９内に流入する。
【００３７】沈降槽１９内では、フロックが沈降・分離
されることで上澄水、すなわち処理水２４が得られる。
されることで上澄水、すなわち処理水２４が得られる。
【００３８】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．７ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．５ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．７ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．７ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．５ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．７ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
【００３９】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９５Ｌ、２００ｈｒ後：０．９５Ｌ
であった。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９５Ｌ、２００ｈｒ後：０．９５Ｌ
であった。
【００４０】（実施例２）実施例１の連続排水処理装置
において、沈降槽１３の水面積負荷を５０ｍ／ｈｒ（水
面積２ｃｍ2）とし、他の運転条件は実施例１と同様と
して処理を行った。
において、沈降槽１３の水面積負荷を５０ｍ／ｈｒ（水
面積２ｃｍ2）とし、他の運転条件は実施例１と同様と
して処理を行った。
【００４１】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．９ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：３ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．９ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：３ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
【００４２】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９Ｌ、２００ｈｒ後：０．９Ｌであ
った。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９Ｌ、２００ｈｒ後：０．９Ｌであ
った。
【００４３】（比較例１）実施例１の連続排水処理装置
において、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチ
ドパドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除
去し、他の運転条件は実施例１と同様として処理を行っ
た。
において、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチ
ドパドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除
去し、他の運転条件は実施例１と同様として処理を行っ
た。
【００４４】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．４ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：７．９ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：７ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．４ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：７．９ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：７ｍｇ／Ｌであった。
【００４５】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
３の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．８５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．８Ｌ、２００ｈｒ後：０．７５Ｌで
あった。
３の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．８５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．８Ｌ、２００ｈｒ後：０．７５Ｌで
あった。
【００４６】（比較例２）実施例２の連続処理装置にお
いて、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチドパ
ドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除去
し、他の運転条件は実施例２と同様として処理を行っ
た。
いて、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチドパ
ドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除去
し、他の運転条件は実施例２と同様として処理を行っ
た。
【００４７】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２５のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．４ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．９ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：８．５ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：３ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：９ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２５のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．４ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．９ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：８．５ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：３ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：９ｍｇ／Ｌであった。
【００４８】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．６Ｌ、１
００ｈｒ後：０．５Ｌ、２００ｈｒ後：０．５Ｌであっ
た。以上の結果をまとめると、下記の表１のようにな
る。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．６Ｌ、１
００ｈｒ後：０．５Ｌ、２００ｈｒ後：０．５Ｌであっ
た。以上の結果をまとめると、下記の表１のようにな
る。
【００４９】
【表１】 表１より、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈
降槽とを有し、反応槽内に粒状担体を添加して攪拌する
ことで粒状担体を反応槽内に分散させ、粒状担体及び反
応生成物の少なくとも一部を反応槽内に保持するフッ素
含有排水またはリン酸含有排水の処理装置において、反
応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使用する
ことで粒状担体の保持性が高まり、良好な処理性を長時
間維持することができる。
降槽とを有し、反応槽内に粒状担体を添加して攪拌する
ことで粒状担体を反応槽内に分散させ、粒状担体及び反
応生成物の少なくとも一部を反応槽内に保持するフッ素
含有排水またはリン酸含有排水の処理装置において、反
応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使用する
ことで粒状担体の保持性が高まり、良好な処理性を長時
間維持することができる。
【００５０】
【発明の効果】本発明の効果は、槽の下部において互い
に連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応槽内に粒状担
体を添加して攪拌することで粒状担体を反応槽内に分散
させ、粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を反応
槽内に保持するフッ素含有排水またはリン酸含有排水の
処理装置において、反応槽への粒状担体の保持性を高め
ることができることである。
に連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応槽内に粒状担
体を添加して攪拌することで粒状担体を反応槽内に分散
させ、粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を反応
槽内に保持するフッ素含有排水またはリン酸含有排水の
処理装置において、反応槽への粒状担体の保持性を高め
ることができることである。
【００５１】その理由は、反応槽の攪拌機として、例え
ば、放射状バッフル攪拌機を使用することで槽壁側の水
流が緩やかな下降流となり、沈降槽に流れ込む水流が小
さくなるために沈降槽内の水の揺れが軽減されるからで
ある。
ば、放射状バッフル攪拌機を使用することで槽壁側の水
流が緩やかな下降流となり、沈降槽に流れ込む水流が小
さくなるために沈降槽内の水の揺れが軽減されるからで
ある。
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る排水処理装置
の構成略図である。
の構成略図である。
【図２】図２図１に示す排水処理装置の要部の構成略図
である。
である。
【図３】従来の排水処理装置の一例の構成略図である。
１ 反応槽 ２ 沈降槽 ３ 凝集槽 ４ 沈降槽 ５ 粒状担体 ６ 排水 ７ カリシウム溶液 ８ 凝集剤 ９ 処理水 １０ 攪拌機 １１ 攪拌機 １２ 反応槽 １３ 沈降槽 １４ 放射状バッフル付攪拌機 １５ 放射流形翼 １６ バッフル １７ 凝集槽 １８ 攪拌機 １９ 沈降槽 ２０ 粒状螢石 ２１ 模擬排水 ２２ カリシウム溶液 ２３ ポリマー溶液 ２４ 処理水
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年３月１３日（２０００．３．１
３）
３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 排水処理装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
から排出されるフッ素含有排水、またはリン酸含有排水
の処理装置に関する。
から排出されるフッ素含有排水、またはリン酸含有排水
の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フッ素は半導体製造業や化学工業などの
分野で大量に使用されている物質である。しかし、人体
に対しては有害な物質であり、水質汚濁防止法によって
放流基準が１５ｍｇ／Ｌ以下と定められており、また多
くの自治体ではさらに厳しい上乗せ基準が設けられてい
る。
分野で大量に使用されている物質である。しかし、人体
に対しては有害な物質であり、水質汚濁防止法によって
放流基準が１５ｍｇ／Ｌ以下と定められており、また多
くの自治体ではさらに厳しい上乗せ基準が設けられてい
る。
【０００３】また、リン酸イオンもエッチング剤として
半導体製造業で使用される物質である。近年閉鎖系水域
における富栄養化が問題となっており、リンの排出削減
の要求は厳しさを増しているのが現状である。
半導体製造業で使用される物質である。近年閉鎖系水域
における富栄養化が問題となっており、リンの排出削減
の要求は厳しさを増しているのが現状である。
【０００４】ところで、排水中のフッ素を処理する方法
としては、一般的にフッ素含有排水にカルシウム化合物
等を加え、フッ素を難溶性のフッ化カルシウムとして固
液分離して処理する方法が知られている。
としては、一般的にフッ素含有排水にカルシウム化合物
等を加え、フッ素を難溶性のフッ化カルシウムとして固
液分離して処理する方法が知られている。
【０００５】上記の方法では、処理水のフッ素濃度をお
およそ２０ｍｇ／Ｌ程度とするのが限界であり、さらに
処理性を向上させる必要がある場合には、後段にアルミ
ニウム塩等のフッ素吸着能力を利用した処理システムを
設置するのが一般的である。
およそ２０ｍｇ／Ｌ程度とするのが限界であり、さらに
処理性を向上させる必要がある場合には、後段にアルミ
ニウム塩等のフッ素吸着能力を利用した処理システムを
設置するのが一般的である。
【０００６】しかしながら、アルミニウム塩等を用いた
処理設備を設置する場合、その敷地が必要であるばかり
でなく、脱水性の悪いスラッジが大量に発生し、また多
量の薬剤を必要とする点が課題であった。
処理設備を設置する場合、その敷地が必要であるばかり
でなく、脱水性の悪いスラッジが大量に発生し、また多
量の薬剤を必要とする点が課題であった。
【０００７】上記課題を解決する方法として、槽の下部
において互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応
槽内には粒状螢石を添加して適当な流動状態を保ち、沈
降槽の効果によって粒状螢石及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽内に保持するフッ素含有排水の処理方法
が本願出願人（日本電気環境エンジニアリング株式会
社）により提案されている（特願平１０−２００７８２
号参照）。
において互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応
槽内には粒状螢石を添加して適当な流動状態を保ち、沈
降槽の効果によって粒状螢石及び反応生成物の少なくと
も一部を反応槽内に保持するフッ素含有排水の処理方法
が本願出願人（日本電気環境エンジニアリング株式会
社）により提案されている（特願平１０−２００７８２
号参照）。
【０００８】この処理技術によるフロー図の一例を図３
に示す。
に示す。
【０００９】図３において、反応槽１内には粒状担体５
として粒状螢石が入れてあり、強力な攪拌によって適当
な流動状態を保っている。
として粒状螢石が入れてあり、強力な攪拌によって適当
な流動状態を保っている。
【００１０】フッ素含有排水６とカルシウム化合物７は
反応槽１内に連続的に供給され、適正なｐＨに調整しな
がら攪拌される。反応槽１内でフッ素とカルシウムが反
応し、フッ化カルシウムの結晶が生成すると同時に、粒
状螢石５を核とした結晶成長効果によりフッ素の処理効
率を増大させることができる。
反応槽１内に連続的に供給され、適正なｐＨに調整しな
がら攪拌される。反応槽１内でフッ素とカルシウムが反
応し、フッ化カルシウムの結晶が生成すると同時に、粒
状螢石５を核とした結晶成長効果によりフッ素の処理効
率を増大させることができる。
【００１１】反応槽１内に流動している粒状螢石５は、
反応槽１と下部が接続した沈降槽２の水流が上昇流とな
るが、沈降槽２内でそれ自身の重量により沈降し、反応
槽１内に返還されるためにおおよそ保持することが可能
である。従って粒状螢石５を反応槽１に連続的に供給す
る必要はない。
反応槽１と下部が接続した沈降槽２の水流が上昇流とな
るが、沈降槽２内でそれ自身の重量により沈降し、反応
槽１内に返還されるためにおおよそ保持することが可能
である。従って粒状螢石５を反応槽１に連続的に供給す
る必要はない。
【００１２】沈降槽２を経た後、凝集槽３内において、
凝集剤８を添加してフッ化カルシウム微粒子を凝集させ
てフロック化（粗大化）し、さらに沈降槽４でフロック
を沈降分離することで沈降槽上澄水、すなわち処理水９
が得られる。
凝集剤８を添加してフッ化カルシウム微粒子を凝集させ
てフロック化（粗大化）し、さらに沈降槽４でフロック
を沈降分離することで沈降槽上澄水、すなわち処理水９
が得られる。
【００１３】これら処理工程を経ることで処理水９のフ
ッ素濃度は５ｍｇ／Ｌ程度以下となり、アルミニウム塩
等を用いた処理工程を設置することなくフッ素を高度処
理することが可能となる。
ッ素濃度は５ｍｇ／Ｌ程度以下となり、アルミニウム塩
等を用いた処理工程を設置することなくフッ素を高度処
理することが可能となる。
【００１４】また、リン酸含有排水もフッ素と同様にカ
ルシウム塩を添加し、リン酸とカルシウムの化合物を生
成させることで処理が可能である。この処理反応もフッ
素とカルシウムの反応と同様に結晶化反応であるため
に、図３に示した処理装置によって処理効率を増大させ
ることが可能である。
ルシウム塩を添加し、リン酸とカルシウムの化合物を生
成させることで処理が可能である。この処理反応もフッ
素とカルシウムの反応と同様に結晶化反応であるため
に、図３に示した処理装置によって処理効率を増大させ
ることが可能である。
【００１５】上述のように、フッ素・リン酸共に同じカ
ルシウム薬剤を使用した凝集沈殿処理が可能であるとい
う理由から、半導体製造工場ではフッ酸、リン酸の両方
を含む酸系排水として受け入れ、一つの処理設備を使用
してフッ素・リン酸の両方を処理することが多い。
ルシウム薬剤を使用した凝集沈殿処理が可能であるとい
う理由から、半導体製造工場ではフッ酸、リン酸の両方
を含む酸系排水として受け入れ、一つの処理設備を使用
してフッ素・リン酸の両方を処理することが多い。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】互いに槽の下部を連通
させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状螢石を添加してフ
ッ素やリン酸を処理する図３の処理装置において、反応
槽１内の攪拌は粒状螢石５を均一に混合するために比較
的強い攪拌を行う必要がある。しかし、沈降槽２が反応
槽１と連通しているために、強い攪拌を行うことで沈降
槽２の水に大きい揺れが生じ、揺れによって粒状螢石５
の沈降性が悪化し、流出する粒状螢石量が増加するとい
う問題があった。また、反応槽１の攪拌機として一般的
な攪拌機１０を使用した場合のフローパターンは図３に
示されるように、槽壁側では上昇流となるために連通し
た槽下部を通して沈降槽２内に水が流入しやすく、揺れ
が大きくなりやすいという問題点があった。また、沈降
性を増すために沈降槽２の水面積（表面積）を大きく
し、沈降槽２内の水上昇速度すなわち水面積負荷を小さ
くした場合には所要敷地が増大するという問題点があっ
た。
させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状螢石を添加してフ
ッ素やリン酸を処理する図３の処理装置において、反応
槽１内の攪拌は粒状螢石５を均一に混合するために比較
的強い攪拌を行う必要がある。しかし、沈降槽２が反応
槽１と連通しているために、強い攪拌を行うことで沈降
槽２の水に大きい揺れが生じ、揺れによって粒状螢石５
の沈降性が悪化し、流出する粒状螢石量が増加するとい
う問題があった。また、反応槽１の攪拌機として一般的
な攪拌機１０を使用した場合のフローパターンは図３に
示されるように、槽壁側では上昇流となるために連通し
た槽下部を通して沈降槽２内に水が流入しやすく、揺れ
が大きくなりやすいという問題点があった。また、沈降
性を増すために沈降槽２の水面積（表面積）を大きく
し、沈降槽２内の水上昇速度すなわち水面積負荷を小さ
くした場合には所要敷地が増大するという問題点があっ
た。
【００１７】それ故に、本発明の課題は、互いに槽の下
部を連通させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状螢石を添
加してフッ素やリン酸を処理する装置において、粒状螢
石を反応槽内に均一に分散させ、かつ沈降槽の水の揺れ
を軽減して粒状螢石の反応槽への保持性を高めた排水処
理装置を提供することにある。
部を連通させた反応槽と沈降槽とを有し、粒状螢石を添
加してフッ素やリン酸を処理する装置において、粒状螢
石を反応槽内に均一に分散させ、かつ沈降槽の水の揺れ
を軽減して粒状螢石の反応槽への保持性を高めた排水処
理装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明によ
れば、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈降槽
とを有し、前記反応槽内に粒状螢石を添加して攪拌する
ことで前記粒状螢石を前記反応槽内に分散させると共に
前記反応槽内にカルシウム化合物を連続的に供給し、前
記カルシウム化合物の反応生成物の少なくとも一部及び
前記粒状螢石を前記反応槽内に保持することにより、フ
ッ素含有排水とリン酸含有排水の内の少なくとも一方の
排水を処理する排水処理装置であって、前記反応槽内に
おけるフローパターンを、少なくとも前記沈降槽に隣接
する槽壁側においては下降流と成るようにしたことを特
徴とする排水処理装置が得られる。
れば、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈降槽
とを有し、前記反応槽内に粒状螢石を添加して攪拌する
ことで前記粒状螢石を前記反応槽内に分散させると共に
前記反応槽内にカルシウム化合物を連続的に供給し、前
記カルシウム化合物の反応生成物の少なくとも一部及び
前記粒状螢石を前記反応槽内に保持することにより、フ
ッ素含有排水とリン酸含有排水の内の少なくとも一方の
排水を処理する排水処理装置であって、前記反応槽内に
おけるフローパターンを、少なくとも前記沈降槽に隣接
する槽壁側においては下降流と成るようにしたことを特
徴とする排水処理装置が得られる。
【００１９】請求項２記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽内におけるフローパタ
ーンを、槽壁側においては下降流と成り、槽中央部にお
いては上昇流と成るようにしたことを特徴とする排水処
理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽内におけるフローパタ
ーンを、槽壁側においては下降流と成り、槽中央部にお
いては上昇流と成るようにしたことを特徴とする排水処
理装置が得られる。
【００２０】請求項３記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽内におけるフローパタ
ーンを、槽壁側においては下降流とし、槽中央部におい
ては上昇流とする流れ制御手段を具備したことを特徴と
する排水処理装置が得られる。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽内におけるフローパタ
ーンを、槽壁側においては下降流とし、槽中央部におい
ては上昇流とする流れ制御手段を具備したことを特徴と
する排水処理装置が得られる。
【００２１】請求項４記載の発明によれば、槽の下部に
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽の攪拌機として放射状
バッフル付攪拌機が用いられ、該放射状バッフル付攪拌
機は、前記反応槽内の上層部に設置された放射流形翼
と、前記反応槽内の底面に設置されたバッフルとから構
成されていることを特徴とする排水処理装置が得られ
る。
おいて互いに連通した反応槽と沈降槽とを有し、前記反
応槽内に粒状螢石を添加して攪拌することで前記粒状螢
石を前記反応槽内に分散させると共に前記反応槽内にカ
ルシウム化合物を連続的に供給し、前記カルシウム化合
物の反応生成物の少なくとも一部及び前記粒状螢石を前
記反応槽内に保持することにより、フッ素含有排水とリ
ン酸含有排水の内の少なくとも一方の排水を処理する排
水処理装置であって、前記反応槽の攪拌機として放射状
バッフル付攪拌機が用いられ、該放射状バッフル付攪拌
機は、前記反応槽内の上層部に設置された放射流形翼
と、前記反応槽内の底面に設置されたバッフルとから構
成されていることを特徴とする排水処理装置が得られ
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の一実施形態に係る排水処理
装置の構成略図、図２は図１に示す排水処理装置の要部
の構成略図である。
て説明する。図１は本発明の一実施形態に係る排水処理
装置の構成略図、図２は図１に示す排水処理装置の要部
の構成略図である。
【００２３】本実施形態の排水処理装置は、反応槽１２
の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用する
ことを特徴としている。放射状バッフル付攪拌機１４
は、図２から明らかなように、反応槽１２内の比較的上
層部に設置されたフラットパドル翼のような放射流形翼
１５と、反応槽１２の底面に設置されたバッフル１６と
よばれる邪魔板とから構成されている。反応槽１２内の
フローパターンは、図２に示されるように、反応槽１２
の槽壁側を旋回して緩やかに下降する回転流ａと、反応
槽１２の槽中心部の強力な竜巻状上昇流ｂとから成り、
有効な１ループフローパターンを形成することができ
る。槽中心部の竜巻状上昇流ｂは非常に強力で、粒状螢
石２０の均一混合攪拌が可能となる。
の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機１４を使用する
ことを特徴としている。放射状バッフル付攪拌機１４
は、図２から明らかなように、反応槽１２内の比較的上
層部に設置されたフラットパドル翼のような放射流形翼
１５と、反応槽１２の底面に設置されたバッフル１６と
よばれる邪魔板とから構成されている。反応槽１２内の
フローパターンは、図２に示されるように、反応槽１２
の槽壁側を旋回して緩やかに下降する回転流ａと、反応
槽１２の槽中心部の強力な竜巻状上昇流ｂとから成り、
有効な１ループフローパターンを形成することができ
る。槽中心部の竜巻状上昇流ｂは非常に強力で、粒状螢
石２０の均一混合攪拌が可能となる。
【００２４】本実施形態によれば、反応槽１２内のフロ
ーパターンは、槽壁側においては緩やかな下降流ａであ
り、水流が沈降槽１３内に流入しにくいために沈降槽１
３の水の揺れが軽減し、反応槽１３への粒状螢石２０の
保持性を高めることができる。
ーパターンは、槽壁側においては緩やかな下降流ａであ
り、水流が沈降槽１３内に流入しにくいために沈降槽１
３の水の揺れが軽減し、反応槽１３への粒状螢石２０の
保持性を高めることができる。
【００２５】
【実施例】以下に図１及び図２に示す実施形態の実施例
を比較例と共に説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
を比較例と共に説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
【００２６】（実施例１）図１に示す連続排水処理装置
によるフッ素、リン酸含有模擬排水の処理例を工程順に
説明する。
によるフッ素、リン酸含有模擬排水の処理例を工程順に
説明する。
【００２７】まず、容積１０Ｌの反応槽１２に粒状担体
として粒状螢石２０（純度９６％、粒度５０〜１５０ｍ
ｅｓｈ）を１Ｌ（約１．７ｋｇ）を投入した。
として粒状螢石２０（純度９６％、粒度５０〜１５０ｍ
ｅｓｈ）を１Ｌ（約１．７ｋｇ）を投入した。
【００２８】粒状螢石２０は反応槽１２内において放射
状バッフル付攪拌機１４によって適当な混合状態を保っ
ている。
状バッフル付攪拌機１４によって適当な混合状態を保っ
ている。
【００２９】次に、フッ化ナトリウム及びリン酸二水素
カリウムを市水に溶解し、フッ素イオン及びリン酸イオ
ン濃度をそれぞれ１００ｍｇ／Ｌ，５０ｍｇ／Ｌとした
模擬排水２１を、１０Ｌ／ｈｒで反応槽１２に連続的に
流入させた。
カリウムを市水に溶解し、フッ素イオン及びリン酸イオ
ン濃度をそれぞれ１００ｍｇ／Ｌ，５０ｍｇ／Ｌとした
模擬排水２１を、１０Ｌ／ｈｒで反応槽１２に連続的に
流入させた。
【００３０】同時に、塩化カルシウム２水和物を市水に
溶解し、カルシウム濃度２０，０００ｍｇ／Ｌとしたカ
ルシウム溶液２２を、反応槽１２に０．３Ｌ／ｈｒで連
続的に流入させた。
溶解し、カルシウム濃度２０，０００ｍｇ／Ｌとしたカ
ルシウム溶液２２を、反応槽１２に０．３Ｌ／ｈｒで連
続的に流入させた。
【００３１】模擬排水２１とカルシウム溶液２２は、反
応槽１２内で混合され、フッ素及びリン酸とカルシウム
が反応して結晶が生成する。
応槽１２内で混合され、フッ素及びリン酸とカルシウム
が反応して結晶が生成する。
【００３２】次に、前記混合物は反応槽１２の下部を経
て、水面積３．３ｃｍ2の沈降槽１３に流入する。この
場合の沈降槽１３内での水上昇速度すなわち水面積負荷
は３０ｍ／ｈｒである。
て、水面積３．３ｃｍ2の沈降槽１３に流入する。この
場合の沈降槽１３内での水上昇速度すなわち水面積負荷
は３０ｍ／ｈｒである。
【００３３】その後、排水は沈降槽１３から越流して凝
集槽１７に流入する。
集槽１７に流入する。
【００３４】凝集槽１７では、高分子凝集剤ダイヤフロ
ック社製ＡＰ−１２０を市水に溶解し、１０００ｍｇ／
Ｌとしたポリマー溶液２３を２０ｍＬ／ｈｒ連続的に添
加し、攪拌機１８で緩やかに攪拌した。コロイドである
反応生成物は、凝集槽１７にてフロック化し、沈降槽１
９内に流入する。
ック社製ＡＰ−１２０を市水に溶解し、１０００ｍｇ／
Ｌとしたポリマー溶液２３を２０ｍＬ／ｈｒ連続的に添
加し、攪拌機１８で緩やかに攪拌した。コロイドである
反応生成物は、凝集槽１７にてフロック化し、沈降槽１
９内に流入する。
【００３５】沈降槽１９内では、フロックが沈降・分離
されることで上澄水、すなわち処理水２４が得られる。
されることで上澄水、すなわち処理水２４が得られる。
【００３６】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．７ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．５ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．７ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．７ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．５ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．７ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
【００３７】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９５Ｌ、２００ｈｒ後：０．９５Ｌ
であった。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９５Ｌ、２００ｈｒ後：０．９５Ｌ
であった。
【００３８】（実施例２）実施例１の連続排水処理装置
において、沈降槽１３の水面積負荷を５０ｍ／ｈｒ（水
面積２ｃｍ2）とし、他の運転条件は実施例１と同様と
して処理を行った。
において、沈降槽１３の水面積負荷を５０ｍ／ｈｒ（水
面積２ｃｍ2）とし、他の運転条件は実施例１と同様と
して処理を行った。
【００３９】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．９ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：３ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
４．９ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：４．８ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：３ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：２ｍｇ／Ｌであった。
【００４０】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９Ｌ、２００ｈｒ後：０．９Ｌであ
った。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．９５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．９Ｌ、２００ｈｒ後：０．９Ｌであ
った。
【００４１】（比較例１）実施例１の連続排水処理装置
において、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチ
ドパドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除
去し、他の運転条件は実施例１と同様として処理を行っ
た。
において、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチ
ドパドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除
去し、他の運転条件は実施例１と同様として処理を行っ
た。
【００４２】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．４ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：７．９ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：７ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２４のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．４ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：７．９ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：２ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：７ｍｇ／Ｌであった。
【００４３】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
３の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．８５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．８Ｌ、２００ｈｒ後：０．７５Ｌで
あった。
３の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．８５Ｌ、
１００ｈｒ後：０．８Ｌ、２００ｈｒ後：０．７５Ｌで
あった。
【００４４】（比較例２）実施例２の連続処理装置にお
いて、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチドパ
ドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除去
し、他の運転条件は実施例２と同様として処理を行っ
た。
いて、反応槽１２の攪拌機１４のインペラをピッチドパ
ドル型とし、反応槽１２の底部のバッフル１６を除去
し、他の運転条件は実施例２と同様として処理を行っ
た。
【００４５】運転開始後５０ｈｒ、１００ｈｒ、２００
ｈｒの処理水２５のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．４ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．９ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：８．５ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：３ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：９ｍｇ／Ｌであった。
ｈｒの処理水２５のフッ素イオン濃度、リン酸イオン濃
度を測定したところ、フッ素イオン濃度が５０ｈｒ後：
５．４ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：６．９ｍｇ／Ｌ、２０
０ｈｒ後：８．５ｍｇ／Ｌ、リン酸イオン濃度が５０ｈ
ｒ後：３ｍｇ／Ｌ、１００ｈｒ後：４ｍｇ／Ｌ、２００
ｈｒ後：９ｍｇ／Ｌであった。
【００４６】また、反応槽１２内に残存した粒状螢石２
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．６Ｌ、１
００ｈｒ後：０．５Ｌ、２００ｈｒ後：０．５Ｌであっ
た。以上の結果をまとめると、下記の表１のようにな
る。
０の体積を測定したところ、５０ｈｒ後：０．６Ｌ、１
００ｈｒ後：０．５Ｌ、２００ｈｒ後：０．５Ｌであっ
た。以上の結果をまとめると、下記の表１のようにな
る。
【００４７】
【表１】 表１より、槽の下部において互いに連通した反応槽と沈
降槽とを有し、反応槽内に粒状螢石を添加して攪拌する
ことで粒状螢石を反応槽内に分散させ、粒状螢石及び反
応生成物の少なくとも一部を反応槽内に保持するフッ素
含有排水またはリン酸含有排水の処理装置において、反
応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使用する
ことで粒状螢石の保持性が高まり、良好な処理性を長時
間維持することができる。
降槽とを有し、反応槽内に粒状螢石を添加して攪拌する
ことで粒状螢石を反応槽内に分散させ、粒状螢石及び反
応生成物の少なくとも一部を反応槽内に保持するフッ素
含有排水またはリン酸含有排水の処理装置において、反
応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪拌機を使用する
ことで粒状螢石の保持性が高まり、良好な処理性を長時
間維持することができる。
【００４８】
【発明の効果】本発明の効果は、槽の下部において互い
に連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応槽内に粒状螢
石を添加して攪拌することで粒状螢石を反応槽内に分散
させ、粒状螢石及び反応生成物の少なくとも一部を反応
槽内に保持するフッ素含有排水やリン酸含有排水の処理
装置において、反応槽への粒状螢石の保持性を高めるこ
とができることである。
に連通した反応槽と沈降槽とを有し、反応槽内に粒状螢
石を添加して攪拌することで粒状螢石を反応槽内に分散
させ、粒状螢石及び反応生成物の少なくとも一部を反応
槽内に保持するフッ素含有排水やリン酸含有排水の処理
装置において、反応槽への粒状螢石の保持性を高めるこ
とができることである。
【００４９】その理由は、反応槽の攪拌機として、例え
ば、放射状バッフル攪拌機を使用することで槽壁側の水
流が緩やかな下降流となり、沈降槽に流れ込む水流が小
さくなるために沈降槽内の水の揺れが軽減されるからで
ある。
ば、放射状バッフル攪拌機を使用することで槽壁側の水
流が緩やかな下降流となり、沈降槽に流れ込む水流が小
さくなるために沈降槽内の水の揺れが軽減されるからで
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る排水処理装置
の構成略図である。
の構成略図である。
【図２】図２図１に示す排水処理装置の要部の構成略図
である。
である。
【図３】従来の排水処理装置の一例の構成略図である。
【符号の説明】 １ 反応槽 ２ 沈降槽 ３ 凝集槽 ４ 沈降槽 ５ 粒状担体 ６ 排水 ７ カリシウム溶液 ８ 凝集剤 ９ 処理水 １０ 攪拌機 １１ 攪拌機 １２ 反応槽 １３ 沈降槽 １４ 放射状バッフル付攪拌機 １５ 放射流形翼 １６ バッフル １７ 凝集槽 １８ 攪拌機 １９ 沈降槽 ２０ 粒状螢石 ２１ 模擬排水 ２２ カリシウム溶液 ２３ ポリマー溶液 ２４ 処理水
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 憲一 神奈川県川崎市中原区下沼部1933番地10 日本電気環境エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 西岡 茂 大阪府守口市東光町二丁目18番８号 佐竹 化学機械工業株式会社内 (72)発明者 加藤 好一 大阪府守口市東光町二丁目18番８号 佐竹 化学機械工業株式会社内 Ｆターム(参考） 4D038 AA08 AB41 AB45 AB50 AB54 BA04 BB18 4G035 AB46 AE13 4G078 AA03 AB11 BA05 CA01 CA08 CA12 DA01 EA10
Claims (6)
- 【請求項１】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排
水の排水処理装置において、前記反応槽内におけるフロ
ーパターンを、少なくとも前記沈降槽に隣接する槽壁側
においては下降流と成るようにしたことを特徴とする排
水処理装置。 - 【請求項２】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排
水の排水処理装置において、前記反応槽内におけるフロ
ーパターンを、槽壁側においては下降流と成り、槽中央
部においては上昇流と成るようにしたことを特徴とする
排水処理装置。 - 【請求項３】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排
水の排水処理装置において、前記反応槽内におけるフロ
ーパターンを、槽壁側においては下降流とし、槽中央部
においては上昇流とする流れ制御手段を具備したことを
特徴とする排水処理装置。 - 【請求項４】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するフッ素含有排水又はリン酸含有排
水の排水処理装置において、前記反応槽の攪拌機として
放射状バッフル付攪拌機を使用することを特徴とする排
水処理装置。 - 【請求項５】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するフッ素含有排水の排水処理装置に
おいて、前記反応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪
拌機を使用することを特徴とする排水処理装置。 - 【請求項６】 槽の下部において互いに連通した反応槽
と沈降槽とを有し、前記反応槽内に粒状担体を添加して
攪拌することで前記粒状担体を前記反応槽内に分散さ
せ、前記粒状担体及び反応生成物の少なくとも一部を前
記反応槽内に保持するリン酸含有排水の排水処理装置に
おいて、前記反応槽の攪拌機として放射状バッフル付攪
拌機を使用することを特徴とする排水処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050726A JP2000246269A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 排水処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050726A JP2000246269A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 排水処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000246269A true JP2000246269A (ja) | 2000-09-12 |
Family
ID=12866876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11050726A Pending JP2000246269A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 排水処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000246269A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008073589A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Japan Organo Co Ltd | フッ素晶析技術 |
| JP2012030155A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Satake Chemical Equipment Mfg Ltd | 排水処理装置及び排水処理方法 |
| CN103058422A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-04-24 | 上海班德环保设备有限公司 | 一种萤石矿浮选废水处理工艺 |
| JP2019177358A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | アクアス株式会社 | 撹拌装置 |
| JP2020157259A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 住友重機械エンバイロメント株式会社 | 水処理システム、整流部材及び水処理システムの更新方法 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11050726A patent/JP2000246269A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008073589A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Japan Organo Co Ltd | フッ素晶析技術 |
| JP4565575B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2010-10-20 | オルガノ株式会社 | フッ素晶析技術 |
| JP2012030155A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Satake Chemical Equipment Mfg Ltd | 排水処理装置及び排水処理方法 |
| CN103058422A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-04-24 | 上海班德环保设备有限公司 | 一种萤石矿浮选废水处理工艺 |
| JP2019177358A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | アクアス株式会社 | 撹拌装置 |
| JP7097733B2 (ja) | 2018-03-30 | 2022-07-08 | アクアス株式会社 | 撹拌装置 |
| JP2020157259A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 住友重機械エンバイロメント株式会社 | 水処理システム、整流部材及び水処理システムの更新方法 |
| JP7242374B2 (ja) | 2019-03-27 | 2023-03-20 | 住友重機械エンバイロメント株式会社 | 水処理システム、整流部材及び水処理システムの更新方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2364628T3 (es) | Procedimiento y aparato para tratamiento de agua y agua residual. | |
| JP3169899B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法とその装置 | |
| JP4297615B2 (ja) | 高速凝集沈澱式汚廃水処理方法 | |
| US4029575A (en) | Phosphorus removal from waste water | |
| CN105366839B (zh) | 同时去除脱硫废水中高浓度的ss、氟化物、硫酸盐、砷酸盐和cod的处理装置及处理方法 | |
| CN109293163A (zh) | 一种复合除磷剂及使用方法 | |
| TW200906736A (en) | Fluorine-containing wastewater treating apparatus and treating method | |
| KR19990029925A (ko) | 과산화수소, 인, 불소 및 유기물을 고효율로 처리할 수 있는 폐수 처리 방법 및 장치 | |
| CN106517591A (zh) | 一种反渗透浓水处理系统以及处理方法 | |
| JP5439439B2 (ja) | 汚泥処理装置、リンの製造方法および汚泥処理方法 | |
| US5120447A (en) | Method for removing heavy metals from wastewater | |
| JP2000246269A (ja) | 排水処理装置 | |
| JPS63200888A (ja) | 水中のリン除去方法 | |
| JP3362276B2 (ja) | 廃水処理装置 | |
| JP2006007086A (ja) | 凝集沈殿水処理方法及び装置 | |
| JP3933230B2 (ja) | 窒素含有有機性廃水の処理方法 | |
| JP2002336875A (ja) | 水中のリンの回収方法及び装置 | |
| JP4374825B2 (ja) | 晶析脱リン方法 | |
| JPH047095A (ja) | 活性汚泥処理における曝気槽の均一混合方法 | |
| JP2003245504A (ja) | 排水の処理方法及びその装置 | |
| JP3592175B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
| JPH11276807A (ja) | 凝集剤及びこれを用いる原水の凝集沈殿装置 | |
| JP2006255624A (ja) | 粉体の凝集剤を用いた排水処理システム | |
| CN218860421U (zh) | 一种基于自诱导结晶的固液分离一体化装置 | |
| JP2000334209A (ja) | 砂添加凝集沈澱装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020227 |