JP2000246041A - Ｓｆ６ガス回収装置 - Google Patents
Ｓｆ６ガス回収装置Info
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- JP2000246041A JP2000246041A JP11322422A JP32242299A JP2000246041A JP 2000246041 A JP2000246041 A JP 2000246041A JP 11322422 A JP11322422 A JP 11322422A JP 32242299 A JP32242299 A JP 32242299A JP 2000246041 A JP2000246041 A JP 2000246041A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被回収容器よりＳＦ６ガスを大気中に漏出す
ることなくほぼ全量回収する。 【解決手段】 被回収容器内のＳＦ６ガスをガス一定圧
化部によりガス圧を一定にしてＰＳＡガス分離部に送り
ＳＦ６に混入する窒素ガス他を分離し、ＳＦ６ガスを濃
縮し、濃縮したガスを加圧冷却して液体として回収する
ものである。ＰＳＡガス分離部で均圧化法により排出ガ
ス中に含まれるＳＦ６ガスの混入を無くしている。
ることなくほぼ全量回収する。 【解決手段】 被回収容器内のＳＦ６ガスをガス一定圧
化部によりガス圧を一定にしてＰＳＡガス分離部に送り
ＳＦ６に混入する窒素ガス他を分離し、ＳＦ６ガスを濃
縮し、濃縮したガスを加圧冷却して液体として回収する
ものである。ＰＳＡガス分離部で均圧化法により排出ガ
ス中に含まれるＳＦ６ガスの混入を無くしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明はＳＦ６ガス（６フ
ッ化硫黄ガス，以下同じ）の回収に関する。
ッ化硫黄ガス，以下同じ）の回収に関する。
【０００２】
【従来の技術】 ＳＦ６ガスは高電圧電力用トランスや
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性，電気的安
定性，高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化に役立ち、
都市の変電所の小容積化でその効果は大いに役立ってい
る。それ等に用いられている機器の保守，修理のときは
これ等のガスを抜出さなければならないが従来はこれ等
のガスによる人体等への害は少ないので大気中に放出し
ていた。しかし、地球温暖化防止による炭酸ガス等の放
出が規制されるようになってきた１９９７年世界環境会
議が京都で開かれ、その結果炭酸ガスの２４０００倍の
温暖化係数を持つＳＦ６ガスもその放出を厳しく規制さ
れるようになった。 従来、加圧圧縮冷却による液化回
収の方法はあったが、被回収容器に残留するガスや混合
ガスを厳密に分離した後に放出するようなことはされて
いなかった。
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性，電気的安
定性，高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化に役立ち、
都市の変電所の小容積化でその効果は大いに役立ってい
る。それ等に用いられている機器の保守，修理のときは
これ等のガスを抜出さなければならないが従来はこれ等
のガスによる人体等への害は少ないので大気中に放出し
ていた。しかし、地球温暖化防止による炭酸ガス等の放
出が規制されるようになってきた１９９７年世界環境会
議が京都で開かれ、その結果炭酸ガスの２４０００倍の
温暖化係数を持つＳＦ６ガスもその放出を厳しく規制さ
れるようになった。 従来、加圧圧縮冷却による液化回
収の方法はあったが、被回収容器に残留するガスや混合
ガスを厳密に分離した後に放出するようなことはされて
いなかった。
【０００３】 従来、ＳＦ６ガスの分解したガスである
ＳＦ４や酸化硫黄，フッ化酸化硫黄は、使用機器の特性
劣化を防止するためにそれらのガスの除去は行っていた
が回収時の分離精製はなかった。トランスや遮断器に充
填されるＳＦ６ガスはその純度が１００％のものや窒素
ガスにより適度にうすめて充填されるものがある。これ
等の装置からのガスを、ＳＦ６ガスのみを分離しながら
回収するに当たってこの濃度を考慮するとともに装置の
故障による空気の混入もあるので、これ等を考えたガス
の回収が必要となる。
ＳＦ４や酸化硫黄，フッ化酸化硫黄は、使用機器の特性
劣化を防止するためにそれらのガスの除去は行っていた
が回収時の分離精製はなかった。トランスや遮断器に充
填されるＳＦ６ガスはその純度が１００％のものや窒素
ガスにより適度にうすめて充填されるものがある。これ
等の装置からのガスを、ＳＦ６ガスのみを分離しながら
回収するに当たってこの濃度を考慮するとともに装置の
故障による空気の混入もあるので、これ等を考えたガス
の回収が必要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 被回収容器よりＳＦ
６ガスを大気中に漏出することなく回収すること。
６ガスを大気中に漏出することなく回収すること。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は上記課題
を解決するために、臨界温度４５．６４℃，臨界圧力
３.７６ＭＰａ・Ｇ，融点−５０．８℃，昇華点−６
３．８度のＳＦ６ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にＳＦ６ガスが高圧（約０．７ＭＰａ・Ｇ）で充
填されている。
を解決するために、臨界温度４５．６４℃，臨界圧力
３.７６ＭＰａ・Ｇ，融点−５０．８℃，昇華点−６
３．８度のＳＦ６ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にＳＦ６ガスが高圧（約０．７ＭＰａ・Ｇ）で充
填されている。
【０００６】 この被回収ガスはＳＦ６ガス１００％の
ものと窒素ガス等の混入ガスによりうすめられている場
合がある。この混入ガスが存在していてもこれをＳＦ６
ガスと分離するガス分離部を設ける。ガス分離部は特定
ガスを吸着する吸着剤を用いたＰＳＡ法（Ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）により行
う。特定ガスを含む混合ガスを、該吸着剤を充填した吸
着筒に圧力を加えながら送り込むとこの吸着剤に特定ガ
スが吸着して除かれ、吸着されないガスが吸着筒の他端
から分離されて取り出される。この工程を吸着工程とい
う。そして吸着剤に吸着ガスが吸着されていっぱいにな
る少し前に混合（原料）ガスの送入を止め、その吸着筒
の入口より吸着筒の圧力を減じてやると、吸着剤に吸着
した特定ガスが吸着剤より離脱して排出され、吸着剤の
吸着能力が再生する。これを再生工程という。この吸着
工程と再生工程を繰り返しながら、すなわち吸着筒に圧
力を加えたり、減じたりしながらガスを分離するのでＰ
ｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ
（圧力変動吸着）法という。
ものと窒素ガス等の混入ガスによりうすめられている場
合がある。この混入ガスが存在していてもこれをＳＦ６
ガスと分離するガス分離部を設ける。ガス分離部は特定
ガスを吸着する吸着剤を用いたＰＳＡ法（Ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）により行
う。特定ガスを含む混合ガスを、該吸着剤を充填した吸
着筒に圧力を加えながら送り込むとこの吸着剤に特定ガ
スが吸着して除かれ、吸着されないガスが吸着筒の他端
から分離されて取り出される。この工程を吸着工程とい
う。そして吸着剤に吸着ガスが吸着されていっぱいにな
る少し前に混合（原料）ガスの送入を止め、その吸着筒
の入口より吸着筒の圧力を減じてやると、吸着剤に吸着
した特定ガスが吸着剤より離脱して排出され、吸着剤の
吸着能力が再生する。これを再生工程という。この吸着
工程と再生工程を繰り返しながら、すなわち吸着筒に圧
力を加えたり、減じたりしながらガスを分離するのでＰ
ｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ
（圧力変動吸着）法という。
【０００７】 そして吸着剤には対象ガスであるＳＦ６
ガスを吸着して、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象
ガスであるＳＦ６ガスを吸着せず混合している他のガス
を吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤によ
り、対象ガスを取り出す方法が少し異なる。例えばＳＦ
６ガスを対象ガスとし、前者は活性炭に分子篩機能を持
たせた分子篩炭がある。後者にはゼオライトの５Ａタイ
プ，４Ａタイプ他がある。前者の場合は対象ガスである
ＳＦ６ガスが吸着剤に吸着し、分離されているのである
から、減圧再生工程で吸着剤より離脱する工程内でＳＦ
６ガスを回収する。後者ではは加圧吸着工程でＳＦ６ガ
スが吸着筒の他端より分離されて出てくるので吸着工程
で得られる。これ等両方の吸着剤を用いたＰＳＡ法によ
るガス分離部が含まれる。例えば、ゼオライトはＳＦ６
ガスはほとんど吸着せず窒素ガスや炭酸ガス，水分を良
く吸着除去する、酸素ガスはわずかに吸着するのでＳＦ
６ガスとこれ等のガスが混合しているガスからＳＦ６ガ
スを分離するガス分離部に吸着剤として使用する場合を
次に示す。
ガスを吸着して、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象
ガスであるＳＦ６ガスを吸着せず混合している他のガス
を吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤によ
り、対象ガスを取り出す方法が少し異なる。例えばＳＦ
６ガスを対象ガスとし、前者は活性炭に分子篩機能を持
たせた分子篩炭がある。後者にはゼオライトの５Ａタイ
プ，４Ａタイプ他がある。前者の場合は対象ガスである
ＳＦ６ガスが吸着剤に吸着し、分離されているのである
から、減圧再生工程で吸着剤より離脱する工程内でＳＦ
６ガスを回収する。後者ではは加圧吸着工程でＳＦ６ガ
スが吸着筒の他端より分離されて出てくるので吸着工程
で得られる。これ等両方の吸着剤を用いたＰＳＡ法によ
るガス分離部が含まれる。例えば、ゼオライトはＳＦ６
ガスはほとんど吸着せず窒素ガスや炭酸ガス，水分を良
く吸着除去する、酸素ガスはわずかに吸着するのでＳＦ
６ガスとこれ等のガスが混合しているガスからＳＦ６ガ
スを分離するガス分離部に吸着剤として使用する場合を
次に示す。
【０００８】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と除去ガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒と弁
類で構成するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを
加圧する加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器
と加圧冷却されたガスを入れる液化タンクより構成す
る。被回収容器は当初ガスは約０．７ＭＰａ・Ｇの圧力
で充填されているが、ＳＦ６ガス回収装置により導出さ
れるに従って圧力は下がってくる。また、ＰＳＡガス分
離は吸着筒内に充填されている吸着剤であるアルミナや
ゼオライトの量により吸着ガス量は有限であるため、吸
着筒に導入するガス量も一定である必要がある。そのた
め被回収容器内の圧力が変化してもＰＳＡガス分離部に
供給するガス圧は一定である必要がある。このため被回
収容器内の圧力が高圧である範囲は減圧弁を用いて一定
圧Ｐ１まで減圧してＰＳＡガス分離に供給し、続いてガ
スが減少して一定圧Ｐ１より下がった場合は加圧ポンプ
によりＰ１まで昇圧して供給し、更に被回収容器内圧力
が負の圧力範囲に入った場合は真空ポンプと加圧ポンプ
を直列にして一定圧Ｐ１でＰＳＡガス分離部に供給す
る。ＰＳＡガス分離部は吸着筒内の吸着剤に圧力を加え
ながらガスを送り込むとまず入口側に充填されているア
ルミナにより水分やＳＦ４が吸着除去し、続いてゼオラ
イトで酸化硫黄，フッ化酸化硫黄や窒素ガスを吸着除去
する、ＳＦ６ガスはこれ等の吸着剤には吸着しないの
で、吸着筒出口より濃縮して出てくる。吸着したこれ等
のガス成分は吸着筒の圧力を大気圧あるいはそれ以下に
下げることにより脱離して大気中に放出される。この吸
着工程の加圧，再生工程の減圧でＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）の動作が成
り立つので一定圧Ｐ１が必要である。
化部と除去ガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒と弁
類で構成するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを
加圧する加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器
と加圧冷却されたガスを入れる液化タンクより構成す
る。被回収容器は当初ガスは約０．７ＭＰａ・Ｇの圧力
で充填されているが、ＳＦ６ガス回収装置により導出さ
れるに従って圧力は下がってくる。また、ＰＳＡガス分
離は吸着筒内に充填されている吸着剤であるアルミナや
ゼオライトの量により吸着ガス量は有限であるため、吸
着筒に導入するガス量も一定である必要がある。そのた
め被回収容器内の圧力が変化してもＰＳＡガス分離部に
供給するガス圧は一定である必要がある。このため被回
収容器内の圧力が高圧である範囲は減圧弁を用いて一定
圧Ｐ１まで減圧してＰＳＡガス分離に供給し、続いてガ
スが減少して一定圧Ｐ１より下がった場合は加圧ポンプ
によりＰ１まで昇圧して供給し、更に被回収容器内圧力
が負の圧力範囲に入った場合は真空ポンプと加圧ポンプ
を直列にして一定圧Ｐ１でＰＳＡガス分離部に供給す
る。ＰＳＡガス分離部は吸着筒内の吸着剤に圧力を加え
ながらガスを送り込むとまず入口側に充填されているア
ルミナにより水分やＳＦ４が吸着除去し、続いてゼオラ
イトで酸化硫黄，フッ化酸化硫黄や窒素ガスを吸着除去
する、ＳＦ６ガスはこれ等の吸着剤には吸着しないの
で、吸着筒出口より濃縮して出てくる。吸着したこれ等
のガス成分は吸着筒の圧力を大気圧あるいはそれ以下に
下げることにより脱離して大気中に放出される。この吸
着工程の加圧，再生工程の減圧でＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）の動作が成
り立つので一定圧Ｐ１が必要である。
【０００９】 このようにしてＳＦ６ガスは９５〜９９
％に濃縮されるのでこれを加圧ポンプにより液化に必要
な圧力Ｐ２に加圧され、断熱圧縮で昇圧したＳＦ６ガス
を冷却器で冷却し、液化タンクに送り込んで液化する。
温度１０℃では１．７ＭＰａ・Ｇ以上に加圧する必要が
ある。ここでの加圧値は冷却温度との関係で変わるし、
濃縮濃度との関係で変わる。濃度はＰＳＡの能力により
決定され温度は冷却器の能力で変わる。０℃まで下がれ
ば圧力は１．３ＭＰａ・Ｇ以上となろう。しかし、液化
タンクではＳＦ６ガスは液化していくが液化しない窒素
ガス等は蓄積し、その濃度が増してくる。そしてＳＦ６
ガスの分圧低下により液化圧力が上昇してくるので、原
料ガスを一定の圧力にするガス一定圧化部と吸着剤を充
填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡガス分離部と分離
濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプと加圧されたガス
を冷却する冷却器と加圧冷却されたガスを入れる液化タ
ンクより構成するＳＦ６ガス回収装置において、液化タ
ンクより一定圧以上になったガスを抜出しＰＳＡガス分
離部より前の工程に戻し、再びＰＳＡガス分離を行うよ
うにする。液化タンクはその容積は小さいので取り出す
ガスも少ないのでＰＳＡ分離装置の吸着工程中の吸着筒
に戻すようにしてもよい。
％に濃縮されるのでこれを加圧ポンプにより液化に必要
な圧力Ｐ２に加圧され、断熱圧縮で昇圧したＳＦ６ガス
を冷却器で冷却し、液化タンクに送り込んで液化する。
温度１０℃では１．７ＭＰａ・Ｇ以上に加圧する必要が
ある。ここでの加圧値は冷却温度との関係で変わるし、
濃縮濃度との関係で変わる。濃度はＰＳＡの能力により
決定され温度は冷却器の能力で変わる。０℃まで下がれ
ば圧力は１．３ＭＰａ・Ｇ以上となろう。しかし、液化
タンクではＳＦ６ガスは液化していくが液化しない窒素
ガス等は蓄積し、その濃度が増してくる。そしてＳＦ６
ガスの分圧低下により液化圧力が上昇してくるので、原
料ガスを一定の圧力にするガス一定圧化部と吸着剤を充
填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡガス分離部と分離
濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプと加圧されたガス
を冷却する冷却器と加圧冷却されたガスを入れる液化タ
ンクより構成するＳＦ６ガス回収装置において、液化タ
ンクより一定圧以上になったガスを抜出しＰＳＡガス分
離部より前の工程に戻し、再びＰＳＡガス分離を行うよ
うにする。液化タンクはその容積は小さいので取り出す
ガスも少ないのでＰＳＡ分離装置の吸着工程中の吸着筒
に戻すようにしてもよい。
【００１０】 また、吸着工程の終了した吸着筒内の吸
着剤に吸着しているガスは一定の量にするよう制御する
必要があるが被回収容器内のＳＦ６ガス等の濃度により
変わるので、原料ガスを同じ圧力で一定時間送り込んで
も吸着剤に吸着されるガス量は一定とならない。そのた
め吸着する量に従って吸着筒内の圧力が昇圧する事に注
目し、吸着筒内の圧力を監視しながら一定圧力に達する
と吸着工程から再生工程に切替えるようにする。
着剤に吸着しているガスは一定の量にするよう制御する
必要があるが被回収容器内のＳＦ６ガス等の濃度により
変わるので、原料ガスを同じ圧力で一定時間送り込んで
も吸着剤に吸着されるガス量は一定とならない。そのた
め吸着する量に従って吸着筒内の圧力が昇圧する事に注
目し、吸着筒内の圧力を監視しながら一定圧力に達する
と吸着工程から再生工程に切替えるようにする。
【００１１】 すなわち、原料ガスを一定の圧力にする
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する
加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷
却されたガスを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガ
ス回収装置において、ＰＳＡガス分離部の吸着工程から
再生工程に切り替えるタイミングを吸着筒内圧が一定値
に達したことにより行なうようにした。ＰＳＡガス分離
部は吸着剤を充填した吸着筒は１本で吸着工程，再生工
程を交互に行いながら間歇的にＳＦ６ガスを分離するこ
ともできるが、２本の吸着筒を用いて交互に吸着工程と
再生工程を行い連続してＳＦ６ガスの分離を行うように
し、かつ吸着工程終了後の吸着筒内に残留するＳＦ６ガ
スや吸着筒入口導管や出口導管内にある空間のＳＦ６ガ
スをも再生工程の終了した他の吸着筒に入口側のガス供
給弁と吸着筒出口側の取出弁を同時に開にすることによ
り吸着工程終了後の吸着筒内の吸着剤に吸着していない
空間ガスを再生工程の終了した吸着筒に移して、吸着工
程終了後の吸着筒内にＳＦ６ガスを無くした後、これを
再生することにより脱離排気するガスにＳＦ６ガスを含
まないようにする。
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する
加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷
却されたガスを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガ
ス回収装置において、ＰＳＡガス分離部の吸着工程から
再生工程に切り替えるタイミングを吸着筒内圧が一定値
に達したことにより行なうようにした。ＰＳＡガス分離
部は吸着剤を充填した吸着筒は１本で吸着工程，再生工
程を交互に行いながら間歇的にＳＦ６ガスを分離するこ
ともできるが、２本の吸着筒を用いて交互に吸着工程と
再生工程を行い連続してＳＦ６ガスの分離を行うように
し、かつ吸着工程終了後の吸着筒内に残留するＳＦ６ガ
スや吸着筒入口導管や出口導管内にある空間のＳＦ６ガ
スをも再生工程の終了した他の吸着筒に入口側のガス供
給弁と吸着筒出口側の取出弁を同時に開にすることによ
り吸着工程終了後の吸着筒内の吸着剤に吸着していない
空間ガスを再生工程の終了した吸着筒に移して、吸着工
程終了後の吸着筒内にＳＦ６ガスを無くした後、これを
再生することにより脱離排気するガスにＳＦ６ガスを含
まないようにする。
【００１２】 すなわち、原料ガスを一定の圧力にする
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部により構成するＳＦ６ガス回収装
置において、ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填した２本
の吸着筒のそれぞれの入口にガス供給弁と排気弁と吸着
筒出口に取出弁を有する吸着筒のそれぞれの弁の開閉を
制御して２本の吸着筒を交互に吸着工程と再生工程を行
ってＳＦ６ガスを分離する際、吸着工程から再生工程に
切替わる間に両吸着筒間を各々のガス供給弁と取出弁を
同時に開いて吸着工程完了後の吸着筒から再生工程完了
後の吸着筒にガスを一部移した後、吸着工程終了後の吸
着筒を再生工程に入れ、吸着したガスを排気するように
した。そして再生工程で減圧排気する際に大気圧に開放
する場合に加えて真空ポンプにより真空排気することに
より更に脱離をよくすることも出来る。
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部により構成するＳＦ６ガス回収装
置において、ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填した２本
の吸着筒のそれぞれの入口にガス供給弁と排気弁と吸着
筒出口に取出弁を有する吸着筒のそれぞれの弁の開閉を
制御して２本の吸着筒を交互に吸着工程と再生工程を行
ってＳＦ６ガスを分離する際、吸着工程から再生工程に
切替わる間に両吸着筒間を各々のガス供給弁と取出弁を
同時に開いて吸着工程完了後の吸着筒から再生工程完了
後の吸着筒にガスを一部移した後、吸着工程終了後の吸
着筒を再生工程に入れ、吸着したガスを排気するように
した。そして再生工程で減圧排気する際に大気圧に開放
する場合に加えて真空ポンプにより真空排気することに
より更に脱離をよくすることも出来る。
【００１３】 すなわち、原料ガスを一定の圧力にする
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する
加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷
却されたガスを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガ
ス回収装置において、ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填
した２本の吸着筒のそれぞれの入口にガス供給弁と排気
弁と吸着筒出口に取出弁を有する吸着筒のそれぞれの弁
の開閉を制御して２本の吸着筒を交互に吸着工程と再生
工程を行ってＳＦ６ガスを分離する際、吸着工程から再
生工程に切替わる間に両吸着筒間を各々のガス供給弁と
取出弁を同時に開いて吸着工程完了後の吸着筒から再生
工程完了後の吸着筒にガスを一部移した後、吸着工程終
了後の吸着筒を再生工程に入れ、真空排気ポンプにより
吸着したガスを排気するようにした。しかし吸着剤にＳ
Ｆ６ガスを吸着する分子篩炭を用いる場合は吸着工程に
おいて吸着筒内の吸着剤にＳＦ６ガスが吸着し除去され
るので他端口よりＳＦ６ガスを含まない窒素ガスが出る
のでこれを廃棄し、再生工程で真空ポンプにより排気さ
れるガスにＳＦ６ガスが含まれるのでこれを加圧冷却し
液化回収することになる。そして通常、液化する為の加
圧後のガスの冷却はフロンやアンモニア等の冷媒を用い
た電気式冷凍機により冷却を行うが、これを液体窒素を
用いて冷却する。このとき温度が低いので熱交換器すな
わち冷却器も小型簡易なものとすることができ、あるい
は直接液化容器を液体窒素により冷却して冷却器（熱交
換器）を省くことも出来る。
ガス一定圧化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成
するＰＳＡガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する
加圧ポンプと加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷
却されたガスを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガ
ス回収装置において、ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填
した２本の吸着筒のそれぞれの入口にガス供給弁と排気
弁と吸着筒出口に取出弁を有する吸着筒のそれぞれの弁
の開閉を制御して２本の吸着筒を交互に吸着工程と再生
工程を行ってＳＦ６ガスを分離する際、吸着工程から再
生工程に切替わる間に両吸着筒間を各々のガス供給弁と
取出弁を同時に開いて吸着工程完了後の吸着筒から再生
工程完了後の吸着筒にガスを一部移した後、吸着工程終
了後の吸着筒を再生工程に入れ、真空排気ポンプにより
吸着したガスを排気するようにした。しかし吸着剤にＳ
Ｆ６ガスを吸着する分子篩炭を用いる場合は吸着工程に
おいて吸着筒内の吸着剤にＳＦ６ガスが吸着し除去され
るので他端口よりＳＦ６ガスを含まない窒素ガスが出る
のでこれを廃棄し、再生工程で真空ポンプにより排気さ
れるガスにＳＦ６ガスが含まれるのでこれを加圧冷却し
液化回収することになる。そして通常、液化する為の加
圧後のガスの冷却はフロンやアンモニア等の冷媒を用い
た電気式冷凍機により冷却を行うが、これを液体窒素を
用いて冷却する。このとき温度が低いので熱交換器すな
わち冷却器も小型簡易なものとすることができ、あるい
は直接液化容器を液体窒素により冷却して冷却器（熱交
換器）を省くことも出来る。
【００１４】 すなわち、原料ガスを一定の圧力にする
ガス一定圧化部と除去ガスを吸着する吸着剤を充填した
吸着筒と弁類で構成するＰＳＡガス分離部と分離濃縮さ
れたガスを加圧する加圧ポンプと加圧されたガスを冷却
する冷却器と加圧冷却されたガスを入れる液化タンクよ
り構成するＳＦ６ガス回収装置において、加圧ガスを冷
却する冷却器と液化タンクを液体窒素の蒸発潜熱を主に
用いて冷却するようにした。さらに液体窒素ガスの蒸発
潜熱を用いる際、気体化する窒素ガスを被回収容器内に
入れることにより容器内の圧力を真空領域に入れないよ
うにすることによりこの場合はガス一定化部の真空ポン
プを省略し、構成を簡易化する。すなわち、通常は減圧
弁と加圧ポンプ、さらに真空ポンプと加圧ポンプを組合
せた並列回路により原料ガスの圧力を一定にするガス一
定圧化部となるが、気体化した窒素ガスを被回収容器内
に入れる場合のガス一定圧化部は減圧弁と加圧ポンプを
組合せた並列回路となる。
ガス一定圧化部と除去ガスを吸着する吸着剤を充填した
吸着筒と弁類で構成するＰＳＡガス分離部と分離濃縮さ
れたガスを加圧する加圧ポンプと加圧されたガスを冷却
する冷却器と加圧冷却されたガスを入れる液化タンクよ
り構成するＳＦ６ガス回収装置において、加圧ガスを冷
却する冷却器と液化タンクを液体窒素の蒸発潜熱を主に
用いて冷却するようにした。さらに液体窒素ガスの蒸発
潜熱を用いる際、気体化する窒素ガスを被回収容器内に
入れることにより容器内の圧力を真空領域に入れないよ
うにすることによりこの場合はガス一定化部の真空ポン
プを省略し、構成を簡易化する。すなわち、通常は減圧
弁と加圧ポンプ、さらに真空ポンプと加圧ポンプを組合
せた並列回路により原料ガスの圧力を一定にするガス一
定圧化部となるが、気体化した窒素ガスを被回収容器内
に入れる場合のガス一定圧化部は減圧弁と加圧ポンプを
組合せた並列回路となる。
【００１５】
【実施例１】図１に実施例のフローチャートを示す。被
回収容器１からガス一定圧化部２により圧力を一定化し
た後ＰＳＡガス分離部３に供給される。ＰＳＡガス分離
部により高濃度に分離濃縮されたＳＦ６ガスがバッファ
タンク４に入り、これを加圧ポンプ５で高圧（約２ＭＰ
ａ・Ｇ）に加圧し、液化部６に入り、液化され回収す
る、液化部よりＳＦ６ガス以外のガスは液化しないため
濃縮されるのでこのガスを弁２５を短時間、開にして抜
き出しＰＳＡガス分離部３の前に戻して再びＰＳＡガス
分離部に入れるようにする。ガス一定圧化部２は被回収
容器１内の圧力は初期は高圧（約０．７ＭＰａ・Ｇ）で
あるためＰＳＡガス分離部２に供給する一定圧Ｐ１（こ
こでは０．２５ＭＰａ・Ｇ）より高いため弁１２，１８
を開いて減圧弁１７により一定圧Ｐ１まで落として供給
する、ガスの回収が進につれて容器内の圧力が下がり、
一定圧Ｐ１以下になると弁１２を閉じ、弁１３，１５を
開き加圧ポンプ１１を運転して圧力を上げて供給する。
更に回収が進むと真空の領域まで被回収容器の圧力が下
がると弁１３を閉じ、弁１４を開き真空ポンプ１０と加
圧ポンプ１１により圧力をＰ１に保ちながら回収する。
回収容器１からガス一定圧化部２により圧力を一定化し
た後ＰＳＡガス分離部３に供給される。ＰＳＡガス分離
部により高濃度に分離濃縮されたＳＦ６ガスがバッファ
タンク４に入り、これを加圧ポンプ５で高圧（約２ＭＰ
ａ・Ｇ）に加圧し、液化部６に入り、液化され回収す
る、液化部よりＳＦ６ガス以外のガスは液化しないため
濃縮されるのでこのガスを弁２５を短時間、開にして抜
き出しＰＳＡガス分離部３の前に戻して再びＰＳＡガス
分離部に入れるようにする。ガス一定圧化部２は被回収
容器１内の圧力は初期は高圧（約０．７ＭＰａ・Ｇ）で
あるためＰＳＡガス分離部２に供給する一定圧Ｐ１（こ
こでは０．２５ＭＰａ・Ｇ）より高いため弁１２，１８
を開いて減圧弁１７により一定圧Ｐ１まで落として供給
する、ガスの回収が進につれて容器内の圧力が下がり、
一定圧Ｐ１以下になると弁１２を閉じ、弁１３，１５を
開き加圧ポンプ１１を運転して圧力を上げて供給する。
更に回収が進むと真空の領域まで被回収容器の圧力が下
がると弁１３を閉じ、弁１４を開き真空ポンプ１０と加
圧ポンプ１１により圧力をＰ１に保ちながら回収する。
【００１６】 ＰＳＡガス分離部３は吸着剤として水分
やＳＦ４を吸着するアルミナ少々とフッ化酸化硫黄，窒
素ガスを吸着するがＳＦ６ガスをほとんど吸着しないゼ
オライト（５Ａ又は１３Ｘタイプ）を二層に分けて充填
した吸着筒を用いる。
やＳＦ４を吸着するアルミナ少々とフッ化酸化硫黄，窒
素ガスを吸着するがＳＦ６ガスをほとんど吸着しないゼ
オライト（５Ａ又は１３Ｘタイプ）を二層に分けて充填
した吸着筒を用いる。
【００１７】 但し、水分やフッ化酸化硫黄他のＳＦ６
ガスの分解ガスを取り除く純化部を本装置の前に取付け
ることもあるが、本実施例ではその詳細な記載は省く。
アルミナの充填は省くこともある。この吸着筒２３，２
４と２本を用いガス一定圧化部２より導入したＰ１の圧
力を持つガスは弁１９を開いて吸着筒２３に導入される
と吸着筒内の吸着剤であるゼオライトに窒素ガスが吸着
される。当ゼオライトは水分，炭酸ガス及びフッ化酸化
硫黄，酸素をもその分圧に比例して吸着除去するもので
ある。
ガスの分解ガスを取り除く純化部を本装置の前に取付け
ることもあるが、本実施例ではその詳細な記載は省く。
アルミナの充填は省くこともある。この吸着筒２３，２
４と２本を用いガス一定圧化部２より導入したＰ１の圧
力を持つガスは弁１９を開いて吸着筒２３に導入される
と吸着筒内の吸着剤であるゼオライトに窒素ガスが吸着
される。当ゼオライトは水分，炭酸ガス及びフッ化酸化
硫黄，酸素をもその分圧に比例して吸着除去するもので
ある。
【００１８】 ＳＦ６ガスは吸着しないので弁２６，２
８を通ってバッファタンク４に入る。その濃度はこの場
合９９％である。吸着筒内の入口，出口の圧力差は０．
０１〜０．０３ＭＰａ・Ｇ以下であるので吸着筒内の圧
力はその入口でも出口でも、吸着筒内でも検出できる
が、入口端で検出すると吸着筒２３，２４を共通の検出
器で検出できるのでここでは弁１８の後に圧力センサー
を取付けて測定している。窒素ガス等の吸着が進むにつ
れてこの圧力が高まり、一定圧Ｐ１に近づく圧力Ｐ２に
なると弁を切替えて吸着筒２４でガス分離を行い、吸着
筒２３に吸着した窒素ガス他を脱離放出する再生工程に
入るが、その前に吸着筒２３内の吸着剤空隙中にあるＳ
Ｆ６ガスと入口，出口配管内にあるＳＦ６ガスを再生の
完了した吸着筒２４に移す均圧工程を行う。
８を通ってバッファタンク４に入る。その濃度はこの場
合９９％である。吸着筒内の入口，出口の圧力差は０．
０１〜０．０３ＭＰａ・Ｇ以下であるので吸着筒内の圧
力はその入口でも出口でも、吸着筒内でも検出できる
が、入口端で検出すると吸着筒２３，２４を共通の検出
器で検出できるのでここでは弁１８の後に圧力センサー
を取付けて測定している。窒素ガス等の吸着が進むにつ
れてこの圧力が高まり、一定圧Ｐ１に近づく圧力Ｐ２に
なると弁を切替えて吸着筒２４でガス分離を行い、吸着
筒２３に吸着した窒素ガス他を脱離放出する再生工程に
入るが、その前に吸着筒２３内の吸着剤空隙中にあるＳ
Ｆ６ガスと入口，出口配管内にあるＳＦ６ガスを再生の
完了した吸着筒２４に移す均圧工程を行う。
【００１９】 すなわち弁１８，２８を閉とし弁１９，
２１及び弁２６，２７を開とし、弁２０，２２は閉とす
る。圧力の高い吸着筒２３と圧力の低い吸着筒２４を接
続することにより空隙中や配管内のＳＦ６ガスが吸着筒
２４に移り、圧力はほぼ１／２に下がるので、一部吸着
している窒素ガスも脱離して吸着筒２４に移る。このこ
とはほぼＳＦ６ガスが再生後の吸着筒２４に移すために
行う工程である。その後、弁１９，２２，２６を閉、弁
２０，２１，３１を開にし、少し遅れて弁２７も開にし
て原料ガスを弁２１から吸着筒２４に導入し、ＳＦ６ガ
スを分離濃縮して弁２７より導出する。
２１及び弁２６，２７を開とし、弁２０，２２は閉とす
る。圧力の高い吸着筒２３と圧力の低い吸着筒２４を接
続することにより空隙中や配管内のＳＦ６ガスが吸着筒
２４に移り、圧力はほぼ１／２に下がるので、一部吸着
している窒素ガスも脱離して吸着筒２４に移る。このこ
とはほぼＳＦ６ガスが再生後の吸着筒２４に移すために
行う工程である。その後、弁１９，２２，２６を閉、弁
２０，２１，３１を開にし、少し遅れて弁２７も開にし
て原料ガスを弁２１から吸着筒２４に導入し、ＳＦ６ガ
スを分離濃縮して弁２７より導出する。
【００２０】 吸着筒では排出口３３より大気に開放す
ることにより吸着筒内の圧力を大気圧まで下げることに
より吸着剤に吸着している窒素ガス他が脱離して吸着剤
が再生される。更に再生を促進させるため弁３１を閉と
し弁３２を開にして真空ポンプ３５により真空域まで減
圧を行うこともある。これは使用する吸着剤の種類や吸
着筒にかかる吸着工程時の圧力により異なる。バッファ
タンク４内のＳＦ６ガスを加圧ポンプ５により加圧し、
液化部６に導入するが液化部６内の温度と、加圧値及び
ＳＦ６ガスの濃縮濃度（分圧）がＳＦ６ガスの液化条件
に関係する。本実施例では液化部の温度を７℃，圧力値
を１．７〜２ＭＰａ・Ｇとした。液化部は加圧後のガス
の冷却部７，液化タンク８，貯留タンク９を冷凍式冷却
器で冷却した。ＳＦ６ガスは臨界温度が４５．６４℃で
あるため、この温度より絶対に上がらないよう気をつけ
る必要がある。
ることにより吸着筒内の圧力を大気圧まで下げることに
より吸着剤に吸着している窒素ガス他が脱離して吸着剤
が再生される。更に再生を促進させるため弁３１を閉と
し弁３２を開にして真空ポンプ３５により真空域まで減
圧を行うこともある。これは使用する吸着剤の種類や吸
着筒にかかる吸着工程時の圧力により異なる。バッファ
タンク４内のＳＦ６ガスを加圧ポンプ５により加圧し、
液化部６に導入するが液化部６内の温度と、加圧値及び
ＳＦ６ガスの濃縮濃度（分圧）がＳＦ６ガスの液化条件
に関係する。本実施例では液化部の温度を７℃，圧力値
を１．７〜２ＭＰａ・Ｇとした。液化部は加圧後のガス
の冷却部７，液化タンク８，貯留タンク９を冷凍式冷却
器で冷却した。ＳＦ６ガスは臨界温度が４５．６４℃で
あるため、この温度より絶対に上がらないよう気をつけ
る必要がある。
【００２１】 尚、貯留タンク９は魔法瓶（保温容器）
であることが望ましい。液化タンク８に圧送されるＳＦ
６ガスは１００％純粋でない場合はＳＦ６ガスが液化す
るにつれて、液化しない残留ガス濃度が高まってくる。
この濃度が高まるにつれＳＦ６ガスの分圧が下がり、液
化圧力が高くなってくる。このため圧力を監視しながら
弁２５を開にしてガスを抜出し、ＰＳＡガス分離部３の
前へ抜出し、この場合は中間タンク１６に入れ、再びＰ
ＳＡガス分離部３に入れて回収するようにする。
であることが望ましい。液化タンク８に圧送されるＳＦ
６ガスは１００％純粋でない場合はＳＦ６ガスが液化す
るにつれて、液化しない残留ガス濃度が高まってくる。
この濃度が高まるにつれＳＦ６ガスの分圧が下がり、液
化圧力が高くなってくる。このため圧力を監視しながら
弁２５を開にしてガスを抜出し、ＰＳＡガス分離部３の
前へ抜出し、この場合は中間タンク１６に入れ、再びＰ
ＳＡガス分離部３に入れて回収するようにする。
【００２２】
【実施例２】液化部６の冷却を冷凍式冷却器に代えて液
体窒素の蒸発潜熱を用いる。この場合沸点−１９５．８
１℃であり、これを直接では低温すぎるので、蒸発潜熱
を蒸発冷気の中に液化部６を置くようにするもので、液
化タンク８の温度を０℃とするよう計測しながら行い、
加圧ポンプ５による加圧値を１．４〜１．７ＭＰａ・Ｇ
の値とする。そして液体窒素の熱交換後の窒素ガスを被
回収容器内のガス回収が進み、その内部圧力が負圧にな
ると被回収容器内に導入し、ガス圧一定圧化部２の真空
ポンプ１０及びそれに関係する弁１４等を省く構成とす
るものである。その他の構成は実施例１と同じである。
排気ガス中に含まれるＳＦ６ガス濃度は１００ｐｐｍ以
下であった。
体窒素の蒸発潜熱を用いる。この場合沸点−１９５．８
１℃であり、これを直接では低温すぎるので、蒸発潜熱
を蒸発冷気の中に液化部６を置くようにするもので、液
化タンク８の温度を０℃とするよう計測しながら行い、
加圧ポンプ５による加圧値を１．４〜１．７ＭＰａ・Ｇ
の値とする。そして液体窒素の熱交換後の窒素ガスを被
回収容器内のガス回収が進み、その内部圧力が負圧にな
ると被回収容器内に導入し、ガス圧一定圧化部２の真空
ポンプ１０及びそれに関係する弁１４等を省く構成とす
るものである。その他の構成は実施例１と同じである。
排気ガス中に含まれるＳＦ６ガス濃度は１００ｐｐｍ以
下であった。
【実施例３】同図１においてＰＳＡガス分離部３の吸着
剤にＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を用いる。この場合
はＰＳＡ操作の再生工程で真空ポンプ３５により出口３
４から抜出されるガスにＳＦ６ガスが濃縮されているの
でこのガスを弁２８の入口に接続し、バッファタンク４
に導出し、弁２６，２７より導出する図１の弁２８入口
に接続されている方のガスがＳＦ６ガスを含まないので
これを弁２８より切り放して、大気に放出し廃ガスとす
る。このとき弁３１の回路は取り除く。このときの均圧
工程を実施するとＳＦ６ガスが吸着している吸着筒の吸
着剤の間に浮遊している窒素ガスを再生済みの吸着筒に
移すことになるので再生工程で取り出すＳＦ６ガス濃度
を上げることができる。真空ポンプで十分にＳＦ６ガス
をくみ出し、吸着剤を十分に再生する方がよい。
剤にＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を用いる。この場合
はＰＳＡ操作の再生工程で真空ポンプ３５により出口３
４から抜出されるガスにＳＦ６ガスが濃縮されているの
でこのガスを弁２８の入口に接続し、バッファタンク４
に導出し、弁２６，２７より導出する図１の弁２８入口
に接続されている方のガスがＳＦ６ガスを含まないので
これを弁２８より切り放して、大気に放出し廃ガスとす
る。このとき弁３１の回路は取り除く。このときの均圧
工程を実施するとＳＦ６ガスが吸着している吸着筒の吸
着剤の間に浮遊している窒素ガスを再生済みの吸着筒に
移すことになるので再生工程で取り出すＳＦ６ガス濃度
を上げることができる。真空ポンプで十分にＳＦ６ガス
をくみ出し、吸着剤を十分に再生する方がよい。
【００２３】
【発明の効果】 本装置によればＳＦ６ガスを混合ガス
を分離濃縮の後、加圧冷却し、液化回収することが出来
るので、純度の高いＳＦ６が貯留タンクに回収でき、再
使用することが出来る。更に排気ガスはＳＦ６をほとん
ど含まないものとするため、残留ＳＦ６ガスが大変少な
くできる。液化窒素ガスを冷却に用いるものによっては
窒素ガスを導入しながら回収するため、同じく残留ＳＦ
６ガスを少なくすることができる。
を分離濃縮の後、加圧冷却し、液化回収することが出来
るので、純度の高いＳＦ６が貯留タンクに回収でき、再
使用することが出来る。更に排気ガスはＳＦ６をほとん
ど含まないものとするため、残留ＳＦ６ガスが大変少な
くできる。液化窒素ガスを冷却に用いるものによっては
窒素ガスを導入しながら回収するため、同じく残留ＳＦ
６ガスを少なくすることができる。
【図１】 図１は本発明の実施例１のフローシートであ
る。
る。
１ 被回収容器 ２ ガス一定圧化部 ３ ＰＳＡガス分離部 ４ バッファタンク ５ 加圧ポンプ ６ 液化部 ７ 冷却器 ８ 液化タンク ９ 貯留タンク １１ 真空ポンプ １２ 加圧ポンプ １３〜１５ 弁 １６ 中間タンク １７ 減圧弁 １８〜２２ 弁 ２３ 吸着筒 ２４ 吸着筒 ２５〜３２ 弁 ３３ 排気口 ３４ 排気口 ３５ 真空ポンプ
Claims (9)
- 【請求項１】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装
置。 - 【請求項２】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装置
において、液化タンクより一定圧以上になったガスをＰ
ＳＡガス分離部より前の工程に戻し、再びＰＳＡガス分
離を行うようにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項３】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装置
において、液化タンクより一定圧以上になったガスをＰ
ＳＡガス分離部の吸着工程中の吸着筒に戻すようにした
ＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項４】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス部分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポン
プと加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却された
ガスを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装
置において、ＰＳＡガス分離部の吸着工程から再生工程
に切り替えるタイミングを吸着筒内圧が所定値に達した
ことにより行なうようにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項５】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部より構成するＳＦ６ガス回収装置において、
ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填した２本の吸着筒のそ
れぞれの入口にガス供給弁と排気弁と吸着筒出口に取出
弁を有する吸着筒のそれぞれの弁の開閉を制御して２本
の吸着筒を交互に吸着工程と再生工程を行ってＳＦ６ガ
スを分離する際、吸着工程から再生工程に切替わる間に
両吸着筒間を各々のガス供給弁と取出弁を同時に開いて
吸着工程完了後の吸着筒から再生工程完了後の吸着筒に
ガスを一部移した後、吸着工程終了後の吸着筒を再生工
程に入れ、吸着したガスを排気するようにしたＳＦ６ガ
ス回収装置。 - 【請求項６】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装置
において、ＰＳＡガス分離部で吸着剤を充填した２本の
吸着筒のそれぞれの入口にガス供給弁と排気弁と吸着筒
出口に取出弁を有する吸着筒のそれぞれの弁の開閉を制
御して２本の吸着筒を交互に吸着工程と再生工程を行っ
てＳＦ６ガスを分離する際、吸着工程から再生工程に切
替わる間に両吸着筒間を各々のガス供給弁と取出弁を同
時に開いて吸着工程完了後の吸着筒から再生工程完了後
の吸着筒にガスを一部移した後、吸着工程終了後の吸着
筒を再生工程に入り、真空排気ポンプにより吸着したガ
スを排気するようにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項７】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装置
において、加圧ガスを冷却する冷却器と液化タンクを液
体窒素の蒸発潜熱を主に用いるようにしたＳＦ６ガス回
収装置。 - 【請求項８】 減圧弁と加圧ポンプ、さらに真空ポンプ
と加圧ポンプとを組合せた並列回路により原料ガスの圧
力を一定にすることを特徴とする請求項１乃至請求項７
記載のガス一定圧化部。 - 【請求項９】 原料ガスを一定の圧力にするガス一定圧
化部と吸着剤を充填した吸着筒と弁類で構成するＰＳＡ
ガス分離部と分離濃縮されたガスを加圧する加圧ポンプ
と加圧されたガスを冷却する冷却器と加圧冷却されたガ
スを入れる液化タンクより構成するＳＦ６ガス回収装置
において、加圧ガスを冷却する冷却器と液化タンクを液
体窒素の蒸発潜熱を主に用いるようにし、その気化した
ガスを原料ガス元である被回収容器に充填するようにし
たＳＦ６ガス回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32242299A JP4033591B2 (ja) | 1998-12-28 | 1999-11-12 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37740498 | 1998-12-28 | ||
| JP10-377404 | 1998-12-28 | ||
| JP32242299A JP4033591B2 (ja) | 1998-12-28 | 1999-11-12 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000246041A true JP2000246041A (ja) | 2000-09-12 |
| JP4033591B2 JP4033591B2 (ja) | 2008-01-16 |
Family
ID=26570813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32242299A Expired - Fee Related JP4033591B2 (ja) | 1998-12-28 | 1999-11-12 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4033591B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2003299931A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | ガス分離方法及びガス分離装置 |
| KR100764109B1 (ko) | 2007-03-16 | 2007-10-05 | 우성진공기술(주) | 육불화황가스 액화회수장치 |
| KR101010966B1 (ko) * | 2008-11-25 | 2011-01-26 | 한국가스공사 | 천연 가스용 이동식 압축 회수 장치 |
| KR101077025B1 (ko) | 2009-01-22 | 2011-10-26 | 우성진공기술(주) | 액화회수장치 및 액화회수방법 |
| JP2012061465A (ja) * | 2011-10-28 | 2012-03-29 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | ガス精製方法 |
| KR101207832B1 (ko) | 2010-09-30 | 2012-12-04 | 한국에너지기술연구원 | Ｐｓａ를 이용한 절연가스 회수장치 및 이의 운용방법 |
| CN103521202A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-22 | 国家电网公司 | 六氟化硫吸附剂回收再生方法 |
| CN108355461A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-08-03 | 西安交通大学 | 六氟化硫和氮气混合气体净化分离提纯装置及其回收净化提纯六氟化硫方法 |
| CN108386713A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-08-10 | 国家电网公司 | 一种绝缘气体处理装置及其控制方法 |
| CN113074320A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-06 | 国网新疆电力有限公司检修公司 | 一种sf6/cf4混合气体的高纯度分离回收装置及方法 |
| CN113398713A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-09-17 | 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 | 在运设备六氟化硫气体在线净化系统 |
| CN113958869A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-21 | 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 | 一种零排放的绝缘气体净化处理装置及方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8207699B2 (en) | 2009-07-08 | 2012-06-26 | Innosave Ltd. | Method and apparatus for AC motor control |
| CN109603418A (zh) * | 2018-12-30 | 2019-04-12 | 国网北京市电力公司 | 气体净化系统及气体净化方法 |
-
1999
- 1999-11-12 JP JP32242299A patent/JP4033591B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2003299931A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | ガス分離方法及びガス分離装置 |
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| KR101010966B1 (ko) * | 2008-11-25 | 2011-01-26 | 한국가스공사 | 천연 가스용 이동식 압축 회수 장치 |
| KR101077025B1 (ko) | 2009-01-22 | 2011-10-26 | 우성진공기술(주) | 액화회수장치 및 액화회수방법 |
| KR101207832B1 (ko) | 2010-09-30 | 2012-12-04 | 한국에너지기술연구원 | Ｐｓａ를 이용한 절연가스 회수장치 및 이의 운용방법 |
| JP2012061465A (ja) * | 2011-10-28 | 2012-03-29 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | ガス精製方法 |
| CN103521202A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-22 | 国家电网公司 | 六氟化硫吸附剂回收再生方法 |
| CN103521202B (zh) * | 2013-10-12 | 2015-11-04 | 国家电网公司 | 六氟化硫吸附剂回收再生方法 |
| CN108386713B (zh) * | 2018-02-12 | 2023-12-01 | 国家电网公司 | 一种绝缘气体处理装置及其控制方法 |
| CN108386713A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-08-10 | 国家电网公司 | 一种绝缘气体处理装置及其控制方法 |
| CN108355461A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-08-03 | 西安交通大学 | 六氟化硫和氮气混合气体净化分离提纯装置及其回收净化提纯六氟化硫方法 |
| CN108355461B (zh) * | 2018-04-16 | 2024-05-24 | 西安交通大学 | 六氟化硫和氮气混合气体净化分离提纯装置及其回收净化提纯六氟化硫方法 |
| CN113074320A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-06 | 国网新疆电力有限公司检修公司 | 一种sf6/cf4混合气体的高纯度分离回收装置及方法 |
| CN113398713A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-09-17 | 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 | 在运设备六氟化硫气体在线净化系统 |
| CN113958869A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-21 | 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 | 一种零排放的绝缘气体净化处理装置及方法 |
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| JP4033591B2 (ja) | 2008-01-16 |
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