JP2000176830A - ワークの研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨時のワーク表面の傷つきを確実に防止す
る。 【解決手段】 研磨機キャリヤ２のワーク保持穴２１内
にワーク１を位置させ、ワーク１の外周とワーク保持穴
２１の内周との間をワックス９で満たした状態でワーク
１を研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワークの研磨方法に
関し、特に砥粒によるワーク表面の傷つきを生じないワ
ークの研磨方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４、図５にはワークたるガラス基板の
研磨に多用されている両面研磨機の一例を示す。図４に
おいて、上下に位置して相対回転する上定盤３と下定盤
４の間にキャリヤ２が位置しており、このキャリヤは図
５に示すように円形の板体で、その板面には周方向へ等
間隔で円形のワーク保持穴２１が設けられている。そし
て、各ワーク保持穴２１内にはこれよりもやや小径の円
形ガラス基板１が挿置されている。ガラス基板１の厚み
はキャリヤ２よりも厚く、ガラス基板１の上下面はそれ
ぞれ上定盤３と下定盤４（実際にはこれらの下面ないし
上面に接合されたパッド）に接している。

【０００３】キャリヤ２には外周に歯形２２（図５）が
形成されており、この歯形２２は、キャリヤ２の外方に
位置して図５の矢印方向へ回転するリング状のインター
ナルギヤ５の歯形５１に噛合するとともに、内方では図
５の矢印方向へ回転する中心ギヤ６の歯形６１と噛合し
ている。これにより、キャリヤ２は矢印で示すように自
転しつつ公転する遊星旋回を行ない、ワーク保持穴２１
内に挿置されたガラス基板１の上下面が、これらと相対
移動する上定盤３ないし下定盤４の間に供給された研磨
剤中の砥粒によって研磨される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス基板
１の外周とワーク保持穴２１の内周との間には図６に示
すように隙間ｄが生じており、この隙間ｄは通常０．５
ｍｍ〜０．６ｍｍ程度ある。このため、図７に示すよう
に研磨作業時に、上下の定盤３，４とガラス基板１間に
供給された砥粒Ｇが上記隙間ｄに入り込む。特にラッピ
ング（荒研磨）時には硬い砥粒Ｇを使用するため、砥粒
Ｇがガラス基板１外周とワーク保持穴２１内周との間に
挟まれると、エポキシガラス等よりなるキャリヤ２の材
質の方が硬いために往々にしてガラス基板１の外周部が
欠けることがある。欠けた基板部分Ｐは図７の矢印で示
すようにガラス基板１の板面と定盤４（あるいは定盤
５）との間に入り込み、これによって基板表面に傷がつ
く。

【０００５】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るもので、研磨時のワーク表面の傷つきを確実に防止で
きるワークの研磨方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のワークの研磨方法は、研磨機キャリヤ
（２）のワーク保持穴（２１）内にワーク（１）を位置
させ、ワーク（１）の外周とワーク保持穴（２１）の内
周との間をワックス（９）で満たした状態でワーク
（１）を研磨するものである。

【０００７】本発明においては、ワークの外周とワーク
保持穴の内周との間をワックスで満たしてあるから、研
磨の際にワークの外周とワーク保持穴の内周との間に砥
粒が侵入することはなく、ワーク外周部の欠けの発生が
回避されて、ワーク表面の傷つきが防止される。ワック
スは比較的低温で溶融するから、加熱定盤上等で流動状
態となってワークの外周とワーク保持穴の内周との間に
容易に満たすことができるとともに、研磨後のワーク保
持穴からのワークの取り出しも容易である。

【０００８】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の研磨方法を実施する際に
は図１に示すようにキャリヤ２を、後述するワックスの
融点以上に加熱された定盤７の上に位置させる。この際
に、図の破線で示すように、隣り合うワーク保持穴２１
の間のキャリヤ２下面と定盤７との間にスペーサとして
のシックネステープ８を介在させる。シックネステープ
８は例えば幅１０ｍｍ、厚さ１０μｍのＳＵＳ製のテー
プで、これを適当長さで切断して定盤７上に置き、この
上にキャリヤ２を載せる。これを図２に示す。

【００１０】図２に示すように、キャリヤ２の板厚はガ
ラス基板１よりも薄いから、ガラス基板１の上下の板面
がキャリヤ２の板面から上下へ同量突出するように、シ
ックネステープ８を実際には必要枚数重ねてキャリヤ２
の下に位置させる。そしてこの状態で、ガラス基板１の
外周と保持穴２１の内周との間に６０℃程度の低融点の
ワックス９を満たして両者をくっつける。

【００１１】このようにしてガラス基板１をワックス９
で固着し一体化したキャリヤ２を、図３に示すように研
磨機の上下の定盤３，４間に位置させて研磨を行なう
と、研磨剤中の砥粒Ｇは、ワックス９で満たされたガラ
ス基板１の外周と保持穴２１の内周との間に侵入するこ
とはできない。したがって、従来のように、ガラス基板
１の外周と保持穴２１の内周との間に砥粒Ｇが進入して
ガラス基板１端部の一部が欠け、ガラス基板１の表面が
傷つくという問題は生じない。研磨終了後はキャリヤ２
を再び加熱定盤７上に載せてワックス９を融解させ、ワ
ーク保持穴２１内からガラス基板１を取り出す。

【００１２】上記実施形態では両面研磨機を例に本発明
方法の適用を説明したが、片面研磨機にも適用できるこ
とはもちろんである。また、低融点ワックスに代えて高
融点ワックスを使用することもできる。さらに、本発明
はガラス基板の研磨のみならず、キャリヤを使用して研
磨する用途に広く適用でき、対象となるワークはアルミ
やニッケル等の金属基板、シリコン基板やセラミクス基
板、ブラスチック基板等を広く含む。

【００１３】

【発明の効果】以上のように、本発明のワークの研磨方
法によれば、研磨時のワークの傷つきを確実に防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における、キャリヤの平面
図である。

【図２】図１のII−II線に沿ったキャリヤの要部拡大断
面図である。

【図３】ワーク研磨中のキャリヤの要部拡大断面図であ
る。

【図４】研磨機の半部垂直断面図で、図５のIV−IV線に
沿った断面図である。

【図５】研磨機の部分水平断面図で、図４のV−V線に沿
った断面図である。

【図６】キャリヤのワーク保持穴部の拡大断面図であ
る。

【図７】従来方法によるワーク研磨中のキャリヤの要部
拡大断面図である。

【符号の説明】

１…ガラス基板、２…キャリヤ、２１…ワーク保持穴、
９…ワックス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨機キャリヤのワーク保持穴内にワー
   クを位置させ、ワークの外周とワーク保持穴の内周との
   間をワックスで満たした状態でワークを研磨すること特
   徴とするワークの研磨方法。