JP2000218540A - ワイヤソーの加工液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】インゴットをウェーハに切断するワイヤソーに
おいて、ワイヤソーの切断部に加工液を供給する加工液
供給装置を軽量コンパクト化する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の加工液回収タ
ンク４０に設けられた回収ポンプ６６を、回転数の高い
加工液供給モードと、回転数の低い加工液攪拌モードと
に切り換えて運転させることにより、回収ポンプ６６を
攪拌装置として兼用する。回収ポンプ６６の運転が加工
液供給モードに切り換えられると、回収ポンプ６６の回
転数が高くなり、加工液回収タンク４０の加工液が加工
液タンク４６へ送液される。そして、回収ポンプ６６の
運転が加工液攪拌モードに切り換えられると、回転数が
低くなり、加工液の供給が停止して加工液がそのインペ
ラ６７、及び攪拌翼９７で攪拌される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの加工液
供給装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等
の脆性材料を切断するワイヤソーの加工液供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、複数個のグルーブローラ
にワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、このワイヤ列
にスラリ等の加工液を供給しながら被加工物をワイヤ列
に押し付けることにより、被加工物を多数枚のウェーハ
に切断する装置である。このようなワイヤソーにおい
て、前記加工液をワイヤ列に供給する従来の加工液供給
装置は、加工液を貯留する加工液タンク、この加工液タ
ンクに貯留された加工液をワイヤ列に供給するポンプ、
加工液タンクに貯留された加工液を攪拌し加工液の性質
を均一に維持する攪拌装置から構成され、また、この攪
拌装置は、攪拌翼、及び攪拌翼を回転させるモータから
構成されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーの加工液供給装置には、モータと攪拌翼とか
らなる専用の攪拌装置が設けられているので、部品点数
が多くなり装置が大型で重量物になるという欠点があっ
た。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、
部品点数の少ない軽量コンパクトなワイヤソーの加工液
供給装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤ列に被加工物を押し付け、該被加
工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けら
れ、被加工物の切断部に供給する加工液が貯留されるタ
ンクと、該タンクに貯留された加工液を前記ワイヤソー
の切断部に供給するためのポンプとから構成されたワイ
ヤソーの加工液供給装置において、前記加工液供給装置
の前記ポンプは、回転数の高い加工液供給モードと、回
転数の低い加工液攪拌モードとに切り換えて運転される
ことを特徴とする。

【０００５】請求項１記載の発明によれば、加工液を切
断部に供給する加工液供給モードにポンプの運転が切り
換えられると、ポンプの回転数が高くなり、タンクの加
工液を切断部に供給するようにポンプが駆動される。そ
して、加工液を攪拌する加工液攪拌モードにポンプの運
転が切り換えられると、回転数が低くなり、加工液の供
給が停止して加工液がそのインペラ、又はピストンで攪
拌される。したがって、本発明によれば、ポンプを攪拌
装置として兼用したので、部品点数の少ない軽量コンパ
クトなワイヤソーの加工液供給装置を提供することがで
きる。

【０００６】請求項２記載の発明は、回収タンクと加工
液タンクとからタンクを構成し、回収タンクに回収され
た加工液を循環経路を介して加工液タンクに供給するこ
とにより、加工液を循環使用するようにした加工液供給
装置を対象とした発明であり、回収タンク内の加工液を
加工液タンクに供給するポンプを、前記加工液供給モー
ドと前記加工液攪拌モードとに切り換えて運転するよう
にした。加工液タンク内の加工液を切断部に供給するポ
ンプは、常に定量の加工液を切断部に供給しなければな
らないので、一定の回転数で駆動する必要がある。よっ
て、このポンプを前記モードに切り換えて運転すること
は難しい。したがって、この場合には、本発明の如く、
回収タンクのポンプを前記モードで運転する。

【０００７】請求項３記載の発明によれば、前記ポンプ
のインペラに攪拌部材を設け、この攪拌部材とインペラ
とで加工液を攪拌するようにしたので、加工液の攪拌力
を向上させることができる。請求項４記載の発明によれ
ば、前記ポンプのインペラ及び攪拌部材を、樹脂等の非
金属材料で製作したので、インペラ及び攪拌部材が加工
液で磨耗しても、インペラ及び攪拌部材から金属粉は発
生しない。これにより、加工液には金属粉は含有され
ず、よって、この金属粉に起因する被加工物の切断不良
を防止することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの加工液供給装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明の加工液供給装置が適用された
ワイヤソー１０の斜視図であり、図２はワイヤソー本体
１１の主要部を露出させた斜視図である。

【０００９】これらの図に示すように、前記ワイヤソー
１０は、ワイヤソー本体１１に加工液供給ユニット４
４、加工液回収タンク（タンクに相当）４０、洗浄液タ
ンク７６及びオーバーフロータンク５６が設けられて構
成される。ワイヤソー本体１１には、ワイヤリール１２
が内蔵され、このワイヤリール１２に巻かれたワイヤ１
４は、多数のガイドローラ１６、１６…で形成される一
方側のワイヤ走行路を経由して４本のグルーブローラ１
８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄに複数回巻き掛けられ
る。これにより、グルーブローラ１８Ａとグルーブロー
ラ１８Ｂとの間に、ワイヤ１４同士が平行なワイヤ列２
０が形成される。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４
は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成されるととも
に前記一方側のワイヤ走行路と同一構造の他方側のワイ
ヤ走行路を経由して、図示しないワイヤリールに巻き取
られる。

【００１０】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（図２では一方側のワイヤ走行路
のみ図示）、ワイヤ案内装置２２によって、ワイヤ１４
がワイヤリール１２から一定ピッチで巻き取られ、また
は送りだされる。また、ダンサローラ２４には、所定重
量のウェイト（図示せず）が架設され、このウェイトに
よって走行するワイヤ１４に一定の張力が付与される。
更に、ワイヤ走行路には、図示しないワイヤ洗浄装置が
設けられ、このワイヤ洗浄装置から噴射される洗浄液に
よってワイヤ１４に付着した加工液（スラリ）等がワイ
ヤ１４から除去される。

【００１１】前記４本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ
は、その両端が対向する一対のスピンドルブラケット４
２、４２に回転自在に支持され、各々の回転中心を結ん
だ時にその形状が矩形状となる位置に配設されている。
前記一対のスピンドルブラケット４２、４２は、オイル
パン３６の上部に設置されている。また、前記グルーブ
ローラ１８Ｃ及び前記一対のワイヤリール１２は、それ
ぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８に連結されてい
る。これらのモータ２６、２８が駆動されると、前記ワ
イヤ１４は、一対のワイヤリール１２間を高速で往復走
行される。

【００１２】前記ワイヤ列２０の上方には、ワークフィ
ードテーブル３０がフィードベース３２に昇降自在に取
り付けられている。このワークフィードテーブル３０
は、フィードベース３２に設けられたモータ３３によっ
て、前記ワイヤ列２０に対し垂直方向に昇降移動され
る。また、ワークフィードテーブル３０の下部には、図
示しないインゴットが、結晶方位合わせされた状態で保
持される。

【００１３】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液が回収される。オイルパン
３６の内側には傾斜面が形成されており、この傾斜面の
下部には、図５に示す回収パイプ３８が接続されてい
る。回収パイプ３８は、先端が加工液回収タンク４０に
連結され、これにより、オイルパン３６に回収された加
工液は、回収パイプ３８を介して加工液回収タンク４０
に貯留される。

【００１４】図３は、図１に示した加工液回収タンク４
０のＡ矢視図であり、図４及び図５は、図３で示した加
工液回収タンク４０の平面図及び左側面図である。加工
液回収タンク４０は、加工液を一時的に貯留するタンク
であり、前記回収パイプ３８によって送液された加工液
が、供給口４０Ａを介して内部に貯留される。この供給
口４０Ａの上部には、カバー６０が取り付けられてい
る。カバー６０は、供給口４０Ａを中心としてコの字状
に組み付けられた３枚の側板６０Ａ、６０Ａ、６０Ａ
と、該側板６０Ａの上部に組み付けられた上板６０Ｂと
から構成される。中央の側板６０Ａの下端は図５の如
く、ヒンジ６２によって加工液回収タンク４０の蓋４１
に取り付けられ、これにより、カバー６０は矢印Ｂ方向
に揺動自在に構成される。このカバー６０をワイヤソー
本体１１側に揺動させると、カバー６０によって回収パ
イプ３８の先端が包囲されるので、回収パイプ３８と供
給口４０Ａとの隙間から加工液が外部に飛散することが
防止される。

【００１５】また、前記供給口４０Ａの下方には、目の
細かい金網５８が設けられ、回収パイプ３８から送液さ
れた加工液は、全てこの金網５８を通過するように構成
される。これにより、前記加工液は、金網５８によって
インゴットの破片等のゴミが除去されて加工液回収タン
ク４０内に貯留される。また、加工液回収タンク４０に
は、回収された加工液を図６の加工液タンク４６に送液
する回収ポンプ（ポンプに相当）６６が図５の如く設け
られる。回収ポンプ６６の図３に示すインペラ６７は、
樹脂材料、たとえばポリアセタール系のエンジニアリン
グプラスチックで作られる。これにより、金属製のイン
ペラを用いたときのように、インペラが加工液によって
磨耗して金属粉が発生することがない。したがって、金
属粉がインゴットの切断部に付着してインゴットの切断
精度を悪化させることがない。また、前記インペラ６７
の回転軸９５には、攪拌翼（攪拌部材に相当）９７が取
り付けられている。この攪拌翼９７が、インペラ６７と
ともに回転されることにより、加工液回収タンク４０に
貯留された加工液が効率よく攪拌される。これにより、
加工液回収タンク４０に貯留された加工液中の砥粒が加
工液回収タンク４０の内壁に固着することはなく、ま
た、砥粒の沈殿も防止することができ、更に、スラリの
凝固も防止することができる。前記攪拌翼９７は、樹脂
（例えばポリアセタール系のエンジニアリングプラスチ
ック）で形成され、加工液との摩擦によって金属粉が発
生しないように構成される。なお、本実施の形態では、
ポンプとしてインペラ６７を備えたポンプ６６を例示し
たが、ピストン式のポンプを採用してもよい。この場
合、前記ピストンに攪拌翼９７を設ければよい。また、
本実施の形態では、インペラ６７及び攪拌翼９７を樹脂
で製作したが、これに限られるものではなく、非金属材
料であればよい。

【００１６】加工液回収タンク４０には、回収した加工
液の液面高さを測定する液面計６８が設置される。液面
計６８は主として、昇降棒７０、フロート７２、ケーシ
ング７４及びセンサ７５で構成される。昇降棒７０は、
加工液回収タンク４０に垂直方向にスライド自在に支持
され、この昇降棒７０の下端にフロート７２が取り付け
られる。フロート７２は、ドーナツ状に形成され、中央
の円孔に前記昇降棒７０が挿入される。昇降棒７０に
は、フロート７２の上下にナット７８、７８が取り付け
られ、このナット７８、７８を上下方向から締結するこ
とにより、前記フロート７２が昇降棒７０に固定され
る。

【００１７】前記昇降棒７０は、アルミによって中空状
に形成されている。また、前記フロート７２は、薄厚の
ステンレスで中空状に形成されている。これにより、昇
降棒７０及びフロート７２は軽量化が図られ、比重の小
さい液体、例えばワイヤソー用のクーラントオイル（比
重１．０５）にも浮上される。また、前記フロート７２
は、ステンレスで製作されているので、クーラントオイ
ルによって腐食することはない。なお、前記クーラント
オイルは、インゴットの切断部を洗浄する場合等に使用
され、このクーラントオイルを前記加工液と同じ経路で
ワイヤ列２０に供給した場合には、クーラントオイルは
加工液と同様に、加工液回収タンク４０に回収される。

【００１８】前記フロート７２の周囲には、円筒状のフ
ロートカバー８０が加工液回収タンク４０の蓋４１に取
り付けられている。これにより、フロート７２は、加工
液回収タンク４０内の加工液の液面乱れに影響されるこ
とがないので、液面計６８は加工液の液面高さを精度良
く測定することができる。前記昇降棒７０の上部には、
近接体８２が取り付けられる。また、昇降棒７０のケー
シング７４には、複数のセンサ７５、７５…が上下方向
に所定の間隔で取り付けられる。センサ７５は、例えば
近接センサが用いられ、前記近接体８２が近づくと感知
するように構成される。各センサ７５はそれぞれ、ワイ
ヤソー本体１１内の制御部８８（図１３参照）に接続さ
れ、近接体８２の接近を感知するとその旨の信号が制御
部８８に出力される。制御部８８は、どのセンサ７５が
近接体８２を感知したかによって、加工液回収タンク４
０内の加工液の液面高さを認識する。そして、制御部８
８は、認識した液面高さに応じて前記回収ポンプ６６の
回転数を制御し、加工液回収タンク４０からの加工液吐
出量を制御する。たとえば、液面高さが高い場合には、
回収ポンプ６６の回転数を増加させて加工液の吐出量を
増やし、加工液が加工液回収タンク４０から溢れるのを
防止する。逆に、加工液の液面高さが低い場合には、前
記制御部８８は、回収ポンプ６６の回転数を低下させて
加工液の吐出量を減少させ、加工液回収タンク４０内の
加工液の液面高さの変動を抑える。また、加工液の液面
高さが所定値よりも低い場合には、制御部８８は、回収
ポンプ６６の運転を加工液供給モードから加工液攪拌モ
ードに切り換えるように制御する。ここで、加工液攪拌
モードとは、加工液の吐出量が零になるような回転数
（例えば６０ｒｐｍ）に回収ポンプ６６を制御すること
であり、回収ポンプ６６に取り付けられた攪拌翼９７に
よって加工液を攪拌し、加工液中の固形物の固着を防止
することができる。なお、制御部８８が上記の如く回収
ポンプ６６を制御したにもかかわらず、加工液の液面高
さが許容範囲を超えた場合には、制御部８８は、回収ポ
ンプ６６の故障や配管詰まり等の異常状態が発生したと
判断し、図１の表示画面８９にエラーメッセージを表示
する。

【００１９】前記加工液回収タンク４０には図５に示す
ように、ワイヤソー本体１１と反対側の側面の上部に排
出口８６が形成されている。その排出口８６の下方に
は、オーバーフロータンク５６が設置される。これによ
り、加工液回収タンク４０に回収された加工液の量が多
い場合には、加工液が排出口８６を介してオーバーフロ
ータンク５６に回収されるので、加工液が床に溢れるこ
とがない。

【００２０】また、前記加工液回収タンク４０は、複数
の車輪９０、９０…を有する台車９１に搭載されるとと
もに、ワイヤソー本体１１側の側面には鉛直方向の回転
軸を有するガイドローラ９２、９２が設けられている。
一方、ワイヤソー本体１１には、側面の下部にガイドレ
ール９９が水平方向に形成され、前記ガイドローラ９２
と係合するように構成されている。このガイドレール９
９に前記ガイドローラ９２、９２を係合させると、加工
液回収タンク４０はワイヤソー本体１１の側面に沿って
移動するので、加工液回収タンク４０の供給口４０Ａを
回収パイプ３８の先端の真下に簡単に配置することがで
きる。

【００２１】図６は、加工液供給ユニット４４の斜視図
であり、図７は、図６に示した加工液供給ユニット４４
のＣ矢視図である。また、図８及び図９は、図７の側面
図及び平面図である。これらの図に示すように、加工液
供給ユニット４４は、加工液タンク４６、熱交換器５
０、供給ポンプ５２、循環ポンプ１０６及び流量計５４
等を移動可能な台車４８に搭載して構成され、それぞれ
が隣接した状態で配設される。

【００２２】加工液タンク４６は、図１３に示した前記
回収ポンプ６６の排出口に配管を介して連結されてい
る。したがって、前記加工液回収タンク４０で回収され
た加工液は、回収ポンプ６６を介して加工液タンク４６
に貯留される。加工液タンク４６には図８に示すよう
に、攪拌機９４が設けられ、攪拌翼９６をモータ９８で
回転させることにより前記加工液タンク４６内に貯留さ
れた加工液を攪拌するように構成される。これにより、
加工液タンク４６に貯留した加工液中の砥粒が加工液タ
ンク４６の内壁に固着することがない。図８に示した攪
拌機９４の攪拌翼９６は、樹脂（例えばポリアセタール
系のエンジニアリングプラスチック）で形成され、加工
液との摩擦によって金属粉が発生しないように構成され
る。

【００２３】また、前記加工液タンク４６には、供給ポ
ンプ５２が設けられ、供給ポンプ５２が駆動されること
により、加工液タンク４６に貯留された加工液がワイヤ
列２０上方に設置された図１３のノズル１００に供給さ
れ、このノズル１００からワイヤ列２０に向けて噴射さ
れる。前記供給ポンプ５２とノズル１００とを連結する
配管には、流量計５４が配設され、この流量計５４で供
給ポンプ５２から吐出される加工液の流量が測定され
る。前記流量計５４及び供給ポンプ５２は、ワイヤソー
本体１１の制御部８８によって制御される。即ち、制御
部８８は、流量計５４の測定値に基づいて供給ポンプ５
２の吐出量が所定の値になるように供給ポンプ５２を制
御する。

【００２４】加工液タンク４６には、液面計１０４が設
けられる。この液面計１０４によって加工液タンク４６
内に貯留された加工液の液面高さが測定され、液面計１
０４で測定された液面高さの信号は制御部８８に出力さ
れる。制御部８８は、液面計１０４で測定された液面高
さが許容範囲を超えた場合に、加工液の漏れや配管の詰
まり等の異常状態が発生したと判断し、図１の表示画面
８９にエラーメッセージを表示した後、モータ２６、２
８をはじめとし、供給ポンプ５２等のインゴットの切断
に関係する機器を停止させる。

【００２５】前記加工液タンク４６には、循環ポンプ１
０６が設置される。循環ポンプ１０６は、熱交換器５０
に配管を介して接続され、熱交換器５０に加工液を循環
供給するように構成される。熱交換器５０は、温調ユニ
ット１１８に接続され、この温調ユニット１１８から熱
交換器５０に所定温度の冷却水が供給される。これによ
り、加工液タンク４６内の加工液は、循環ポンプ１０６
によって熱交換器５０に送液され、熱交換器５０で冷却
水により冷却される。

【００２６】循環ポンプ１０６と熱交換器５０との間に
は、温調バルブ１１０が配設されている。また、前記加
工液タンク４６には、加工液の温度を測定する温度セン
サ１０８が設けられる。前記循環ポンプ１０６と温調バ
ルブ１１０は、この温度センサ１０８で測定された温度
に基づいて前記制御部８８により制御される。即ち、制
御部８８は、温度センサ１０８の測定値に基づいて温調
バルブ１１０を開閉する。例えば、温度センサ１０８で
測定した加工液の温度が基準値よりも高い場合、制御部
８８は、温調バルブ１０８を開いて熱交換器５０で加工
液を冷却する。逆に、加工液の温度が基準値よりも低い
場合、制御部８８は、温調バルブ１１０を閉じて熱交換
器５０への加工液の送液を停止する。このとき、循環ポ
ンプ１０６の駆動を継続することにより、加工液は、循
環ポンプ１０６のモータの発熱により加熱される。な
お、符号１１２は、冷却水用フィルタであり、熱交換器
５０に供給する冷却水が濾過されることによって、その
冷却水に含まれるゴミ等が除去される。

【００２７】また、前記加工液タンク４６には図９に示
すように、粘度計１１４が設けられる。粘度計１１４
は、加工液タンク４６内の加工液の粘度を測定するもの
で、その測定された粘度情報が前記制御部８８へ入力さ
れる。制御部８８は、粘度計１１４で測定された粘度が
基準値よりも高い場合は、粘度調整バルブ（図示せず）
を開いてクーラントまたは加工液新液を加工液に補充す
る。

【００２８】図１０は、図１に示した洗浄液タンク７６
のＡ矢視図であり、図１１及び図１２は、図１０で示し
た洗浄液タンク７６の側面図及び平面図である。洗浄液
タンク７６は、インゴットの切断部を洗浄する洗浄液
（通常、加工液に使用されるクーラントオイル）を貯留
するタンクである。洗浄液タンク７６には、ポンプ１２
０が設けられ、ポンプ１２０の吐出先には、ハンドシャ
ワー１２２が取り付けられている。これにより、ポンプ
１２０が駆動されると、洗浄液タンク７６に貯留された
洗浄液がハンドシャワー１２２から噴出され、インゴッ
トの切断部が洗浄される。

【００２９】洗浄液タンク７６は、複数の車輪１２４、
１２４…を有する台車１２５に搭載されるとともに、洗
浄液タンク７６の側面には、前記ワイヤソー本体１１に
形成されたガイドレール９９に係合するガイドローラ１
２６、１２６が回転自在に支持されている。これによ
り、洗浄液タンク７６をワイヤソー本体１１の側面に沿
って移動させることができ、洗浄液タンク７６の供給口
７６Ａを容易に回収パイプ３８の先端の真下に配置する
ことができる。前述したように、図５の加工液回収タン
ク４０もワイヤソー本体１１の側面に沿って移動させる
ことができる。したがって、洗浄液タンク７６及び加工
液回収タンク４０をワイヤソー本体１１に沿って移動さ
せると、簡単に回収パイプ３８の排出先を洗浄液タンク
７６と加工液回収タンク４０とに切り換えることができ
る。回収パイプ３８の排出先を図１１の如く洗浄液タン
ク７６に切り換えると、前記ハンドシャワー１２２から
インゴットの切断部に供給された洗浄液が、オイルパン
３６及び回収パイプ３８を介して洗浄液タンク７６に回
収される。

【００３０】前記洗浄液タンク７６の供給口７６Ａの上
部には、カバー１２８が取り付けられている。カバー１
２８は、供給口７６Ａを中心としてコの字状に組み付け
られた３枚の側板１２８Ａ、１２８Ａ、１２８Ａと、該
側板１２８Ａの上部に組み付けられた上板１２８Ｂとか
ら構成される。中央の側板１２８Ａの下端は、ヒンジ１
３０によって洗浄液タンク７６に取り付けられ、カバー
１２８は矢印Ｄ方向に揺動自在に構成されている。この
カバー１２８をワイヤソー本体１１側に揺動させると、
カバー１２８によって回収パイプ３８の先端が包囲され
るので、回収パイプ３８と供給口７６Ａとの隙間から洗
浄液が飛散することが防止される。

【００３１】また、前記供給口７６Ａの下方には、目の
細かい金網１３４が設けられ、回収パイプ３８から送液
された洗浄液が全てこの金網１３４を通過するように構
成される。これにより、前記洗浄液は、金網１３４によ
ってインゴットの破片等のゴミが除去されて洗浄液タン
ク７６内に回収される。以上説明したように、本実施の
形態では、加工液回収タンク４０に設けられたポンプ６
６を攪拌装置として兼用したので、部品点数の少ない軽
量コンパクトなワイヤソーの加工液供給装置を提供する
ことができる。

【００３２】また、本実施の形態では、前記ポンプ６６
のインペラ６７に攪拌翼９７を設け、この攪拌翼９７と
インペラ６７とで加工液を攪拌するようにしたので、加
工液の攪拌力を向上させることができる。更に、本実施
の形態では、前記ポンプ６６のインペラ６７及び攪拌翼
９７を、樹脂等の非金属材料で製作したので、インペラ
６７及び攪拌翼９７が加工液で磨耗しても、インペラ６
７及び攪拌翼９７から金属粉は発生しない。これによ
り、加工液には金属粉は含有されず、よって、この金属
粉に起因するインゴットの切断不良を防止することがで
きる。

【００３３】なお、本実施の形態では、加工液回収タン
ク４０に設けられるポンプ６６について説明したが、加
工液タンク４６に設けられるポンプ５２についても、ポ
ンプ６６と同様に構成し、そして、同様に加工液供給モ
ードと加工液攪拌モードとに切り換えて運転することも
可能である。なお、ワイヤソーの切断運転時には、定量
の加工液を切断部に供給しなければならないので、前記
ポンプ５２は一定の回転数で駆動される。したがって、
ポンプ５２を前記モードに切り換える場合には、ワイヤ
ソーの暖気運転等の切断運転以外の運転時に行うことが
好ましい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明のワイヤソー
の加工液供給装置によれば、切断部に加工液を供給する
ためのポンプを、回転数の高い加工液供給モードと回転
数の低い加工液攪拌モードに切り換えて運転させること
により、ポンプを攪拌装置として兼用させたので、部品
点数の少ない軽量コンパクトなワイヤソーの加工液供給
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る加工液供給装置を用
いたワイヤソーの全体構成図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の要部を露出させ
たワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示した加工液回収タンクの正面図

【図４】図２に示した加工液回収タンクの平面図

【図５】図２に示した加工液回収タンクの側面図

【図６】図１に示した加工液供給ユニットの斜視図

【図７】図６に示した加工液供給ユニットの正面図

【図８】図６に示した加工液供給ユニットの側面図

【図９】図６に示した加工液供給ユニットの平面図

【図１０】図１に示した洗浄液タンクの正面図

【図１１】図１０に示した洗浄液タンクの側面図

【図１２】図１０に示した洗浄液タンクの平面図

【図１３】実施の形態の加工液供給装置を含むワイヤソ
ーの構造を示すブロック図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２０…ワイヤ列 ４０…加工液回収タンク ４４…加工液供給ユニット ４６…加工液タンク ５２…供給ポンプ ６６…回収ポンプ ６７…インペラ ９７…攪拌翼

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤ列に被加工物を押し付け、該被加
   工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けら
   れ、被加工物の切断部に供給する加工液が貯留されるタ
   ンクと、該タンクに貯留された加工液を前記ワイヤソー
   の切断部に供給するためのポンプとから構成されたワイ
   ヤソーの加工液供給装置において、 前記加工液供給装置の前記ポンプは、回転数の高い加工
   液供給モードと、回転数の低い加工液攪拌モードとに切
   り換えて運転されることを特徴とするワイヤソーの加工
   液供給装置。
2. 【請求項２】 前記加工液供給装置の前記タンクは、 前記ワイヤソーの切断部に供給された加工液を回収し一
   時貯留する回収タンクと、 前記回収タンクに循環経路を介して連結され、該循環経
   路を介して回収タンクから循環されてきた加工液を前記
   切断部に供給するために貯留する加工液タンクと、 から構成され、前記回収タンク内の加工液を前記加工液
   タンクに供給するポンプが、前記加工液供給モードと前
   記加工液攪拌モードとに切り換えて運転されることを特
   徴とする請求項１記載のワイヤソーの加工液供給装置。
3. 【請求項３】 前記ポンプのインペラには攪拌部材が設
   けられ、該攪拌部材はインペラとともに回転されて前記
   加工液を攪拌することを特徴とする請求項１、又は２記
   載のワイヤソーの加工液供給装置。
4. 【請求項４】 前記ポンプのインペラ及び前記攪拌部材
   は、樹脂等の非金属材料で作られていることを特徴とす
   る請求項３記載のワイヤソーの加工液供給装置。