JP2000218543A - ワイヤソーの加工液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】加工液の逆流を防止して加工液の温度制御を精
度良く行うことのできるワイヤソーの加工液供給装置を
提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の加工液タンク
４６と緩衝タンク４０とを連結する配管８４に逆流防止
弁１０２を設け、該逆流防止弁１０２によって加工液が
緩衝タンク４０へ逆流するのを防止する。これにより、
加工液タンク４６内の加工液の量は安定し、熱交換器５
０によって加工液の温度を精度良く制御することができ
る。また、前記逆流防止弁１０２は、加工液の流路が水
平方向となる位置に配設されている。これにより、加工
液中の固形物による配管８４の詰まりを防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの加工液
供給装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等
の脆性材料を切断するワイヤソーの加工液供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、複数のグルーブローラに
ワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、このワイヤ列に
加工液を供給しながら被加工物を押し付けて、被加工物
を多数枚のウェーハに切断する装置である。このワイヤ
ソーにおいて、前記加工液は、加工液タンクに貯留さ
れ、この加工液タンクからワイヤ列の上方のノズルに供
給される。そして、ノズルに供給された加工液は、この
ノズルからワイヤ列の切断部に向けて噴射され、被加工
物の切断に供された後、ワイヤ列の下方で集められて、
前記加工液タンクに回収される。また、加工液タンク内
に貯留された加工液は、熱交換装置に循環供給され、一
定温度に制御される。

【０００３】ところで、従来のワイヤソーは、前記加工
液タンクに貯留された加工液の量が変動することがあ
り、加工液を一定温度に制御するのは困難であった。こ
の対策として、前記切断部に供給された加工液が加工液
タンクに回収される回収経路に緩衝タンクを配設し、こ
の緩衝タンクを介して前記切断部に供給された加工液を
加工液タンクに回収する方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
如く緩衝タンクを設けた場合、加工液タンク内の液位が
緩衝タンク内の液位を上回った際に、加工液が加工液タ
ンクから緩衝タンクへ逆流するという欠点があった。加
工液が逆流すると、加工液タンク内の加工液の量が減少
し、加工液タンク内の加工液の温度が変動するという問
題があった。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、加工液の逆流を防止して加工液の温度制御を精
度良く行うことのできるワイヤソーの加工液供給装置を
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤ列に加工液供給装置を用いて加工液
を供給しながら前記ワイヤ列に被加工物を押し付けて、
前記被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソー
において、前記加工液供給装置は、前記ワイヤ列に供給
される加工液が貯留される加工液タンクと、前記加工液
タンクから前記ワイヤ列に供給された加工液が回収され
る緩衝タンクと、前記緩衝タンクと前記加工液タンクと
を連結する加工液の配管と、前記配管を介して前記緩衝
タンクから前記加工液タンクに加工液を送液する送液手
段と、前記配管に配設され、前記加工液タンクから前記
緩衝タンクへの逆流を防止するバルブ手段と、から構成
されることを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、前記加工液
タンクと前記緩衝タンクとを連結する配管には、加工液
タンクから緩衝タンクへの逆流を防止するバルブ手段が
配設される。これにより、加工液の逆流が防止されるの
で、加工液タンク内の加工液の量は安定し、加工液は、
精度良く温度制御される。請求項２記載の発明によれ
ば、前記バルブ手段は、前記加工液タンク内の液面及び
前記緩衝タンク内の液面よりも高く、前記配管の経路の
最も高い位置に配設されるので、前記バルブ手段を閉じ
た際に前記配管内の加工液に含まれる固形物が前記バル
ブ手段の近辺に多量に沈降することがない。また、前記
バルブ手段は、前記配管の経路の水平姿勢位置に配設さ
れるので、バルブ手段を閉じて加工液中の固形物が固着
しても、前記固形物が加工液の流路全体を塞ぐことがな
い。即ち、配管の経路が鉛直方向となる位置にバルブを
配設したときのように、前記固形物がバルブ手段の上部
に堆積して固着し、加工液の流路全体を塞ぐことがな
い。したがって、請求項２記載の発明によれば、バルブ
手段を閉じても、前記配管が加工液中の固形物によって
詰まることがなく、ワイヤソーのメンテナンス性を向上
させることができる。このように、請求項２記載の発明
は、ワイヤソーの加工液の配管にバルブ手段を配設した
際の短所を取り除くことができる。

【０００８】請求項３記載の発明によれば、前記送液手
段を停止した際に、前記バルブが配管を大気に連通させ
るので、配管内の加工液は、配管から前記加工液タンク
又は前記緩衝タンクに流出する。これにより、加工液タ
ンクの加工液が配管を介して緩衝タンクに逆流するのを
防止することができ、また、スラリが配管内に滞留する
ことがないため、加工液に含まれる砥粒の沈降、堆積に
よる配管の詰まりを防止することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの加工液供給装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明の加工液供給装置を採用したワ
イヤソー１０の斜視図であり、図２はワイヤソー本体１
１の主要部を露出させた斜視図である。

【００１０】これらの図に示すように、前記ワイヤソー
１０は、ワイヤソー本体１１に加工液供給ユニット４
４、緩衝タンク４０、洗浄液タンク７６及びオーバーフ
ロータンク５６が設けられて構成される。ワイヤソー本
体１１には、ワイヤリール１２が内蔵され、このワイヤ
リール１２に巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドロー
ラ１６、１６…で形成される一方側のワイヤ走行路を経
由して４本のグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、
１８Ｄに複数回巻き掛けられる。これにより、グルーブ
ローラ１８Ａとグルーブローラ１８Ｂとの間に、ワイヤ
１４同士が平行なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ列
２０を形成したワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左
右対称に形成されるとともに前記一方側のワイヤ走行路
と同一構造の他方側のワイヤ走行路を経由して、図示し
ないワイヤリールに巻き取られる。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（図２では一方側のワイヤ走行路
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２によって、ワイヤ１４
がワイヤリール１２から一定ピッチで巻き取られ、また
は送りだされる。また、ダンサローラ２４には、所定重
量のウェイト（図示せず）が架設され、このウェイトに
よって走行するワイヤ１４に一定の張力が付与される。
更に、ワイヤ走行路には、図示しないワイヤ洗浄装置が
設けられ、このワイヤ洗浄装置から噴射される洗浄液に
よってワイヤ１４に付着した加工液（スラリ）等がワイ
ヤ１４から除去される。

【００１２】前記４本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ
は、その両端が対向する一対のスピンドルブラケット４
２、４２に回転自在に支持され、各々の回転中心を結ん
だ時にその形状が矩形状となる位置に配設されている。
前記一対のスピンドルブラケット４２、４２は、オイル
パン３６の上部に設置されている。また、前記グルーブ
ローラ１８Ｃ及び前記一対のワイヤリール１２は、それ
ぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８に連結されてい
る。これらのモータ２６、２８が駆動されると、前記ワ
イヤ１４は、一対のワイヤリール１２間を高速で往復走
行される。

【００１３】前記ワイヤ列２０の上方には、ワークフィ
ードテーブル３０がフィードベース３２に昇降自在に取
り付けられている。このワークフィードテーブル３０
は、フィードベース３２に設けられたモータ３３によっ
て、前記ワイヤ列２０に対し垂直方向に昇降移動され
る。また、ワークフィードテーブル３０の下部には、図
示しないインゴットが、結晶方位合わせされた状態で保
持される。

【００１４】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液が回収される。オイルパン
３６の内側には傾斜面が形成されており、この傾斜面の
下部には、図５に示す回収パイプ３８が接続されてい
る。回収パイプ３８は、先端が緩衝タンク４０に連結さ
れ、これにより、オイルパン３６に回収された加工液
は、回収パイプ３８を介して緩衝タンク４０に貯留され
る。

【００１５】図３は、図１に示した緩衝タンク４０のＡ
矢視図であり、図４及び図５は、図３で示した緩衝タン
ク４０の平面図及び左側面図である。緩衝タンク４０
は、加工液を一時的に貯留するタンクであり、前記回収
パイプ３８によって送液された加工液が、供給口４０Ａ
を介して内部に貯留される。この供給口４０Ａの上部に
は、カバー６０が取り付けられている。カバー６０は、
供給口４０Ａを中心としてコの字状に組み付けられた３
枚の側板６０Ａ、６０Ａ、６０Ａと、該側板６０Ａの上
部に組み付けられた上板６０Ｂとから構成される。中央
の側板６０Ａの下端は図５の如く、ヒンジ６２によって
緩衝タンク４０の蓋４１に取り付けられ、これにより、
カバー６０は矢印Ｂ方向に揺動自在に構成される。この
カバー６０をワイヤソー本体１１側に揺動させると、カ
バー６０によって回収パイプ３８の先端が包囲されるの
で、回収パイプ３８と供給口４０Ａとの隙間から加工液
が外部に飛散することが防止される。

【００１６】また、前記供給口４０Ａの下方には、目の
細かい金網５８が設けられ、回収パイプ３８から送液さ
れた加工液は、全てこの金網５８を通過するように構成
される。これにより、前記加工液は、金網５８によって
インゴットの破片等のゴミが除去されて緩衝タンク４０
内に貯留される。また、緩衝タンク４０には、回収され
た加工液を図６の加工液タンク４６に送液する回収ポン
プ（送液手段）６６が図５の如く設けられる。回収ポン
プ６６の図３に示すインペラ６７は、樹脂材料、たとえ
ばポリアセタール系のエンジニアリングプラスチックで
作られる。これにより、金属製のインペラを用いたとき
のように、インペラが加工液によって磨耗して金属粉が
発生することがない。したがって、金属粉がインゴット
の切断部に付着してインゴットの切断精度を悪化させる
ことがない。また、前記インペラ６７の回転軸９５に
は、攪拌翼９７が取り付けられている。この攪拌翼９７
が、インペラ６７とともに回転されることにより、緩衝
タンク４０に貯留された加工液が効率よく攪拌される。
これにより、緩衝タンク４０に貯留された加工液中の砥
粒が緩衝タンク４０の内壁に固着することはなく、ま
た、砥粒の沈殿も防止することができ、更に、スラリの
凝固も防止することができる。前記攪拌翼９７は、樹脂
（例えばポリアセタール系のエンジニアリングプラスチ
ック）で形成され、加工液との摩擦によって金属粉が発
生しないように構成される。

【００１７】緩衝タンク４０には、回収した加工液の液
面高さを測定する液面計６８が設置される。液面計６８
は主として、昇降棒７０、フロート７２、ケーシング７
４及びセンサ７５で構成される。昇降棒７０は、緩衝タ
ンク４０に垂直方向にスライド自在に支持され、この昇
降棒７０の下端にフロート７２が取り付けられる。フロ
ート７２は、ドーナツ状に形成され、中央の円孔に前記
昇降棒７０が挿入される。昇降棒７０には、フロート７
２の上下にナット７８、７８が取り付けられ、このナッ
ト７８、７８を上下方向から締結することにより、前記
フロート７２が昇降棒７０に固定される。

【００１８】前記昇降棒７０は、アルミによって中空状
に形成されている。また、前記フロート７２は、薄厚の
ステンレスで中空状に形成されている。これにより、昇
降棒７０及びフロート７２は軽量化が図られ、比重の小
さい液体、例えばワイヤソー用のクーラントオイル（比
重１．０５）にも浮上される。また、前記フロート７２
は、ステンレスで製作されているので、クーラントオイ
ルによって腐食することはない。なお、前記クーラント
オイルは、インゴットの切断部を洗浄する場合等に使用
され、このクーラントオイルを前記加工液と同じ経路で
ワイヤ列２０に供給した場合には、クーラントオイルは
加工液と同様に、緩衝タンク４０に回収される。

【００１９】前記フロート７２の周囲には、円筒状のフ
ロートカバー８０が緩衝タンク４０の蓋４１に取り付け
られている。これにより、フロート７２は、緩衝タンク
４０内の加工液の液面乱れに影響されることがないの
で、液面計６８は加工液の液面高さを精度良く測定する
ことができる。前記昇降棒７０の上部には、近接体８２
が取り付けられる。また、昇降棒７０のケーシング７４
には、複数のセンサ７５、７５…が上下方向に所定の間
隔で取り付けられる。センサ７５は、例えば近接センサ
が用いられ、前記近接体８２が近づくと感知するように
構成される。各センサ７５はそれぞれ、ワイヤソー本体
１１内の制御部８８（図１３参照）に接続され、近接体
８２の接近を感知するとその旨の信号が制御部８８に出
力される。制御部８８は、どのセンサ７５が近接体８２
を感知したかによって、緩衝タンク４０内の加工液の液
面高さを認識する。そして、制御部８８は、認識した液
面高さに応じて前記回収ポンプ６６の回転数を制御し、
緩衝タンク４０からの加工液の吐出量を制御する。たと
えば、液面高さが高い場合には、回収ポンプ６６の回転
数を増加させて加工液の吐出量を増やし、加工液が緩衝
タンク４０から溢れるのを防止する。逆に、加工液の液
面高さが低い場合には、前記制御部８８は、回収ポンプ
６６の回転数を低下させて加工液の吐出量を減少させ、
場合によっては、加工液の吐出量が零になるような回転
数（例えば６０ｒｐｍ）に回収ポンプ６６を制御する。
これにより、緩衝タンク４０内の加工液の液面高さの変
動を抑えることができるとともに、回収ポンプ６６のイ
ンペラによって常に加工液を攪拌し、加工液中の固形物
の固着を防止することができる。なお、制御部８８が上
記の如く回収ポンプ６６を制御したにもかかわらず、加
工液の液面高さが許容範囲を超えた場合には、回収ポン
プ６６の故障や配管詰まり等の異常状態が発生したと判
断し、図１の表示画面８９にエラーメッセージを表示す
る。

【００２０】前記緩衝タンク４０には図５に示すよう
に、ワイヤソー本体１１と反対側の側面の上部に排出口
８６が形成されている。その排出口８６の下方には、オ
ーバーフロータンク５６が設置される。これにより、緩
衝タンク４０に回収された加工液の量が多い場合には、
加工液が排出口８６を介してオーバーフロータンク５６
に回収されるので、加工液が床に溢れることがない。

【００２１】また、前記緩衝タンク４０は、複数の車輪
９０、９０…を有する台車９１に搭載されるとともに、
ワイヤソー本体１１側の側面には鉛直方向の回転軸を有
するガイドローラ９２、９２が設けられている。一方、
ワイヤソー本体１１には、側面の下部にガイドレール９
９が水平方向に形成され、前記ガイドローラ９２と係合
するように構成されている。このガイドレール９９に前
記ガイドローラ９２、９２を係合させると、緩衝タンク
４０はワイヤソー本体１１の側面に沿って移動するの
で、緩衝タンク４０の供給口４０Ａを回収パイプ３８の
先端の真下に簡単に配置することができる。

【００２２】図６は、加工液供給ユニット４４の斜視図
であり、図７は、図６に示した加工液供給ユニット４４
のＣ矢視図である。また、図８及び図９は、図７の側面
図及び平面図である。これらの図に示すように、加工液
供給ユニット４４は、加工液タンク４６、熱交換器５
０、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及び流量計５４
等を移動可能な台車４８に搭載して構成され、それぞれ
が隣接した状態で配設される。

【００２３】加工液タンク４６は、図１３に示した前記
回収ポンプ６６の排出口に配管８４を介して連結され、
前記回収ポンプ６６により、前記緩衝タンク４０で回収
された加工液が、配管８４を介して加工液タンク４６に
送液される。前記配管８４の先端は、加工液タンク４６
に貯留された加工液の液中に挿入される。これにより、
緩衝タンク４０から送液された加工液は、加工液タンク
４６に貯留された加工液中に供給され、液面に泡を発生
させることなく、加工液タンク４６に貯留される。

【００２４】また、前記配管８４には、前記加工液タン
ク４６内の液面及び前記緩衝タンク４０内の液面よりも
高く、加工液の流路が最も高い位置で、且つ、前記流路
の水平姿勢位置に逆流防止弁（バルブ手段に相当）１０
２が配設される。逆流防止弁１０２は、前記配管８４を
遮断できるのであればどのような構造でも良く、例えば
図１４に示すようなボール弁が用いられる。逆流防止弁
１０２は、図１３の前記制御部８８によって制御され、
前記緩衝タンク４０から加工液タンク４６への加工液の
送液を停止した際に、逆流防止弁１０２を閉じるように
構成される。これにより、加工液の送液を停止した際に
は配管８４が逆流防止弁１０２によって遮断されるの
で、加工液タンク４６内の液位が緩衝タンク４０の液位
よりも低い場合であっても、加工液が緩衝タンク４０へ
逆流することがない。

【００２５】また、前記配管８４は、逆流防止弁１０２
の配設位置を最高点として、加工液タンク４６又は緩衝
タンク４０まで傾斜して配設されている。これにより、
前記逆流防止弁１０２で配管８４を遮断した場合、前記
配管８４内の加工液に含まれる固形物は、配管８４内に
沈降せず、加工液タンク４６又は緩衝タンク４０内に沈
降する。したがって、加工液中の固形物による配管８４
の詰まりを防止することができる。

【００２６】加工液タンク４６には図８に示すように、
攪拌機９４が設けられ、攪拌翼９６をモータ９８で回転
させることにより前記加工液タンク４６内に貯留された
加工液を攪拌するように構成される。これにより、加工
液タンク４６に貯留した加工液中の砥粒が加工液タンク
４６の内壁に固着することがない。図８に示した攪拌機
９４の攪拌翼９６は、樹脂（例えばポリアセタール系の
エンジニアリングプラスチック）で形成され、加工液と
の摩擦によって金属粉が発生しないように構成される。

【００２７】また、前記加工液タンク４６には、供給ポ
ンプ５２が設けられ、供給ポンプ５２が駆動されること
により、加工液タンク４６に貯留された加工液がワイヤ
列２０上方に設置された図１３のノズル１００に供給さ
れ、このノズル１００からワイヤ列２０に向けて噴射さ
れる。前記供給ポンプ５２とノズル１００とを連結する
配管には、流量計５４が配設され、この流量計５４で供
給ポンプ５２から吐出される加工液の流量が測定され
る。前記流量計５４及び供給ポンプ５２は、ワイヤソー
本体１１の制御部８８によって制御される。即ち、制御
部８８は、流量計５４の測定値に基づいて供給ポンプ５
２の吐出量が所定の値になるように供給ポンプ５２を制
御する。

【００２８】加工液タンク４６には、液面計１０４が設
けられる。この液面計１０４によって加工液タンク４６
内に貯留された加工液の液面高さが測定され、液面計１
０４で測定された液面高さの信号は制御部８８に出力さ
れる。制御部８８は、液面計１０４で測定された液面高
さが許容範囲を超えた場合に、加工液の漏れや配管の詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示した後、モータ２６、２
８をはじめとして、供給ポンプ５２等のインゴットの切
断に関係する機器を停止させる。

【００２９】前記加工液タンク４６には、循環ポンプ１
０６が設置される。循環ポンプ１０６は、熱交換器５０
に配管を介して接続され、熱交換器５０に加工液を循環
供給するように構成される。熱交換器５０は、温調ユニ
ット１１８に接続され、この温調ユニット１１８から熱
交換器５０に所定温度の冷却水が供給される。これによ
り、加工液タンク４６内の加工液は、循環ポンプ１０６
によって熱交換器５０に送液され、熱交換器５０で冷却
水により冷却される。

【００３０】循環ポンプ１０６と熱交換器５０との間に
は、温調バルブ１１０が配設されている。また、前記加
工液タンク４６には、加工液の温度を測定する温度セン
サ１０８が設けられる。前記循環ポンプ１０６と温調バ
ルブ１１０は、この温度センサ１０８で測定された温度
に基づいて前記制御部８８により制御される。即ち、制
御部８８は、温度センサ１０８の測定値に基づいて温調
バルブ１１０を開閉する。例えば、温度センサ１０８で
測定した加工液の温度が基準値よりも高い場合、制御部
８８は、温調バルブ１０８を開いて熱交換器５０で加工
液を冷却する。逆に、加工液の温度が基準値よりも低い
場合、制御部８８は、温調バルブ１１０を閉じて熱交換
器５０への加工液の送液を停止する。このとき、循環ポ
ンプ１０６の駆動を継続することにより、加工液は、循
環ポンプ１０６のモータの発熱により加熱される。な
お、符号１１２は、冷却水用フィルタであり、熱交換器
５０に供給する冷却水が濾過されることによって、その
冷却水に含まれるゴミ等が除去される。

【００３１】また、前記加工液タンク４６には図９に示
すように、粘度計１１４が設けられる。粘度計１１４
は、加工液タンク４６内の加工液の粘度を測定するもの
で、その測定された粘度情報が前記制御部８８へ入力さ
れる。制御部８８は、粘度計１１４で測定された粘度が
基準値よりも高い場合は、粘度調整バルブ（図示せず）
を開いてクーラントまたは加工液新液を加工液に補充す
る。

【００３２】図１０は、図１に示した洗浄液タンク７６
のＡ矢視図であり、図１１及び図１２は、図１０で示し
た洗浄液タンク７６の側面図及び平面図である。洗浄液
タンク７６は、インゴットの切断部を洗浄する洗浄液
（通常、加工液で使用されるクーラントオイル）を貯留
するタンクである。洗浄液タンク７６には、ポンプ１２
０が設けられ、ポンプ１２０の吐出先には、ハンドシャ
ワー１２２が取り付けられている。これにより、ポンプ
１２０が駆動されると、洗浄液タンク７６に貯留された
洗浄液がハンドシャワー１２２から噴出され、インゴッ
トの切断部が洗浄される。

【００３３】洗浄液タンク７６は、複数の車輪１２４、
１２４…を有する台車１２５に搭載されるとともに、洗
浄液タンク７６の側面には、前記ワイヤソー本体１１に
形成されたガイドレール９９に係合するガイドローラ１
２６、１２６が回転自在に支持されている。これによ
り、洗浄液タンク７６をワイヤソー本体１１の側面に沿
って移動させることができ、洗浄液タンク７６の供給口
７６Ａを容易に回収パイプ３８の先端の真下に配置する
ことができる。前述したように、図５の緩衝タンク４０
もワイヤソー本体１１の側面に沿って移動させることが
できる。したがって、洗浄液タンク７６及び緩衝タンク
４０をワイヤソー本体１１に沿って移動させると、簡単
に回収パイプ３８の排出先を洗浄液タンク７６と緩衝タ
ンク４０とに切り換えることができる。回収パイプ３８
の排出先を図１１の如く洗浄液タンク７６に切り換える
と、前記ハンドシャワー１２２からインゴットの切断部
に供給された洗浄液が、オイルパン３６及び回収パイプ
３８を介して洗浄液タンク７６に回収される。

【００３４】前記洗浄液タンク７６の供給口７６Ａの上
部には、カバー１２８が取り付けられている。カバー１
２８は、供給口７６Ａを中心としてコの字状に組み付け
られた３枚の側板１２８Ａ、１２８Ａ、１２８Ａと、該
側板１２８Ａの上部に組み付けられた上板１２８Ｂとか
ら構成される。中央の側板１２８Ａの下端は、ヒンジ１
３０によって洗浄液タンク７６に取り付けられ、カバー
１２８は矢印Ｄ方向に揺動自在に構成されている。この
カバー１２８をワイヤソー本体１１側に揺動させると、
カバー１２８によって回収パイプ３８の先端が包囲され
るので、回収パイプ３８と供給口７６Ａとの隙間から洗
浄液が飛散することが防止される。

【００３５】また、前記供給口７６Ａの下方には、目の
細かい金網１３４が設けられ、回収パイプ３８から送液
された洗浄液が全てこの金網１３４を通過するように構
成される。これにより、前記洗浄液は、金網１３４によ
ってインゴットの破片等のゴミが除去されて洗浄液タン
ク７６内に回収される。次に、上記の如く構成されたワ
イヤソーの加工液供給装置の作用について説明する。

【００３６】図１３に示すように、加工液タンク４６に
貯留された加工液は、供給ポンプ５２によってワイヤ列
２０上方のノズル１００に供給される。このとき、制御
部８８が流量計５４で測定した供給ポンプ５２の吐出量
に基づいて供給ポンプ５２を制御し、ノズル１００には
一定量の加工液が供給される。ノズル１００に供給され
た加工液は、ノズル１００からワイヤ列２０の切断部に
噴射され、インゴットの加工に供される。インゴットの
加工に供された加工液は、オイルパン３６及び回収パイ
プ３８を介して緩衝タンク４０に回収された後、回収ポ
ンプ６６によって加工液タンク４６に送液される。この
とき、回収ポンプ６６は、制御部８８によって制御さ
れ、たとえば、液面計６８で測定した緩衝タンク４０内
の液位が低い場合には、回収ポンプ６６は回転軸の回転
速度が低速度となるように制御され、緩衝タンク４０か
ら加工液タンク４６への送液が停止される。加工液タン
ク４６への送液が停止されると、制御部８８は逆流防止
弁１０２を閉じ、配管８４の流路は遮断される。

【００３７】このように、本実施の形態のワイヤソーの
加工液供給装置によれば、加工液タンク４６への送液が
停止されると同時に、逆流防止弁１０２によって配管８
４の流路が遮断されるので、加工液が緩衝タンク４０に
逆流しない。したがって、たとえば、加工液タンク４６
内の加工液の液位が緩衝タンク４０内の加工液の液位よ
り高い場合であっても、加工液は緩衝タンク４０へ逆流
せず、加工液タンク４６内の加工液の量は変動しない。
したがって、加工液タンク４６内の加工液を精度良く温
度制御することができる。

【００３８】ところで、加工液の配管にバルブを配設し
て流路を遮断すると、バルブを閉めて加工液の流路を塞
いだときに、加工液中の砥粒等の固形物が堆積して壁面
に固着することがある。この固形物が加工液の流路全体
を塞いだ場合、たとえば、加工液の流路が鉛直方向とな
る位置にバルブを配設して、前記固形物がバルブの上部
に堆積して固着した場合、配管が詰まって加工液が流れ
なくなる。この場合には、バルブや配管を解体して洗浄
することが必要となる。これに対し、本実施の形態のワ
イヤソーの加工液供給装置は、図１４に示したように、
逆流防止弁１０２が加工液の流路が水平となる位置に配
設されているので、固形物が配管の下部に沈殿して固着
しても上部に流路が確保されるので、配管が詰まりにく
い。したがって、ワイヤソーのメンテナンス性を向上さ
せることができる。また、逆流防止弁１０２が配設され
る配管の水平部は、可能な限り短いことが配管の詰まり
を生じにくくする上で好ましい。

【００３９】なお、本実施の形態では、緩衝タンク４０
から加工液タンク４６への加工液の送液が停止された際
に前記逆流防止弁１０２を閉じるように制御したが、配
管８４に流量計を設けて、該流量計の値に基づいて逆流
防止弁１０２を閉じるように制御してもよい。また、本
実施の形態では、バルブ手段としてボール弁を用いた
が、これに限定するものではなく、例えばチェック弁を
用いてもよい。さらに、本実施の形態では、バルブ手段
で配管８４を遮断することにより、加工液タンク４６か
ら緩衝タンク４０への逆流を防止したが、これに限定す
るものではなく、バルブ手段に配管８４と外部とを連通
させる機構を設けることにより加工液の逆流を防止して
もよい。図１５にその一例を示す。

【００４０】同図に示すバルブ手段は、上述した実施の
形態と同じ位置に配設され、主として、分岐管１３６、
チェック弁１３８、送気管１４０及び電磁弁１４７で構
成される。分岐管１３６は、配管８４に連結され、前記
配管８４と外部とを連通する。チェック弁１３８は、こ
の分岐管１３６に配設され、電磁弁１４７が閉の状態
（圧縮空気が入らない状態）で分岐管１３６を遮断する
ように構成される。即ち、チェック弁１３８のボール１
４４はスプリング１４６によって支持され、送気間１４
０側の圧力がかからない状態で、ボール１４４は図中２
点鎖線で示すように上昇して分岐管１３６に当接し、分
岐管１３６を遮断する。送気管１４０は、一端が分岐管
１３６に連結されるとともに、他端が電磁弁１４７を介
して図示しない圧縮空気の供給源に連結され、分岐管１
３６に圧縮空気を送気する。なお、送気される圧縮空気
の圧力は、ボール１４４を押し下げるために必要な、ス
プリング１４６の付勢力以上の力が作用すればよい。

【００４１】バルブ手段を上記の如く構成したワイヤソ
ーでは、緩衝タンク４０から加工液タンク４６に加工液
を送液した際、電磁弁１４７を閉じておくことにより、
前記チェック弁１３８が分岐管１３６を遮断する。これ
により、緩衝タンク４０内の加工液は、外部に漏れるこ
となく加工液タンク４６に回収される。このとき、分岐
管１３６にチェック弁１３８が設けられているので、電
磁弁１４７に加工液が付着することはない。

【００４２】また、前記加工液タンク４６への加工液の
送液を停止した際、電磁弁１４７を開いて圧縮空気を流
入することにより、チェック弁１３８のボール１４４
を、図中実線で示す位置に下降させ、配管８４と外部と
を分岐管１３６を介して連通させる。これにより、配管
８４内の加工液は、その自重により加工液タンク４６又
は緩衝タンク４０に流出する。したがって、配管８４内
には、空気が満たされるので、加工液タンク４６内の液
面高さが緩衝タンク４０内の液面高さより低い場合であ
っても、加工液タンク４６内の加工液が緩衝タンク４０
に逆流することはない。

【００４３】このように、図１５に示したバルブ手段を
用いれば、緩衝タンク４０から下降液タンク４６への送
液を停止した際の、加工液の逆流を防止することができ
る。なお、上述した例では、分岐管１３６を図示しない
圧縮空気の供給源に連結したが、大気に開放しても良
い。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤソ
ーの加工液供給装置によれば、緩衝タンクと加工液タン
クとを連結する配管にバルブ手段が設けられ、このバル
ブ手段によって加工液から緩衝タンクへの逆流が防止さ
れる。これにより、加工液タンク内の加工液の量を安定
させることができ、加工液の温度を精度良く制御するこ
とができる。また、本発明のワイヤソーの加工液供給装
置では、加工液タンクの液面及び緩衝タンクの液面より
も高く、前記配管の流路が最も高い位置で、且つ、前記
流路の水平姿勢位置にバルブ手段を配設したので、バル
ブ手段を閉じても配管が詰まることがなく、ワイヤソー
のメンテナンス性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る加工液供給装置を採
用したワイヤソーの全体構成図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の構成機器を露出
させたワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示した緩衝タンクの正面図

【図４】図１に示した緩衝タンクの平面図

【図５】図４に示した緩衝タンクの側面図

【図６】図１に示した加工液供給ユニットの斜視図

【図７】図６に示した加工液供給ユニットの正面図

【図８】図６に示した加工液供給ユニットの側面図

【図９】図６に示した加工液供給ユニットの平面図

【図１０】図１に示した洗浄液タンクの正面図

【図１１】図１０に示した洗浄液タンクの側面図

【図１２】図１０に示した洗浄液タンクの平面図

【図１３】本発明の実施の形態に係るワイヤソーの作用
を説明する説明図

【図１４】図１３に示した逆流防止弁の側面断面図

【図１５】逆流防止弁の変形例を説明する説明図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２０…ワイヤ列 ４０…緩衝タンク ４６…加工液タンク ６６…回収ポンプ ８４…（緩衝タンクと加工液タンクとを連結する）配管 ８８…制御部 １０２…逆流防止弁

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工液供給装置からワイヤ列に加工液を
   供給しながら前記ワイヤ列に被加工物を押し付けて、前
   記被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに
   おいて、 前記加工液供給装置は、 前記ワイヤ列に供給される加工液が貯留された加工液タ
   ンクと、 前記加工液タンクから前記ワイヤ列に供給された加工液
   が回収される緩衝タンクと、 前記緩衝タンクと前記加工液タンクとを連結する加工液
   の配管と、 前記配管を介して前記緩衝タンクから前記加工液タンク
   に加工液を送液する送液手段と、 前記配管に配設され、前記加工液タンクから前記緩衝タ
   ンクへの逆流を防止するバルブ手段と、 から構成されることを特徴とするワイヤソーの加工液供
   給装置。
2. 【請求項２】 前記バルブ手段は、前記加工液タンク内
   の液面及び前記緩衝タンク内の液面よりも高く、前記配
   管の経路の最も高い位置で、且つ、前記経路の水平姿勢
   位置に配設されたことを特徴とする請求項１記載のワイ
   ヤソーの加工液供給装置。
3. 【請求項３】 前記バルブ手段は、前記送液手段を停止
   した際に前記配管を大気に連通させる機構を備えている
   ことを特徴とする請求項２記載のワイヤソーの加工液供
   給装置。