DE10003088A1 - Projektionsmessinstrument - Google Patents

Abstract

Es wird ein Projektionsmeßinstrument zur Verfügung gestellt, welches keine Austauscharbeit für ein Überlagerungsdiagramm für die Vergleichsbeobachtung eines Werkstückbildes und einer Schablone erfordert. Zu diesem Zweck sind ein Tisch zum Auflegen eines Werkstücks, ein optisches Beobachtungssystem mit einem Bildschirm und einer Projektionslinse zum Projizieren eines Bildes des Werkstücks auf den Bildschirm vorgesehen, eine Relativbewegungseinheit zur Relativbewegung des Tisches und des optischen Beobachtungssystems sowie ein Verschiebungssensor zum Detektieren der Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit, wobei der Bildschirm eine Flüssigkristallanzeige ist, und die Flüssigkristallanzeige eine Anzeigesteuerung aufweist, um eine Linienzeichnung zur Messung eines Profils des Werkstücks auf der Flüssigkristallanzeige mit vorbestimmter Vergrößerung anzuzeigen.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Projektionsmeßinstrument. Insbesondere betrifft sie ein Projektionsmeßinstrument zum Vergrößern und Projizieren eines Bildes eines kleinen Werkstücks für Vergleichsmessungen mit einer Schablone.

2. BESCHREIBUNG DES STANDS DER TECHNIK

Ein herkömmliches Beispiel ist in Fig. 4 gezeigt. In dieser Figur sind eine Kondensorlinse 52, eine Projektionslinse 53 und eine Projektionsleinwand 54 in dieser Reihenfolge in einer Ausstrahlungsrichtung einer Lichtquelle 51 jeweils in vorbestimmten Abständen angeordnet, wodurch ein optisches Betrachtungssystem ausgebildet wird.

Ein Tisch 56 zum Aufsetzen eines Werkstücks 55 auf diesen sowie eine Relativbewegungseinheit 57 zur beweglichen Halterung des Tisches 56 sind zwischen der Kondensorlinse 52 und der Projektionslinse 53 vorgesehen.

Die Relativbewegungseinheit 57 haltert beweglich den Tisch 56 in einer Lichtachsenrichtung (Z-Richtung) und in zwei hierzu orthogonalen Richtungen (X-, Y-Richtung), und haltert den Tisch 56 drehbar um eine Achse parallel zur Z-Richtung. Der Drehwinkel ist mit θ bezeichnet.

Das von der Lichtquelle 51 ausgestrahlte beleuchtet das Werkstück 55 durch die Kondensorlinse 52. Der Schatten des Werkstücks 55 wird durch die Projektionslinse 53 verstärkt, und das Werkstückbild 58 wird auf die Projektionsleinwand 57 aufgestrahlt. Die Projektionsleinwand 54 ist aus transparentem Glas, welches ein abnehmbares, diffus behandeltes Überlagerungsdiagramm aufweist, wobei das Überlagerungsdiagramm eine Schablone des Werkstücks auf seiner Oberfläche aufweist.

Daher werden, wie in Fig. 5 gezeigt ist, das Werkstückbild 58 und die Schablone 59 des Werkstücks 55 gleichzeitig auf der Projektionsleinwand 54 dargestellt. Der Beobachter bewegt den Tisch 56, während er die Anzeige auf dem Bildschirm 54 überprüft, um eine Profilmessung durchzuführen, beispielsweise durch Überlagerung des Werkstückbildes 58 des Werkstücks 55 mit der Schablone 59.

Wie in Fig. 6 gezeigt ist, wird die Verschiebung des Tisches 56 durch eine Verschiebungssensor 61 detektiert, und dann auf einer externen Anzeige 62 angezeigt.

Der Verschiebungssensor 61 weist einen Linearverschiebungssensor (beispielsweise einen optischen Linearkodierer) zum Detektieren der Verschiebung des Tisches 56 in den Richtungen X, Y und Z auf, sowie einen Winkelsensor zum Detektieren des Drehwinkels θ des Tisches 56 (beispielsweise einen Drehkodierer). Die Verschiebung, die von den betreffenden~Kodierern detektiert wird, also die jeweilige Verschiebung des Tisches 56 in den Richtungen X, Y, Z, wird von einem XYZ-Zähler 61a gezählt, und der Drehwinkel θ des Tisches 56 wird von einem θ-Zähler 61b gezählt, um dann jeweils auf der externen Anzeige 62 angezeigt zu werden.

Wenn daher, wie in Fig. 7 gezeigt, das überlagerungsdiagramm durch eine Fadenkreuz-Zielmarke 63 ausgetauscht wird, und der Tisch 56 für eine Relativbewegung der Linie von einem Ende zum anderen Ende des Werkstückbildes 58 bewegt wird, werden die Verschiebungen X, Y, Z und θ zu diesem Zeitpunkt auf der externen Anzeige 62 dargestellt, wodurch eine Abmessung des Werkstücks 55 durch den Wert für X, Y, Z und θ gemessen wird, der auf der externen Anzeige 62 angezeigt wird.

Bei dem voranstehend geschilderten, herkömmlichen Beispiel ist jedoch der Austauschvorgang mühsam, da das Überlagerungsdiagramm entsprechend dem Typ des Werkstücks 55 und der Vergrößerung der Projektionslinse für die Vergleichsbetrachtung des Werkstückbildes 58 und der Schablone 59 ausgetauscht werden muß.

Da der Tisch 56 auf die geeignetste Position eingestellt werden muß, während man auf die Projektionsleinwand 54 blickt, ließ sich darüber hinaus der Meßwert, der auf der externen Anzeige 52 angezeigt wird, nur schwer überprüfen.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in der Überwindung der Nachteile des voranstehend geschilderten, herkömmlichen Beispiels und in der Bereitstellung eines Projektionsmeßinstruments, welches keine Arbeit für den Austausch des Überlagerungsdiagramms während der Vergleichsbeobachtung des Werkstückbildes und der Schablone erfordert.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Projektionsmeßinstruments, welches gleichzeitig das Werkstückbild und Parameter wie beispielsweise die Verschiebung des Tisches usw. überprüfen kann.

Um die voranstehenden Vorteile zu erzielen ist das Projektionsmeßinstrument gemäß der vorliegenden Erfindung folgendermaßen ausgebildet.

Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Projektionsmeßinstrument, welches aufweist: einen Tisch zum Aufsetzen eines Werkstücks; ein optisches Beobachtungssystem, welches einen Projektionsbildschirm und eine Projektionslinse zum Projizieren eines Bildes des Werkstücks auf dem Projektionsbildschirm aufweist; eine Relativbewegungseinheit zur Relativbewegung des Tisches und des optischen Beobachtungssystems und einen Verschiebungssensor zum Detektieren der Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit. Das Projektionsmeßinstrument zeichnet sich dadurch aus, daß der Projektionsbildschirm eine Flüssigkristallanzeige ist, wobei die Flüssigkristallanzeige eine Anzeigesteuerung aufweist, um eine Linienzeichnung zur Messung eines Profils des Werkstücks mit einer vorbestimmten Verzögerung anzuzeigen.

Mit der voranstehend geschilderten Ausbildung kann, da die Anzeigesteuerung die Linienzeichnung auswählen kann, die auf der Flüssigkristallanzeige angezeigt wird, die herkömmliche Unbequemlichkeit des Austausches des Überlagerungsdiagramms entsprechend der Art des Werkstücks und der Vergrößerung der Projektionslinse ausgeschaltet werden.

Ein anderer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Projektionsmeßinstrument, welches aufweist: einen Tisch zum Aufsetzen eines Werkstücks; ein optisches Beobachtungssystem, welches einen Projektionsbildschirm und eine Projektionslinse zum Projizieren eines Bildes des Werkstücks auf den Projektionsbildschirm aufweist; eine Relativbewegungseinheit zur Relativbewegung des Tisches und des optischen Beobachtungssystems; und einen Verschiebungssensor zum Detektieren einer Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit. Das Projektionsmeßinstrument zeichnet sich dadurch aus, daß weiterhin eine Flüssigkristallanzeige in einen optischen Pfad des optischen Beobachtungssystems eingefügt ist, und eine Anzeigesteuerung vorgesehen ist, um eine Linienzeichnung zur Messung eines Profils des Werkstücks auf der Flüssigkristallanzeige mit einer vorbestimmten Vergrößerung anzuzeigen.

Gemäß der voranstehenden Ausbildung wird die Linienzeichnung, die auf der Flüssigkristallanzeige angezeigt wird, zusammen mit dem Werkstückbild auf den Projektionsbildschirm projiziert. Da die Anzeigesteuerung das Linienzeichnungsbild auswählen kann, welches auf der Flüssigkristallanzeige angezeigt wird, kann daher die herkömmliche Unbequemlichkeit des Austauschens des Überlagerungsdiagramms entsprechend der Art des Werkstücks und der Vergrößerung der Projektionslinse ausgeschaltet werden.

Bei der vorliegenden Erfindung kann die Anzeigesteuerung vorzugsweise eine Relativbewegungsverschiebung anzeigen, die von dem Verschiebungssensor detektiert wird, und zwar auf der Flüssigkristallanzeige.

Bei der voranstehenden Ausbildung wird die Linienzeichnung für die Profilmessung ebenso wie die Verschiebung des Tisches auf dem Bildschirm dargestellt, und ebenso das Werkstückbild. Daher kann die Verschiebung des Tisches gleichzeitig während der Betätigung des Tisches überprüft werden, während die Position des Werkstücks auf dem Projektionsbildschirm bestätigt wird.

Hierbei können die Relativbewegungsverschiebung und das Linienzeichenbild auf der Flüssigkristallanzeige gleichzeitig angezeigt werden, oder alternativ hierzu abwechselnd angezeigt werden.

Für die Betriebsart mit gleichzeitiger Anzeige kann das Linienzeichnungsbild zum Beispiel in einem zentralen Abschnitt der Flüssigkristallanzeige angezeigt werden, und können die Werte auf einem Umfangsabschnitt angezeigt werden. Bei der Betriebsart mit abwechselnder Anzeige kann das Linienzeichnungsbild üblicherweise angezeigt werden, und können die Werte umschaltbar durch eine externe Operation, beispielsweise das Drücken eines Knopfes, angezeigt werden. Alternativ kann die Betriebsart mit abwechselnder Anzeige auf die Betriebsart mit gleichzeitiger Anzeige durch die externe Operation umgeschaltet werden (zum Beispiel wird der Wert an einer vorbestimmten Umfangsposition der Linienzeichnung dargestellt). Statt einer externen Operation kann ein Zeitgeber zur Umschaltung der Anzeigebetriebsarten eingesetzt werden.

Die Betriebsart mit gleichzeitiger Anzeige ist geeignet, wenn die Werteanzeige der Relativbewegungsverschiebung in Bezug auf den Projektionsbildschirm ausreichend klein ist. Wenn andererseits eine große Anzeige des Wertes erforderlich ist, wird besser die Betriebsart mit abwechselnder Anzeige eingesetzt. Der Wert kann in einem hervorgehobenen Ort, beispielsweise dem Zentrum des Projektionsbildschirms, bei der Betriebsart mit abwechselnder Anzeige angezeigt werden.

Darüber hinaus können die Linienzeichnung und die Verschiebung in Farbe angezeigt werden. Insbesondere die Linienzeichnung kann zum Teil oder insgesamt abgestuft oder in Farbe dargestellt werden. Die Linienzeichnung kann Projektorinformation, beispielsweise die Vergrößerung, und Werkstückinformation enthalten, beispielsweise die Bezeichnung und die Abmessungen des Werkstücks.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist ein Blockschaltbild mit einer Darstellung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist ein Blockschaltbild, welches eine Anordnung eines Steuersystems einer Flüssigkristallanzeige (Projektionsbildschirm) von Fig. 1 zeigt;

Fig. 3 ist ein Blockschaltbild, welches eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 4 ist ein Blockschaltbild eines herkömmlichen Beispiels;

Fig. 5 ist eine Erläuterung, welche den Anzeigezustand des Projektionsbildschirms in Fig. 4 zeigt;

Fig. 6 ist ein Blockschaltbild eines Anzeigesystems zum Anzeigen der Verschiebung des Tisches von Fig. 4;

und

Fig. 7 ist eine Erläuterung mit der Darstellung eines Meßverfahrens unter Verwendung eines Projektionsmeßinstruments.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 1 und Fig. 2 beschrieben. Hierbei werden die gleichen Bezugszeichen für gleiche Bauteile wie bei dem herkömmlichen Beispiel verwendet, um eine redundante Erläuterung zu vermeiden.

Wie aus Fig. 1 hervorgeht, weist das Projektionsmeßinstrument gemäß der vorliegenden Ausführungsform einen Flüssigkristallanzeigebildschirm 1 statt des herkömmlichen Projektionsbildschirms 54 auf. Der Flüssigkristallanzeigebildschirm 1 weist einen üblichen Diffusbildschirm auf einer Oberfläche der Flüssigkristallanzeige auf. Die jeweiligen Bauteile der Flüssigkristallanzeige sind transparent in jenem Zustand, in welchem keine Anzeige erfolgt, und werden lichtundurchlässig während des Zustands mit einer Anzeige.

Die Flüssigkristallanzeige ist ein LCD-Feld oder dergleichen, welches wie in Fig. 2 gezeigt mit einer Anzeigesteuerung 2 verbunden ist. Ein Anzeigesensor 61, der ebenso wie beim herkömmlichen Beispiel ausgebildet ist, und ein Speicher 3, der CAD-Daten der Zielmarkenschablone speichert, sind an die Anzeigesteuerung 2 angeschlossen. Die CAD-Daten umfassen Daten in Bezug auf die Zielmarke sowie Profildaten, beispielsweise einer Schablone des Werkstücks.

Die Anzeigesteuerung 2 weist einen Computer zur Ausführung eines Datenanzeigeprogramms (Datenanzeigefunktion) auf. Das Datenanzeigeprogramm liest einen Ausgangswert des XYZ-Zählers 61a und des θ-Zählers 61b von dem Verschiebungssensor 61 aus, um einen Parameteranzeigebereich 4 in der Flüssigkristallanzeige (Bildschirm) 1 anzuzeigen. Weiterhin wählt das Datenanzeigeprogramm vorbestimmte CAD-Daten aus dem Speicher 3 entsprechend einer selektiven Eingabe von außen (nicht gezeigt) aus, um eine Fadenkreuzlinie 5 und Schablone 6 und 7 des Werkstücks, die mit vorbestimmter Vergrößerung editiert wurden, auf der Flüssigkristallanzeige (Bildschirm) 1 anzuzeigen.

Da die Parameter X, Y, Z und θ der Verschiebung des Tisches 56 ebenso wie das Werkstückbild 58 zum Auge des Betrachters reflektiert werden, kann daher die Verschiebung des Tisches 56 gleichzeitig überprüft werden, ohne das Auge von dem Bildschirm 1 zu lösen, selbst wenn der Tisch 56 betätigt wird, während in den Bildschirm 1 geblickt wird.

Darüber hinaus kann die geeignetste Schablone angezeigt werden, ohne daß die herkömmliche Austauscharbeit des Überlagerungsdiagramms erforderlich ist, da die Anzeigedaten auf der Flüssigkristallanzeige (Bildschirm) 1 geändert werden.

Da gemäß der vorliegenden Erfindung der Tisch 56 zum Auflegen des Werkstücks 55 vorgesehen ist, das optische Beobachtungssystem, welches den Bildschirm 1 und die Projektionslinse 53 zum Projizieren des Werkstücks 55 auf den Bildschirm 1 aufweist, die Relativbewegungseinheit 57 zur Relativbewegung des Tisches 56 und des optischen Beobachtungssystems, der Verschiebungssensor 61 zum Detektieren der Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit 57, wobei der Bildschirm 1 eine Flüssigkristallanzeige ist, und die Anzeigesteuerung 2 zum Anzeigen der Linienzeichnungen 5, 6 und 7 zur Messung des Profils des Werkstücks 55 mit vorbestimmter Vergrößerung, können die Linienzeichnungen, die auf der Flüssigkristallanzeige angezeigt werden, durch die Anzeigesteuerung 2 ausgewählt werden, wodurch die herkömmliche Unbequemlichkeit beim Austauschen des Überlagerungsdiagramms entsprechend dem Typ des Werkstücks 55 und der Vergrößerung der Projektionslinse 53 ausgeschaltet wird.

Nachstehend wird eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben.

Bei der Beschreibung dieser Figur werden dieselben Bezugszeichen bei gleichen Bauteilen wie bei dem herkömmlichen Beispiel und den voranstehend geschilderten Ausführungsformen verwendet, um eine redundante Beschreibung zu vermeiden.

Das in Fig. 3 gezeigte Projektionsmeßinstrument weist ein Paar von Übertragungslinsen 11 zwischen der Kondensorlinse 52 und der Projektionslinse 53 auf, zusätzlich zu der Ausbildung der voranstehend beschriebenen Ausführungsform. Weiterhin ist eine Flüssigkristallanzeige 12 zwischen die Übertragungslinse 11 und die Projektionslinse 53 eingefügt.

Da die Übertragungslinse 11 auf dem optischen Pfad eingefügt ist, kann sichergestellt werden, daß die Arbeitsentfernung L gegenüber einer Auflageoberfläche des Tisches 56 bis zur Linse relativ groß ist, wodurch ein großer Beobachtungsbereich des Tisches 56 in der Richtung Z erzielt wird.

Bei der vorliegenden Ausführungsform überträgt die Übertragungslinse 11 das Bild im Verhältnis 1 : 1. Jeweilige Abschnitte, welche die Flüssigkristallanzeige 12 bilden, sind transparent im Zustand ohne Anzeige, und lichtundurchlässig im Zustand mit Anzeige. Die Flüssigkristallanzeige ist ein LCD-Feld und dergleichen, welches ebenso wie bei der voranstehenden Ausführungsform an die Anzeigesteuerung 2 angeschlossen ist, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist. Andererseits ist, anders als bei der voranstehend erwähnten Ausführungsform, der Bildschirm 54 ein lichtundurchlässiges Glas oder ein transparentes Glas, welches einen üblichen Diffusbildschirm aufweist.

Wenn bei der vorliegenden Ausführungsform das Licht von der Lichtquelle 51 ausgestrahlt wird, erreicht das Bild des Werkstücks 55 die Flüssigkristallanzeige 12 nach Durchgang durch die Übertragungslinse 11. Die Zielmarke, die Schablonen-Zielmarke des Werkstücks, und die Verschiebungen X, Y, Z und θ werden selektiv entsprechend einer vorbestimmten Eingabe von außen durch die Anzeigesteuerung 2 angezeigt. Die zur Anzeige bestimmten Inhalte der Flüssigkristallanzeige 12 und des Bildes des Werkstücks 55 gelangen zusammen in die Projektionslinse 53, um vergrößert und auf dem Bildschirm 54 projiziert zu werden.

Da die Anzeigesteuerung 2 die Schablonen-Zielmarke, die auf der Flüssigkristallanzeige 12 angezeigt wird, so auswählt, daß die auf den Bildschirm 54 angezeigte Schablonen-Zielmarke geändert wird, können herkömmliche Schwierigkeiten in Bezug auf den Austausch des Überlagerungsdiagramms ausgeschaltet werden.

Da die Anzeigesteuerung 2 die Zielmarke und die Verschiebung X, Y, Z und θ des Tisches 56 auf der Flüssigkristallanzeige 12 anzeigt, damit sie gleichzeitig auf dem Bildschirm 54 mit dem Werkstückbild 58 des Werkstücks 55 angezeigt werden, kann der Beobachter die Verschiebungen X, Y, Z und θ des Tisches 56 auf demselben Bildschirm überprüfen, während er den Tisch 56 bewegt, und auf den Bildschirm 54 blickt, was die Handhabbarkeit erleichtert.

Darüber hinaus kann der Bildschirm 54 durch einen digitalen Winkelmeßbildschirm ersetzt werden (einen Bildschirm, auf welchem der Drehwinkel des Bildschirms 54 digital angezeigt wird), um den Winkel θ zu erhalten, statt des Tisches 56.

Da gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Tisch 56 zum Auflegen des Werkstücks 55 vorgesehen ist, das optische Beobachtungssystem mit dem Bildschirm 54 und der Projektionslinse 53 zum Projizieren des Werkstücks 55 auf den Bildschirm 54, die Relativbewegungseinheit 57 zur Relativbewegung des Tisches 56 und des optischen Beobachtungssystems, sowie der Verschiebungssensor 61 zum Detektieren der Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit 57, und da weiterhin die Flüssigkristallanzeige 12 vorgesehen ist, die in den optischen Pfad des optischen Beobachtungssystems eingefügt ist, sowie die Anzeigesteuerung 2 zum Anzeigen der Linienzeichnungen 5, 6 und 7 zur Messung des Profils des Werkstücks 55 auf der Flüssigkristallanzeige 12 mit vorbestimmter Vergrößerung, werden die Linienzeichnungen, die auf der Flüssigkristallanzeige 12 angezeigt werden, zusammen mit dem Bild des Werkstücks 55 auf den Bildschirm 54 projiziert. Daher kann die Anzeigesteuerung 2 die Linienzeichnung, die auf der Flüssigkristallanzeige 12 angezeigt wird, auswählen, wodurch die herkömmliche Unbequemlichkeit in Bezug auf den Austausch des Überlagerungsdiagramms entsprechend der Art des Werkstücks 55 und der Vergrößerung der Projektionslinse 53 ausgeschaltet wird.

Da die Anzeigesteuerung 2 die Relativbewegungsverschiebung X, Y, Z und θ, die von dem Verschiebungssensor 61 detektiert wird, auf der Flüssigkristallanzeige 1 und 12 bei den voranstehenden jeweiligen Ausführungsformen anzeigt, können die Verschiebungen X, Y, Z und θ des Tisches 56 auf dem Bildschirm 1 und 54 ebenso wie das Bild des Werkstücks 55 angezeigt werden, so daß die Verschiebungen X, Y, Z und θ des Tisches 56 gleichzeitig während des Betriebs des Tisches 56 überprüft werden können, während die Position des Werkstücks 55 über den Bildschirm 1 und 54 überprüft wird.

Claims (3)

1. Projektionsmeßinstrument, welches aufweist:
einen Tisch zum Aufsetzen eines Werkstückes;
ein optisches Beobachtungssystem mit einem Bildschirm und einer Projektionslinse zum Projizieren eines Bildes des Werkstücks auf den Bildschirm;
eine Relativbewegungseinheit zur Relativbewegung des Tisches und des optischen Beobachtungssystems; und
einen Verschiebungssensor zum Detektieren einer Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit;
wobei der Bildschirm eine Flüssigkristallanzeige ist, und die Flüssigkristallanzeige eine Anzeigesteuerung zum Anzeigen einer Linienzeichnung zum Messen eines Profils des Werkstücks mit vorbestimmter Vergrößerung aufweist.

2. Projektionsmeßinstrument, welches aufweist:
einen Tisch zum Aufsetzen eines Werkstücks;
ein optisches Beobachtungssystem mit einem Bildschirm und einer Projektionslinse zum Projizieren eines Bildes des Werkstücks auf den Bildschirm;
eine Relativbewegungseinheit zur Relativbewegung des Tisches und des optischen Beobachtungssystems; und
einen Verschiebungssensor zum Detektieren einer Relativbewegungsverschiebung durch die Relativbewegungseinheit;
wobei das Projektionsmeßinstrument weiterhin eine Flüssigkristallanzeige aufweist, die in einen optischen Pfad des optischen Beobachtungssystems eingeführt ist, und eine Anzeigesteuerung zum Anzeigen einer Linienzeichnung zur Messung eines Profils des Werkstücks auf der Flüssigkristallanzeige mit vorbestimmter Vergrößerung.

3. Projektionsmeßinstrument nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die Anzeigesteuerung eine Relativbewegungsverschiebung anzeigt, die von dem Verschiebungssensor detektiert wird, auf der Flüssigkristallanzeige.