JP2000218541A - 加工液の液面計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来の液面計を大幅に変更することなく、低コ
ストで、ワイヤソー用のクーラントオイル及びスラリの
液位を測定できる液面計を提供する。 【解決手段】本発明の液面計６８は、フロート７２及び
該フロート７２を浮動自在に支持する支持棒７０が、中
空に形成される。これにより、フロート７２及び支持棒
７０は軽量化され、比重の小さいクーラントオイルにも
浮上される。また、前記フロート７２の周囲には、フロ
ート７２の浮動をガイドするフロートカバー８０が設け
られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は加工液の液面計に係
り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の脆性材料を
切断するワイヤソーで使用される加工液の液面計に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、複数個のグルーブローラ
にワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、このワイヤ列
にスラリ等の加工液を供給しながら被加工物をワイヤ列
に押し付けることにより、被加工物を多数枚のウェーハ
に切断する装置である。このようなワイヤソーにおい
て、前記加工液が貯留されるタンクには、液面計が設け
られ、この液面計で加工液の液位が常時監視され、タン
ク内の液位が略一定になるように制御される。従来の液
面計は、円柱状の支持棒によってフロートが浮動自在に
支持され、該フロートが浮動された際の前記支持棒の上
下移動位置が検出手段により検知されて、加工液の液位
が検出されていた。

【０００３】ところで、前記加工液は、通常、ワイヤソ
ー用クーラントオイルと、該クーラントオイルに砥粒が
混合されたスラリとが使用され、前記フロートはこれら
の加工液に溶解されないように金属製のものが使われて
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属製
のフロートは、その自重が大きくなるため、比重の大き
いスラリに浮くことはできても、比重の小さいクーラン
トには、沈むという欠点があった。このことから、従来
の液面計は、比重の小さいクーラントオイルの液位を測
定することができなかった。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、従来の液面計を大幅に変更することなく、低コ
ストで、ワイヤソー用のクーラントオイル及びスラリの
液位を測定することのできる加工液の液面計を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤ列に被加工物を押し付けるととも
に加工液を供給しながら被加工物を切断するワイヤソー
に設けられ、前記加工液の貯留タンクに貯留された加工
液の液面を検出する加工液の液面計において、前記液面
計は、中空のフロート部材と、該フロート部材に連結さ
れてフロート部材を浮動自在に支持するとともに中空に
形成された支持棒と、前記フロート部材の浮動による前
記支持棒の上下移動位置を検知して加工液の液面を検出
する検出手段と、から構成されていることを特徴とす
る。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、前記支持棒
が中空に形成されるので、前記フロートは、前記支持棒
を中空にした分だけ軽量化され、比重の小さい加工液
（クーラントオイル）にも浮上される。したがって、請
求項１の発明によれば、従来の液面計を大幅に変更する
ことなく、低コストで、比重の小さい加工液の液位を測
定できる液面計を提供することができる。

【０００８】請求項２記載の発明によれば、前記液面計
の前記フロート部材は、耐食材で作られているので、腐
食性を有する様々な加工液に請求項２記載の液面計を使
用することができる。請求項３記載の発明によれば、前
記フロート部材浮動部を包囲する筒状部材が設けられて
いるので、フロート部材浮動部が小さな液面変位に影響
されることがなく、これにより、液面計は加工液の液位
を精度良く測定することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る加工液の液面計の実施の形態について詳説する。図１
は、本発明の液面計が適用されたワイヤソー１０の斜視
図であり、図２はワイヤソー本体１１の主要部を露出さ
せた斜視図である。

【００１０】これらの図に示すように、前記ワイヤソー
１０は、ワイヤソー本体１１に加工液供給ユニット４
４、加工液回収タンク４０、洗浄液タンク７６及びオー
バーフロータンク５６が設けられて構成される。ワイヤ
ソー本体１１には、ワイヤリール１２が内蔵され、この
ワイヤリール１２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイ
ドローラ１６、１６…で形成される一方側のワイヤ走行
路を経由して４本のグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１
８Ｃ、１８Ｄに複数回巻き掛けられる。これにより、グ
ルーブローラ１８Ａとグルーブローラ１８Ｂとの間に、
ワイヤ１４同士が平行なワイヤ列２０が形成される。ワ
イヤ列２０を形成したワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟
んで左右対称に形成されるとともに前記一方側のワイヤ
走行路と同一構造の他方側のワイヤ走行路を経由して、
図示しないワイヤリールに巻き取られる。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（図２では一方側のワイヤ走行路
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２によって、ワイヤ１４
がワイヤリール１２から一定ピッチで巻き取られ、また
は送りだされる。また、ダンサローラ２４には、所定重
量のウェイト（図示せず）が架設され、このウェイトに
よって走行するワイヤ１４に一定の張力が付与される。
更に、ワイヤ走行路には、図示しないワイヤ洗浄装置が
設けられ、このワイヤ洗浄装置から噴射される洗浄液に
よってワイヤ１４に付着した加工液がワイヤ１４から除
去される。

【００１２】前記４本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ
は、その両端が対向する一対のスピンドルブラケット４
２、４２に回転自在に支持され、各々の回転中心を結ん
だ時にその形状が矩形状となる位置に配設されている。
前記一対のスピンドルブラケット４２、４２は、オイル
パン３６の上部に設置されている。また、前記グルーブ
ローラ１８Ｃ及び前記一対のワイヤリール１２は、それ
ぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８に連結されてい
る。これらのモータ２６、２８が駆動されると、前記ワ
イヤ１４は、一対のワイヤリール１２間を高速で往復走
行される。

【００１３】前記ワイヤ列２０の上方には、ワークフィ
ードテーブル３０がフィードベース３２に昇降自在に取
り付けられている。このワークフィードテーブル３０
は、フィードベース３２に設けられたモータ３３によっ
て、前記ワイヤ列２０に対し垂直方向に昇降移動され
る。また、ワークフィードテーブル３０の下部には、図
示しないインゴットが、結晶方位合わせされた状態で保
持される。

【００１４】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液が回収される。オイルパン
３６の内側には傾斜面が形成されており、この傾斜面の
下部には、図５に示す回収パイプ３８が接続されてい
る。回収パイプ３８は、先端が加工液回収タンク４０に
連結され、これにより、オイルパン３６に回収された加
工液は、回収パイプ３８を介して加工液回収タンク４０
に貯留される。

【００１５】図３は、図１に示した加工液回収タンク４
０のＡ矢視図であり、図４及び図５は、図３で示した加
工液回収タンク４０の平面図及び左側面図である。加工
液回収タンク４０は、加工液を一時的に貯留するタンク
であり、前記回収パイプ３８によって送液された加工液
が、供給口４０Ａを介して内部に貯留される。この供給
口４０Ａの上部には、カバー６０が取り付けられてい
る。カバー６０は、供給口４０Ａを中心としてコの字状
に組み付けられた３枚の側板６０Ａ、６０Ａ、６０Ａ
と、該側板６０Ａの上部に組み付けられた上板６０Ｂと
から構成される。中央の側板６０Ａの下端は図５の如
く、ヒンジ６２によって加工液回収タンク４０の蓋４１
に取り付けられ、これにより、カバー６０は矢印Ｂ方向
に揺動自在に構成される。このカバー６０をワイヤソー
本体１１側に揺動させると、カバー６０によって回収パ
イプ３８の先端が包囲されるので、回収パイプ３８と供
給口４０Ａとの隙間から加工液が外部に飛散することが
防止される。

【００１６】また、前記供給口４０Ａの下方には、目の
細かい金網５８が設けられ、回収パイプ３８から送液さ
れた加工液は、全てこの金網５８を通過するように構成
される。これにより、前記加工液は、金網５８によって
インゴットの破片等のゴミが除去されて加工液回収タン
ク４０内に貯留される。また、加工液回収タンク４０に
は、回収された加工液を図６の加工液タンク４６に送液
する回収ポンプ６６が図５の如く設けられる。回収ポン
プ６６の図３に示すインペラ６７は、樹脂材料、たとえ
ばポリアセタール系のエンジニアリングプラスチックで
作られる。これにより、金属製のインペラを用いたとき
のように、インペラが加工液によって磨耗して金属粉が
発生することがない。したがって、金属粉がインゴット
の切断部に付着してインゴットの切断精度を悪化させる
ことがない。また、前記インペラ６７の回転軸９５に
は、攪拌翼９７が取り付けられている。この攪拌翼９７
が、インペラ６７とともに回転されることにより、加工
液回収タンク４０に貯留された加工液が効率よく攪拌さ
れる。これにより、加工液回収タンク４０に貯留された
加工液中の砥粒が加工液回収タンク４０の内壁に固着す
ることはなく、また、砥粒の沈殿も防止することがで
き、更に、スラリの凝固も防止することができる。前記
攪拌翼９７は、樹脂（例えばポリアセタール系のエンジ
ニアリングプラスチック）で形成され、加工液との摩擦
によって金属粉が発生しないように構成される。

【００１７】次に、本発明の実施の形態に係る液面計６
８について説明する。液面計６８は主として、支持棒７
０、フロート７２（フロート部材に相当）、ケーシング
７４及びセンサ７５（検出手段）で構成され、前記加工
液回収タンク４０に設置される。支持棒７０は、加工液
回収タンク４０に垂直方向にスライド自在に支持され、
図１４に示すように、支持棒７０の下端部にフロート７
２が取り付けられる。フロート７２は、ドーナツ状に形
成され、中央の円孔に前記支持棒７０が挿入される。支
持棒７０には、フロート７２の上下にナット７８、７８
が取り付けられ、このナット７８、７８を上下方向から
締結することにより、前記フロート７２が支持棒７０に
固定される。

【００１８】前記支持棒７０は、アルミによって中空に
形成されている。また、前記フロート７２は、薄厚のス
テンレスで中空に形成されている。これにより、支持棒
７０及びフロート７２は軽量化が図られ、また、支持棒
自体もフロートとして機能するため、加工液の比重が小
さい場合、例えばワイヤソー用のクーラントオイル（比
重１．０５）にも浮上される。したがって、前記フロー
ト７２は、加工液に確実に浮上し、加工液の液面ととも
に上下動するので、フロート７２を支持した支持棒７０
に位置により加工液の液位が測定される。また、前記フ
ロート７２が、ステンレスで製作されているので、クー
ラントオイルによって腐食することがない。なお、前記
クーラントオイルは、インゴットの切断部を洗浄する場
合等に使用され、このクーラントオイルを前記加工液と
同じ経路でワイヤ列２０に供給した場合には、クーラン
トオイルは加工液と同様に、加工液回収タンク４０に回
収される。

【００１９】前記フロート７２の周囲には、円筒状のフ
ロートカバー（筒状部材）８０が加工液回収タンク４０
の蓋４１に取り付けられている。これにより、フロート
７２は、その浮動がフロートカバー８０で包囲され、加
工液回収タンク４０内の加工液の液面乱れに影響されな
いので、液面計６８は加工液の液面高さを精度良く測定
することができる。

【００２０】前記支持棒７０の上部には、近接体８２が
取り付けられる。また、支持棒７０のケーシング７４に
は、複数のセンサ７５、７５…が上下方向に所定の間隔
で取り付けられる。センサ７５は、例えば近接センサが
用いられ、前記近接体８２が近づくと感知するように構
成される。各センサ７５はそれぞれ、ワイヤソー本体１
１内の制御部８８（図１３参照）に接続され、近接体８
２の接近を感知するとその旨の信号が制御部８８に出力
される。制御部８８は、どのセンサ７５が近接体８２を
感知したかによって、加工液回収タンク４０内の加工液
の液面高さを認識する。そして、制御部８８は、認識し
た液面高さに応じて前記回収ポンプ６６の回転数を制御
し、加工液回収タンク４０からの加工液吐出量を制御す
る。たとえば、液面高さが高い場合には、回収ポンプ６
６の回転数を増加させて加工液の吐出量を増やし、加工
液が加工液回収タンク４０から溢れるのを防止する。逆
に、加工液の液面高さが低い場合には、前記制御部８８
は、回収ポンプ６６の回転数を低下させて加工液の吐出
量を減少させ、場合によっては、加工液の吐出量が零に
なるような回転数（例えば６０ｒｐｍ）に回収ポンプ６
６を制御する。これにより、加工液回収タンク４０内の
加工液の液面高さの変動を抑えることができるととも
に、回収ポンプ６６に取り付けられた攪拌翼によって常
に加工液を攪拌し、加工液中の固形物の固着を防止する
ことができる。なお、制御部８８が上記の如く回収ポン
プ６６を制御したにもかかわらず、加工液の液面高さが
許容範囲を超えた場合には、回収ポンプ６６の故障や配
管詰まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示
画面８９にエラーメッセージを表示する。

【００２１】前記加工液回収タンク４０には図５に示す
ように、ワイヤソー本体１１と反対側の側面の上部に排
出口８６が形成されている。その排出口８６の下方に
は、オーバーフロータンク５６が設置される。これによ
り、加工液回収タンク４０に回収された加工液の量が多
い場合には、加工液が排出口８６を介してオーバーフロ
ータンク５６に回収されるので、加工液が床に溢れるこ
とがない。

【００２２】また、前記加工液回収タンク４０は、複数
の車輪９０、９０…を有する台車９１に搭載されるとと
もに、ワイヤソー本体１１側の側面には鉛直方向の回転
軸を有するガイドローラ９２、９２が設けられている。
一方、ワイヤソー本体１１には、側面の下部にガイドレ
ール９９が水平方向に形成され、前記ガイドローラ９２
と係合するように構成されている。このガイドレール９
９に前記ガイドローラ９２、９２を係合させると、加工
液回収タンク４０はワイヤソー本体１１の側面に沿って
移動するので、加工液回収タンク４０の供給口４０Ａを
回収パイプ３８の先端の真下に簡単に配置することがで
きる。

【００２３】図６は、加工液供給ユニット４４の斜視図
であり、図７は、図６に示した加工液供給ユニット４４
のＣ矢視図である。また、図８及び図９は、図７の側面
図及び平面図である。これらの図に示すように、加工液
供給ユニット４４は、加工液タンク４６、熱交換器５
０、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及び流量計５４
等を移動可能な台車４８に搭載して構成され、それぞれ
が隣接した状態で配設される。

【００２４】加工液タンク４６は、図１３に示した前記
回収ポンプ６６の排出口に配管を介して連結されてい
る。したがって、前記加工液回収タンク４０で回収され
た加工液は、回収ポンプ６６を介して加工液タンク４６
に貯留される。加工液タンク４６には図８に示すよう
に、攪拌機９４が設けられ、攪拌翼９６をモータ９８で
回転させることにより前記加工液タンク４６内に貯留さ
れた加工液を攪拌するように構成される。これにより、
加工液タンク４６に貯留した加工液中の砥粒が加工液タ
ンク４６の内壁に固着することがない。前記攪拌機９４
の攪拌翼９６は、樹脂（例えばポリアセタール系のエン
ジニアリングプラスチック）で形成され、加工液との摩
擦によって金属粉が発生しないように構成される。

【００２５】また、前記加工液タンク４６には、供給ポ
ンプ５２が設けられ、供給ポンプ５２が駆動されること
により、加工液タンク４６に貯留された加工液がワイヤ
列２０上方に設置された図１３のノズル１００に供給さ
れ、このノズル１００からワイヤ列２０に向けて噴射さ
れる。前記供給ポンプ５２とノズル１００とを連結する
配管には、流量計５４が配設され、この流量計５４で供
給ポンプ５２から吐出される加工液の流量が測定され
る。前記流量計５４及び供給ポンプ５２は、ワイヤソー
本体１１の制御部８８によって制御される。即ち、制御
部８８は、流量計５４の測定値に基づいて供給ポンプ５
２の吐出量が所定の値になるように供給ポンプ５２を制
御する。

【００２６】加工液タンク４６には、液面計１０４が設
けられる。この液面計１０４によって加工液タンク４６
内に貯留された加工液の液面高さが測定され、液面計１
０４で測定された液面高さの信号は制御部８８に出力さ
れる。制御部８８は、液面計１０４で測定された液面高
さが許容範囲を超えた場合に、加工液の漏れや配管の詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示した後、モータ２６、２
８をはじめとし、供給ポンプ５２等のインゴットの切断
に関係する機器を停止させる。

【００２７】前記加工液タンク４６には、循環ポンプ１
０６が設置される。循環ポンプ１０６は、熱交換器５０
に配管を介して接続され、熱交換器５０に加工液を循環
供給するように構成される。熱交換器５０は、温調ユニ
ット１１８に接続され、この温調ユニット１１８から熱
交換器５０に所定温度の冷却水が供給される。これによ
り、加工液タンク４６内の加工液は、循環ポンプ１０６
によって熱交換器５０に送液され、熱交換器５０で冷却
水により冷却される。

【００２８】循環ポンプ１０６と熱交換器５０との間に
は、温調バルブ１１０が配設されている。また、前記加
工液タンク４６には、加工液の温度を測定する温度セン
サ１０８が設けられる。前記循環ポンプ１０６と温調バ
ルブ１１０は、この温度センサ１０８で測定された温度
に基づいて前記制御部８８により制御される。即ち、制
御部８８は、温度センサ１０８の測定値に基づいて温調
バルブ１１０を開閉する。例えば、温度センサ１０８で
測定した加工液の温度が基準値よりも高い場合、制御部
８８は、温調バルブ１１０を開いて熱交換器５０で加工
液を冷却する。逆に、加工液の温度が基準値よりも低い
場合、制御部８８は、温調バルブ１１０を閉じて熱交換
器５０への加工液の送液を停止する。このとき、循環ポ
ンプ１０６の駆動を継続することにより、加工液は、循
環ポンプ１０６のモータの発熱により加熱される。な
お、符号１１２は、冷却水用フィルタであり、熱交換器
５０に供給する冷却水が濾過されることによって、冷却
水に含まれるゴミ等が除去される。

【００２９】また、前記加工液タンク４６には図９に示
すように、粘度計１１４が設けられる。粘度計１１４
は、加工液タンク４６内の加工液の粘度を測定するもの
で、その測定された粘度情報が前記制御部８８へ入力さ
れる。制御部８８は、粘度計１１４で測定された粘度が
基準値よりも高い場合は、粘度調整バルブ（図示せず）
を開いてクーラントまたは加工液新液を加工液に補充す
る。

【００３０】図１０は、図１に示した洗浄液タンク７６
のＡ矢視図であり、図１１及び図１２は、図１０で示し
た洗浄液タンク７６の側面図及び平面図である。洗浄液
タンク７６は、インゴットの切断部を洗浄する洗浄液
（通常、加工液に使用されるクーラントオイル）を貯留
するタンクである。洗浄液タンク７６には、ポンプ１２
０が設けられ、ポンプ１２０の吐出先には、ハンドシャ
ワー１２２が取り付けられている。これにより、ポンプ
１２０が駆動されると、洗浄液タンク７６に貯留された
洗浄液がハンドシャワー１２２から噴出され、インゴッ
トの切断部が洗浄される。

【００３１】洗浄液タンク７６は、複数の車輪１２４、
１２４…を有する台車１２５に搭載されるとともに、洗
浄液タンク７６の側面には、前記ワイヤソー本体１１に
形成されたガイドレール９９に係合するガイドローラ１
２６、１２６が回転自在に支持されている。これによ
り、洗浄液タンク７６をワイヤソー本体１１の側面に沿
って移動させることができ、洗浄液タンク７６の供給口
７６Ａを容易に回収パイプ３８の先端の真下に配置する
ことができる。前述したように、図５の加工液回収タン
ク４０もワイヤソー本体１１の側面に沿って移動させる
ことができる。したがって、洗浄液タンク７６及び加工
液回収タンク４０をワイヤソー本体１１に沿って移動さ
せると、簡単に回収パイプ３８の排出先を洗浄液タンク
７６と加工液回収タンク４０とに切り換えることができ
る。回収パイプ３８の排出先を図１１の如く洗浄液タン
ク７６に切り換えると、前記ハンドシャワー１２２から
インゴットの切断部に供給された洗浄液が、オイルパン
３６及び回収パイプ３８を介して洗浄液タンク７６に回
収される。

【００３２】前記洗浄液タンク７６の供給口７６Ａの上
部には、カバー１２８が取り付けられている。カバー１
２８は、供給口７６Ａを中心としてコの字状に組み付け
られた３枚の側板１２８Ａ、１２８Ａ、１２８Ａと、該
側板１２８Ａの上部に組み付けられた上板１２８Ｂとか
ら構成される。中央の側板１２８Ａの下端は、ヒンジ１
３０によって洗浄液タンク７６に取り付けられ、カバー
１２８は矢印Ｄ方向に揺動自在に構成されている。この
カバー１２８をワイヤソー本体１１側に揺動させると、
カバー１２８によって回収パイプ３８の先端が包囲され
るので、回収パイプ３８と供給口７６Ａとの隙間から洗
浄液が飛散することが防止される。

【００３３】また、前記供給口７６Ａの下方には、目の
細かい金網１３４が設けられ、回収パイプ３８から送液
された洗浄液が全てこの金網１３４を通過するように構
成される。これにより、前記洗浄液は、金網１３４によ
ってインゴットの破片等のゴミが除去されて洗浄液タン
ク７６内に回収される。以上説明したように、本実施の
形態の液面計６８は、支持棒７０が中空に形成され、フ
ロート７２が比重の小さいクーラントオイルにも浮上さ
れる。したがって、液面計６８は、クーラントオイルの
液位を正確に測定することができる。このように、本実
施の形態の液面計６８は、従来の液面計を大幅に変更せ
ずに、比重の小さい加工液の液位を測定できる。

【００３４】また、本実施の形態の液面計６８は、スラ
リとクーラントオイルの両方の液位を正確に測定できる
ので、スラリとクーラントオイルの供給システムを共通
化することができる。以下に、共通化されたワイヤソー
の運転方法について説明する。まず、インゴットを切断
する場合、加工液タンク４６には、スラリが貯留され
る。加工液タンク４６に貯留された加工液は、図１３で
示すように、供給ポンプ５２でノズル１００に供給さ
れ、ノズル１００からワイヤ列２０に噴射される。噴射
された加工液は、インゴットの切断に供された後、オイ
ルパン３６で回収され、回収パイプ３８を介して加工液
回収タンク４０に貯留される。貯留された加工液は、液
面計６８によって液位が正確に測定され、その測定した
液位に基づいて回収ポンプ６６が制御部８８によって制
御され、前記加工液が加工液タンク４６に回収される。
そして、インゴットの切断終了後に加工部の洗浄を行う
場合には、加工液タンク４６に貯留された加工液をクー
ラントオイルに交換し、そのクーラントオイルを前記ス
ラリと同様にワイヤ列２０に供給する。すなわち、加工
液タンク４６に貯留されたクーラントオイルは、供給ポ
ンプ５２でノズル１００に供給され、ノズル１００から
ワイヤ列２０に噴射される。噴射されたクーラントオイ
ルは、加工部の洗浄に使用された後、オイルパン３６で
回収され、回収パイプ３８を介して加工液回収タンク４
０に貯留される。そして、液面計６８によって液位が正
確に測定され、その測定された液位に基づいて回収ポン
プ６６が制御部８８によって制御され、クーラントオイ
ルは、加工液タンク４６に回収される。

【００３５】このように、スラリとクーラントオイルと
を同じ配管で循環させることができ、ワイヤソーのコス
トを低減させることができる。また、循環液がスラリで
あってもクーラントオイルであっても、正確に液位が検
出されるので、制御部８８は、スラリを循環供給させた
際の制御回路を用いて、クーラントオイルを循環供給さ
せることができる。したがって、クーラントオイルの循
環供給用の制御プログラムや、クーラントオイルの配管
を新たに設けることなく、加工部の洗浄を自動化するこ
とができる。なお、上述した例の場合、加工液をスラリ
からクーラントオイルに変更すると、フロートの浮上量
が変わるので、この浮上量の差に相当する錘を支持棒７
０に着脱させることにより、クーラントオイルとスラリ
の液位の測定差異を無くすことができる。

【００３６】また、本実施の形態の液面計６８は、フロ
ート７２がステンレス製なので、腐食性の加工液を用い
た場合にも対応することができる。なお、フロート７２
は、耐食性の材質であれば何でも良い。また、本実施の
形態の液面計６８は、フロート７２の浮動をガイドする
フロートカバー８０が設けられているので、フロート７
２は、このフロートカバー８０でその浮動がガイドされ
る。これにより、加工液が回収パイプ３８から排出され
て液面が乱れた場合にも、これに影響されること無く、
液面計６８で加工液の液位を正確に測定することができ
る。

【００３７】なお、上述した実施の形態では、フロート
７２及び支持棒７０を中空に形成したが、その中空部に
空気よりも比重の軽い気体を注入し、フロート７２及び
支持棒７０のさらなる軽量化を図っても良い。また、加
工液タンク４６に設けた液面計１０４に本発明の液面計
を用いてもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の加工液の
液面計によれば、支持棒が中空に形成されるので、液面
計のフロート部材は、比重の小さい加工液、たとえばク
ーラントオイルにも浮上される。したがって、本発明に
よれば、従来の液面計を大幅に変更することなく、比重
の小さい加工液の液位を測定できる液面計を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る加工液の液面計を用
いたワイヤソーの全体構成図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の要部を露出させ
たワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示した加工液回収タンクの正面図

【図４】図２に示した加工液回収タンクの平面図

【図５】図２に示した加工液回収タンクの側面図

【図６】図１に示した加工液供給ユニットの斜視図

【図７】図６に示した加工液供給ユニットの正面図

【図８】図６に示した加工液供給ユニットの側面図

【図９】図６に示した加工液供給ユニットの平面図

【図１０】図１に示した洗浄液タンクの正面図

【図１１】図１０に示した洗浄液タンクの側面図

【図１２】図１０に示した洗浄液タンクの平面図

【図１３】実施の形態の加工液の液面計を含むワイヤソ
ーの構造を示すブロック図

【図１４】本発明の液面計の主要構成部

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２０…ワイヤ列 ４０…加工液回収タンク ４６…加工液タンク ６８…液面計 ７０…支持棒 ７２…フロート

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤ列に被加工物を押し付けるととも
   に加工液を供給しながら被加工物を切断するワイヤソー
   に設けられ、前記加工液の貯留タンクに貯留された加工
   液の液面を検出する加工液の液面計において、 前記液面計は、 中空のフロート部材と、 該フロート部材に連結されてフロート部材を浮動自在に
   支持するとともに中空に形成された支持棒と、 前記フロート部材の浮動による前記支持棒の上下移動位
   置を検知して加工液の液面を検出する検出手段と、 から構成されていることを特徴とする加工液の液面計。
2. 【請求項２】 前記液面計の前記フロート部材は、耐食
   材で作られていることを特徴とする請求項１記載の加工
   液の液面計。
3. 【請求項３】 前記液面計には、前記フロート部材を包
   囲して該フロート部材浮動部の液面変動を抑制する筒状
   部材が設けられていることを特徴とする請求項１又は２
   記載の加工液の液面計。