JP2000218539A - ワイヤソーの加工液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】スラリ又は洗浄液の回収先をスラリ用タンクと
洗浄液用タンクとで容易に切り換えられるワイヤソーの
加工液供給装置を提供する。 【解決手段】本発明によれば、スラリ回収タンク４０及
び洗浄液タンク７６はそれぞれ、台車９１、１２５に搭
載されるとともに、ガイドローラ９２、１２６が設けら
れている。このガイドローラ９２、１２６は、ワイヤソ
ー本体１１に設けられたガイドレール９９に係合され
る。これにより、スラリ回収タンク４０及び洗浄液タン
ク７６は、ガイドレール９９に沿って走行し、回収パイ
プ３８の排出口の真下に、供給口４０Ａ又は供給口７６
Ａが配置される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの加工液
供給装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等
の脆性材料を切断するワイヤソーの加工液供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、走行するワイヤ列にスラ
リを供給しながら被加工物を押し付けることにより、被
加工物を多数のウェーハに切断する装置である。このワ
イヤソーにおいて、前記ワイヤ列に供給されたスラリ
は、ワイヤ列の下方に設けられたオイルパンで回収され
る。そして、オイルパンで回収されたスラリは、回収パ
イプを介してスラリ用タンクに送液され、再びワイヤ列
に供給される。

【０００３】ところで、前記被加工物の切断が終了する
と、前記ワイヤ列には洗浄液が供給され、前記ワイヤ列
等の洗浄が行われる。ワイヤ列に供給された洗浄液は、
前記スラリと同様にオイルパンで回収され、回収パイプ
を介して洗浄液用タンクに送液されて循環利用される。
このため、ワイヤソーは、前記オイルパンで回収された
液体の回収先がスラリ用タンクと洗浄液用タンクとで切
り換えられるように構成される。従来のワイヤソーは、
前記回収パイプが前記オイルパンに揺動自在に取り付け
られ、スラリ用タンクと洗浄液用タンクは前記オイルパ
ンの下方に設置される。そして、前記回収パイプを揺動
させて、回収パイプの排出口をスラリ用タンクの供給口
又は洗浄液用タンクの供給口の真上に配置させることに
より、スラリや洗浄液の回収先をスラリ用タンクと洗浄
液用タンクとで切り換えていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーは、スラリ中に含まれる砥粒等の固形物が回
収パイプ内で固着すると、前記回収パイプがスムーズに
揺動せず、液体の回収先を切り換えることができないと
いう欠点があった。本発明はこのような事情に鑑みてな
されたもので、スラリ又は洗浄液の回収先をスラリ用タ
ンクと洗浄液用タンクとで容易に切り換えられるワイヤ
ソーの加工液供給装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤソー本体の側面に設けられたスラリ
又は洗浄液の排出口と、前記ワイヤソー本体の側面に形
成されたガイド部材に係合される係合部材が設けられた
台車と、前記台車に搭載され、スラリが貯留されるスラ
リ用タンクと、前記台車に搭載され、洗浄液が貯留され
る洗浄液用タンクと、から構成され、前記台車の係合部
材を前記ガイド部材に係合させ、該台車をガイド部材に
沿って走行させることにより、前記スラリ用タンク又は
前記洗浄液用タンクのうち一つのタンクを前記排出口に
対向した回収位置に選択的に位置させるようにしたこと
を特徴とする。

【０００６】請求項１記載の発明によれば、スラリ用タ
ンク及び洗浄液用タンクは、台車に搭載され、ワイヤソ
ー本体に形成されたガイド部材に沿って走行させるの
で、容易に回収位置に位置決めされる。したがって、前
記回収位置に前記スラリ用タンクを配置してスラリをス
ラリ用タンクに回収したり、前記回収位置に洗浄液用タ
ンクを配置して洗浄液を洗浄液用タンクに回収したりす
ることができる。即ち、前記排出口からのスラリ又は洗
浄液の回収先をスラリ用タンクと洗浄液用タンクとで容
易に切り換えることができる。

【０００７】請求項２記載の発明によれば、前記スラリ
用タンク又は前記洗浄液用タンクには、飛散防止部材が
設けられているので、前記スラリ用タンク又は洗浄液用
タンクに回収されるスラリ又は洗浄液が飛散することは
ない。したがって、飛散したスラリ又は洗浄液が前記ガ
イド部材や係合部材に付着することがなく、前記スラリ
用タンク及び前記洗浄液用タンクを前記ガイド部材に沿
ってスムーズに走行させることができる。これにより、
前記排出口からのスラリ又は洗浄液の回収先をスムーズ
に切り換えることができる。

【０００８】請求項３記載の発明によれば、前記排出口
から回収されるスラリ又は洗浄液は、除去部材によって
ゴミ等の不要物が除去されるので、前記不要物による配
管の詰まりやポンプの故障等のトラブルを未然に防ぐこ
とができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの加工液供給装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明の加工液供給装置が採用された
ワイヤソー１０の斜視図であり、図２はワイヤソー本体
１１の主要部を露出させた斜視図である。

【００１０】これらの図に示すように、前記ワイヤソー
１０は、ワイヤソー本体１１にスラリ供給ユニット４
４、スラリ回収タンク（スラリ用タンク）４０、洗浄液
タンク（洗浄液用タンク）７６及びオーバーフロータン
ク５６が設けられて構成される。ワイヤソー本体１１に
は、ワイヤリール１２が内蔵され、このワイヤリール１
２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、
１６…で形成される一方側のワイヤ走行路を経由して４
本のグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄに
複数回巻き掛けられる。これにより、グルーブローラ１
８Ａとグルーブローラ１８Ｂとの間に、ワイヤ１４同士
が平行なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ列２０を形
成したワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に
形成されるとともに前記一方側のワイヤ走行路と同一構
造の他方側のワイヤ走行路を経由して、図示しないワイ
ヤリールに巻き取られる。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（図２では一方側のワイヤ走行路
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２によって、ワイヤ１４
がワイヤリール１２から一定ピッチで巻き取られ、又は
送りだされる。また、ダンサローラ２４には、所定重量
のウェイト（図示せず）が架設され、このウェイトによ
って走行するワイヤ１４に一定の張力が付与される。更
に、ワイヤ走行路には、図示しないワイヤ洗浄装置が設
けられ、このワイヤ洗浄装置から噴射される洗浄液によ
ってワイヤ１４に付着したスラリ等がワイヤ１４から除
去される。

【００１２】前記４本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ
は、その両端が対向する一対のスピンドルブラケット４
２、４２に回転自在に支持され、各々の回転中心を結ん
だ時にその形状が矩形状となる位置に配設されている。
前記一対のスピンドルブラケット４２、４２は、オイル
パン３６の上部に設置されている。また、前記グルーブ
ローラ１８Ｃ及び前記一対のワイヤリール１２は、それ
ぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８に連結されてい
る。これらのモータ２６、２８が駆動されると、前記ワ
イヤ１４は、一対のワイヤリール１２間を高速で往復走
行される。

【００１３】前記ワイヤ列２０の上方には、ワークフィ
ードテーブル３０がフィードベース３２に昇降自在に取
り付けられている。このワークフィードテーブル３０
は、フィードベース３２に設けられたモータ３３によっ
て、前記ワイヤ列２０に対し垂直方向に昇降移動され
る。また、ワークフィードテーブル３０の下部には、図
示しないインゴットが、結晶方位合わせされた状態で保
持される。

【００１４】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液（スラリ又は洗浄液）が回
収される。オイルパン３６の内側には傾斜面が形成され
ており、この傾斜面の下部には、図５に示す回収パイプ
３８が接続されている。回収パイプ３８の排出口は、ワ
イヤソー本体１１の外部に突出して配置され、その排出
口の下方には、スラリ回収タンク４０が配設される。こ
れにより、オイルパン３６に回収されたスラリは、回収
パイプ３８を介して排出口からスラリ回収タンク４０に
送液される。

【００１５】図３は、図１に示したスラリ回収タンク４
０のＡ矢視図であり、図４及び図５は、図３で示したス
ラリ回収タンク４０の平面図及び左側面図である。スラ
リ回収タンク４０は、スラリを一時的に貯留するタンク
であり、前記回収パイプ３８によって送液されたスラリ
が、供給口４０Ａを介して内部に貯留される。この供給
口４０Ａの上部には、カバー６０が取り付けられてい
る。カバー６０は、供給口４０Ａを中心としてコの字状
に組み付けられた３枚の側板６０Ａ、６０Ａ、６０Ａ
と、該側板６０Ａの上部に組み付けられた上板６０Ｂと
から構成される。中央の側板６０Ａの下端は図５の如
く、ヒンジ６２によってスラリ回収タンク４０の蓋４１
に取り付けられ、これにより、カバー６０は矢印Ｂ方向
に揺動自在に構成される。このカバー６０をワイヤソー
本体１１側に揺動させると、カバー６０によって回収パ
イプ３８の排出口が包囲されるので、回収パイプ３８と
供給口４０Ａとの隙間からスラリが外部に飛散するのが
防止される。

【００１６】また、前記供給口４０Ａの下方には、目の
細かい金網５８が設けられ、回収パイプ３８から送液さ
れたスラリは、全てこの金網５８を通過するように構成
される。これにより、前記スラリは、金網５８によって
インゴットの破片等のゴミが除去されてスラリ回収タン
ク４０内に貯留される。また、スラリ回収タンク４０に
は、回収されたスラリを図６のスラリタンク４６に送液
する回収ポンプ６６が図５の如く設けられる。回収ポン
プ６６のインペラは、樹脂材料、たとえばポリアセター
ル系のエンジニアリングプラスチックで作られる。これ
により、金属製のインペラを用いたときのように、イン
ペラがスラリ中の砥粒によって磨耗して金属粉が発生す
ることがない。したがって、金属粉がインゴットの切断
部に付着してインゴットの切断精度を悪化させることが
ない。

【００１７】スラリ回収タンク４０には、回収したスラ
リの液面高さを測定する液面計６８が設置される。液面
計６８は主として、昇降棒７０、フロート７２、ケーシ
ング７４及びセンサ７５で構成される。昇降棒７０は、
スラリ回収タンク４０に垂直方向にスライド自在に支持
され、この昇降棒７０の下端にフロート７２が取り付け
られる。フロート７２は、ドーナツ状に形成され、中央
の円孔に前記昇降棒７０が挿入される。昇降棒７０に
は、フロート７２の上下にナット７８、７８が取り付け
られ、このナット７８、７８を上下方向から締結するこ
とにより、前記フロート７２が昇降棒７０に固定され
る。

【００１８】前記昇降棒７０は、アルミによって中空状
に形成されている。また、前記フロート７２は、薄厚の
ステンレスで中空状に形成されている。これにより、昇
降棒７０及びフロート７２は軽量化が図られ、比重の小
さい液体、例えばワイヤソー用のクーラントオイル（比
重１．０５）にも浮上される。また、前記フロート７２
は、ステンレスで製作されているので、クーラントオイ
ルによって腐食することはない。なお、前記クーラント
オイルは、インゴットの切断部を洗浄する場合等に使用
され、このクーラントオイルを前記スラリと同じ経路で
ワイヤ列２０に供給した場合には、クーラントオイルは
スラリと同様に、スラリ回収タンク４０に回収される。

【００１９】前記フロート７２の周囲には、円筒状のフ
ロートカバー８０がスラリ回収タンク４０の蓋４１に取
り付けられている。これにより、フロート７２は、スラ
リ回収タンク４０内のスラリの液面乱れに影響されるこ
とがないので、液面計６８はスラリの液面高さを精度良
く測定することができる。前記昇降棒７０の上部には、
近接体８２が取り付けられる。また、昇降棒７０のケー
シング７４には、複数のセンサ７５、７５…が上下方向
に所定の間隔で取り付けられる。センサ７５は、例えば
近接センサが用いられ、前記近接体８２が近づくと感知
するように構成される。各センサ７５はそれぞれ、ワイ
ヤソー本体１１内の制御部８８（図１３参照）に接続さ
れ、近接体８２の接近を感知するとその旨の信号が制御
部８８に出力される。制御部８８は、どのセンサ７５が
近接体８２を感知したかによって、スラリ回収タンク４
０内のスラリの液面高さを認識する。そして、制御部８
８は、認識した液面高さに応じて前記回収ポンプ６６の
回転数を制御し、スラリ回収タンク４０からのスラリ吐
出量を制御する。たとえば、液面高さが高い場合には、
回収ポンプ６６の回転数を増加させてスラリの吐出量を
増やし、スラリがスラリ回収タンク４０から溢れるのを
防止する。逆に、スラリの液面高さが低い場合には、前
記制御部８８は、回収ポンプ６６の回転数を低下させて
スラリの吐出量を減少させ、場合によっては、スラリの
吐出量が零になるような回転数（例えば６０ｒｐｍ）に
回収ポンプ６６を制御する。これにより、スラリ回収タ
ンク４０内のスラリの液面高さの変動を抑えることがで
きるとともに、回収ポンプ６６のインペラによって常に
スラリを攪拌し、スラリ中の固形物の固着を防止するこ
とができる。なお、制御部８８が上記の如く回収ポンプ
６６を制御したにもかかわらず、スラリの液面高さが許
容範囲を超えた場合には、回収ポンプ６６の故障や配管
詰まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画
面８９にエラーメッセージを表示する。

【００２０】前記スラリ回収タンク４０には図５に示す
ように、ワイヤソー本体１１と反対側の側面の上部に排
出口８６が形成されている。その排出口８６の下方に
は、オーバーフロータンク５６が設置される。これによ
り、スラリ回収タンク４０に回収されたスラリの量が多
い場合には、スラリが排出口８６を介してオーバーフロ
ータンク５６に回収されるので、スラリが床に溢れるこ
とがない。

【００２１】また、前記スラリ回収タンク４０は、複数
の車輪９０、９０…を有する台車９１に搭載されるとと
もに、ワイヤソー本体１１側の側面には鉛直方向の回転
軸を有するガイドローラ（係合部材）９２、９２が設け
られている。一方、ワイヤソー本体１１には、側面の下
部にガイドレール（ガイド部材）９９が水平方向に配設
されている。ガイドレール９９は、断面凹状のレールが
下向きに配設され、その対向する内壁に前記ガイドロー
ラ９２が係合されるように構成される。このガイドレー
ル９９に前記ガイドローラ９２、９２をガイドレール９
９の端部から係合させると、スラリ回収タンク４０はワ
イヤソー本体１１の側面に沿って移動される。これによ
り、スラリ回収タンク４０の供給口４０Ａを回収パイプ
３８の排出口の真下に容易に配置することができる。

【００２２】図６は、スラリ供給ユニット４４の斜視図
であり、図７は、図６に示したスラリ供給ユニット４４
のＣ矢視図である。また、図８及び図９は、図７の側面
図及び平面図である。これらの図に示すように、スラリ
供給ユニット４４は、スラリタンク４６、熱交換器５
０、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及び流量計５４
等を移動可能な台車４８に搭載して構成され、それぞれ
が隣接した状態で配設される。

【００２３】スラリタンク４６は、図１３に示した前記
回収ポンプ６６の排出口に配管を介して連結されてい
る。したがって、前記スラリ回収タンク４０で回収され
たスラリは、回収ポンプ６６を介してスラリタンク４６
に貯留される。スラリタンク４６には図８に示すよう
に、攪拌機９４が設けられ、攪拌翼９６をモータ９８で
回転させることにより前記スラリタンク４６内に貯留さ
れたスラリを攪拌するように構成される。これにより、
スラリタンク４６に貯留したスラリ中の砥粒がスラリタ
ンク４６の内壁に固着することがない。図８に示した攪
拌機９４の攪拌翼９６は、樹脂（例えばポリアセタール
系のエンジニアリングプラスチック）で形成され、スラ
リとの摩擦によって金属粉が発生しないように構成され
る。

【００２４】また、前記スラリタンク４６には、供給ポ
ンプ５２が設けられ、供給ポンプ５２が駆動されること
により、スラリタンク４６に貯留されたスラリがワイヤ
列２０上方に設置された図１３のノズル１００に供給さ
れ、このノズル１００からワイヤ列２０に向けて噴射さ
れる。前記供給ポンプ５２とノズル１００とを連結する
配管には、流量計５４が配設され、この流量計５４で供
給ポンプ５２から吐出されるスラリの流量が測定され
る。前記流量計５４及び供給ポンプ５２は、ワイヤソー
本体１１の制御部８８によって制御される。即ち、制御
部８８は、流量計５４の測定値に基づいて供給ポンプ５
２の吐出量が所定の値になるように供給ポンプ５２を制
御する。

【００２５】スラリタンク４６には、液面計１０４が設
けられる。この液面計１０４によってスラリタンク４６
内に貯留されたスラリの液面高さが測定され、液面計１
０４で測定された液面高さの信号は制御部８８に出力さ
れる。制御部８８は、液面計１０４で測定された液面高
さが許容範囲を超えた場合に、スラリの漏れや配管の詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示した後、モータ２６、２
８をはじめとして、供給ポンプ５２等のインゴットの切
断に関係する機器を停止させる。

【００２６】前記スラリタンク４６には、循環ポンプ１
０６が設置される。循環ポンプ１０６は、熱交換器５０
に配管を介して接続され、熱交換器５０にスラリを循環
供給するように構成される。熱交換器５０は、温調ユニ
ット１１８に接続され、この温調ユニット１１８から熱
交換器５０に所定温度の冷却水が供給される。これによ
り、スラリタンク４６内のスラリは、循環ポンプ１０６
によって熱交換器５０に送液され、熱交換器５０で冷却
水により冷却される。

【００２７】循環ポンプ１０６と熱交換器５０との間に
は、温調バルブ１１０が配設されている。また、前記ス
ラリタンク４６には、スラリの温度を測定する温度セン
サ１０８が設けられる。前記循環ポンプ１０６と温調バ
ルブ１１０は、この温度センサ１０８で測定された温度
に基づいて前記制御部８８により制御される。即ち、制
御部８８は、温度センサ１０８の測定値に基づいて温調
バルブ１１０を開閉する。例えば、温度センサ１０８で
測定したスラリの温度が基準値よりも高い場合、制御部
８８は、温調バルブ１０８を開いて熱交換器５０でスラ
リを冷却する。逆に、スラリの温度が基準値よりも低い
場合、制御部８８は、温調バルブ１１０を閉じて熱交換
器５０へのスラリの送液を停止する。このとき、循環ポ
ンプ１０６の駆動を継続することにより、スラリは、循
環ポンプ１０６のモータの発熱により加熱される。な
お、符号１１２は、冷却水用フィルタであり、熱交換器
５０に供給する冷却水が濾過されることによって、その
冷却水に含まれるゴミ等が除去される。

【００２８】また、前記スラリタンク４６には図９に示
すように、粘度計１１４が設けられる。粘度計１１４
は、スラリタンク４６内のスラリの粘度を測定するもの
で、その測定された粘度情報が前記制御部８８へ入力さ
れる。制御部８８は、粘度計１１４で測定された粘度が
基準値よりも高い場合は、粘度調整バルブ（図示せず）
を開いてクーラントまたはスラリ新液をスラリに補充す
る。

【００２９】図１０は、図１に示した洗浄液タンク７６
のＡ矢視図であり、図１１及び図１２は、図１０で示し
た洗浄液タンク７６の側面図及び平面図である。洗浄液
タンク７６は、インゴットの切断部を洗浄する洗浄液
（通常、スラリに使用されるクーラントオイル）を貯留
するタンクであり、前記グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ
が設置された加工室に前記洗浄液を噴射できるように構
成されている。即ち、洗浄液タンク７６には、ポンプ１
２０が設けられ、ポンプ１２０の吐出先には、ハンドシ
ャワー１２２が取り付けられている。これにより、ポン
プ１２０が駆動されると、洗浄液タンク７６に貯留され
た洗浄液がハンドシャワー１２２から噴出され、前記加
工室が洗浄される。なお、前記加工室の洗浄は、インゴ
ットの切断終了後等に行われる。

【００３０】洗浄液タンク７６は、複数の車輪１２４、
１２４…を有する台車１２５に搭載されるとともに、洗
浄液タンク７６の側面には、前記ワイヤソー本体１１に
形成されたガイドレール９９に係合するガイドローラ
（係合部材）１２６、１２６が回転自在に支持されてい
る。これにより、洗浄液タンク７６をワイヤソー本体１
１の側面に沿って移動させることができ、洗浄液タンク
７６の供給口７６Ａを容易に回収パイプ３８の排出口の
真下に配置することができる。前述したように、図５の
スラリ回収タンク４０もワイヤソー本体１１の側面に沿
って移動させることができる。したがって、洗浄液タン
ク７６及びスラリ回収タンク４０をワイヤソー本体１１
に沿って移動させると、回収パイプ３８による加工液の
排出先を洗浄液タンク７６とスラリ回収タンク４０とに
切り換えることができる。回収パイプ３８の排出先を図
１１の如く洗浄液タンク７６に切り換えると、前記ハン
ドシャワー１２２からインゴットの切断部に供給された
洗浄液が、オイルパン３６及び回収パイプ３８を介して
洗浄液タンク７６に回収される。

【００３１】前記洗浄液タンク７６の供給口７６Ａの上
部には、カバー１２８が取り付けられている。カバー１
２８は、供給口７６Ａを中心としてコの字状に組み付け
られた３枚の側板１２８Ａ、１２８Ａ、１２８Ａと、該
側板１２８Ａの上部に組み付けられた上板１２８Ｂとか
ら構成される。中央の側板１２８Ａの下端は、ヒンジ１
３０によって洗浄液タンク７６に取り付けられ、カバー
１２８は矢印Ｄ方向に揺動自在に構成されている。この
カバー１２８をワイヤソー本体１１側に揺動させると、
カバー１２８によって回収パイプ３８の排出口が包囲さ
れるので、回収パイプ３８と供給口７６Ａとの隙間から
洗浄液が飛散することが防止される。

【００３２】また、前記供給口７６Ａの下方には、目の
細かい金網１３４が設けられ、回収パイプ３８から送液
された洗浄液が全てこの金網１３４を通過するように構
成される。これにより、前記洗浄液は、金網１３４によ
ってインゴットの破片等のゴミが除去されて洗浄液タン
ク７６内に回収される。以上説明したように、本実施の
形態のワイヤソーの加工液供給装置によれば、スラリ回
収タンク４０及び洗浄液タンク７６はそれぞれ、台車９
１、１２５に搭載されるとともに、ガイドレール９９に
よってガイドされるので、スラリ回収タンク４０の供給
口４０Ａや洗浄液タンク７６の供給口７６Ａを前記回収
パイプ３８の排出口の真下に容易に配置することができ
る。すなわち、本実施の形態の加工液供給装置によれ
ば、スラリ回収タンク４０と洗浄液タンク７６をガイド
レール９９にガイドさせながら移動させるだけで、回収
パイプ３８による加工液の排出先をスラリ回収タンク４
０と洗浄液タンク７６とで容易に切り換えることができ
る。

【００３３】また、本実施の形態の加工液供給装置によ
れば、前記スラリ回収タンク４０及び洗浄液タンク７６
にカバー６０、１２８を設けたのでスラリや洗浄液が飛
散するのを防止することができる。これにより、飛散し
たスラリや洗浄液がガイドレール９９に付着することが
ないので、前記スラリ回収タンク４０と洗浄液タンク７
６の移動をスムーズに行うことができ、加工液の回収先
の切り換えを容易に行うことができる。また、スラリが
飛散しないので、飛散した加工液の洗浄を行う必要がな
い。

【００３４】また、本実施の形態の加工液供給装置によ
れば、前記スラリ回収タンク４０と洗浄液タンク７６に
金網５８、１３４を設け、この金網５８、１３４によっ
て回収パイプ３８から送液されたスラリや洗浄液に含ま
れる不要物を除去したので、前記不要物による配管の詰
まりやポンプの故障等を防止することができる。また、
本実施の形態の加工液供給装置によれば、ガイドレール
９９がワイヤソー本体１１の側面に沿って形成され、ス
ラリ回収タンク４０及び洗浄液タンク７６がワイヤソー
本体１１の外部に配設されているので、スラリ回収タン
ク４０や洗浄液タンク７６に貯留された加工液の熱が、
ワイヤソー本体１１の構成機器に影響することがない。

【００３５】なお、本実施の形態の加工液供給装置で
は、スラリ回収タンク４０と洗浄液タンク７６をそれぞ
れ別の台車９１、１２５に搭載したが、同一の台車に搭
載し、同時にスライドさせてもよい。また、前記スラリ
回収タンク４０と洗浄液タンク７６における加工液の回
収先の切換を自動で行ってもよい。

【００３６】また、本実施の形態では、スラリや洗浄液
に含まれる不要物を金網５８、１３４によって除去した
が、これに限定するものではない。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤソ
ーの加工液供給装置によれば、スラリ用タンク及び洗浄
液用タンクは、台車に搭載され、ワイヤソー本体に形成
されたガイド部材に沿って走行させるので、容易に移動
されて回収位置に位置決めされる。これにより、排出口
から回収されるスラリ又は洗浄液の回収先を、スラリ用
タンク及び洗浄液用タンクとで容易に切り換えることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る加工液供給装置を用
いたワイヤソーの全体構成図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の要部を露出させ
たワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示したスラリ回収タンクの正面図

【図４】図２に示したスラリ回収タンクの平面図

【図５】図２に示したスラリ回収タンクの側面図

【図６】図１に示したスラリ供給ユニットの斜視図

【図７】図６に示したスラリ供給ユニットの正面図

【図８】図６に示したスラリ供給ユニットの側面図

【図９】図６に示したスラリ供給ユニットの平面図

【図１０】図１に示した洗浄液タンクの正面図

【図１１】図１０に示した洗浄液タンクの側面図

【図１２】図１０に示した洗浄液タンクの平面図

【図１３】実施の形態の加工液供給装置を含むワイヤソ
ーの構造を示すブロック図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー ２０…ワイヤ列 ４０…スラリ回収タンク ５８、１３４…金網 ６０、１２８…カバー ７６…洗浄液タンク ９１、１２５…台車 ９２、１２６…ガイドローラ ９９…ガイドレール

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤソー本体の側面に設けられたスラ
   リ又は洗浄液の排出口と、 前記ワイヤソー本体の側面に形成されたガイド部材に係
   合される係合部材が設けられた台車と、 前記台車に搭載され、スラリが貯留されるスラリ用タン
   クと、 前記台車に搭載され、洗浄液が貯留される洗浄液用タン
   クと、 から構成され、前記台車の係合部材を前記ガイド部材に
   係合させ、該台車をガイド部材に沿って走行させること
   により、前記スラリ用タンク又は前記洗浄液用タンクの
   うち一つのタンクを前記排出口に対向した回収位置に選
   択的に位置させるようにしたことを特徴とするワイヤソ
   ーの加工液供給装置。
2. 【請求項２】 前記スラリ用タンク及び洗浄液用タンク
   には、前記排出口から回収されるスラリ又は洗浄液の飛
   散を防止する飛散防止部材が設けられたことを特徴とす
   る請求項１記載のワイヤソーの加工液供給装置。
3. 【請求項３】 前記スラリ用タンク及び洗浄液用タンク
   には、前記排出口から回収されるスラリ又は洗浄液から
   ゴミ等の不要物を除去する除去部材が設けられたことを
   特徴とする請求項１又は２記載のワイヤソーの加工液供
   給装置。