JP2000213909A - 投影測定装置 - Google Patents
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2433—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/08—Optical projection comparators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物の像と見本形状との対比観察を行う
場合にマイラスクリーンの交換作業を必要としない投影
測定装置を提供する。 【解決手段】 被測定物５５を載置するテーブル５６
と、スクリーン１およびこのスクリーン１上に被測定物
５５を投影する投影レンズ５３を有する観察光学系と、
テーブル５６と観察光学系とを相対移動させる相対移動
手段５７と、この相対移動手段５７による相対移動変位
量を検出する変位検出手段とを備え、このうち、スクリ
ーン１を液晶表示板にするとともに、この液晶表示板に
被測定物５５の形状を測定するための線画像を所定の倍
率で表示させる表示制御手段を備える。
場合にマイラスクリーンの交換作業を必要としない投影
測定装置を提供する。 【解決手段】 被測定物５５を載置するテーブル５６
と、スクリーン１およびこのスクリーン１上に被測定物
５５を投影する投影レンズ５３を有する観察光学系と、
テーブル５６と観察光学系とを相対移動させる相対移動
手段５７と、この相対移動手段５７による相対移動変位
量を検出する変位検出手段とを備え、このうち、スクリ
ーン１を液晶表示板にするとともに、この液晶表示板に
被測定物５５の形状を測定するための線画像を所定の倍
率で表示させる表示制御手段を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、投影測定装置に係
り、特に、微細な被測定物をスクリーンに拡大投影し、
見本形状との比較測定などを行う投影測定装置に関す
る。
り、特に、微細な被測定物をスクリーンに拡大投影し、
見本形状との比較測定などを行う投影測定装置に関す
る。
【０００２】
【背景技術】従来例を図４に示す。同図において、光源
５１の照射方向には、コンデンサレンズ５２、投影レン
ズ５３、スクリーン５４がそれぞれ所定間隔を隔てて、
この順に配設されている。これらは観察光学系を構成す
る。このうち、コンデンサレンズ５２と投影レンズ５３
との間には、被測定物５５を載置するテーブル５６と、
このテーブル５６を移動可能に支持する相対移動手段５
７とがそれぞれ設けられている。
５１の照射方向には、コンデンサレンズ５２、投影レン
ズ５３、スクリーン５４がそれぞれ所定間隔を隔てて、
この順に配設されている。これらは観察光学系を構成す
る。このうち、コンデンサレンズ５２と投影レンズ５３
との間には、被測定物５５を載置するテーブル５６と、
このテーブル５６を移動可能に支持する相対移動手段５
７とがそれぞれ設けられている。
【０００３】相対移動手段５７は、テーブル５６を光軸
方向（Ｚ方向）およびこれに直交する２方向（ＸＹ方
向）に移動可能に支持するとともに、Ｚ方向と平行な軸
を中心に旋回可能に支持している。ここで、その旋回角
度をθとする。光源５１から射出された光は、コンデン
サレンズ５２を介して被測定物５５を照らす。被測定物
５５の影は、投影レンズ５３によって拡大され、スクリ
ーン５４に被測定物の像５８が照らし出される。スクリ
ーン５４は、透明ガラスに、拡散処理されたマイラスク
リーンを着脱可能に取り付けたもので、マイラスクリー
ンの表面には被測定物５５の見本形状（レチクル）が記
されている。
方向（Ｚ方向）およびこれに直交する２方向（ＸＹ方
向）に移動可能に支持するとともに、Ｚ方向と平行な軸
を中心に旋回可能に支持している。ここで、その旋回角
度をθとする。光源５１から射出された光は、コンデン
サレンズ５２を介して被測定物５５を照らす。被測定物
５５の影は、投影レンズ５３によって拡大され、スクリ
ーン５４に被測定物の像５８が照らし出される。スクリ
ーン５４は、透明ガラスに、拡散処理されたマイラスク
リーンを着脱可能に取り付けたもので、マイラスクリー
ンの表面には被測定物５５の見本形状（レチクル）が記
されている。
【０００４】このため、スクリーン５４には、図５に示
すように、被測定物５５の像５８と、その被測定物５５
の見本形状５９とが一緒に表示される。観察者は、スク
リーン５４の表示を確認しながら、テーブル５６を移動
し、被測定物５５の像５８と見本形状５９とを重ねる等
して形状測定を行うことができる。
すように、被測定物５５の像５８と、その被測定物５５
の見本形状５９とが一緒に表示される。観察者は、スク
リーン５４の表示を確認しながら、テーブル５６を移動
し、被測定物５５の像５８と見本形状５９とを重ねる等
して形状測定を行うことができる。
【０００５】テーブル５６の変位量は、図６に示すよう
に、変位検出手段６１によって検出されたのち、外部表
示器６２に表示される。変位検出手段６１は、前記テー
ブル５６のＸＹＺ方向への変位量を検出する直線変位検
出器（例えば、光学式リニアエンコーダ）と、テーブル
５６の旋回角度θを検出する角度検出器（例えば、ロー
タリエンコーダ）とを備える。各エンコーダで検出され
た変位量、つまり、テーブル５６のＸＹＺ方向各々の変
位量はＸＹＺカウンタ６１ａで、テーブル５６の旋回角
度θはθカウンタ６１ｂでそれぞれ計数されたのち、外
部表示器６２に表示される。
に、変位検出手段６１によって検出されたのち、外部表
示器６２に表示される。変位検出手段６１は、前記テー
ブル５６のＸＹＺ方向への変位量を検出する直線変位検
出器（例えば、光学式リニアエンコーダ）と、テーブル
５６の旋回角度θを検出する角度検出器（例えば、ロー
タリエンコーダ）とを備える。各エンコーダで検出され
た変位量、つまり、テーブル５６のＸＹＺ方向各々の変
位量はＸＹＺカウンタ６１ａで、テーブル５６の旋回角
度θはθカウンタ６１ｂでそれぞれ計数されたのち、外
部表示器６２に表示される。
【０００６】このため、図７に示すように、マイラスク
リーンを十字線レチクル６３に取り替え、被測定物５５
の像５８に対し、その一方の端部から他方の端部まで十
字線を相対移動させるようにテーブル５６を動かしてや
ると、その際の変位量ＸＹＺθが外部表示器６２に表示
されるから、外部表示器６２に表示されたたＸＹＺθの
値から被測定物５５の寸法を計測することもできる。
リーンを十字線レチクル６３に取り替え、被測定物５５
の像５８に対し、その一方の端部から他方の端部まで十
字線を相対移動させるようにテーブル５６を動かしてや
ると、その際の変位量ＸＹＺθが外部表示器６２に表示
されるから、外部表示器６２に表示されたたＸＹＺθの
値から被測定物５５の寸法を計測することもできる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、被測定物５５の像５８と見本形状５９
との対比観察を行う場合には、被測定物５５の種類また
は投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交換す
る必要があるため、交換作業が煩わしかった。また、寸
法測定ではスクリーン５４を見ながらテーブル５６を最
適位置に操作する必要があるので、その間は外部表示器
５２に表示される測定値を確認しずらく、不便であっ
た。
来例にあっては、被測定物５５の像５８と見本形状５９
との対比観察を行う場合には、被測定物５５の種類また
は投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交換す
る必要があるため、交換作業が煩わしかった。また、寸
法測定ではスクリーン５４を見ながらテーブル５６を最
適位置に操作する必要があるので、その間は外部表示器
５２に表示される測定値を確認しずらく、不便であっ
た。
【０００８】本発明の目的は、かかる従来例の有する不
都合を改善し、特に、被測定物の像と見本形状との対比
観察を行う場合にマイラスクリーンの交換作業を必要と
しない投影測定装置を提供することにある。また、本発
明の他の目的は、被測定物の像とテーブルの変位量など
のパラメータとを同時に視認することができる投影測定
装置を提供することにある。
都合を改善し、特に、被測定物の像と見本形状との対比
観察を行う場合にマイラスクリーンの交換作業を必要と
しない投影測定装置を提供することにある。また、本発
明の他の目的は、被測定物の像とテーブルの変位量など
のパラメータとを同時に視認することができる投影測定
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の投影測定装置
は、上記目的を達成するため、次の構成を採用する。請
求項１に記載の発明は、被測定物を載置するテーブル
と、スクリーンおよびこのスクリーン上に前記被測定物
を投影する投影レンズを有する観察光学系と、前記テー
ブルと観察光学系とを相対移動させる相対移動手段と、
この相対移動手段による相対移動変位量を検出する変位
検出手段とを備えた投影測定装置において、前記スクリ
ーンを液晶表示板にするとともに、この液晶表示板に前
記被測定物の形状を測定するための線画像を所定の倍率
で表示させる表示制御手段を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、表示制御手段が、液晶表示板に表示
する線画像を選択することが可能になるので、従来のよ
うに被測定物の種類や投影レンズの倍率に応じてマイラ
スクリーンを交換するという不便を解消できる。
は、上記目的を達成するため、次の構成を採用する。請
求項１に記載の発明は、被測定物を載置するテーブル
と、スクリーンおよびこのスクリーン上に前記被測定物
を投影する投影レンズを有する観察光学系と、前記テー
ブルと観察光学系とを相対移動させる相対移動手段と、
この相対移動手段による相対移動変位量を検出する変位
検出手段とを備えた投影測定装置において、前記スクリ
ーンを液晶表示板にするとともに、この液晶表示板に前
記被測定物の形状を測定するための線画像を所定の倍率
で表示させる表示制御手段を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、表示制御手段が、液晶表示板に表示
する線画像を選択することが可能になるので、従来のよ
うに被測定物の種類や投影レンズの倍率に応じてマイラ
スクリーンを交換するという不便を解消できる。
【００１０】請求項２に記載の発明は、被測定物を載置
するテーブルと、スクリーンおよびこのスクリーン上に
前記被測定物を投影する投影レンズを有する観察光学系
と、前記テーブルと観察光学系とを相対移動させる相対
移動手段と、この相対移動手段による相対移動量を検出
する変位検出手段とを備えた投影測定装置において、前
記観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板と、前記
液晶表示板に被測定物の形状を測定するための線画像を
所定の倍率で表示させる表示制御手段とを備えたことを
特徴とする。この発明によれば、液晶表示板に表示され
た線画像が被測定物の像とともにスクリーンに投影され
る。このため、表示制御手段が、液晶表示板に表示する
線画像を選択することにより、従来のように被測定物の
種類や投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交
換するという不便を解消できる。
するテーブルと、スクリーンおよびこのスクリーン上に
前記被測定物を投影する投影レンズを有する観察光学系
と、前記テーブルと観察光学系とを相対移動させる相対
移動手段と、この相対移動手段による相対移動量を検出
する変位検出手段とを備えた投影測定装置において、前
記観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板と、前記
液晶表示板に被測定物の形状を測定するための線画像を
所定の倍率で表示させる表示制御手段とを備えたことを
特徴とする。この発明によれば、液晶表示板に表示され
た線画像が被測定物の像とともにスクリーンに投影され
る。このため、表示制御手段が、液晶表示板に表示する
線画像を選択することにより、従来のように被測定物の
種類や投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交
換するという不便を解消できる。
【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の投影測定装置において、前記表示制御
手段は、前記変位検出手段によって検出された相対移動
変位量を前記液晶表示板に表示させることを特徴とす
る。この発明によれば、スクリーンには、被測定物の像
とともにテーブルの変位量が表示される。このため、ス
クリーンで被測定物の位置を確認しながらテーブルを操
作している最中でも、テーブルの変位量を同時に確認す
ることができる。
請求項２に記載の投影測定装置において、前記表示制御
手段は、前記変位検出手段によって検出された相対移動
変位量を前記液晶表示板に表示させることを特徴とす
る。この発明によれば、スクリーンには、被測定物の像
とともにテーブルの変位量が表示される。このため、ス
クリーンで被測定物の位置を確認しながらテーブルを操
作している最中でも、テーブルの変位量を同時に確認す
ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
および図２に基づいて説明する。なお、これらの説明に
あたって、従来例と同一の構成部分については、同一符
号を付して重複説明を省略する。本実施形態に係る投影
測定装置では、図１に示すように、従来のスクリーン５
４に代えて、液晶表示板のスクリーン１が用いられてい
る。この液晶表示板のスクリーン１は、液晶表示板の表
面に無地の拡散スクリーンを施したものである。液晶表
示板を成す各部は、非表示状態において透明であり、表
示状態になると不透明になる特性を有している。
および図２に基づいて説明する。なお、これらの説明に
あたって、従来例と同一の構成部分については、同一符
号を付して重複説明を省略する。本実施形態に係る投影
測定装置では、図１に示すように、従来のスクリーン５
４に代えて、液晶表示板のスクリーン１が用いられてい
る。この液晶表示板のスクリーン１は、液晶表示板の表
面に無地の拡散スクリーンを施したものである。液晶表
示板を成す各部は、非表示状態において透明であり、表
示状態になると不透明になる特性を有している。
【００１３】この液晶表示板は、ＬＣＤパネル等であっ
て、図２に示すように、表示制御手段２に接続されてい
る。表示制御手段２には、従来と同一の変位検出手段６
１と、レチクルのＣＡＤデータを記憶した記憶手段３と
が接続されている。ＣＡＤデータには、レチクル十字線
のデータと、被測定物５５の見本となる形状データが含
まれている。
て、図２に示すように、表示制御手段２に接続されてい
る。表示制御手段２には、従来と同一の変位検出手段６
１と、レチクルのＣＡＤデータを記憶した記憶手段３と
が接続されている。ＣＡＤデータには、レチクル十字線
のデータと、被測定物５５の見本となる形状データが含
まれている。
【００１４】ここで、表示制御手段２は、データ表示プ
ログラム（データ表示機能）を実行するコンピュータを
含んでいる。データ表示プログラムは、変位検出手段６
１からＸＹＺカウンタ６１ａおよびθカウンタ６１ｂの
出力値を読み込み、液晶表示板（スクリーン）１内のパ
ラメータ表示領域４に表示する。また、データ表示プロ
グラムは、外部の選択入力（図示略）に応じて記憶手段
３から所定のＣＡＤデータを選択し、液晶表示板（スク
リーン）１にレチクル十字線５と、所定倍率に編集した
被測定物の見本形状６，７とを表示する。
ログラム（データ表示機能）を実行するコンピュータを
含んでいる。データ表示プログラムは、変位検出手段６
１からＸＹＺカウンタ６１ａおよびθカウンタ６１ｂの
出力値を読み込み、液晶表示板（スクリーン）１内のパ
ラメータ表示領域４に表示する。また、データ表示プロ
グラムは、外部の選択入力（図示略）に応じて記憶手段
３から所定のＣＡＤデータを選択し、液晶表示板（スク
リーン）１にレチクル十字線５と、所定倍率に編集した
被測定物の見本形状６，７とを表示する。
【００１５】このため、観察者の目には、被測定物の像
５８と一緒にテーブル５６の変位量のパラメータＸＹＺ
θも映り、スクリーン１を覗きながらテーブル５６を操
作していても、スクリーン１から一々目を離さずに同時
にテーブル５６の変位量も確認することができる。ま
た、液晶表示板（スクリーン）１への表示データを変化
させることにより、従来のようなマイラスクリーンの交
換作業を伴わずに、被測定物の最適な見本形状を表示す
ることができる。
５８と一緒にテーブル５６の変位量のパラメータＸＹＺ
θも映り、スクリーン１を覗きながらテーブル５６を操
作していても、スクリーン１から一々目を離さずに同時
にテーブル５６の変位量も確認することができる。ま
た、液晶表示板（スクリーン）１への表示データを変化
させることにより、従来のようなマイラスクリーンの交
換作業を伴わずに、被測定物の最適な見本形状を表示す
ることができる。
【００１６】このように、本実施形態では、被測定物５
５を載置するテーブル５６と、スクリーン１およびこの
スクリーン１上に被測定物５５を投影する投影レンズ５
３を有する観察光学系と、テーブル５６と観察光学系と
を相対移動させる相対移動手段５７と、この相対移動手
段５７による相対移動変位量を検出する変位検出手段６
１とを備え、このうち、スクリーン１を液晶表示板にす
るとともに、この液晶表示板に被測定物５５の形状を測
定するための線画像５，６，７を所定の倍率で表示させ
る表示制御手段２を備えたので、表示制御手段２が、液
晶表示板に表示する線画像を選択することが可能とな
り、従来のように被測定物５５の種類や投影レンズ５３
の倍率に応じてマイラスクリーンを交換するという作業
上の不便を解消できる。
５を載置するテーブル５６と、スクリーン１およびこの
スクリーン１上に被測定物５５を投影する投影レンズ５
３を有する観察光学系と、テーブル５６と観察光学系と
を相対移動させる相対移動手段５７と、この相対移動手
段５７による相対移動変位量を検出する変位検出手段６
１とを備え、このうち、スクリーン１を液晶表示板にす
るとともに、この液晶表示板に被測定物５５の形状を測
定するための線画像５，６，７を所定の倍率で表示させ
る表示制御手段２を備えたので、表示制御手段２が、液
晶表示板に表示する線画像を選択することが可能とな
り、従来のように被測定物５５の種類や投影レンズ５３
の倍率に応じてマイラスクリーンを交換するという作業
上の不便を解消できる。
【００１７】次に、本発明の他の実施形態を図３に基づ
いて説明する。同図の説明にあたって、従来例および先
の実施形態と同一の構成部分については、同一符号を付
して重複説明を省略する。図３に示す投影測定装置で
は、先の実施形態の構成に加え、コンデンサレンズ５２
と投影レンズ５３との間に一対のリレーレンズ１１が挿
入され、更に、このリレーレンズ１１と投影レンズ５３
との間に液晶表示板１２が挿入されている。光路上にリ
レーレンズ１１を挿入することにより、テーブル５６の
載置面からレンズまでの作動距離Ｌを比較的長く確保す
ることができ、テーブル５６のＺ方向への可動範囲を広
く確保することができる。
いて説明する。同図の説明にあたって、従来例および先
の実施形態と同一の構成部分については、同一符号を付
して重複説明を省略する。図３に示す投影測定装置で
は、先の実施形態の構成に加え、コンデンサレンズ５２
と投影レンズ５３との間に一対のリレーレンズ１１が挿
入され、更に、このリレーレンズ１１と投影レンズ５３
との間に液晶表示板１２が挿入されている。光路上にリ
レーレンズ１１を挿入することにより、テーブル５６の
載置面からレンズまでの作動距離Ｌを比較的長く確保す
ることができ、テーブル５６のＺ方向への可動範囲を広
く確保することができる。
【００１８】本実施形態において、リレーレンズ１１は
像を１：１にリレーするものである。また、液晶表示板
１２を成す各部は、非表示状態において透明であり、表
示状態になると不透明になる特性を有している。この液
晶表示板は、ＬＣＤパネル等であって、図２に示すよう
に、表示制御手段２に接続されている点は、先の実施形
態と同一である。一方、スクリーン５４は、先の実施形
態と異なりスリガラスまたは透明ガラスに無地の拡散ス
クリーンを施したものである。
像を１：１にリレーするものである。また、液晶表示板
１２を成す各部は、非表示状態において透明であり、表
示状態になると不透明になる特性を有している。この液
晶表示板は、ＬＣＤパネル等であって、図２に示すよう
に、表示制御手段２に接続されている点は、先の実施形
態と同一である。一方、スクリーン５４は、先の実施形
態と異なりスリガラスまたは透明ガラスに無地の拡散ス
クリーンを施したものである。
【００１９】光源５１から光が射出すると、被測定物５
５の像がリレーレンズ１１を透過し液晶表示板１２に至
る。液晶表示板１２には、表示制御手段２により、レチ
クル十字線、被測定物の見本形状レチクル、テーブル５
６の変位量ＸＹＺθが所定の外部入力に応じて選択的に
表示される。そして、この液晶表示板１２の表示内容と
被測定物５５の像とが一緒に投影レンズ５３に入射し、
スクリーン５４上に拡大投影される。
５の像がリレーレンズ１１を透過し液晶表示板１２に至
る。液晶表示板１２には、表示制御手段２により、レチ
クル十字線、被測定物の見本形状レチクル、テーブル５
６の変位量ＸＹＺθが所定の外部入力に応じて選択的に
表示される。そして、この液晶表示板１２の表示内容と
被測定物５５の像とが一緒に投影レンズ５３に入射し、
スクリーン５４上に拡大投影される。
【００２０】表示制御手段２が、液晶表示板１２に表示
する見本形状レチクルを選択することにより、スクリー
ン５４に表示される見本形状レチクルが変化するので、
従来例のようにマイラスクリーンを交換する手間が省け
る。また、表示制御手段２が、液晶表示板１２にレチク
ル十字線とテーブル５６の変位量ＸＹＺθを表示するこ
とにより、それらと被測定物５５の像５８とがスクリー
ン５４に一緒に表示されるので、観察者は、スクリーン
５４を見てテーブル５６を動かしながら、同じスクリー
ン上でテーブル５６の変位量ＸＹＺθを確認することが
できる。このため、操作性を向上することができる。ま
た、角度θを求めるために、テーブル５６ではなく、ス
クリーン５４をデジタル回転スクリーン（スクリーン５
４の回転角度がデジタル表示されるスクリーン）に置き
換えて測定することもできる。
する見本形状レチクルを選択することにより、スクリー
ン５４に表示される見本形状レチクルが変化するので、
従来例のようにマイラスクリーンを交換する手間が省け
る。また、表示制御手段２が、液晶表示板１２にレチク
ル十字線とテーブル５６の変位量ＸＹＺθを表示するこ
とにより、それらと被測定物５５の像５８とがスクリー
ン５４に一緒に表示されるので、観察者は、スクリーン
５４を見てテーブル５６を動かしながら、同じスクリー
ン上でテーブル５６の変位量ＸＹＺθを確認することが
できる。このため、操作性を向上することができる。ま
た、角度θを求めるために、テーブル５６ではなく、ス
クリーン５４をデジタル回転スクリーン（スクリーン５
４の回転角度がデジタル表示されるスクリーン）に置き
換えて測定することもできる。
【００２１】このように、本実施形態によれば、被測定
物５５を載置するテーブル５６と、スクリーン５４およ
びこのスクリーン５４上に被測定物５５を投影する投影
レンズ５３を有する観察光学系と、テーブル５６と観察
光学系とを相対移動させる相対移動手段５７と、この相
対移動手段５７による相対移動量を検出する変位検出手
段６１とを備え、更に、観察光学系の光路中に挿入され
た液晶表示板１２と、この液晶表示板１２に被測定物５
５の形状を測定するための線画像５，６，７を所定の倍
率で表示させる表示制御手段２とを備えたので、液晶表
示板１２に表示された線画像が被測定物５５の像ととも
にスクリーン５４に投影されることとなり、よって、表
示制御手段２が、液晶表示板１２に表示する線画像を選
択することにより、従来のように被測定物５５の種類や
投影レンズ５３の倍率に応じてマイラスクリーンを交換
するという作業上の不都合を解消できる。
物５５を載置するテーブル５６と、スクリーン５４およ
びこのスクリーン５４上に被測定物５５を投影する投影
レンズ５３を有する観察光学系と、テーブル５６と観察
光学系とを相対移動させる相対移動手段５７と、この相
対移動手段５７による相対移動量を検出する変位検出手
段６１とを備え、更に、観察光学系の光路中に挿入され
た液晶表示板１２と、この液晶表示板１２に被測定物５
５の形状を測定するための線画像５，６，７を所定の倍
率で表示させる表示制御手段２とを備えたので、液晶表
示板１２に表示された線画像が被測定物５５の像ととも
にスクリーン５４に投影されることとなり、よって、表
示制御手段２が、液晶表示板１２に表示する線画像を選
択することにより、従来のように被測定物５５の種類や
投影レンズ５３の倍率に応じてマイラスクリーンを交換
するという作業上の不都合を解消できる。
【００２２】また、上記各実施形態において、表示制御
手段２は、変位検出手段６１によって検出された相対移
動変位量ＸＹＺθを液晶表示板１，１２に表示させるの
で、スクリーン１，５４には、被測定物５５の像ととも
にテーブル５６の変位量ＸＹＺθを表示することがで
き、このため、スクリーン１，５４で被測定物５５の位
置を確認しながらテーブル５６を操作している最中で
も、テーブル５６の変位量ＸＹＺθを同時に確認するこ
とができる。
手段２は、変位検出手段６１によって検出された相対移
動変位量ＸＹＺθを液晶表示板１，１２に表示させるの
で、スクリーン１，５４には、被測定物５５の像ととも
にテーブル５６の変位量ＸＹＺθを表示することがで
き、このため、スクリーン１，５４で被測定物５５の位
置を確認しながらテーブル５６を操作している最中で
も、テーブル５６の変位量ＸＹＺθを同時に確認するこ
とができる。
【００２３】
【発明の効果】以上の通り、本発明の投影測定装置によ
れば、表示制御手段が、液晶表示板に表示する線画像を
選択することが可能となり、従来のように被測定物の種
類や投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交換
するという作業上の不便を解消できる。
れば、表示制御手段が、液晶表示板に表示する線画像を
選択することが可能となり、従来のように被測定物の種
類や投影レンズの倍率に応じてマイラスクリーンを交換
するという作業上の不便を解消できる。
【図１】本発明の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１における液晶表示板（スクリーン）の制御
系の構成を示すブロック図である。
系の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の他の実施形態を示す構成図である。
【図４】従来例の構成図である。
【図５】図４におけるスクリーンの表示状態を示す図で
ある。
ある。
【図６】図４のテーブルの変位量を表示する表示系のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図７】投影測定装置による一測定方法の説明図であ
る。
る。
１ 液晶表示板のスクリーン ２ 表示制御手段 ３ 記憶手段 １２ 液晶表示板 ５３ 投影レンズ ５４ スクリーン ５５ 被測定物 ５６ テーブル ５７ 相対移動手段 ６１ 変位検出手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 泰三 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F064 MM02 MM09 MM14 MM19 MM24 MM25 MM28 MM29 MM32 MM48 MM50
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定物を載置するテーブルと、スクリ
ーンおよびこのスクリーン上に前記被測定物を投影する
投影レンズを有する観察光学系と、前記テーブルと観察
光学系とを相対移動させる相対移動手段と、この相対移
動手段による相対移動変位量を検出する変位検出手段と
を備えた投影測定装置において、 前記スクリーンを液晶表示板にするとともに、この液晶
表示板に前記被測定物の形状を測定するための線画像を
所定の倍率で表示させる表示制御手段を備えたことを特
徴とする投影測定装置。 - 【請求項２】 被測定物を載置するテーブルと、スクリ
ーンおよびこのスクリーン上に前記被測定物を投影する
投影レンズを有する観察光学系と、前記テーブルと観察
光学系とを相対移動させる相対移動手段と、この相対移
動手段による相対移動量を検出する変位検出手段とを備
えた投影測定装置において、 前記観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板と、前
記液晶表示板に被測定物の形状を測定するための線画像
を所定の倍率で表示させる表示制御手段とを備えたこと
を特徴とする投影測定装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の投影測
定装置において、 前記表示制御手段は、前記変位検出手段によって検出さ
れた相対移動変位量を前記液晶表示板に表示させること
を特徴とする投影測定装置。
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|---|---|---|---|
| JP01833099A JP3675657B2 (ja) | 1999-01-27 | 1999-01-27 | 投影測定装置 |
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| DE10003088A DE10003088A1 (de) | 1999-01-27 | 2000-01-25 | Projektionsmessinstrument |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01833099A JP3675657B2 (ja) | 1999-01-27 | 1999-01-27 | 投影測定装置 |
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|---|---|
| JP2000213909A true JP2000213909A (ja) | 2000-08-04 |
| JP3675657B2 JP3675657B2 (ja) | 2005-07-27 |
Family
ID=11968632
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP01833099A Expired - Fee Related JP3675657B2 (ja) | 1999-01-27 | 1999-01-27 | 投影測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3675657B2 (ja) |
| DE (1) | DE10003088A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002268145A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Nikon Corp | チャート投影機能を持つ投影機 |
| JP2012179688A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Kawakami Sangyo Co Ltd | 指標表示装置、裁断処理システム及び指標表示プログラム |
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-
1999
- 1999-01-27 JP JP01833099A patent/JP3675657B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-01-24 US US09/490,780 patent/US6147758A/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-01-25 DE DE10003088A patent/DE10003088A1/de not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3675657B2 (ja) | 2005-07-27 |
| DE10003088A1 (de) | 2000-08-03 |
| US6147758A (en) | 2000-11-14 |
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