CN113398713A - 在运设备六氟化硫气体在线净化系统 - Google Patents

在运设备六氟化硫气体在线净化系统 Download PDF

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韩鹤松
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Abstract

本发明提供了一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统，包括：主控模块、通过管道连接的真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块；真空处理模块用于对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理；第一净化模块用于对目标在运设备中的六氟化硫气体进行一级净化处理；气体回收模块用于对一级净化处理后的六氟化硫气体进行回收；气体检测模块用于对回收后的六氟化硫气体进行湿度和纯度检测；第二净化模块用于对检测不合格的六氟化硫气体进行二级净化处理；主控模块分别与各个模块连接，用于控制各个模块的开启/关闭。本发明提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统可以更加方便地实现在运设备六氟化硫气体的在线净化。

Description

在运设备六氟化硫气体在线净化系统
技术领域
本发明属于气体净化技术领域，更具体地说，是涉及一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统。
背景技术
六氟化硫气体作为最常见的绝缘灭弧介质，一直以来都被广泛应用于GIS、断路器、电压(流)互感器等各类电力设备中，但它除了具有极佳的绝缘性能之外，还会产生严重的温室效应，被列为禁止排放的六种温室气体之一，因此如何对电气设备中的六氟化硫气体进行净化成为本领域亟需解决的问题。
现有技术中，通常对电气设备中的六氟化硫气体进行离线净化，也即首先将电气设备停运，再对电气设备中的六氟化硫气体进行净化，此种净化方法不够便捷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统，以解决现有技术中存在的在运设备六氟化硫气体净化方案不够便捷的技术问题。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是提供了一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统，包括：
主控模块、以及通过管道连接的真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块；
所述真空处理模块用于对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理；所述第一净化模块用于对目标在运设备中的六氟化硫气体进行一级净化处理，并将一级净化处理后的六氟化硫气体传输至气体回收模块；所述气体回收模块用于对一级净化处理后的六氟化硫气体进行回收，并按照预设速率将回收后的六氟化硫气体传输至气体检测模块；所述气体检测模块用于对回收后的六氟化硫气体进行湿度和纯度检测，并将检测合格的六氟化硫气体回充至目标在运设备、或将检测不合格的六氟化硫气体传输至第二净化模块；所述第二净化模块用于对检测不合格的六氟化硫气体进行二级净化处理，并将二级净化处理后的六氟化硫气体重新传输至气体检测模块；
所述主控模块分别与真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块连接，用于控制真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块的开启/关闭。
可选的，所述真空处理模块包括通过管道依次连接的真空泵、电阻真空计、第一电磁阀、第二电磁阀；
所述真空处理模块第一端通过第一电磁阀与目标在运设备连接，所述真空处理模块的第二端通过第二电磁阀与第一净化模块连接；
所述主控模块与所述第一电磁阀、所述第二电磁阀连接，用于控制第一电磁阀和第二电磁阀的开启/关闭。
可选的，所述第一净化模块包括通过管道依次连接的第一过滤装置、第三电磁阀、吸附装置、流量计、第二过滤装置；
所述第一过滤装置还与目标在运设备的出气口连接，所述第二过滤装置还与所述气体回收模块连接，所述第一过滤装置和所述第二过滤装置均用于对六氟化硫气体进行过滤处理，所述吸附装置用于吸附六氟化硫气体中的水分以及杂质气体，所述流量计用于检测管道中六氟化硫的流量；
所述主控模块分别与所述第三电磁阀、流量计连接，用于根据所述流量计的流量检测结果控制所述第三电磁阀的开启/关闭。
可选的，所述气体回收模块包括通过管道依次连接的第四电磁阀、第一压力传感器、第一储气罐、第二压力传感器、第五电磁阀；
所述第四电磁阀还与所述第一净化模块连接，所述第五电磁阀还与所述气体检测模块连接；
所述第一压力传感器用于检测检测第一储气罐进气端的六氟化硫气体压力，所述第一压缩机用于所述第二压力传感器用于检测第一储气罐出气端的六氟化硫气体压力，所述第一储气罐用于储存一级净化处理后的经第一压缩机压缩后的六氟化硫气体；
所述第四电磁阀、第五电磁阀、第一压力传感器、第二压力传感器均与主控模块连接，所述主控模块用于根据第一压力传感器检测得到的压力值控制第四电磁阀的开启/关闭、根据第二压力传感器检测得到的压力值控制第五电磁阀的开启/关闭。
可选的，所述气体检测模块包括第七电磁阀、第八电磁阀、以及通过管道依次连接的第六电磁阀、第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪；
所述第三压力传感器通过第六电磁阀与所述气体回收模块连接，用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至湿度传感器；
所述湿度传感器用于对六氟化硫气体进行湿度检测，并将湿度检测后的六氟化硫气体传输至纯度检测仪；
所述纯度检测仪通过第七电磁阀与目标在运设备的充气口连接、通过第八电磁阀与第二净化模块连接，用于检测六氟化硫气体的纯度，并将纯度检测后的六氟化硫气体传输至目标在运设备或第二净化模块；
所述第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪、第六电磁阀、第七电磁阀、第八电磁阀还与所述主控模块连接，所述主控模块还用于根据第三压力传感器检测得到的压力值控制第六电磁阀开启/关闭、用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第七电磁阀和第八电磁阀的开启/关闭。
可选的，所述第二净化模块包括通过管道依次连接的第九电磁阀、第四压力传感器、制冷箱、固液分离装置、气化装置、第二储气罐；
所述第九电磁阀还与所述气体检测模块的出气口连接，第二储气罐的出气口还与所述气体检测模块的进气口连接；
所述第四压力传感器用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至制冷箱；
所述制冷箱用于对六氟化硫气体进行制冷处理，使六氟化硫气体由气态转换为液态，以去除六氟化硫气体中的杂质气体；
所述固液分离装置用于将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离，并将液态六氟化硫传输至气化装置；
所述气化装置用于对液态六氟化硫进行气化处理，将液态六氟化硫转换为气态六氟化硫，并将气态六氟化硫传输至第二储气罐储存；
所述第九电磁阀、制冷箱、第十电磁阀还与所述主控模块连接，所述主控模块还用于第四压力传感器检测得到的压力值控制第九电磁阀的开启/关闭、用于控制制冷箱的制冷温度。
可选的，所述吸附装置中设置有第二压缩机，所述第二压缩机与所述主控模块连接；
所述主控模块还用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第二压缩机的输出功率，以使第二压缩机控制所述吸附装置内六氟化硫气体的压力，以实现对六氟化硫气体的变压吸附。
可选的，所述固液分离装置在将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离后，还存储分离后的杂质气体，并在存储后的杂质气体达到预设量之后，将存储的杂质气体回充至第一净化模块。
可选的，所述主控模块为单片机或微处理器。
可选的，所述主控模块设置有显示器，所述显示器用于对各个模块的处理状态进行显示。
本发明提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的有益效果在于：
1)本发明使用主控模块控制其他各个模块的有序运行，可以实现在运设备六氟化硫气体的不停电净化。
2)本发明提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统可以自动化运行，有效降低人力成本。
3)本发明还设置了多级净化模块，以实现在运设备六氟化硫气体的多级净化，可以有效提高六氟化硫气体的净化程度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
请参考图1，图1为本发明一实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的结构示意图，该在运设备六氟化硫气体在线净化系统包括：
主控模块、以及通过管道连接的真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块。
真空处理模块用于对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理。第一净化模块用于对目标在运设备中的六氟化硫气体进行一级净化处理，并将一级净化处理后的六氟化硫气体传输至气体回收模块。气体回收模块用于对一级净化处理后的六氟化硫气体进行回收，并按照预设速率将回收后的六氟化硫气体传输至气体检测模块。气体检测模块用于对回收后的六氟化硫气体进行湿度和纯度检测，并将检测合格的六氟化硫气体回充至目标在运设备、或将检测不合格的六氟化硫气体传输至第二净化模块。第二净化模块用于对检测不合格的六氟化硫气体进行二级净化处理，并将二级净化处理后的六氟化硫气体重新传输至气体检测模块。
主控模块分别与真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块连接，用于控制真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块的开启/关闭。
在本实施例中，在运设备指的是正在运行的六氟化硫电气设备。
在本实施例中，主控模块通过控制各个模块的电磁阀或者检测仪器来对各个模块进行控制。
在本实施例中，主控模块会首先控制真空处理模块对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理，再控制六氟化硫气体依次经过第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块，完成六氟化硫气体的首次净化处理，若气体检测模块检测到六氟化硫气体净化合格，则主控模块会控制净化完成的六氟化硫气体回充至目标在运设备，若气体检测模块检测到六氟化硫气体净化不合格，则控制相应电磁阀开启，使一级净化结束的六氟化硫气体传输至第二净化模块进行二级净化，直至六氟化硫气体净化合格。
在本实施例中，还可设置压力传感器检测目标在运设备内的气体压力，主控模块与压力传感器连接，用于根据目标在运设备内的气体压力控制第一净化模块的开启/关闭，以保证目标在运设备的正常运行。
从以上描述可知，本发明使用主控模块控制其他各个模块的有序运行，可以实现在运设备六氟化硫气体的不停电净化。并且本发明提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统可以自动化运行，有效降低人力成本。此外，本发明还设置了多级净化模块，以实现在运设备六氟化硫气体的多级净化，可以有效提高六氟化硫气体的净化程度。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，真空处理模块包括通过管道依次连接的真空泵、电阻真空计、第一电磁阀、第二电磁阀。
真空处理模块第一端通过第一电磁阀与目标在运设备连接，真空处理模块的第二端通过第二电磁阀与第一净化模块连接。
主控模块与第一电磁阀、第二电磁阀连接，用于控制第一电磁阀和第二电磁阀的开启/关闭。
在本实施例中，还可设置压力传感器检测目标在运设备内的气体压力，主控模块与压力传感器连接，用于根据目标在运设备内的气体压力控制第一电磁阀的开启/关闭，以保证目标在运设备的正常运行。
在本实施例中，主控模块还与电阻真空计连接，用于根据电阻真空计的检测结果控制第二电磁阀的开启/关闭。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，第一净化模块包括通过管道依次连接的第一过滤装置、第三电磁阀、吸附装置、流量计、第二过滤装置。
第一过滤装置还与目标在运设备的出气口连接，第二过滤装置还与气体回收模块连接，第一过滤装置和第二过滤装置均用于对六氟化硫气体进行过滤处理，吸附装置用于吸附六氟化硫气体中的水分以及杂质气体，流量计用于检测管道中六氟化硫的流量。
主控模块分别与第三电磁阀、流量计连接，用于根据流量计的流量检测结果控制第三电磁阀的开启/关闭。
在本实施例中，吸附装置可以为吸附塔，吸附塔中设置有吸附料，实现对六氟化硫气体中杂质的吸附。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，气体回收模块包括通过管道依次连接的第四电磁阀、第一压力传感器、第一储气罐、第二压力传感器、第五电磁阀。
第四电磁阀还与第一净化模块连接，第五电磁阀还与气体检测模块连接。
第一压力传感器用于检测检测第一储气罐进气端的六氟化硫气体压力，第一压缩机用于第二压力传感器用于检测第一储气罐出气端的六氟化硫气体压力，第一储气罐用于储存一级净化处理后的经第一压缩机压缩后的六氟化硫气体。
第四电磁阀、第五电磁阀、第一压力传感器、第二压力传感器均与主控模块连接，主控模块用于根据第一压力传感器检测得到的压力值控制第四电磁阀的开启/关闭、根据第二压力传感器检测得到的压力值控制第五电磁阀的开启/关闭。
在本实施例中，第四电磁阀对应气体回收模块的入气端，第五电磁阀对应气体回收模块的出气端。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，气体检测模块包括第七电磁阀、第八电磁阀、以及通过管道依次连接的第六电磁阀、第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪。
第三压力传感器通过第六电磁阀与气体回收模块连接，用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至湿度传感器。
湿度传感器用于对六氟化硫气体进行湿度检测，并将湿度检测后的六氟化硫气体传输至纯度检测仪。
纯度检测仪通过第七电磁阀与目标在运设备的充气口连接、通过第八电磁阀与第二净化模块连接，用于检测六氟化硫气体的纯度，并将纯度检测后的六氟化硫气体传输至目标在运设备或第二净化模块。
第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪、第六电磁阀、第七电磁阀、第八电磁阀还与主控模块连接，主控模块还用于根据第三压力传感器检测得到的压力值控制第六电磁阀开启/关闭、用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第七电磁阀和第八电磁阀的开启/关闭。
在本实施例中，若主控模块根据湿度检测结果和纯度检测结果判断六氟化硫气体净化合格，则控制第七电磁阀开启，将六氟化硫气体回充至目标在运设备，若主控模块根据湿度检测结果和纯度检测结果判断六氟化硫气体净化不合格，则控制第八电磁阀开启，将六氟化硫气体传输至第二净化模块进行二级净化处理。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，第二净化模块包括通过管道依次连接的第九电磁阀、第四压力传感器、制冷箱、固液分离装置、气化装置、第二储气罐。
第九电磁阀还与气体检测模块的出气口连接，第二储气罐的出气口还与气体检测模块的进气口连接。
第四压力传感器用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至制冷箱。
制冷箱用于对六氟化硫气体进行制冷处理，使六氟化硫气体由气态转换为液态，以去除六氟化硫气体中的杂质气体。
固液分离装置用于将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离，并将液态六氟化硫传输至气化装置。
气化装置用于对液态六氟化硫进行气化处理，将液态六氟化硫转换为气态六氟化硫，并将气态六氟化硫传输至第二储气罐储存。
第九电磁阀、制冷箱、第十电磁阀还与主控模块连接，主控模块还用于第四压力传感器检测得到的压力值控制第九电磁阀的开启/关闭、用于控制制冷箱的制冷温度。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，吸附装置中设置有第二压缩机，第二压缩机与主控模块连接。
主控模块还用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第二压缩机的输出功率，以使第二压缩机控制吸附装置内六氟化硫气体的压力，以实现对六氟化硫气体的变压吸附。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，固液分离装置在将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离后，还存储分离后的杂质气体，并在存储后的杂质气体达到预设量之后，将存储的杂质气体回充至第一净化模块。
在本实施例中，杂质气体可以回充至第一净化模块进行再处理，以提高净化度，节约能源。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，主控模块为单片机或微处理器。
可选的，作为本发明实施例提供的在运设备六氟化硫气体在线净化系统的一种具体实施方式，主控模块设置有显示器，显示器用于对各个模块的处理状态进行显示。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，包括：
主控模块、以及通过管道连接的真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块；
所述真空处理模块用于对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理；所述第一净化模块用于对目标在运设备中的六氟化硫气体进行一级净化处理，并将一级净化处理后的六氟化硫气体传输至气体回收模块；所述气体回收模块用于对一级净化处理后的六氟化硫气体进行回收，并按照预设速率将回收后的六氟化硫气体传输至气体检测模块；所述气体检测模块用于对回收后的六氟化硫气体进行湿度和纯度检测，并将检测合格的六氟化硫气体回充至目标在运设备、或将检测不合格的六氟化硫气体传输至第二净化模块；所述第二净化模块用于对检测不合格的六氟化硫气体进行二级净化处理，并将二级净化处理后的六氟化硫气体重新传输至气体检测模块；
所述主控模块分别与真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块连接，用于控制真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块的开启/关闭。
2.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述真空处理模块包括通过管道依次连接的真空泵、电阻真空计、第一电磁阀、第二电磁阀；
所述真空处理模块第一端通过第一电磁阀与目标在运设备连接，所述真空处理模块的第二端通过第二电磁阀与第一净化模块连接；
所述主控模块与所述第一电磁阀、所述第二电磁阀连接，用于控制第一电磁阀和第二电磁阀的开启/关闭。
3.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述第一净化模块包括通过管道依次连接的第一过滤装置、第三电磁阀、吸附装置、流量计、第二过滤装置；
所述第一过滤装置还与目标在运设备的出气口连接，所述第二过滤装置还与所述气体回收模块连接，所述第一过滤装置和所述第二过滤装置均用于对六氟化硫气体进行过滤处理，所述吸附装置用于吸附六氟化硫气体中的水分以及杂质气体，所述流量计用于检测管道中六氟化硫的流量；
所述主控模块分别与所述第三电磁阀、流量计连接，用于根据所述流量计的流量检测结果控制所述第三电磁阀的开启/关闭。
4.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述气体回收模块包括通过管道依次连接的第四电磁阀、第一压力传感器、第一储气罐、第二压力传感器、第五电磁阀；
所述第四电磁阀还与所述第一净化模块连接，所述第五电磁阀还与所述气体检测模块连接；
所述第一压力传感器用于检测检测第一储气罐进气端的六氟化硫气体压力，所述第一压缩机用于所述第二压力传感器用于检测第一储气罐出气端的六氟化硫气体压力，所述第一储气罐用于储存一级净化处理后的经第一压缩机压缩后的六氟化硫气体；
所述第四电磁阀、第五电磁阀、第一压力传感器、第二压力传感器均与主控模块连接，所述主控模块用于根据第一压力传感器检测得到的压力值控制第四电磁阀的开启/关闭、根据第二压力传感器检测得到的压力值控制第五电磁阀的开启/关闭。
5.如权利要求3所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述气体检测模块包括第七电磁阀、第八电磁阀、以及通过管道依次连接的第六电磁阀、第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪；
所述第三压力传感器通过第六电磁阀与所述气体回收模块连接，用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至湿度传感器；
所述湿度传感器用于对六氟化硫气体进行湿度检测，并将湿度检测后的六氟化硫气体传输至纯度检测仪；
所述纯度检测仪通过第七电磁阀与目标在运设备的充气口连接、通过第八电磁阀与第二净化模块连接，用于检测六氟化硫气体的纯度，并将纯度检测后的六氟化硫气体传输至目标在运设备或第二净化模块；
所述第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪、第六电磁阀、第七电磁阀、第八电磁阀还与所述主控模块连接，所述主控模块还用于根据第三压力传感器检测得到的压力值控制第六电磁阀开启/关闭、用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第七电磁阀和第八电磁阀的开启/关闭。
6.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述第二净化模块包括通过管道依次连接的第九电磁阀、第四压力传感器、制冷箱、固液分离装置、气化装置、第二储气罐；
所述第九电磁阀还与所述气体检测模块的出气口连接，第二储气罐的出气口还与所述气体检测模块的进气口连接；
所述第四压力传感器用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至制冷箱；
所述制冷箱用于对六氟化硫气体进行制冷处理，使六氟化硫气体由气态转换为液态，以去除六氟化硫气体中的杂质气体；
所述固液分离装置用于将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离，并将液态六氟化硫传输至气化装置；
所述气化装置用于对液态六氟化硫进行气化处理，将液态六氟化硫转换为气态六氟化硫，并将气态六氟化硫传输至第二储气罐储存；
所述第九电磁阀、制冷箱、第十电磁阀还与所述主控模块连接，所述主控模块还用于第四压力传感器检测得到的压力值控制第九电磁阀的开启/关闭、用于控制制冷箱的制冷温度。
7.如权利要求5所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述吸附装置中设置有第二压缩机，所述第二压缩机与所述主控模块连接；
所述主控模块还用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第二压缩机的输出功率，以使第二压缩机控制所述吸附装置内六氟化硫气体的压力，以实现对六氟化硫气体的变压吸附。
8.如权利要求6所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述固液分离装置在将制冷箱中的液态六氟化硫与杂质气体分离后，还存储分离后的杂质气体，并在存储后的杂质气体达到预设量之后，将存储的杂质气体回充至第一净化模块。
9.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述主控模块为单片机或微处理器。
10.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述主控模块设置有显示器，所述显示器用于对各个模块的处理状态进行显示。
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