JPH11223656A - 被検査物の位置決め方法、および、それが用いられる検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検査物の外殻部の寸法精度に影響されるこ
となく被検査物を基板における各接続端子に対して精度
よく位置決めすることができ、しかも、端子が高密度化
された被検査物についても精度よく位置決めすることが
できること。 【解決手段】 被検査物としての半導体素子２６が位置
調整部材３６の載置部３８に載置されるもとで、保持体
２４により半導体素子２６が所定の基準位置に保持され
た後、半導体素子２６が保持された保持体２４の斜面部
２４ｃが収容部材５０の斜面部５０ａに係合されて半導
体素子２６が導電性シート部材５４の端子部５４ａに接
続されるもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、内部に電子回路を
有する被検査物における電子回路の非破壊試験に用いら
れる被検査物の位置決め方法、および、それが用いられ
る検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子機器などに実装される半導体集積回
路は、実装される以前の段階で種々の試験が行われその
潜在的欠陥が除去される。その試験は、熱的および機械
的環境試験などに対応した電圧ストレス印加、高温動
作、高温保存などにより非破壊的に実施される。その種
々の試験のうちで初期動作不良集積回路の除去に有効と
される試験として、高温条件のもとで一定時間の動作試
験を行うバーンイン（ｂｕｒｎ ｉｎ）試験が行われて
いる。

【０００３】このバーンイン試験に用いられる検査装置
は、例えば、フレーム上に配され所定の試験電圧が供給
されるとともに被検査物からの短絡等をあらわす異常検
出信号を送出する入出力部を有するプリント配線基板
と、プリント配線基板上における所定の位置に配され被
検査物としての半導体集積回路が収容される半導体素子
が装着される収容部を有する被検査物収容部材と、半導
体素子の上面に当接し所定の圧力で押圧する当接部を内
面側部分に有し、被検査物収容部材の上部を覆うカバー
部材と、カバー部材および被検査物収容部材双方に係合
しカバー部材を被検査物収容部材に固定するフック部材
とを含んで構成されている。

【０００４】カバー部材の一端部は、被検査物収容部材
の一方の端縁部に設けられる支持軸により回動可能に支
持され被検査物収容部材に連結されている。これによ
り、カバー部材は、フック部材が非係合状態とされると
き、被検査物収容部材に対して開閉可能に支持されるこ
ととなる。

【０００５】被検査物収容部材の内部に装着される半導
体素子における各辺からそれぞれ四方に伸びる各端子
は、その半導体素子の外殻部のプリント配線基板の各接
続端子に対する相対位置が規制されることにより、プリ
ント配線基板の各接続端子に当接されて位置決めされて
いる。また、各接続端子における半導体素子の端子に接
触する部分は、通常、球面状に形成されている。

【０００６】さらに、各接続端子は、プリント配線網を
介して入出力部に接続されている。これにより、カバー
部材が被検査物収容部材の収容室を覆うとき、装着され
た半導体素子における各端子に所定の付勢力が作用され
るもとで、半導体素子の端子とプリント配線基板におけ
る各接続端子とが電気的に導通状態とされることとな
る。

【０００７】かかる構成のもとで、所定の試験電圧がプ
リント配線基板の入出力部に供給されて被検査物収容部
材の内部に装着される半導体素子に対して例えば、バー
ンイン試験が行われることとなる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述のように半導体素
子の端子のプリント配線基板における各接続端子に対す
る位置合わせが、半導体素子の外殻部を位置決めするこ
とにより精度よく行われることにも半導体素子の端子の
高密度化に伴い限界がある。

【０００９】以上の問題点を考慮して、本発明は、内部
に電子回路を有する被検査物における電子回路の非破壊
試験に用いられる被検査物の位置決め方法、および、そ
れが用いられる検査装置であって、被検査物の外殻部の
寸法精度に影響されることなく被検査物を基板における
各接続端子に対して精度よく位置決めすることができ、
しかも、端子が高密度化された被検査物についても精度
よく位置決めすることができる被検査物の位置決め方
法、および、それが用いられる検査装置を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る被検査物の位置決め方法は、内部に
電子回路を有する被検査物を選択的に保持する保持体が
被検査物の端子の保持体に対する相対位置を保持体の所
定の基準位置に一致させて被検査物を保持する第１の工
程と、第１の工程において保持体により保持された被検
査物の端子に電気的に接続される電極を有する基板の電
極の被検査物を保持した保持体に対する相対位置を、保
持体の所定の基準位置に一致させて被検査物を基板に配
設する第２の工程とを含んで構成される。

【００１１】また、第２の工程において被検査物の端子
と基板の電極とを接続する導電性シート部材が、被検査
物の端子と基板の電極との間に、加えて備えられてもよ
い。

【００１２】第２の工程において被検査物を該基板に配
設する場合、被検査物を基板に対して押圧しつつ保持体
を保持してもよい。

【００１３】本発明に係る検査装置は、内部に電子回路
を有する被検査物を選択的に保持する保持体の位置調整
面に係合される被係合面を有し、位置調整面と被係合面
とが互いに係合されることにより、保持されるべき被検
査物の端子の保持体に対する相対位置を保持体の所定の
基準位置に一致させる被検査物位置調整治具と、保持体
の位置調整面に係合される被係合面を被検査物が収容さ
れる収容部に有し、被検査物を保持した保持体の位置調
整面と被係合面とが係合されることにより、収容部に対
して所定の配置関係をもって配され被検査物の端子に電
気的に接続される電極を有する基板の電極の保持体の位
置調整面に対する相対位置を保持体の所定の基準位置に
一致させる被検査物収容部材と、保持体の位置調整面が
被係合面に係合されるもとで保持体に、被検査物位置調
整治具に配された被検査物を保持する動作を行わせる制
御部とを備えて構成される。

【００１４】また、被検査物の端子と基板の電極とを接
続する導電性シート部材が、被検査物の端子と基板の電
極との間に加えて備えられてもよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る被検査物の
位置決め方法の一例が適用された検査装置の構成を示
す。

【００１６】図１において、検査装置は、例えば、被検
査物の後述する保持体２４に対する位置調整を行う位置
調整作業ステーション、および、位置調整作業ステーシ
ョンに並設され試験されるべき被検査物が収容され所定
の試験が実行される試験ステーションに対して設けられ
ている。

【００１７】検査装置は、移動体２を移動可能に支持す
る走行レール４が位置調整作業ステーションおよび試験
ステーションの上方に配されている。移動体２は、走行
レール４に沿って設けられるスクリュウシャフトに連結
されている。回動可能に支持されるスクリュウシャフト
が一方向もしくは他方向に回動されることにより、移動
体２は、図１の矢印Ｃの示す方向に沿って、即ち、位置
調整作業ステーションと試験ステーションとの間を往復
動せしめられる。なお、スクリュウシャフトの一端は、
図示が省略される駆動手段、例えば、ステッピングモー
タに連結されることにより、回動せしめられる。

【００１８】移動体２の下部には、後述する保持体２４
を包囲するスリーブ部材８を支持する支持軸６の上端が
連結されている。支持軸６の下端には、エアシリンダ２
０が設けられる支持台１６が一体に設けられている。支
持台１６は、スリーブ部材８の内周面に対して摺動可能
に嵌合されている。支持台１６の外周部には、溝１６ａ
が円周方向に沿って形成されている。溝１６ａには、Ｏ
リング１４が設けられている。支持台１６の上端部とそ
の上端部に対向するスリーブ部材８の内面部との間に
は、選択的に作動空気が供給される圧力室１８が形成さ
れている。

【００１９】圧力室１８に作動空気が供給される場合、
圧力室１８が図１に二点鎖線で示されるようにコイルス
プリング１０の付勢力に抗して拡大され、一方、圧力室
１８の作動空気が図示が省略されるリリーフ通路を介し
て排出される場合、圧力室１８は、コイルスプリング１
０の付勢力により縮小される。コイルスプリング１０
は、一端がスリーブ部材８の外周上端部に当接されて支
持軸６に巻装されている。

【００２０】エアシリンダ２０は、供給される作動空気
により伸長状態もしくは収縮状態をとるピストンロッド
２０ａを有している。ピストンロッド２０ａの一端に
は、保持体２４を選択的に保持するヘッド部２２が連結
されている。

【００２１】ヘッド部２２は、例えば、図１および図２
に示されるように、ピストンロッド２０ａの一端が連結
される平坦面部と平坦面部に相対向し設けられる複数の
直角錐面２２ｃとを有している。各直角錐面２２ｃに連
なる各側面には後述するスリーブ部材８の溝に摺動可能
に係合されるガイド部２２ｄがそれぞれ設けられてい
る。ヘッド部２２の内部には、保持体２４の被連結部と
しての嵌合部２４ｂが嵌合される凹部２２ｂが直角錐面
２２ｃ側の略中央部に設けられている。凹部２２ｂは、
ヘッド部２２の内部に形成される連通路２２ａの一端に
連通している。連通路２２ａの他端は、後述する吸引装
置７４に接続される吸引パイプ７６の一端に連結されて
いる。ヘッド部２２の凹部２２ｂと保持体２４の嵌合部
２４ｂとは、所定の公差ですきまばめの状態で嵌合され
ている。

【００２２】保持体２４は、例えば、図１および図３に
示されるように、直角錐台状に形成される被検査物保持
部と、被検査物保持部の一方の端部の略中央部に設けら
れ、凹部２２ｂに選択的に嵌合される嵌合部２４ｂとを
含んで構成されている。被検査物保持部は、被検査物が
吸引圧力により保持される平坦面と平坦面に連なる四方
のそれぞれ側面を形成する各斜面部２４ｃとを有してい
る。被検査物保持部および嵌合部２４ｂを貫通する吸引
圧力供給路２４ａが被検査物保持部の略中央位置に設け
られている。吸引圧力供給路２４ａは、一端が平坦面に
開口し他端が嵌合部２４ｂの端部に開口している。連通
路２２ａの直径に比して小なる直径を有する吸引圧力供
給路２４ａの一端の周りには、比較的浅い窪み２４ｇが
形成されている。保持体２４における各斜面部２４ｃが
後述する位置調整面として形成されることとなる。

【００２３】被検査物としての半導体素子２６は、図１
に示されるように、例えば、表面実装形のボールグリッ
ドアレー（ＢＧＡ）とされる。半導体素子２６において
後述する被検査物位置調整治具２７に対向する面には、
例えば、直径約３００（μｍ）とされるバンプ形の電極
２６ａが全面にわたって複数個、所定のピッチ間隔、例
えば、約５００（μｍ）で縦横に形成されている。ま
た、電極２６ａは、半導体素子２６の所定の基準位置に
対して相対関係をもって配列されている。

【００２４】四角の筒状に作られるスリーブ部材８は、
その上端に支持軸６が貫通される透孔８ａを有してい
る。透孔８ａを形成する周縁部には、Ｏリング１２が挿
入される溝１２ｇが設けられている。

【００２５】スリーブ部材８の下端の開口端の周縁部に
は、後述する各保持体押え部材３４の斜面部３４ａにそ
れぞれ選択的に係合される斜面部８ｃが所定の勾配をも
ってその延長線が互いに交わるように形成されている。
スリーブ部材８の一方の側面部には、吸引パイプ７６が
貫通される切欠部８ｂが設けられている。

【００２６】位置調整作業ステーションにおけるスリー
ブ部材８の下端に対向する位置には、被検査物位置調整
治具２７が配されている。

【００２７】被検査物位置調整治具２７は、図１および
図４に示されるように、支持基台４０上に固定される板
状の位置調整部材３６の略中央部に、半導体素子２６が
載置される載置部３８を有している。載置部３８は、所
定の間隔、例えば、半導体素子２６の電極２６ａの相互
間距離の間隔で格子状に張られた金属製もしくは樹脂製
の極細い線材３８ａから構成されている。載置部３８の
周辺部には、保持体２４の各斜面部２４ｃにそれぞれ選
択的に係合される被係合部としての斜面部３６ａがその
四方を取り囲むように形成されている。

【００２８】試験ステーションにおけるスリーブ部材８
の下端に対向する位置には、被検査物収容部材４１が配
されている。被検査物収容部材４１は、図１および図５
に示されるように、プリント配線基板６０上に配され入
出力端子部６２を有する基台５８と、基台５８の上端面
に形成される凹部５８ａに設けられ入出力端子部６２に
電気的に接続されるプリント配線基板５６と、プリント
配線基板５６上に配され被検査物としての半導体素子２
６を収容する収容室５２を有する収容部材５０と、収容
部材５０の上面に配され４個の保持体押え部材４６を包
囲するガイドフレーム部材４４と、保持体押え部材４６
およびガイドフレーム部材４４の上面に当接され、４個
の保持体押え部材４６を円滑に摺動させるべく、収容部
材５０と協働して４個の保持体押え部材４６を支持する
押えプレート４２とを含んで構成されている。

【００２９】プリント配線基板６０は、図示が省略され
る診断装置に電気的に接続されるとともに基台５８の入
出力端子部６２に電気的に接続されている。これによ
り、診断装置からの試験信号がプリント配線基板６０お
よび入出力端子部６２を介してプリント配線基板５６に
供給され、また、半導体素子２６からの出力信号がプリ
ント配線基板６０および入出力端子部６２を介して診断
装置に供給されることとなる。

【００３０】基台５８の入出力端子部６２は、プリント
配線基板５６に電気的に接続され、凹部５８ａの全内周
縁部に沿って所定の幅をもって縦横に配列される複数の
接続ピンにより形成されている。複数の接続ピンのうち
の一群が入力部とされ、他方の群が出力部とされてい
る。

【００３１】また、プリント配線基板５６は、その略中
央部に、図示が省略される導体層を介して入出力端子部
６２に接続される電極群５６ａを有する。電極群５６ａ
は、半導体素子２６の電極２６ａの配置に対応して設け
られている。

【００３２】収容部材５０は、例えば、耐熱性材料で作
られプリント配線基板５６上に固定されている。収容部
材５０は、互いに平行に相対向して形成される上面部お
よび下面部を有している。上面部の略中央部には、略正
方形状の開口部が形成されている。開口部は、半導体素
子２６が装着される収容室５２に連通している。開口部
の一辺の長さは、保持体２４において対応する一辺の長
さと同一、もしくは、若干大なる寸法に設定されてい
る。

【００３３】収容室５２は、開口部の周縁部に連なり所
定の勾配を有する４つの斜面部５０ａにより囲まれる空
間と、被係合面としての４つの斜面部５０ａの下端にそ
れぞれ連なる壁面部５０ｂにより囲まれる空間とから構
成されている。斜面部５０ａの勾配は、保持体２４にお
ける斜面部２４ｃの勾配と略同一とされる。壁面部５０
ｂの相互間距離は、保持体２４の上底の辺の長さと略同
一とされる。

【００３４】また、収容部材５０の下面部と収容室５２
との間には、凹部５０ｃが設けられている。凹部５０ｃ
には、導電性シート部材５４が配されている。導電性シ
ート部材５４の収容室５２に対する相対位置は、導電性
シート部材５４の端子部５４ａの所定の基準位置と収容
室５２の開口端の中心位置を通る位置とが一致するよう
に設定されている。

【００３５】樹脂材料で薄板状に作られた導電性シート
部材５４における略中央部には、図５に示されるよう
に、押圧されることにより選択的に電気的に導通状態と
する端子部５６ａが半導体素子２６の電極２６ａ、およ
び、プリント配線基板５６の電極群５６ａに対応して配
されている。端子部５６ａは、上述した半導体素子２６
の基準位置に対応した所定の基準位置に対して相対関係
をもって配列されている。

【００３６】導電性シート部材５４の端子部５４ａは、
複合導電材料、例えば、シリコーンゴムと金属粒子から
なるもので作られ設けられている。複合導電材料として
は、異方性導電ゴムが用いられる。異方性導電ゴムは、
その厚み方向に導電性を有し平面に沿った方向には導電
性を有しない材料である。また、異方性導電ゴムには、
その導電部が絶縁性を有するゴムの中に分散している分
散タイプと、その導電部が部分的に複数個偏在している
偏在タイプがあり、いずれのタイプが用いられても良
い。端子部５４ａがこのような異方性導電ゴムで作られ
ることにより図７に示されるように、半導体素子２６の
各電極２６ａと端子部５４ａとが面接触により接続され
るので接触不良が回避されるとともに半導体素子２６の
電極２６ａとの接触による損傷が回避されることとな
る。

【００３７】収容部材５０の上面に固定されるガイドフ
レーム部材４４は、板状部材により形成され、４個の保
持体押え部材４６の両側面をそれぞれ摺動可能に案内す
る切欠部４４ａを有している。また、各保持体押え部材
４６の一方の端部と切欠部４４ａとの間には、各保持体
押え部材４６を互いに近接させる方向に付勢するコイル
スプリング４８がそれぞれ、設けられている。各保持体
押え部材４６の他方の端部には、スリーブ部材８の下端
の斜面部８ｃに選択的に係合される斜面部４６ａが形成
されている。斜面部４６ａの勾配は、例えば、スリーブ
部材８の下端の斜面部８ｃの勾配と略等しく設定されて
いる。また、４個の保持体押え部材４６は、ガイドフレ
ーム部材４４の上面部に固定される押えプレート４２に
摺接されている。これにより、各保持体押え部材４６
は、その姿勢が押えプレート４２、収容部材５０および
ガイドフレーム部材４４により規制されることとなる。

【００３８】さらに、本発明に係る検査装置の一例にお
いては、加えて、図１に示されるように、制御ユニット
７０を備えている。制御ユニット７０は、圧力室１８お
よびエアシリンダ２０に作動空気を供給する空気圧回路
部７２の動作制御を行うとともに、例えば、真空ポンプ
を含んでなる吸引装置７４の動作制御を行う。

【００３９】制御ユニット７０には、半導体素子２６の
保持体２４に対する相対位置の調整をすべく、図示が省
略されるホストコンピュータからの位置調整指令信号Ｓ
ｓ、および、半導体素子２６について所定の試験が終了
したことをあらわす信号Ｓｅが供給される。

【００４０】かかる構成のもとで、被検査物としての半
導体素子２６について試験を行うにあたり、位置調整作
業ステーションにおいて半導体素子２６が、その電極２
６ａの相互間が線材３８ａに係合されて予め載置部３８
に載置される。また、制御ユニット７０は、ヘッド部２
２の凹部２２ｂに嵌合された保持体２４を吸引保持すべ
く、制御信号Ｃｖを吸引装置７４に供給し、また、スリ
ーブ部材８を図１に二点鎖線で示される位置まで上昇さ
せるべく、制御信号Ｃｐを空気圧回路部７２に供給す
る。そして、移動体２がスリーブ部材８を伴って被検査
物位置調整治具２７の上方に位置せしめられる。

【００４１】制御ユニット７０は、位置調整指令信号Ｓ
ｓが供給されるとき、保持体２４の各斜面部２４ｃを位
置調整部材３６の斜面部３６ａに係合させるべく、制御
信号Ｃａを空気圧回路部７２に供給する。これにより、
ヘッド部２２が下降されて保持体２４の各斜面部２４ｃ
が対応する各斜面部３６ａに係合されるとともに、半導
体素子２６が、その電極２６ａを下方に向けて保持体２
４の平坦面に吸引保持されることとなる。その際、載置
部３８の保持体２４の平坦面に対する相対位置が、保持
体２４の各斜面部２４ｃが対応する各斜面部３６ａに係
合されることにより自動的に調心され、かつ、載置部３
８の所定位置に載置された半導体素子２６の所定の基準
位置と保持体２４の中心軸線とが一致することとなる。

【００４２】次に、制御ユニット７０は、ヘッド部２２
を図１に示される位置まで上昇させ、保持体２４の各斜
面部２４ｃを位置調整部材３６の斜面部３６ａに対して
非係合状態とすべく、制御信号Ｃａを空気圧回路部７２
に供給する。

【００４３】続いて、位置調整された半導体素子２６を
保持する保持体２４およびヘッド部２２は、図１に示さ
れるように、移動体２の移動により試験ステーションの
上方の所定位置に配される。

【００４４】制御ユニット７０は、図６に示されるよう
に、スリーブ部材８の各斜面部８ｃを対応する各保持体
押え部材４６の斜面部４６ａに係合させ、各保持体押え
部材４６が互いに離隔するように制御信号Ｃｐの空気圧
回路部７２への供給を停止する。これにより、各保持体
押え部材４６は、スリーブ部材８により互いに離隔する
ようにコイルスプリング４８の付勢力に抗して移動せし
められる。

【００４５】続いて、制御ユニット７０は、図７に示さ
れるように、保持体２４により保持された半導体素子２
６の電極２６ａを導電性シート部材５４の端子部５４ａ
に当接させるべく、制御信号Ｃａを空気圧回路部７２に
供給する。これにより、保持体２４の斜面部２４ｃが収
容部材５０の斜面部５０ａに係合されることとなる。そ
の際、保持体２４の斜面部２４ｃが収容部材５０の斜面
部５０ａに係合されることにより、保持体２４の中心軸
線と収容室５２の開口部の中心位置を通る中心軸線とが
自動的に調心され一致せしめられる。

【００４６】従って、上述したように、導電性シート部
材５４の端子部５４ａの基準位置は、収容室５２の開口
部の中心位置を通る中心軸線に一致しているので載置さ
れた半導体素子２６の基準位置と導電性シート部材５４
の端子部５４ａの基準位置とが一致することとなる。

【００４７】続いて、制御ユニット７０は、スリーブ部
材８を図８に示されるように、スリーブ部材８の斜面部
８ｃを保持体押え部材４６の斜面部４６ａに対して非係
合状態とすべく、制御信号Ｃｐを空気圧回路部７２に供
給するとともに、制御信号Ｃｖの吸引装置７４への供給
を停止する。

【００４８】これにより、各保持体押え部材４６の斜面
部４６ａ側の一端が保持体２４の下底の周縁部分にそれ
ぞれ係合され、保持体２４が保持され、かつ、所定の圧
力で均等に下方に向けて押圧され、また、図９に示され
るように、保持体２４がヘッド部２２から離脱すること
となる。

【００４９】その際、半導体素子２６の上面に均等に圧
力が作用されることとなるので半導体素子２６の電極２
６ａを介して導電性シート部材５４の端子部５４ａに加
わる押圧力が、均等に付与され、その結果、電極２６ａ
および端子部５４ａとプリント配線基板５６の入出力端
子部６２との間が導通状態とされることとなる。

【００５０】そして、図９に示される状態において、所
定の雰囲気中において、プリント配線基板６０を介して
試験信号が供給されて試験が行われる。また、プリント
配線基板６０から得られる出力信号に基づいて図示が省
略される診断装置により半導体素子２６の潜在的欠陥が
判断されることとなる。

【００５１】制御ユニット７０は、試験終了後、試験済
みの半導体素子２６を被検査物収容部材４１から取り外
すにあたっては、先ず、図１０および図１１に示される
ように、半導体素子２６について所定の試験が終了した
ことをあらわす信号Ｓｅが供給されるとき、信号Ｓｅに
基づいてヘッド部２２の凹部２２ｂと保持体２４の嵌合
部２４ｂとを係合させるべく、制御信号Ｃａを空気圧回
路部７２に供給する。これにより、エアシリンダ２０の
ロッド２０ａが伸長状態とされ、ヘッド部２２の凹部２
２ｂと保持体２４の嵌合部２４ｂとが係合される。

【００５２】次に、制御ユニット７０は、図１２に示さ
れるように、スリーブ部材８の各斜面部８ｃを対応する
各保持体押え部材４６の斜面部４６ａに係合させ、各保
持体押え部材４６が互いに離隔するように制御信号Ｃｐ
の空気圧回路部７２への供給を停止する。これにより、
各保持体押え部材４６は、スリーブ部材８により互いに
離隔するようにコイルスプリング４８の付勢力に抗して
移動せしめられる。

【００５３】続いて、制御ユニット７０は、ヘッド部２
２の凹部２２ｂに嵌合された保持体２４および半導体素
子２６を吸引保持すべく、制御信号Ｃｖを吸引装置７４
に供給し、また、図１３に示されるように、ヘッド部２
２を上昇させるべく、制御信号Ｃａを空気圧回路部７２
に供給する。

【００５４】また、制御ユニット７０は、スリーブ部材
８を図１に二点鎖線で示される位置まで上昇させるべ
く、制御信号Ｃｐを空気圧回路部７２に供給する。

【００５５】これにより、図１に示されるように、半導
体素子２６を保持した保持体２４が被検査物収容部材４
１の上方に位置せしめられた後、移動体２が位置調整作
業ステーションの上方に戻され、試験済みの半導体素子
２６が保持体２４から取り外されて新たな半導体素子２
６について上述の動作が同様に繰り返される。

【００５６】なお、上述の本発明に係る検査装置の一例
においては、位置調整作業ステーションおよび試験ステ
ーションは、１系統備えられた構成とされているが、か
かる例に限られることなく、位置調整作業ステーション
および試験ステーションがそれぞれ、複数、設けられる
構成とされてもよいことは勿論である。

【００５７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る被検査物の位置決め方法、および、それが用いら
れる検査装置によれば、保持体が被検査物の端子の保持
体に対する相対位置を保持体の所定の基準位置に一致さ
せて被検査物を保持するもとで、保持体により保持され
る被検査物の端子に電気的に接続される電極を有する基
板の電極の被検査物を保持した保持体に対する相対位置
を、保持体の所定の基準位置に一致させて被検査物を基
板に配設するので被検査物の外殻部の寸法精度に影響さ
れることなく被検査物を基板における各接続端子に対し
て精度よく位置決めすることができ、しかも、端子が高
密度化された被検査物についても精度よく位置決めする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る被検査物の位置決め方法の一例が
適用された検査装置の構成を概略的に示す構成図であ
る。

【図２】図１に示される例において用いられるヘッド部
の外観を示す斜視図である。

【図３】図１に示される例において用いられる保持体の
外観を示す斜視図である。

【図４】図１に示される例に用いられる位置調整部材を
示す平面図である。

【図５】図１に示される例において用いられる被検査物
収容部材の構成を示す分解斜視図である。

【図６】図１に示される例において被検査物収容部材の
動作説明に供される断面図である。

【図７】図１に示される例において被検査物収容部材の
動作説明に供される断面図である。

【図８】図１に示される例において被検査物収容部材の
動作説明に供される断面図である。

【図９】図１に示される例において被検査物収容部材の
動作説明に供される断面図である。

【図１０】図１に示される例において被検査物収容部材
の動作説明に供される断面図である。

【図１１】図１に示される例において被検査物収容部材
の動作説明に供される断面図である。

【図１２】図１に示される例において被検査物収容部材
の動作説明に供される断面図である。

【図１３】図１に示される例において被検査物収容部材
の動作説明に供される断面図である。

【符号の説明】

２２ ヘッド部 ２４ 保持体 ２４ａ 斜面部 ２６ 半導体素子 ２７ 被検査物位置調整治具 ３６ 位置調整部材 ３６ａ 斜面部 ３８ 載置部 ５０ 収容部材 ５０ａ 斜面部 ５２ 収容室 ５４ 導電性シート部材 ７０ 制御ユニット ７４ 吸引装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に電子回路を有する被検査物を選択
   的に保持する保持体が該被検査物の端子の該保持体に対
   する相対位置を該保持体の所定の基準位置に一致させて
   該被検査物を保持する第１の工程と、 前記第１の工程において前記保持体により保持された前
   記被検査物の端子に電気的に接続される電極を有する基
   板の該電極の該被検査物を保持した保持体に対する相対
   位置を、該保持体の前記所定の基準位置に一致させて該
   被検査物を該基板に配設する第２の工程と、を含んで構
   成される被検査物の位置決め方法。
2. 【請求項２】 内部に電子回路を有する被検査物を選択
   的に保持する保持体の位置調整面に係合される被係合面
   を有し、該位置調整面と該被係合面とが互いに係合され
   ることにより、保持されるべき該被検査物の端子の該保
   持体に対する相対位置を該保持体の所定の基準位置に一
   致させる被検査物位置調整治具と、 前記保持体の位置調整面に係合される被係合面を前記被
   検査物が収容される収容部に有し、該被検査物を保持し
   た前記保持体の該位置調整面と該被係合面とが係合され
   ることにより、該収容部に対して所定の配置関係をもっ
   て配され前記被検査物の端子に電気的に接続される電極
   を有する基板の該電極の前記保持体の位置調整面に対す
   る相対位置を該保持体の前記所定の基準位置に一致させ
   る被検査物収容部材と、 前記保持体の位置調整面が前記被係合面に係合されるも
   とで前記保持体に、前記被検査物位置調整治具に配され
   た被検査物を保持する動作を行わせる制御部と、 を具備して構成される検査装置。
3. 【請求項３】 前記第２の工程において前記被検査物の
   端子と前記基板の電極とを接続する導電性シート部材
   が、前記被検査物の端子と前記基板の電極との間に、加
   えて備えられることを特徴とする請求項１記載の被検査
   物の位置決め方法。
4. 【請求項４】 前記第２の工程において前記被検査物を
   該基板に配設する場合、該被検査物を該基板に対して押
   圧しつつ前記保持体を保持することを特徴とする請求項
   １記載の被検査物の位置決め方法。
5. 【請求項５】 前記被検査物の端子と前記基板の電極と
   を接続する導電性シート部材が、前記被検査物の端子と
   前記基板の電極との間に、加えて備えられることを特徴
   とする請求項２記載の検査装置。