JPS61245071A - バ−ンインボ−ドの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野〕 本発明はメモリＩＣ等のバーンイン工程に使用されるバ
ーンインボードの良、不良を調べるためのバーンインボ
ードの検査装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

メモリＩＣ′ｓ高信頼性を要求される半導体装置にＪ３
いては、高温下で定常電流を流しあるいは試験信号で８
作さぜるバーンイン試験が信頼性テストの一つとして行
われる。この信頼性テストに使用される治具の１つとし
てバーンインボードが挙げられる。このバルンインボー
ドは被測定ＩＣを挿入する複数のソケットとこのソケッ
トに試験信号等を供給する所定の配線を備えいてる。バ
ーンインを行うときにはバーンインボードに複数のメモ
リＩＣを挿入して高温状態に保たれた恒温槽であるバー
ンイン装置内で所定の加熱おＪ：び通電を行う。

このように信頼性テストが高温状態で行われることから
バーンインボード自体も高温状態における高信頼性が要
求されることになる。そしてこのようなバーンインボー
ドは消耗が早いため、使用するに際して最低月１回程度
のチェックを行ってバーンインボード自体の良、不良を
判定しなくてはならない。

このためのバーンインボードの検査装置が各種開発され
ているが、いずれも人手によるハンドリングを必要とす
るものである。このような手動によるハンドリングでバ
ーンインボートを検査する装置では、検査のために多大
の時間がかかるばかりでなく、検査粘鳴が−・定しない
という問題がある。

また、多くのバーンインボードを短時間で検査づるため
には検査装置を多数用意し並行して検査を行うことにな
るが、このようにすると検査のための人口が多数必要と
なる。このため従来の手動によるハンドリングを用いた
検査装置では検査回数を増加することが非常に困難であ
るという問題を有している。

〔発明の目的〕

本発明は上述した問題を除去するためになされたもので
、短時間でしかも人手をか【プないで精度良く検査を行
うことのできるバーンインボードの検査装置を促供する
ことを目的とづ゛る。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため、本発明においでは、バーンインボ
ードのレット時にこのバーンインボードの端部に設けら
れたコネクタと結合してバーンインボード上に配置され
たソケットの各端子に試験用の電気信号を供給するコネ
クタヘッドと、同一行（または列）にあるソケットの複
数の端子に同時に接触する接触針を有する上下可動のテ
ストヘッドと、このテストヘッドを列（または行）方向
にソケットの配列ピッチだけステップ移動させるテスト
ヘッド移送手段とを備えでおり、測定を自動的に行える
ことから検査の効率化が可能となっている。

（発明の実施例） 以下本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

第１図はこの発明の一実施例の正面から見た概略構成を
示す透視図、第２図はその側面から見た透視図をそれぞ
れ示したものである。

バーンインボード検査装置１０はボード１に所定のピッ
チで行列配置されたソケッＩ〜の各端子に接触して検査
信号を得るためのテストヘッド２０と、ボード１のセッ
ト時にこのボード１の端部に設けられたコネクタに結合
してソケットの各端子に電気信号を供給するためのコネ
クタヘッド３０と、テストヘッド２０を列または行方向
にソケットの配列ピップ−分ずつステップ移動させるた
めのテストへラドフィードテーブル１１を備えている。

第３図はテストヘッド２０の詳細構造および作用を示す
側面から見た拡大部分断面図である。このテストヘッド
２０はボード１上のソケツ１−２の各端子に確実なコン
タクトと、接触および離脱動作を容易に実現できるよう
にチェックピンにスプリング＝１ンタクトピンを使用し
ている。そしてこのテストヘッド２０はボード１に対し
て上下移動可能となっており、検査時には駆動シリンダ
１５の作用により囲動部材１４が支柱１２に設けられた
シャフト１３上を摺動してチェックピン２３がソケット
２の端子にスプリング接触する８！造となっている。

またテストヘッド２０は支持部２１の下部に取り付けら
れたデンプレート２２に設けられた上下貫通孔にチェッ
クピン２３がソケット２４とともに嵌入されて所定のピ
ッチ間隔で固定されて取イ」りられている。チェックピ
ン２３はソケット２４から導１，１２５を介して信号出
力用のコネクタ２６に接続されており、このコネクタ２
６に検査装置を接続することにより所定の検査信号を得
ることができる。

第４図はテストヘッド２の正面から見た断面構造を示し
た図で、ソケット２のピン数（例えば１６ピンのＤＩＰ
用ソケットでは８ピン）に応じたチェックピン６が、所
定のピッチで形成されたテンプレート１０の貫通孔に埋
め込み固°定されている。

テストへラドフィードテーブル１１はステッピングモー
タ４０とこれによって駆動されるボールねじ４１によっ
てボード１の挿入方向へに定ピツチで移動可能な構造と
なっている。ボード１を装ｆｆ１１０内にクランプする
ためのボードクランプはボード１の挿入方向両側でクラ
ンプを行う横方向ボードクランパ１６および１７と、ボ
ードを挿入してその端部をコネクタヘッド３０に係合さ
せた後固定する縦方向ボードクランプレバ−１９とから
構成されている。これらのボードクランプはクランプの
程度を調節することが可能で例えば縦方向クランプに対
してはクランプレバ−調節ハンドル１８を備えている。

また本装置には操作パネル、ヂＩツク回路、コントロー
ル回路および調圧回路等（いずれも図示Ｕず）が設（プ
られている。

次にこの検査装置の動作について説明する。

まず、横方向のボードクランパ１６および１７を調節し
、第１図に示すＡ方向からバーンインボード１を挿入す
る。このボード１の挿入はコネクタヘッド３にボード１
の端部に設けられたコネクタ、例えばカードエツジコネ
クタが完全に挿入されて電気的接触が取れるようになる
まで行う。次いでボードクランプレバ−１９をボード１
がコネクタヘッド３０に押し刊けられるような方向で押
圧しクランプする。コネクタ挿入ヘッド３０にはボード
１との接触を確実に行えるようにばね３１が設けられて
おり、このばね３１の弾性力によりボード１上のソケッ
トにはコネクタヘッド３０を介して検査用の電気信号が
供給される。

検査の際にはテストヘッド２０が図中に示すボード挿入
方向Ａにソケット２の配列ピッチと同一のピッチで移動
することにより行あるいは列単位で複数のソケット５の
検査が行われる。すなわち、例えばボード１の行方向に
配列されたソケット２が例えば５個あった場合、この５
個のソケット５はずべて１回で検査が行われる。そして
次の検査では列方向にソケット５の配列ピッチだけテス
トヘッド２が移動してその行全部のソケットを検査する
。したがって列ごとに５つづつのソケットを一括して検
査することになる。測定時にはテストヘッド２０が下降
し、チェックピン２３がバーンインボード１上のソケッ
ト５の各端子に接触し、測定が終ると、テストヘッド２
０は上背して元の位置に戻る。次の測定のためにはテス
トへラドフィードテーブル１１は列方向に定ピツチ移動
する。

このような動作を繰り返して行い最後の列までいくとテ
ストヘッド２が上昇した状態で、原点に戻りバーンイン
ボード１のクランプは解除されて１べての測定が完了す
る。

なお、チェック回路によって測定中不良が発見された場
合にはテストヘッド２が上昇あるいは下降して再測定を
行い、それでも不良であった場合にはその不良個所と不
良ピンを表示装置（図示せず）に表示して次の測定に移
る。

以上の動作は重連したコントローラにより制御される。

このような検査装置を使用した場合、従来の手動ハンド
リングの場合と比べ約１７１０の測定時間で演むように
なり、検査の効率化が可能となる。

以上の実施例においては、チェックピンをＤ　Ｉ　Ｐパ
ッケージのピン数に合わけたものを横方向に複数個並べ
てテストヘッドを構成しているが、チェックピンの配置
はバーンインボード上のソケッＩ〜配置に合わせて適宜
選ＩＲすることができる。

また、テストヘッドの移動方向はバーンインボード上に
配置されたソケットの行方向、列方向のいずれでもよい
。

さらに、デス１〜ヘツドのテンプレートを交換すること
によりテシなる種類のソケッ］・にも容易に対応するこ
とがでさる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明による検査装置は自動ハ
ンドリングであるため、測定時間を大巾に短縮すること
ができる。このためバーンインボードのヂエツク回数を
増加することが可能となり、これに起因してバーンイン
ボードの信頼性を高めることができる。

また同一量のバーンインボードをチェックするためには
小人数で検査を行うことができるため、省力化にも貢献
する。さらに人手によらない測定であるため、バラツキ
が少なく検査精度が一定となるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明の一実施例の構造を示す
透視図、第３図および第４図はこの発明に用いられるテ
ストヘッドの詳ｌＩＩ構造を示す側面および正面から見
た断面図である。 １・・・バーンインボード、２・・・ソケット、１０・
・・バーンインボード検査装置、１１・・・テストヘッ
ドノイードテーブル、１４・・・摺動部材、１５・・・
駆動シリンダ、１６．１７・・・ボードクランパ、１９
・・・ボードクランプレバ−１２０・・・テストヘッド
、２２・・・ランプレート、２３・・・チェックピン、
３０・・・コネクタヘッド、４０・・・ステッピングモ
ータ、４１・・・ボールねじ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、バーンインを行う半導体装置が挿入される複数のソ
   ケットが行列配置され、これらのソケットの各ピンに電
   気信号を供給するための所定の配線を有するバーンイン
   ボードの検査装置であって、前記バーンインボードのセ
   ット時にこのバーンインボードの端部に設けられたコネ
   クタと結合して前記ソケットの各端子に試験用の電気信
   号を供給するコネクタヘッドと、同一行（または列）に
   ある前記ソケットの複数の端子に同時に接触する接触針
   を有する上下可動のテストヘッドと、このテストヘッド
   を列（または行）方向にソケットの配列ピッチだけステ
   ップ移動させるテストヘッド移送手段とを備えたバーン
   インボードの検査装置。 ２、接触針がスプリングコンタクトである特許請求の範
   囲第１項記載のバーンインボードの検査装置。 ３、ソケットがＤＩＰパッケージ用であり、接触針がこ
   のソケットを単位として配列された特許請求の範囲第１
   項記載のバーンインボードの検査装置。 ４、テストヘッドが接触針を配設した交換可能な支持板
   を備えている特許請求の範囲第１項記載のバンインボー
   ドの検査装置。