JP2000214234A

JP2000214234A - 走査検査装置

Info

Publication number: JP2000214234A
Application number: JP17767A
Authority: JP
Inventors: Mark A Swart; エー．スワートマーク
Original assignee: Delaware Capital Formation Inc; Capital Formation Inc
Current assignee: Delaware Capital Formation Inc; Capital Formation Inc
Priority date: 1999-01-21
Filing date: 2000-01-21
Publication date: 2000-08-04
Also published as: EP1022573A2; TW587172B; US20010015641A1; EP1022573A3

Abstract

(57)【要約】【課題】正確に、安全に且つ迅速に検査結果を出すこ
とができる、小さいまたは密集した検査領域を有するプ
リント回路板の検査機器を提供する。【解決手段】プリント回路板上の密集した検査位置を
検査することができるプリント回路板の走査検査装置で
ある。この検査装置はプリント回路板の上方に配置され
且つ三次元で動くことができる検査ヘッドを有する卓上
ロボット組立体を具備する。検査ヘッドはこの検査ヘッ
ドの端部に配置されたレーザまたは電子銃のような非接
触エネルギ源を有し、プリント回路板の検査位置にエネ
ルギを与える。プリント回路板はプリント回路板の第二
の表面に接触する複数の伝達プレートと伝達ピンとを有
する検査治具に取付けられ、これらにより検査信号が電
子検査分析器に伝達される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプリント回路板の自
動検査に関し、特に回路にエネルギを与えて検査信号を
発生させるためにプリント回路板の表面を横断して検査
領域に当たるように向けられるレーザ光線または電子光
線を使用してプリント回路板の表面に密集して配設され
た検査領域を検査するための走査検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路板をチェックする自動検査
機では検査中にプリント回路板を取り付ける”ピンベッ
ド（bed of nails）”型の検査治具が長く使用されてい
る。この検査治具はバネ荷重をかけられたピン状の多数
のプローブを有し、これらプローブはバネ圧力のもとで
検査中のプリント回路板上の指定の検査点と電気的に接
触するように配設される。なおこの検査中のプリント回
路板は検査中ユニットまたは”ＵＵＴ”とも呼ばれる。
プリント回路板に形成される特定の回路は他の回路とは
異なっており、したがって、プリント回路板の検査点と
接触するピンベッド構成をこの特定のプリント回路板用
に特別に作らなくてはならない。検査されるべき回路が
設計されると、その回路をチェックするのに使用される
検査点のパターンが選択され、このパターンに対応する
検査プローブ列が検査治具に形成される。このことは概
して検査プローブの特定の配列に適合するようなパター
ンの孔をプローブプレートに開け、プローブプレート上
に開けられたこれら孔に検査プローブを取り付けること
により行われる。次いで検査治具にプリント回路板が取
りつけられ、検査プローブ列上に配置される。検査の
間、バネ荷重がかけられた検査プローブは検査中のプリ
ント回路板の検査点にバネ圧力で接触せしめられる。そ
して電気検査信号がプリント回路板から検査プローブへ
送信され、そして検査治具の外へ送信され、該電気信号
が高速電気検査分析器に伝達され、プリント回路板上の
回路の様々な検査点間の導通状態および導通状態の欠陥
を検知する。

【０００３】検査のために検査プローブと検査中のプリ
ント回路板とを圧力をかけて接触させるのに現在様々な
方法が使用されている。これら治具の一つの種類とし
て”布線検査治具（wired test fixture）”があり、こ
こでの検査プローブはプローブから外部の電子制御検査
分析器に検査信号を伝達するのに使用するための別々の
インターフェイス接触子に個々に配線される。これら布
線検査治具は検査中に検査治具のハウジング内を真空と
し、プリント回路板を検査プローブに押しつけ接触する
ので”真空検査治具”と呼ばれることが多い。また、同
様に構成された特注の布線検査治具にはプリント回路板
を検査中に検査プローブに押しつけ接触させるのに、必
要なバネ力を適用する真空とは別の機械的手段を使用し
て作られるものもある。

【０００４】布線検査治具で使用する検査プローブとイ
ンターフェイスピンと伝達ピン（トランスレータピン）
とのワイヤラップ接続または別の接続は非常に時間がか
かる。しかしながら、特注の布線検査治具は大きく複雑
で高価な電子検査分析器が実用的でないような検査点の
構成が複雑で製造量の少ないプリント配線板を検査する
のには特に有効である。

【０００５】前述のように、特注の検査治具は信号を治
具から外部の回路検査器に伝達する治具の一つの種類で
ある。別の種類の検査治具は”格子型治具”として公知
のいわゆる”専用”検査治具であり、ここでの検査治具
ではプリント回路板上のランダムなパターンの検査点は
伝達ピンにより接触せしめられ、これら伝達ピンは検査
信号を受信機の格子状のパターンで配設されたインター
フェイスピンに伝達する。これら格子型検査器における
取付けは概して特注の布線検査治具より複雑ではなく簡
単である。

【０００６】典型的な専用検査治具または格子型治具は
非常に多くのスイッチを備える検査電子回路を有し、こ
のスイッチは格子板の検査プローブを電子検査分析器の
対応する検査回路に接続する。格子型検査器の一実施例
では40,000ものスイッチが使用されている。このような
検査器で剥き出しのプリント回路板を検査する時、格子
板の格子状のパターンの検査プローブと検査中のプリン
ト回路板の格子状ではないパターンの検査点との間をつ
なぐ伝達ピンを伝達治具（トランスレータ治具）が支持
する。従来の格子型治具ではいわゆる”傾斜ピン”と呼
ばれるピンが伝達ピンとして使用される。傾斜ピンは直
っすぐな堅いピンであり、伝達治具の一部である伝達プ
レート（トランスレータプレート）内の予め開けられた
対応した穴に固定される。傾斜ピンは別々の検査信号を
プリント回路板の格子状ではないランダムなパターンの
検査点から格子板の格子状のパターンの検査プローブへ
伝達するために様々な方向に傾斜することができる。

【０００７】伝達治具はＬｅｘａｎ（登録商標）のよう
なプラスチック材料で作られた複数の伝達プレートを組
み立てて構成される。これら伝達プレートは伝達治具の
周囲で互いに離間した”離間領域（stand-offs）”を形
成するために互いに鉛直方向に一列に並べられた対応し
た組のスペーサの間に伝達治具内で重ねられる。スペー
サは伝達プレートを互いに鉛直方向に離間した固定位置
に保持し、互いに合理的に平行である。伝達治具の各段
にある伝達プレートは或るパターンで予め開けられた整
列穴がを有し、これら整列穴が伝達治具内での各傾斜ピ
ンの位置を制御する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところがプリント回路
板の検査点が互いに非常に近い場合やプリント回路板が
非常に薄い場合、これらのタイプの検査治具には幾つか
の問題がある。個々の検査点は一般に検査パッドと呼ば
れ、これら検査パッドのグループは一般的に検査パック
として公知である。傾斜ピンが非常に薄い検査パッドと
接触する時、検査パッドは傾斜ピンによって壊された
り、曲げられたりする可能性がある。検査パッドの損傷
具合と検査パッド同士の配置の近接具合とによっては、
個々の検査パッドが検査中に永続的に短絡してしまうこ
とになる。

【０００９】これらのタイプの検査治具に起こる第二の
問題は検査パッド同士が非常に近くに配置されている時
には検査パックの正確な検査結果を得ることが困難なこ
とである。検査パッド同士が非常に近くに配置されてい
る場合には、傾斜ピンを検査パック内の各検査パッドに
向けるのは非常に困難である。検査用の傾斜ピンが僅か
でも調整不良が検査結果に影響を及ぼし、検査の精度が
低下してしまう。

【００１０】第三の問題は検査ボール格子列（BGA:ball
grid array ）または四角で平坦なパック（QFP:quad f
lat pack）としてとして形成される時のように, 検査プ
ローブの格子密度より高い検査パッドの格子密度を有す
る検査パックに対して生じる。このような場合、各検査
パッドの検査での利用に十分に応えられる伝達ピンはな
く、したがって検査パックを完全に検査することはでき
ない。

【００１１】これら問題を扱うために、確実且つ安全に
小さい検査パッドを有するプリント回路板を検査できる
プリント回路板検査治具が開発された。このプリント回
路板検査治具は非常に近接した検査すべき検査点のグル
ープがあるプリント回路板上の位置に対応して治具に配
置された気圧作動式短絡プレートを有する。またこの短
絡プレートが検査中ユニットに係合できるように短絡プ
レートの寸法に対応した穴が上方伝達プレートに開けら
れている。検査点に電気的に接続するために短絡プレー
トの上面を覆うようにコンプライアント導電媒体層が配
置される。また短絡プレートは伝達プレートの層を通っ
て下方へ延びる空気シリンダに取り付けるためのスナッ
プ嵌めタイプの取付け具を有する。空気シリンダは検査
治具の下方伝達プレートにしっかりと固定された底面受
け口にスナップ式に嵌る底面プラグにより検査治具の底
部に取り付けられる。

【００１２】検査中ユニットの検査中においては、空気
シリンダを作動し、短絡プレートを上昇して検査パック
に接触させ、検査点を曲げたり損傷したりせずにこれら
を有効に短絡し検査する。

【００１３】この方法の問題は検査中に全ての検査サイ
トが短絡されてしまうので、検査パック内の一以上の個
々の検査サイトが不適当に短絡されているか否かが判ら
ないことである。

【００１４】密集した検査パッドを検査するための別の
方法はプローブに検査パック内の個々のパッドを接触す
ることである。この検査の方法は時間のかかる工程であ
るので望ましくない。

【００１５】したがって正確に、安全に且つ迅速に検査
結果を出すことができる、小さいまたは密集した検査領
域を有するプリント回路板の検査機器の必要性が存在す
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明はプリント回路板
上に近接して離間された検査領域を検査するための走査
検査装置を具備する。走査検査装置はロボット工学に基
づいて制御されるワイパブラシを具備する。ワイパブラ
シは検査位置を走査するために検査領域の頂部を横断し
て移動する。また、走査検査装置は卓上ロボット組立体
を具備する。この卓上ロボット組立体は検査すべきプリ
ント回路板の上方に配置される検査ヘッドを有する。検
査ヘッドはワイパブラシを有する。ワイパブラシはプリ
ント回路板の表面を横断して移動し、プリント回路板の
表面に配置された検査領域を検査するために検査パッド
に接触する。プリント回路板は卓上ロボット組立体の基
部上に位置する検査治具の上に配置される。検査治具は
プリント回路板の両面に配置された検査領域に接触する
ように複数の検査プローブを有する。ワイパブラシと専
用治具とから発生した検査信号は外部の電子制御検査分
析器に伝達される。ワイパブラシは浮動プローブと共に
使用されてもよい。

【００１７】別の実施例では、導電ローラ組立体が検査
治具上でプリント回路板を押さえるためのブロックの一
方に近接して配置される。ローラ組立体は導電布を有す
る。この導電布はローラ周りに配置される。ローラは検
査信号を検査領域から検査分析器に伝達するためにプリ
ント回路板の表面を横断して移動する。

【００１８】第二の最も好適な実施例によれば、本発明
の走査検査装置は回路にエネルギを与えるためにレーザ
光線、電子光線またはこれら以外の非接触エネルギ源を
検査中ユニットの上方に有し、これによりプリント回路
板の反対側に配置された検査治具に検査信号を発生させ
る。

【００１９】本発明のこれらおよび他の特徴を理解でき
るように、以下、添付の図面を参照して本発明を説明す
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の走査検査装置１０を図１
に示す。走査検査装置１０は卓上ロボット組立体１２を
具備する。卓上ロボット組立体１２は検査ヘッド１４を
有する。検査ヘッド１４は検査すべきプリント回路板ま
たは検査中ユニット（ＵＵＴ）１６上に配置される。検
査中ユニット１６は検査治具１８上に位置する。検査治
具１８は卓上ロボット組立体１２の基部２０上に位置す
る。卓上ロボット組立体１２は複数の鉛直支持部材２２
を有し、各鉛直支持部材２２は基部２０の各側部に連結
される。また、鉛直支持部２２はトラック（図示せず）
に沿って基部２０の両側に連結される。トラックは鉛直
支持部２２が基部２０の側部に沿って前進および後退で
きるように基部２０の側部に沿って配置される。ガント
リ（橋形部材）２４が基部２０の上方において鉛直支持
部２２の上部の間にしっかり連結される。ガントリ２４
にロボットヘッド２６が配置される。ロボットヘッド２
６はガントリ２４に沿って端から端まで移動可能であ
る。ロボットヘッド２６に接続されたワイヤトラック２
８を介してロボットヘッド２６に動力が供給される。ロ
ボットヘッド２６の下方端にはスピンドル３０が配置さ
る。スピンドル３０は全方向、すなわち３６０度に亘っ
て回転できる。ガントリ２４はこのガントリ２４とロボ
ットヘッド２６とが鉛直支持部２２の長手方向に沿って
鉛直に上下に移動できるようにトラック（図示せず）に
沿って鉛直支持部２２に接続される。適した卓上ロボッ
ト組立体はSONY CASTPRO（登録商標）装置である。

【００２１】検査ヘッド１４を図２および図３にさらに
詳細に示す。検査ヘッド１４はスピンドル３０に接続さ
れる。図２および図３を参照すると、検査ヘッド１４は
取付けブロック３２を有する。取付けブロック３２は卓
上ロボット組立体１２のスピンドル３０に留められる。
取付けブロック３２の側面に沿って支持アーム３４が接
続される。支持アーム３４はプリント回路板または検査
中ユニット１６に向かって下方へ延びる。支持アーム３
４の下方端にマウント（取付けブロック）３６が角度を
つけて斜めに配置される。このマウント３６を図４にさ
らに詳細に示す。マウント３６の下方に調整アーム３８
が配置される。フランジ４０がマウント３６から下方に
延び、調整アーム３８がフランジ４０（図３参照）によ
りマウント３６に接続される。またフランジ４０はフラ
ンジ４０をマウント３６に締め付けるためのプレート４
２によりマウント３６の側面の溝に沿って固く固定され
る。調整アーム３８はボルト４４によりフランジ４０の
下方端に固定される。調整アーム３８の角度はボルト４
６により調整される。ボルト４６はマウント３６を貫通
し、調整アーム３８に当接する。バネ４８がマウント３
６にあるチャンネル５０内に配置されて調整アーム３８
の上面を押し、ボルト４６がバネ４８を圧縮するように
調整される。

【００２２】図５に明示したように、調整アーム３８の
端部にはワイパブラシ５２が配置される。ワイパブラシ
５２は調整アーム３８の上面に固定されたクランプ５４
により所定位置に保持される。また、ワイパブラシ５２
はワイパバー５６によりクランプ５４と調整アーム３８
との間に保持される。ワイパーバー５６はブラシワイヤ
５８の長手方向を横断して延びる。図６に明示したよう
に、ワイパブラシ５２は複数の別個のブラシワイヤ５８
を有する。各ブラシワイヤ５８の直径は好ましくは０．
０７６mm（０．００３インチ）である。これら直径の小
さい複数のブラシワイヤ５８は互いに独立したコンプラ
イアンスを有する。各ブラシワイヤ５８は検査パッドま
たは検査領域よりも小さい接触面を有する。ワイパブラ
シ５２は検査中ユニットの特定の要求に応じて必要な数
だけブラシワイヤ５８を有する。ブラシを使用すること
に加えて、ワイパを改良型フレキシブル回路（modified
flex circuit ）、導電布または別のコンプライアンス
を有する導電材料としてもよい。後述するように、ワイ
パブラシ５２は検査信号を走査するためにワイパブラシ
５２が連続して検査領域６０に接触するように検査中ユ
ニット１６の上面を横断して移動する。

【００２３】図１および図２を参照すると、検査ヘッド
１４はさらにカメラ組立体６２を有する。カメラ組立体
６２は取付けブロック３２の底面に連結される。図７を
参照すると、カメラ組立体６２はカメラ６６を取付けブ
ロック３２に締め付けるためのハウジング６４を有す
る。カメラ６６は典型的にはエルモ４２１Ｅ（Ｅｌｍｏ
４２１Ｅ［登録商標］）のような小型のＣＣＤカメラで
ある。ハウジング６４は照明６８と鏡７０とを有し、こ
れらにより検査中に検査領域の位置を確認するためにコ
ンピュータ端末７２に検査領域の位置の像が映し出され
る。

【００２４】図８および図９を参照すると上述したよう
に、検査中ユニット１６が検査治具１８上に配置され
る。図示した検査治具１８は専用の治具である。検査中
ユニット１６は伝達治具（トランスレータ治具）７６の
頂部プレート７４上に配置される。伝達治具７６はスペ
ーサ８０により離間された複数の伝達プレート（トラン
スレータプレート）７８を有する。伝達プレート７８は
予め開けられた複数の孔を有する。これら孔は検査中ユ
ニット１６の底面に位置する検査領域のパターンに対応
する横列と縦列とになるように離間されている。伝達治
具７６は伝達プレート７８の予め開けられた孔に配置さ
れる複数の伝達ピン（トランスレータピン）または検査
プローブ８２を支持する。応用場面によっては、検査プ
ローブ８２は真っ直ぐで固い伝達ピンでもよいし、従来
のバネプローブでもよい。好ましくは検査プローブ８２
は従来のバネプローブである。検査プローブ８２は頂部
プレート７４を通って延び、検査中ユニット１６の底面
に位置する検査領域に接触する。検査プローブ８２の下
方端は下方治具８８に配置された検査プローブ８６に検
査信号を伝達するために治具ワイヤ８４を受け入れるワ
イヤラップ末端部を有する。

【００２５】伝達治具７６はＬｅｘａｎ（登録商標）の
ようなプラスチック材料で作られた複数の伝達プレート
７８を組み立てることにより構成される。伝達プレート
７８はスペーサ８０により離間される。これらスペーサ
８０は伝達治具７６を下方治具８８上に支持する。

【００２６】下方治具８８は付加的な検査電子機器を内
包するハウジング９０を有する。このハウジング９０内
には末端ブロック９２が配置される。末端ブロック９２
はプリント回路板を備えた第二の末端ブロック９４上に
取付けられる。末端ブロック９２と第二のプリント回路
板を備えた第二の末端ブロック９４とは検査プローブ８
６を受容するために整列された予め開けられた複数の孔
を有する。これら末端ブロック９２および９４はスイッ
チカード回路板９６上に配置される。スイッチカード回
路板９６はスイッチカード９８を介して検査信号を伝達
するためにスイッチカード９８に電気的に接続される。
スイッチカード９８はスイッチカードの縁部の接続部１
００によりスイッチカード回路板９６の底面に接続され
る。スイッチカード９８は検査プローブ８６を導線を介
して外部の電子検査分析器（図示せず）の対応の検査回
路に接続するための複数のスイッチを備えた複数の電子
回路９９を有する。スイッチカード回路板９６は鉛直支
持部材１０４によりハウジング９０内に支持される。専
用治具１８全体は支持ブロック１０６により卓上ロボッ
ト組立体１２の基部２０に接続される。支持ブロック１
０６は伝達治具全体が基部２０に沿って卓上ロボット組
立体１２の前方から後方へ移動できるように、トラック
を介して基部２０に取付けられる。

【００２７】なお、専用治具は検査中ユニットの両側を
検査できるように卓上ロボット組立体に配置されるが、
検査中ユニットの一面のみに検査領域がある場合には、
検査中ユニットを卓上ロボット組立体の基部上の支持部
に配置し、所望の検査位置を走査するのにワイパブラシ
を使用することができる。あるいは卓上ロボット組立体
の基部上の検査中ユニットを支持するのに別のタイプの
検査治具を使用してもよい。

【００２８】図１０を参照すると、本発明の走査検査器
は検査信号を検査領域から外部の検査電子機器に伝達す
るために導電ローラ組立体１０８を有する。導電ローラ
組立体１０８はハウジング１１０を有する。ハウジング
１１０は検査中ユニット１６を押さえるためのブロック
１１２上に配置される。ハウジング１１０は導電ローラ
１１４を前後に移動させるためのリニアモータまたは空
気式アクチュエータ（図示せず）を内包する。導電ロー
ラ１１４は検査信号を伝達するために布やゴムのような
単層の導電材料を有する。導電ローラ１１４は直線モー
タまたは空気式アクチュエータに接続されたフィンガ１
１６に取付けられる。フィンガ１１６はこのフィンガ１
１６が検査中ユニット１６の表面を横断して前後に移動
できるようにスロット１１８を通ってハウジング１１０
内に延びる。なおスロット１１８はハウジング１１０の
側面に沿って位置する。導電ローラ１１４はワイパブラ
シ５２に並列に配線され、ワイパブラシ５２と組み合わ
せてまたは別々に検査信号を伝達するために使用され
る。導電ローラ１１４の後退した位置を１２０で、突出
して延在した位置を１２２で示す。

【００２９】使用時には、卓上ロボット組立体は検査信
号を外部の検査機器に伝達するためにワイヤブラシが検
査中ユニットの検査領域に連続的に接触するような位置
に検査ヘッドを移動させる。検査中ユニットの底面の検
査領域からの検査信号は専用治具を介して外部の検査機
器に伝達される。これに加えて、検査信号を導電ローラ
を介して外部の検査機器に伝達してもよい。卓上ロボッ
ト組立体による検査ヘッドの移動は検査中ユニット上の
特定の検査領域パターン用にプログラムされたソフトウ
ェアにより制御される。必要であればワイパブラシは各
検査位置に個々に接触することにより近接して離間した
検査領域を迅速に検査できる。

【００３０】図１１は浮動プローブ１３２と組み合わさ
れたワイパ組立体１３０を示す。浮動プローブ１３２は
ロッド１３６に配置された本体部分１３４とワイパ組立
体１３０を支持するために本体部分１３４から延びるア
ーム１３８とを有する。浮動プローブ１３２は従来のプ
ローブであり、ｘ、ｙおよびｚ方向に移動でき且つ回転
できる。これにより浮動プローブ１３２が検査領域を横
断してワイパブラシ１４０を移動することができる。

【００３１】図１２は本発明の好適な実施例の走査検査
装置２１０を示す。走査検査装置２１０は図１に図示し
て説明した卓上ロボット組立体１２を具備する。卓上ロ
ボット組立体１２は卓上ロボット組立体１２のスピンド
ル３０に取付けられた非接触エネルギ源２１２を有す
る。非接触エネルギ源２１２は輻射の誘導放出による光
の増幅を提供する反転分布と正のフィードバックを提供
する工学共振空胴とを使用して光学的輻射を行うレーザ
でもよく、または電子光線を発生させ且つ制御する電極
構造を具備する電子銃でもよい。また、他の非接触エネ
ルギ発生装置でもよい。非接触エネルギ源２１２は検査
中ユニット１６の上方に配置され、レーザ光線または電
子光線が検査中ユニットに向けられ、検査中ユニットの
回路にエネルギ（例えば熱、光電エネルギ、電子）を与
える。なお、光電エネルギが与えられると、自由電子が
放出されてプリント回路板を流れる必要な電流が発生す
る。検査中のユニットにエネルギが与えられると、検査
治具１８に配置された検査プローブ８２は図８および図
９を参照して説明したように検査信号を外部の検査電子
機器に伝達する。

【００３２】なお、本発明の好適な実施例について説明
し図示したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の
範囲に記載したように本発明の範囲内で変更と修正とを
加えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の走査検査装置の正面図である。

【図２】図１の走査検査装置の検査ヘッド組立体の正面
図である。

【図３】図２の検査ヘッドの側面図である。

【図４】図３の検査ヘッドのワイパブラシ組立体の正面
図である。

【図５】図４のワイパブラシ組立体の拡大詳細図であ
る。

【図６】図５のワイパブラシの平面図である。

【図７】図２の検査ヘッドのカメラの側面図である。

【図８】図１の検査治具の正面図である。

【図９】図８の検査治具の側面図である。

【図１０】図１の走査検査装置用の付加的なローラ組立
体の詳細側面図である。

【図１１】浮動プローブと組み合わされたワイパブラシ
組立体の概略側面図である。

【図１２】非接触エネルギ源と組み合わされた本発明の
走査検査装置の正面図である。

【符号の説明】

１０…走査検査装置１２…卓上ロボット組立体１４…検査ヘッド１６…検査すべきプリント配線板、検査中ユニット（Ｕ
ＵＴ）１８…検査治具５２…ワイパブラシ６２…カメラ組立体７６…伝達治具８８…下方治具１０８…導電ローラ組立体２１２…非接触エネルギ源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プリント回路板の検査装置であって、プリント回路板を取付けるための治具と、前記治具の上方に取付けられる検査ヘッドとを具備し、
該検査ヘッドは前記プリント回路板上の領域を検査する
ために前記プリント回路板上の検査回路にエネルギを与
えるための非接触型のエネルギ源を有する検査装置。
【請求項２】前記検査ヘッドを三次元平面で移動する
ために前記検査ヘッドに接続されたロボットをさらに具
備する請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】前記治具は鉛直方向に離間された本質的
に互いに平行な複数の伝達プレートを有する伝達治具で
あり、前記伝達プレートは選択されたパターンの孔を有
し、これら孔は前記プリント回路板の第二の表面に接触
するように検査プローブを内包し且つ支持するために前
記伝達プレート内で整列せしめられる請求項１に記載の
検査装置。
【請求項４】前記検査ヘッドは前記ロボットのスピン
ドルに取付けられ、前記エネルギ源はレーザであり、該
レーザはレーザ光線が回路板に向けられるように前記ス
ピンドルに配置される請求項２に記載の検査装置。
【請求項５】前記検査ヘッドは前記ロボットのスピン
ドルに取付けられ、前記エネルギ源は電子銃であり、該
電子銃は電子光線が回路板に向けられるように前記スピ
ンドルに配置される請求項２に記載の検査装置。
【請求項６】プリント回路板の検査装置であって、検査されるべきプリント回路板を取付けるための検査治
具と、前記治具の上方に取付けられる検査ヘッドとを具備し、
該検査ヘッドは前記プリント回路板上の領域を検査する
ために前記プリント回路板上にエネルギを与える非接触
手段を有し、前記検査ヘッドを三次元平面で移動するために前記検査
ヘッドに接続されたロボットを具備する検査装置。
【請求項７】前記検査治具は鉛直方向に離間された本
質的に平行な複数の治具プレートを有し、該治具プレー
トは選択されたパターンの孔を有し、これら孔は前記プ
リント回路板の第二の表面に接触する検査プローブを内
包し且つ支持するために治具プレート内で整列せしめら
れる請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】前記非接触手段はレーザであり、該レー
ザはレーザ光線が前記プリント回路板に向けられるよう
に前記検査ヘッドに固定して取付けられる請求項６に記
載の検査装置。
【請求項９】前記非接触手段は電子銃であり、該電子
銃は電子光線が前記プリント回路板に向けられるように
前記検査ヘッドに固定して取付けられる請求項６に記載
の検査装置。