JP2000218537A - ワイヤソーの加工液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】加工液の配管を短くするとともに、加工液の温
度制御の即答性を向上することのできるワイヤソーの加
工液供給装置を提供すること。 【解決手段】本発明は、加工液を貯留する加工液タンク
４６、該加工液タンク４６内の加工液の温度制御を行う
熱交換器５０、該熱交換器５０に加工液を循環供給する
循環ポンプ１０６、ワイヤ列２０に加工液を供給する供
給ポンプ５２、及び供給ポンプ５２の供給量を測定する
流量計５４をワイヤソー本体１１から分離して、ワイヤ
ソー本体１１と別体の台車４８に搭載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの加工液
供給装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等
の脆性材料を切断するワイヤソーの加工液供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、複数個のグルーブローラ
にワイヤを巻きかけて形成したワイヤ列に加工液（スラ
リ）を供給しながら被加工物を押し付けることにより、
前記被加工物を薄板状のウェーハに切断する装置であ
る。ワイヤソーの加工液供給装置は、前記加工液を前記
ワイヤ列に供給するとともに、供給した加工液を加工液
タンクに回収し、回収した加工液をワイヤ列に循環供給
している。前記加工液タンク内の加工液は、一部が熱交
換器に送液され、熱交換器で温度調節された後、加工液
タンクに戻される。これにより、前記ワイヤ列に循環供
給される加工液は一定温度に調節される。

【０００３】ところで、従来の加工液供給装置では、前
記加工液タンクは、供給した加工液を回収し易いように
被加工物の切断部の下方に設置され、また、加工液を温
度制御する熱交換器は、被加工物の切断部への熱影響を
考慮して、前記切断部から離して配設されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
加工液供給装置は、加工液タンクと熱交換器とが離れて
設置され、熱交換器で温度制御された加工液が加工液タ
ンクに戻るまでに長時間かかるので、温度制御の即答性
が悪いという問題があった。また、従来の加工液供給装
置では、加工液タンクや熱交換器の他にも、加工液の流
量を測定する流量計等がワイヤソー内に散在しており、
それらを結ぶ配管が長くなるという欠点があった。この
ため、加工液に含まれる砥粒や切削粉等が配管の内部に
固着し易くなり、配管のメンテナンスを頻繁に行う必要
があった。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、加工液の配管を短くするとともに、加工液の温
度制御の即答性を向上させることができるワイヤソーの
加工液供給装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、被加工物を走行するワイヤ列に押し付けて
被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設
けられ、被加工物の切断部に加工液を供給するととも
に、前記供給した加工液を回収して所定の温度に制御す
るワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液を
貯留する加工液タンクと、前記加工液タンクに貯留され
た加工液を所定の温度に制御する熱交換器とを、ワイヤ
ソー本体と別体の台車に搭載したことを特徴とする。

【０００７】請求項１の発明によれば、熱交換器と加工
液タンクとを、ワイヤソー本体と別体の台車に搭載す
る。したがって、熱交換器と加工液タンクはそれぞれが
隣接した状態で配設されるので、熱交換器と加工液タン
クとを連結する配管が短くなり、熱交換器で温度制御さ
れた加工液が加工液タンクに戻るまでの時間が短縮され
る。これにより、温度制御の応答性を向上させることが
できる。また、請求項１の発明によれば、加工液タンク
を台車に搭載したので、加工液タンクを簡単に搬送する
ことができ、加工液タンクに貯留した加工液の交換作業
を効率よく行うことができる。

【０００８】また、請求項２の発明によれば、請求項１
記載の台車に、循環手段、供給手段及び流量計測手段を
搭載する。これにより、熱交換器、加工液タンク、循環
手段、供給手段及び流量計測手段はそれぞれが隣接した
状態で配設されるので、それぞれ連結する配管を短くす
ることができる。したがって、請求項２の発明によれ
ば、加工液の配管のメンテナンスを容易に行うことがで
きる。また、請求項２の発明によれば、熱交換器、加工
液タンク、循環手段、供給手段及び流量計測手段をワイ
ヤソー本体から分離して、前記ワイヤソー本体と別体の
台車に搭載したので、ワイヤソー本体の内部を通過する
加工液の流路を短くすることができる。これにより、加
工液の熱によるワイヤソー本体への悪影響を防止するこ
とができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの加工液供給装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明の加工液供給装置が採用された
ワイヤソー１０の斜視図であり、図２は、図１に示した
ワイヤソーにおいてワイヤソー本体１１の主要部を露出
させた斜視図である。

【００１０】これらの図に示すように、ワイヤソー１０
は、ワイヤソー本体１１、加工液供給ユニット４４、加
工液回収タンク４０、洗浄液タンク７６及びオーバーフ
ロータンク５６から構成される。ワイヤソー本体１１に
は、ワイヤリール１２が設けられ、このワイヤリール１
２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、
１６…で形成される一方側のワイヤ走行路を経て４本の
グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄに複数
回巻き掛けられ、これにより、ワイヤ１４同士が平行な
ワイヤ列２０が形成される。ワイヤ列２０を形成したワ
イヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成され
るとともに前記一方側のワイヤ走行路と同一構造の他方
側のワイヤ走行路を経て、図示しないワイヤリールに巻
き取られる。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（一方側のみ図示）、ワイヤ案内
装置２２によって、ワイヤ１４がワイヤリール１２から
一定ピッチで巻き取られまたは送りだされる。また、ダ
ンサローラ２４には、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設され、このウェイトによって走行するワイヤ１４
に一定の張力が付与される。また、ワイヤ走行路には、
ワイヤ洗浄装置（図示せず）が設けられ、このワイヤ洗
浄装置において走行するワイヤ１４に洗浄液を噴射する
ことによりワイヤ１４に付着した加工液（スラリ）がワ
イヤ１４から除去される。

【００１２】前記ワイヤ１４が巻きかけられた４本のグ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄは、その両端が対向する一
対のスピンドルブラケット４２、４２に回転自在に支持
され、各々の回転中心を結んだ時にその形状が矩形状と
なる位置に配設されている。前記一対のスピンドルブラ
ケット４２、４２は、後述するオイルパン３６の上部に
設置されている。

【００１３】また、前記グルーブローラ１８Ｃ及び前記
一対のワイヤリール１２は、それぞれ正逆回転可能なモ
ータ２６、２８に連結されている。前記ワイヤ１４は、
これらのモータ２６、２８を駆動することにより、一対
のワイヤリール１２間を高速で往復走行する。前記ワイ
ヤ列２０の上方には、ワークフィードテーブル３０がフ
ィードベース３２に上下にスライド自在に取り付けら
れ、フィードベース３２に設けたモータ３３によりワー
クフィードテーブル３０は前記ワイヤ列２０に対して垂
直に昇降移動される。また、ワークフィードテーブル３
０の下部には、図示しないインゴットが結晶方位合わせ
された状態で保持される。

【００１４】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液が回収される。オイルパン
３６の内側には、傾斜面が形成されており、傾斜面の下
端に回収パイプ３８（図５参照）が接続されている。回
収パイプ３８は、先端が加工液回収タンク４０に連結さ
れ、これにより、オイルパン３６に回収された加工液
は、回収パイプ３８を介して加工液回収タンク４０に貯
留される。

【００１５】図３は、図１に示した加工液回収タンク４
０のＡ矢視図であり、図４及び図５は、図３で示した加
工液回収タンク４０の平面図及び左側面図である。加工
液回収タンク４０は、加工液を一時的に貯留するタンク
であり、前記回収パイプ３８によって送液された加工液
が、供給口４０Ａを介して内部に貯留される。この供給
口４０Ａの上部には、カバー６０が取り付けられてい
る。カバー６０は、供給口４０Ａを中心としてコの字状
に組み付けられた３枚の側板６０Ａ、６０Ａ、６０Ａ
と、該側板６０Ａの上部に組み付けられた上板６０Ｂと
から構成される。中央の側板６０Ａの下端は、蝶番６２
によって加工液回収タンク４０の蓋に取り付けられ、こ
れにより、カバー６０は矢印Ｂ方向に揺動自在に構成さ
れる。このカバー６０をワイヤソー本体１１側に回転さ
せると、カバー６０が回収パイプ３８の先端を囲むた
め、回収パイプ３８と供給口４０Ａとの隙間から加工液
が飛散することを防止することができる。

【００１６】また、前記供給口４０Ａの下方には、目の
細かい金網５８が設けられ、回収パイプ３８から送液さ
れた加工液が全てこの金網５８を通過するように構成さ
れる。これにより、前記加工液は、金網５８によってイ
ンゴットの破片等のゴミが除去された状態で、加工液回
収タンク４０内に貯留される。また、加工液回収タンク
４０には、回収された加工液を図６の加工液タンク４６
に送液する回収ポンプ６６が図５の如く設けられる。回
収ポンプ６６のインペラは、樹脂材料、たとえばポリア
セタール系のエンジニアプラスチックで作られる。これ
により、金属製のインペラを用いたときのように、イン
ペラが加工液によって磨耗して金属粉が発生することが
ない。したがって、金属粉がインゴットの切断部に付着
してインゴットの切断精度を悪化させることがない。

【００１７】また、加工液回収タンク４０には、回収し
た加工液の液面高さを測定する液面計６８が設置され
る。液面計６８は主として、昇降棒７０、フロート７
２、ケーシング７４及びセンサ７５で構成される。昇降
棒７０は、加工液回収タンク４０に垂直方向にスライド
自在に支持され、この昇降棒７０の下端にフロート７２
が取り付けられる。フロート７２は、ドーナツ状に形成
され、中央の円孔に前記昇降棒７０が挿入される。昇降
棒７０には、フロート７２の上下にナット７８、７８が
取り付けられ、このナット７８、７８に挟持されること
により、前記フロート７２は、昇降棒７０に固定され
る。

【００１８】前記昇降棒７０はアルミによって中空状に
形成され、また、前記フロート７２は薄厚のステンレス
で中空状に形成されている。これにより、昇降棒７０及
びフロート７２は、軽量化が図られ、比重の小さい液
体、例えばワイヤソー用のクーラントオイル（比重１．
０５）にも浮上するように構成される。また、前記フロ
ート７２はステンレスで作られているので、クーラント
オイルによって腐食するのを防止することができる。な
お、前記クーラントオイルは、インゴットの切断部を洗
浄する場合等に使用され、このクーラントオイルを前記
加工液と同じ経路でワイヤ列２０に供給した場合、供給
したクーラントオイルは加工液と同様に、加工液回収タ
ンク４０に回収される。

【００１９】前記フロート７２の周囲には、円筒状のフ
ロートカバー８０が加工液回収タンク４０の蓋に取り付
けられている。これにより、フロート７２は、加工液回
収タンク４０内の加工液の液面乱れに影響されることが
ないので、液面計６８は加工液の液面高さを精度良く測
定することができる。前記昇降棒７０の上部には、近接
体８２が取り付けられる。また、昇降棒７０のケーシン
グ７４には、複数のセンサ７５、７５、…が上下方向に
所定の間隔で取り付けられる。センサ７５は、例えば近
接センサが用いられ、前記近接体８２が近づくと感知す
るように構成される。各センサ７５はそれぞれ、ワイヤ
ソー本体１１内の制御部８８（図１３参照）に接続さ
れ、近接体８２の接近を感知するとその旨の信号が制御
部８８に出力される。制御部８８は、どのセンサ７５が
近接体８２を感知したかによって、加工液回収タンク４
０内の加工液の液面高さを認識する。そして、制御部８
８は、認識した液面高さに応じて前記回収ポンプ６６の
回転数、即ち加工液回収タンク４０からの加工液の吐出
量を制御する。たとえば、液面高さが高い場合には、回
収ポンプ６６の回転数を増加させて加工液の吐出量を増
やし、加工液が加工液回収タンク４０から溢れるのを防
止する。逆に、加工液の液面高さが低い場合には、前記
制御部８８は、回収ポンプ６６の回転数を低下させて加
工液の吐出量を減少させ、場合によっては、加工液の吐
出量が零になるような回転数（例えば６０ｒｐｍ）に回
収ポンプ６６を制御する。これにより、加工液回収タン
ク４０内の加工液の液面高さの変動を抑えることができ
るとともに、回収ポンプ６６のインペラによって常に加
工液を攪拌し、加工液中の固形物の固着を防止すること
ができる。なお、制御部８８が上記の如く回収ポンプ６
６を制御したにもかかわらず、加工液の液面高さが許容
範囲を超えた場合には、回収ポンプ６６の故障や配管詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示する。

【００２０】また、前記加工液回収タンク４０には図５
に示したように、ワイヤソー本体１１と反対側の側面の
上部に排出口８６が形成され、その排出口８６の下方に
は、オーバーフロータンク５６が設置される。これによ
り、加工液回収タンク４０に回収された加工液の量が多
い場合には、加工液が排出口８６を介してオーバーフロ
ータンク５６に回収されるので、加工液が床に溢れるこ
とがない。

【００２１】また、前記加工液回収タンク４０は、下面
に複数の車輪９０、９０、…が取り付けられるととも
に、ワイヤソー本体１１側の側面に鉛直方向の回転軸を
有するガイドローラ９２、９２が設けられている。一
方、ワイヤソー本体１１には、側面の下部にガイドレー
ル９９が水平方向に形成され、前記ガイドローラ９２と
係合するように構成されている。このガイドレール９９
に前記ガイドローラ９２、９２を係合させると、加工液
回収タンク４０はワイヤソー本体１１の側面に沿って移
動するので、加工液回収タンク４０の供給口４０Ａを回
収パイプ３８の先端の真下に簡単に配置することができ
る。

【００２２】図６は、加工液供給ユニット４４の斜視図
であり、図７は、図６に示した加工液供給ユニット４４
のＣ矢視図である。また、図８及び図９は、図７の側面
図及び平面図である。これらの図に示すように、加工液
供給ユニット４４は、加工液タンク４６、熱交換器５
０、供給ポンプ（供給手段）５２、循環ポンプ（循環手
段）１０６及び流量計（流量計測手段）５４等を移動可
能な台車４８に搭載して構成され、それぞれが隣接した
状態で配設される。

【００２３】加工液タンク４６は、図１３に示すよう
に、前記回収ポンプ６６の排出口に配管を介して連結さ
れ、前記加工液回収タンク４０で回収した加工液は、回
収ポンプ６６により送液されて加工液タンク４６に貯留
される。加工液タンク４６には図８に示すように、攪拌
機９４が設けられ、攪拌翼９６をモータ９８で回転させ
ることにより前記加工液タンク４６内に貯留された加工
液を攪拌するように構成される。これにより、加工液タ
ンク４６に貯留した加工液中の砥粒が加工液タンク４６
の内壁に固着することがない。図８に示した攪拌機９４
の攪拌翼９６は、樹脂（例えばポリアセタール系のエン
ジニアプラスチック）で形成され、加工液との摩擦によ
って金属粉が発生しないように構成される。

【００２４】また、加工液タンク４６には、供給ポンプ
５２が設けられ、供給ポンプ５２を駆動することによ
り、加工液タンク４６に貯留された加工液が図１３に示
すワイヤ列２０上方に設置されたノズル１００から噴射
するように構成される。供給ポンプ５２とノズル１００
とを結合する配管には、流量計５４が配設され、この流
量計５４で供給ポンプ５２から吐出される加工液の流量
が測定される。前記流量計５４及び供給ポンプ５２は、
ワイヤソー本体１１の制御部８８に接続される。制御部
８８は、流量計５４の測定値に基づいて供給ポンプ５２
の吐出量が所定の値になるように供給ポンプ５２を制御
する。

【００２５】加工液タンク４６には、液面計１０４が設
けられる。この液面計１０４によって加工液タンク４６
内に貯留された加工液の液面高さが測定され、液面計１
０４で測定された液面高さの信号は制御部８８に出力さ
れる。制御部８８は、液面計１０４で測定された液面高
さが許容範囲を超えた場合に、加工液の漏れや配管の詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示した後、モータ２６、２
８をはじめとし、供給ポンプ５２等のインゴットの切断
に関係する機器を停止させる。

【００２６】また、前記加工液タンク４６には、循環ポ
ンプ１０６が設置される。循環ポンプ１０６は、熱交換
器５０に配管を介して接続され、熱交換器５０に加工液
を循環供給するように構成される。熱交換器５０は、温
調ユニット１１８に接続されており、この温調ユニット
１１８から熱交換器５０に所定温度の冷却水が供給され
る。これにより、加工液タンク４６内の加工液は、循環
ポンプ１０６によって熱交換器５０に送液され、熱交換
器５０で冷却水により冷却される。

【００２７】循環ポンプ１０６と熱交換器５０との間に
は、温調バルブ１１０が配設されている。また、前記加
工液タンク４６には、加工液の温度を測定する温度セン
サ１０８が設けられる。前記循環ポンプ１０６と温調バ
ルブ１１０は、前記温度センサ１０８で測定された温度
に基づいて前記制御部８８により制御される。すなわ
ち、制御部８８は、温度センサ１０８の測定値に基づい
て温調バルブ１１０を開閉する。たとえば、温度センサ
１０８で測定した加工液の温度が基準値よりも高い場
合、制御部８８は、温調バルブ１０８を開いて熱交換器
５０で加工液を冷却する。逆に、加工液の温度が基準値
よりも低い場合、制御部８８は、温調バルブ１１０を閉
じて熱交換器５０への加工液の送液を停止する。このと
き、循環ポンプ１０６の駆動を継続することにより、加
工液は、循環ポンプ１０６のモータの発熱により加熱さ
れる。なお、符号１１２は、冷却水用フィルタであり、
熱交換器５０に供給する冷却水を濾過させることによ
り、その冷却水に含まれるゴミ等を除去している。

【００２８】また、前記加工液タンク４６には、図９に
示すように粘度計１１４が設けられる。粘度計１１４
は、加工液タンク４６内の加工液の粘度を測定するもの
であり、その粘度情報は、図１３の制御部へ入力され
る。制御部８８は、粘度計１１４で測定した加工液の粘
度が基準値よりも高い場合は、粘度調整バルブ（図示せ
ず）を開いてクーラントまたは加工液新液を補充する。

【００２９】なお、図６の加工液供給ユニット４４に設
けられた制御盤１１６には、攪拌機９４のモータの回転
数、及び供給ポンプ５２と循環ポンプ１０６の回転数等
を制御する制御部が組み込まれている。図１０は、図１
に示した洗浄液タンク７６のＡ矢視図であり、図１１及
び図１２は、図１０で示した洗浄液タンク７６の側面図
及び平面図である。

【００３０】洗浄液タンク７６は、インゴットの加工部
を洗浄する洗浄液（通常、加工液に使用されるクーラン
トオイル）を貯留するタンクである。洗浄液タンク７６
には、ポンプ１２０が設けられ、ポンプ１２０の吐出先
には、ハンドシャワー１２２が取り付けられている。こ
れにより、ポンプ１２０を駆動すると、洗浄液タンク７
６に貯留された洗浄液がハンドシャワー１２２から噴出
し、インゴットの加工部を洗浄することができる。

【００３１】洗浄液タンク７６の下面には、複数の車輪
１２４、１２４、…が取り付けられている。また、洗浄
液タンク７６の側面には、前記ワイヤソー本体１１に形
成されたガイドレール９９に係合するガイドローラ１２
６、１２６が回転自在に支持されている。これにより、
洗浄液タンク７６をワイヤソー本体１１の側面に沿って
移動させることができ、洗浄液タンク７６の供給口７６
Ａを容易に回収パイプ３８の先端の真下に配置すること
ができる。前述したように、加工液回収タンク４０もワ
イヤソー本体１１の側面に沿って移動させることができ
る。したがって、洗浄液タンク７６及び加工液回収タン
ク４０をワイヤソー本体１１に沿って移動させると、簡
単に回収パイプ３８の排出先を洗浄液タンク７６と加工
液回収タンク４０とに切り換えることができる。回収パ
イプ３８の排出先を洗浄液タンク７６に切り換えると、
前記ハンドシャワー１２２からインゴットの加工部に供
給した洗浄液を、オイルパン３６及び回収パイプ３８を
介して洗浄液タンク７６に回収することができる。

【００３２】前記洗浄液タンク７６の供給口７６Ａの上
部には、カバー１２８が取り付けられている。カバー１
２８は、供給口７６Ａを中心としてコの字状に組み付け
られた３枚の側板１２８Ａ、１２８Ａ、１２８Ａと、該
側板１２８Ａの上部に組み付けられた上板１２８Ｂとか
ら構成される。中央の側板１２８Ａの下端は、蝶番１３
０によって洗浄液タンク７６に取り付けられ、カバー１
２８は矢印Ｄ方向に揺動自在に構成されている。このカ
バー１２８をワイヤソー本体１１側に回転させると、カ
バー１２８が回収パイプ３８の先端を囲むので、回収パ
イプ３８と供給口７６Ａとの隙間から洗浄液が飛散する
ことを防止することができる。

【００３３】また、前記供給口７６Ａの下方には、目の
細かい金網１３４が設けられ、回収パイプ３８から送液
された洗浄液が全てこの金網１３４を通過するように構
成される。これにより、前記洗浄液は、金網１３４によ
ってインゴットの破片等のゴミが除去されて、洗浄液タ
ンク７６内に回収される。上記の如く構成されたワイヤ
ソーの加工液供給装置の作用は次の通りである。

【００３４】上記のワイヤソー１０では、まず、インゴ
ットをワークフィードテーブル３０の下部に装着する。
次に、モータ２６を駆動してグルーブローラ１８Ｃを高
速回転させるとともにモータ２８を駆動してワイヤリー
ル１２を高速回転させ、ワイヤ１４を高速で往復走行さ
せる。そして、ワークフィードテーブル３０を下降さ
せ、走行するワイヤ列２０にインゴットを押し当てる。
この際、ワイヤ列２０とインゴットとの接触部には、ノ
ズル１００から加工液が供給され、インゴットは、この
加工液中に含有される砥粒のラッピング作用で多数枚の
ウェーハに切断される。

【００３５】このときの加工液の流れを図１３に示す。
同図に示すように、加工液タンク４６に貯留された加工
液は、供給ポンプ５２によってワイヤ列２０上方のノズ
ル１００に供給される。このとき、流量計５４で供給ポ
ンプ５２の吐出量を測定し、この吐出量に基づいて前記
制御部８８が供給ポンプ５２を制御し、ノズル１００に
は一定量の加工液が供給される。ノズル１００に供給さ
れた加工液は、ノズル１００からワイヤ列２０に噴射さ
れ、インゴットの加工に供される。インゴットの加工に
供された加工液は、オイルパン３６で回収され、回収パ
イプ３８を介して直ぐに加工液回収タンク４６に回収さ
れる。

【００３６】このように本実施の形態では、インゴット
の加工に供された加工液が、直ぐにワイヤソー本体１１
の外部に排出される。したがって、インゴットの切断に
供された加工液が、インゴットの切断部から熱を吸収し
て温度上昇しても、直ぐにワイヤソー本体１１外に排出
されるので、ワイヤソー本体１１の各構成機器が熱変形
することがない。

【００３７】前記加工液回収タンク４０に回収された加
工液は、回収ポンプ６６によって加工液タンク４６に排
水される。このとき、制御部８８が、加工液の液面高さ
に応じて回収ポンプ６６の回転数を決定するので、加工
液タンク４６に貯留した加工液の量を略一定に保つこと
ができる。これにより、加工液タンク４６に貯留された
加工液の温度制御をより正確に行うことができる。

【００３８】また、加工液タンク４６に貯留された加工
液は、循環ポンプ１０６によって熱交換器５０に循環供
給され、この熱交換器５０で所定の温度に制御される。
このとき、加工液タンク４６と熱交換器５０とが互いに
隣接されているので、加工液タンク４６と熱交換器５０
とを含む循環経路を形成する配管が短くなり、熱交換器
５０で温度調節された加工液が加工液タンク４６に戻る
までの時間が短縮される。これにより、加工液の温度制
御の即答性を向上させることができる。したがって、ワ
イヤ列２０には一定温度に制御された加工液が供給され
るので、インゴットの切断精度は向上する。

【００３９】また、本実施の形態のワイヤソー１０の加
工液供給装置では、加工液タンク４６を台車４８に搭載
したので、加工液タンク４６の搬送が容易になり、加工
液タンク４６内の加工液の交換作業を効率良く行うこと
ができる。また、本実施の形態の加工液供給装置では、
加工液供給ユニット４４をワイヤソー本体１１から分離
したので、ワイヤソー本体１１を小型化することがで
き、さらに加工液供給ユニット４４を台車４８に搭載し
て任意の場所に設置できるようにしたので、ワイヤソー
１０の設置スペースの確保の際に有利である。

【００４０】また、本実施の形態の加工液供給装置で
は、加工液タンク４６、供給ポンプ５２、循環ポンプ１
０６及び流量計５４を台車４８に搭載したので、それぞ
れが隣接した状態で配設され、それぞれを連結する配管
を短くすることができる。これにより、加工液に含まれ
た砥粒の固着が生じにくくなり、配管のメンテナンスを
容易に行うことができる。また、本実施の形態では、加
工液タンク４６、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及
び流量計５４が台車４８に搭載されて一か所にまとめら
れているので、メンテナンスを容易に行うことができ
る。

【００４１】なお、本実施の形態では、加工液タンク４
６、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及び流量計５４
を台車４８に搭載したが、ワイヤソー本体１１と別体の
架台に搭載してもよい。この場合にも加工熱の温度制御
の即答性を向上させることができ、加工液の配管を短く
することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤソ
ーの加工液供給装置によれば、加工液タンク及び熱交換
器を、ワイヤソー本体と別体の台車に隣接した状態で搭
載したので、加工液の温度制御の即答性を向上すること
ができる。また、本発明によれば、加工液タンク、供給
手段、循環手段、制御手段及び流量計測手段をそれぞれ
が隣接した状態で前記台車に搭載したので、それぞれを
接続する加工液の配管を短くすることができ、前記配管
のメンテナンス性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る加工液供給装置を用
いたワイヤソーの全体構成図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の構成機器を露出
させたワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示した加工液回収タンクの正面図

【図４】図２に示した加工液回収タンクの平面図

【図５】図２に示した加工液回収タンクの側面図

【図６】図１に示した加工液供給ユニットの斜視図

【図７】図６に示した加工液供給ユニットの正面図

【図８】図６に示した加工液供給ユニットの側面図

【図９】図６に示した加工液供給ユニットの平面図

【図１０】図１に示した洗浄液タンクの正面図

【図１１】図１０に示した洗浄液タンクの側面図

【図１２】図１０に示した洗浄液タンクの平面図

【図１３】本発明の実施の形態に係る加工液供給装置の
作用を説明する説明図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ４４…加工液供給ユニット ４６…加工液タンク ４８…台車 ５０…熱交換器 ５２…供給ポンプ ５４…流量計 １０６…循環ポンプ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被加工物を走行するワイヤ列に押し付けて
   被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設
   けられ、被加工物の切断部に加工液を供給するととも
   に、前記供給した加工液を回収して所定の温度に制御す
   るワイヤソーの加工液供給装置において、 前記加工液を貯留する加工液タンクと、前記加工液タン
   クに貯留された加工液を所定の温度に制御する熱交換器
   とを、ワイヤソー本体とは別体の台車に搭載したことを
   特徴とするワイヤソーの加工液供給装置。
2. 【請求項２】前記加工液タンクと前記熱交換器とを含む
   循環系路に加工液を循環させる循環手段と、前記加工液
   タンク内に貯留された加工液を前記ワイヤ列に供給する
   供給手段と、前記供給手段により前記ワイヤ列に供給さ
   れる加工液の流量を計測する流量計測手段と、を前記台
   車に搭載したことを特徴とする請求項１記載のワイヤソ
   ーの加工液供給装置。