JP2000146089A - タンクからの液体供出機構 - Google Patents
タンクからの液体供出機構Info
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- JP2000146089A JP2000146089A JP10315610A JP31561098A JP2000146089A JP 2000146089 A JP2000146089 A JP 2000146089A JP 10315610 A JP10315610 A JP 10315610A JP 31561098 A JP31561098 A JP 31561098A JP 2000146089 A JP2000146089 A JP 2000146089A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力ガス供給手段の接続部と液体供出手段の
接続部が十分な強度を持ち、その部分に大きな負荷がか
かっても損傷したり変形したりする虞がなく、以て薬液
等の液体や圧力ガスのリ−クの発生を確実に防止するこ
とができるタンクからの液体供出機構を提供することを
課題とする。 【解決手段】 液体タンクの頸部に締付キャップを介し
て取り付けられる内蓋11に２つのメネジ孔12、13を凹設
し、前記メネジ孔12に、常時スプリング17による押上力
を受けて圧力ガス供給口20を閉塞状態にするバルブ18を
内蔵した圧力ガス供給用プラグ14をネジ付けると共に、
前記メネジ孔13に、常時スプリング28による押上力を受
けて液体供出口32を閉塞状態にするバルブ30を内蔵した
液体供出用プラグ15をネジ付けて成る。
接続部が十分な強度を持ち、その部分に大きな負荷がか
かっても損傷したり変形したりする虞がなく、以て薬液
等の液体や圧力ガスのリ−クの発生を確実に防止するこ
とができるタンクからの液体供出機構を提供することを
課題とする。 【解決手段】 液体タンクの頸部に締付キャップを介し
て取り付けられる内蓋11に２つのメネジ孔12、13を凹設
し、前記メネジ孔12に、常時スプリング17による押上力
を受けて圧力ガス供給口20を閉塞状態にするバルブ18を
内蔵した圧力ガス供給用プラグ14をネジ付けると共に、
前記メネジ孔13に、常時スプリング28による押上力を受
けて液体供出口32を閉塞状態にするバルブ30を内蔵した
液体供出用プラグ15をネジ付けて成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はタンクからの液体供
出機構、より詳細には、半導体製造工程において使用す
るエッチング液のような高純度薬液等の液体を、樹脂製
液体タンクから供出するためにタンクの頸部に設置され
るタンクからの液体供出機構に関するものである。
出機構、より詳細には、半導体製造工程において使用す
るエッチング液のような高純度薬液等の液体を、樹脂製
液体タンクから供出するためにタンクの頸部に設置され
るタンクからの液体供出機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の樹脂製タンク２からの液体供出機
構１は、一般に図３に示す通り、内蓋４とこれをタンク
２の口３に固定するためのネジ付き環状キャップ５とか
ら成るものであり、内蓋４の上面には、液体を加圧して
押出す圧力ガスの供給手段接続用のオネジ付接続口６
と、液体供出手段接続用のオネジ付接続口７とが突設さ
れ、オネジ付接続口７には、タンク２の底にまで伸びる
サイホン管８が取り付けられる。
構１は、一般に図３に示す通り、内蓋４とこれをタンク
２の口３に固定するためのネジ付き環状キャップ５とか
ら成るものであり、内蓋４の上面には、液体を加圧して
押出す圧力ガスの供給手段接続用のオネジ付接続口６
と、液体供出手段接続用のオネジ付接続口７とが突設さ
れ、オネジ付接続口７には、タンク２の底にまで伸びる
サイホン管８が取り付けられる。
【０００３】上記従来の機構においては、内蓋４の上面
に２つのオネジ付接続口６、７が突設されるが、これら
の部分に横方向に大きな負荷がかかるような場合はその
負荷をまともに受け、殊にその付け根当たりが負荷の影
響を受けて損傷したり変形したりしやすく、薬品や圧力
ガスがリ−クする虞があるという問題がある。
に２つのオネジ付接続口６、７が突設されるが、これら
の部分に横方向に大きな負荷がかかるような場合はその
負荷をまともに受け、殊にその付け根当たりが負荷の影
響を受けて損傷したり変形したりしやすく、薬品や圧力
ガスがリ−クする虞があるという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の機
構における問題点を解決せんとしてなされたもので、圧
力ガス供給手段の接続部と液体供出手段の接続部が十分
な強度を持ち、その部分に大きな負荷がかかっても損傷
したり変形したりする虞がなく、以て薬液等の液体や圧
力ガスのリ−クの発生を確実に防止することができるタ
ンクからの液体供出機構を提供することを課題とする。
構における問題点を解決せんとしてなされたもので、圧
力ガス供給手段の接続部と液体供出手段の接続部が十分
な強度を持ち、その部分に大きな負荷がかかっても損傷
したり変形したりする虞がなく、以て薬液等の液体や圧
力ガスのリ−クの発生を確実に防止することができるタ
ンクからの液体供出機構を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、液体タンクの
頸部に締付キャップを介して取り付けられる内蓋に２つ
のメネジ孔を凹設し、前記メネジ孔の一方に、常時スプ
リングによる押上力を受けて圧力ガス供給口を閉塞状態
にするバルブを内蔵した圧力ガス供給用プラグをネジ付
けると共に、前記メネジ孔の他方に、常時スプリングに
よる押上力を受けて液体供出口を閉塞状態にするバルブ
を内蔵した液体供出用プラグをネジ付けて成るタンクか
らの液体供出機構、を以て上記課題を解決した。
頸部に締付キャップを介して取り付けられる内蓋に２つ
のメネジ孔を凹設し、前記メネジ孔の一方に、常時スプ
リングによる押上力を受けて圧力ガス供給口を閉塞状態
にするバルブを内蔵した圧力ガス供給用プラグをネジ付
けると共に、前記メネジ孔の他方に、常時スプリングに
よる押上力を受けて液体供出口を閉塞状態にするバルブ
を内蔵した液体供出用プラグをネジ付けて成るタンクか
らの液体供出機構、を以て上記課題を解決した。
【０００６】好ましくは、前記圧力ガス供給用プラグ及
び／又は液体供出用プラグの側面に平坦部を設け、そこ
に前記内蓋上に固定した回り止め部材の平坦面を面接触
させるようにする。
び／又は液体供出用プラグの側面に平坦部を設け、そこ
に前記内蓋上に固定した回り止め部材の平坦面を面接触
させるようにする。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図面
（図１及び図２）に依拠して説明する。図中１１は内蓋
で、液体収納用の樹脂製タンクの上面中央部に突設され
た頸部に、従来の場合と同様にして取り付けられる。内
蓋１１の上面には２個所、メネジを刻設したメネジ孔１
２、１３が形成される。一方のメネジ孔１２には、圧力
ガス供給用のプラグ１４がネジ込まれ、他方のメネジ孔
１３には液体供出用のプラグ１５がネジ込まれる。
（図１及び図２）に依拠して説明する。図中１１は内蓋
で、液体収納用の樹脂製タンクの上面中央部に突設され
た頸部に、従来の場合と同様にして取り付けられる。内
蓋１１の上面には２個所、メネジを刻設したメネジ孔１
２、１３が形成される。一方のメネジ孔１２には、圧力
ガス供給用のプラグ１４がネジ込まれ、他方のメネジ孔
１３には液体供出用のプラグ１５がネジ込まれる。
【０００８】プラグ１４内下部には、そこに挿入される
バルブ用スプリング１７の受座となるスプリングストッ
パ−１６が嵌挿される。バルブ用スプリング１７は、プ
ラグ１４内上部に配備されるバルブ１８を常時上方に押
上げるよう作用する。このバルブ用スプリング１７の作
用により、押圧力のかからない平時にバルブ１８は上昇
端に位置し、その際その頭部に巻着したＯリング１９が
プラグ１４の内孔側面に密着し、以てプラグ１４上端の
圧力ガス供給口２０を閉塞する。
バルブ用スプリング１７の受座となるスプリングストッ
パ−１６が嵌挿される。バルブ用スプリング１７は、プ
ラグ１４内上部に配備されるバルブ１８を常時上方に押
上げるよう作用する。このバルブ用スプリング１７の作
用により、押圧力のかからない平時にバルブ１８は上昇
端に位置し、その際その頭部に巻着したＯリング１９が
プラグ１４の内孔側面に密着し、以てプラグ１４上端の
圧力ガス供給口２０を閉塞する。
【０００９】バルブ１８はその上部に、内外連通用のガ
ス通路２１を有する。上記圧力ガス供給口２０の閉塞状
態は、バルブ１８がバルブ用スプリング１７の押上力に
抗して押下されることにより解除される。バルブ１８が
押されて圧力ガス供給口２０が開くと、そこから圧力ガ
スが流入し、圧力ガスはガス通路２１を通ってバルブ１
８内部に入り、更にプラグ内孔を通ってタンク内に供給
されてタンク内の液体を加圧する。２５はプラグキャッ
プで、通例テフロン糸２５ａによってつなぎ止められ
る。
ス通路２１を有する。上記圧力ガス供給口２０の閉塞状
態は、バルブ１８がバルブ用スプリング１７の押上力に
抗して押下されることにより解除される。バルブ１８が
押されて圧力ガス供給口２０が開くと、そこから圧力ガ
スが流入し、圧力ガスはガス通路２１を通ってバルブ１
８内部に入り、更にプラグ内孔を通ってタンク内に供給
されてタンク内の液体を加圧する。２５はプラグキャッ
プで、通例テフロン糸２５ａによってつなぎ止められ
る。
【００１０】なお、好ましい実施形態においては、プラ
グ１４の外側面を面取りし、等角度置き（通例９０度置
き）に平坦面２２を形成する。そして、上方から内蓋１
１に、平坦面２２に当接する平坦面２３を有する回り止
め部材２４をネジ止めする。かくして平坦面２２と平坦
面２３とが当接し合い、以てプラグ１４の回転が阻止さ
れる。
グ１４の外側面を面取りし、等角度置き（通例９０度置
き）に平坦面２２を形成する。そして、上方から内蓋１
１に、平坦面２２に当接する平坦面２３を有する回り止
め部材２４をネジ止めする。かくして平坦面２２と平坦
面２３とが当接し合い、以てプラグ１４の回転が阻止さ
れる。
【００１１】プラグ１５の下部にはオネジとメネジが切
られ、プラグ１５はそのオネジ部を介して内蓋１１のメ
ネジ孔１３にネジ付けられる。そして、そのメネジ部
に、シ−ルナット２６を介してタンクの底まで伸びるサ
イホン管２７が嵌め付けられる。このサイホン管２７の
嵌め付けは、プラグ１５のメネジ孔１３へのネジ付けに
先立って行われる。
られ、プラグ１５はそのオネジ部を介して内蓋１１のメ
ネジ孔１３にネジ付けられる。そして、そのメネジ部
に、シ−ルナット２６を介してタンクの底まで伸びるサ
イホン管２７が嵌め付けられる。このサイホン管２７の
嵌め付けは、プラグ１５のメネジ孔１３へのネジ付けに
先立って行われる。
【００１２】プラグ１５内の中程には、そこに挿入され
るバルブ用スプリング２８の受座となるスプリングスト
ッパ−２９が嵌挿される。バルブ用スプリング２８は、
プラグ１５内上部に配備されるバルブ３０を常時上方に
押上げるよう作用する。このバルブ用スプリング２８の
作用により、平時にバルブ３０は上昇端に位置し、その
際その頭部に巻着したＯリング３１がプラグ１５の内孔
側面に密着し、以てプラグ１５上端の液体供出口３２を
閉塞する。
るバルブ用スプリング２８の受座となるスプリングスト
ッパ−２９が嵌挿される。バルブ用スプリング２８は、
プラグ１５内上部に配備されるバルブ３０を常時上方に
押上げるよう作用する。このバルブ用スプリング２８の
作用により、平時にバルブ３０は上昇端に位置し、その
際その頭部に巻着したＯリング３１がプラグ１５の内孔
側面に密着し、以てプラグ１５上端の液体供出口３２を
閉塞する。
【００１３】バルブ３０はその上部に、内外連通用の薬
品通路３３を有する。上記薬品供出口３２の閉塞状態
は、バルブ３０がバルブ用スプリング２８の押上力に抗
して押下されることにより解除される。バルブ３０が押
されて薬品供出口３２が開くと、サイホン管２７を上昇
してくる液体が液体通路３３を通ってバルブ３０外に出
て、液体供出口３２から送出される。３５はプラグキャ
ップで、通例テフロン（登録商標）糸３５ａ等によって
つなぎ止められる。
品通路３３を有する。上記薬品供出口３２の閉塞状態
は、バルブ３０がバルブ用スプリング２８の押上力に抗
して押下されることにより解除される。バルブ３０が押
されて薬品供出口３２が開くと、サイホン管２７を上昇
してくる液体が液体通路３３を通ってバルブ３０外に出
て、液体供出口３２から送出される。３５はプラグキャ
ップで、通例テフロン（登録商標）糸３５ａ等によって
つなぎ止められる。
【００１４】なお、好ましい実施形態においては、プラ
グ１４と同様にプラグ１５の外側面を面取りし、等角度
置き（通例９０度置き）に平坦面３４を形成する。そし
て、プラグ１４と同様に、回り止め部材２４によってプ
ラグ１５の回転が阻止されるようにする。
グ１４と同様にプラグ１５の外側面を面取りし、等角度
置き（通例９０度置き）に平坦面３４を形成する。そし
て、プラグ１４と同様に、回り止め部材２４によってプ
ラグ１５の回転が阻止されるようにする。
【００１５】上記構成においてタンク内の液体を供出す
るに当っては、プラグキャップ２５を外してプラグ１４
に図示せぬ圧力ガス供給側ソケットをドッキングさせ、
そのドッキングに伴ってバルブ１８を押下させて圧力ガ
ス供給口２０を開口させる。また、プラグキャップ３５
を外してプラグ１５に図示せぬ液体供出側ソケットをド
ッキングさせ、そのドッキングに伴ってバルブ３０を押
下させて液体供出口３２を開口させる。かくしてバルブ
１８を通してタンク内に圧力ガスを供給すると、タンク
内の液体に圧力がかかり、液体はサイホン管２７内を上
昇してバルブ３０を通り、タンク外へ送出される。
るに当っては、プラグキャップ２５を外してプラグ１４
に図示せぬ圧力ガス供給側ソケットをドッキングさせ、
そのドッキングに伴ってバルブ１８を押下させて圧力ガ
ス供給口２０を開口させる。また、プラグキャップ３５
を外してプラグ１５に図示せぬ液体供出側ソケットをド
ッキングさせ、そのドッキングに伴ってバルブ３０を押
下させて液体供出口３２を開口させる。かくしてバルブ
１８を通してタンク内に圧力ガスを供給すると、タンク
内の液体に圧力がかかり、液体はサイホン管２７内を上
昇してバルブ３０を通り、タンク外へ送出される。
【００１６】以上の作業の間、プラグ１４及びプラグ１
５に横方向の負荷がかかっても、プラグ１４及びプラグ
１５は、それぞれ下部が内蓋１１に形成されたメネジ孔
１２、１３内に埋入状態にて確固と保持されているた
め、損傷する虞は殆どない。また、プラグ１４、１５に
それぞれ平坦部２２、３４を設けて回り止め部材２４を
当接させるようにしたときは、プラグ１４、１５の緩み
が生ずることがなく、以て圧力ガスのロスや液体のリ−
クが確実に防止される。
５に横方向の負荷がかかっても、プラグ１４及びプラグ
１５は、それぞれ下部が内蓋１１に形成されたメネジ孔
１２、１３内に埋入状態にて確固と保持されているた
め、損傷する虞は殆どない。また、プラグ１４、１５に
それぞれ平坦部２２、３４を設けて回り止め部材２４を
当接させるようにしたときは、プラグ１４、１５の緩み
が生ずることがなく、以て圧力ガスのロスや液体のリ−
クが確実に防止される。
【００１７】
【発明の効果】本発明は上述した通りであって、圧力ガ
ス供給手段の接続部と液体供出手段の接続部が十分な強
度を持ち、その部分に大きな負荷がかかっても損傷した
り変形したりする虞がなく、以て薬液等の液体や圧力ガ
スのリ−クの発生を確実に防止することができるという
効果がある。
ス供給手段の接続部と液体供出手段の接続部が十分な強
度を持ち、その部分に大きな負荷がかかっても損傷した
り変形したりする虞がなく、以て薬液等の液体や圧力ガ
スのリ−クの発生を確実に防止することができるという
効果がある。
【００１８】請求項２に記載の発明においては、回り止
め部材によって各プラグの緩みが防止されることによ
り、プラグの緩みに起因する薬品や圧力ガスのリ−クが
確実に防止される効果がある。
め部材によって各プラグの緩みが防止されることによ
り、プラグの緩みに起因する薬品や圧力ガスのリ−クが
確実に防止される効果がある。
【図１】 本発明の一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】 本発明の一実施形態を示す一部省略平面図で
ある。
ある。
【図３】 従来の液体供出機構を示す部分断面図であ
る。
る。
11 内蓋 12 メネジ孔 13 メネジ孔 14 プラグ 15 プラグ 16 スプリングストッパ− 17 バルブ用スプリング 18 バルブ 19 Ｏリング 20 圧力ガス供給口 21 ガス通路 25 プラグキャップ 25ａ テフロン糸 22 平坦面 23 平坦面 24 止め部材 26 シ−ルナット 27 サイホン管 28 バルブ用スプリング 29 スプリングストッパ− 30 バルブ 31 Ｏリング 32 液体供出口 33 薬品通路 35 プラグキャップ 35ａ テフロン糸
Claims (2)
- 【請求項１】 液体タンクの頸部に締付キャップを介し
て取り付けられる内蓋に２つのメネジ孔を凹設し、前記
メネジ孔の一方に、常時スプリングによる押上力を受け
て圧力ガス供給口を閉塞状態にするバルブを内蔵した圧
力ガス供給用プラグをネジ付けると共に、前記メネジ孔
の他方に、常時スプリングによる押上力を受けて液体供
出口を閉塞状態にするバルブを内蔵した液体供出用プラ
グをネジ付けて成るタンクからの液体供出機構。 - 【請求項２】 前記圧力ガス供給用プラグ及び／又は液
体供出用プラグの側面に平坦部を設け、そこに前記内蓋
上に固定した回り止め部材の平坦面を面接触させるよう
にした請求項１に記載のタンクからの液体供出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315610A JP2000146089A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | タンクからの液体供出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315610A JP2000146089A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | タンクからの液体供出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000146089A true JP2000146089A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18067441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10315610A Pending JP2000146089A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | タンクからの液体供出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000146089A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002114242A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-16 | Surpass Kogyo Kk | 容器及びそれに用いるプラグ |
| JP2003090482A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Surpass Kogyo Kk | タンク取付用コネクターのサイホン管 |
| WO2007018104A1 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Surpass Industry Co., Ltd. | プラグ用緩み防止装置 |
| JP2008100714A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ディスペンサ |
| KR101059660B1 (ko) | 2003-10-31 | 2011-08-25 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 탱크로부터의 액체공출용 커넥터 |
-
1998
- 1998-11-06 JP JP10315610A patent/JP2000146089A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002114242A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-16 | Surpass Kogyo Kk | 容器及びそれに用いるプラグ |
| JP4717996B2 (ja) * | 2000-10-11 | 2011-07-06 | サーパス工業株式会社 | 容器及びそれに用いるプラグ |
| JP2003090482A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Surpass Kogyo Kk | タンク取付用コネクターのサイホン管 |
| KR101059660B1 (ko) | 2003-10-31 | 2011-08-25 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 탱크로부터의 액체공출용 커넥터 |
| DE102004052631B4 (de) | 2003-10-31 | 2019-10-24 | Surpass Industry Co., Ltd. | Anschlussorgan zur Abgabe der Flüssigkeit aus einem Tank bzw. Behälter |
| WO2007018104A1 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Surpass Industry Co., Ltd. | プラグ用緩み防止装置 |
| JP2007046735A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Surpass Kogyo Kk | プラグ用緩み防止装置 |
| DE112006002131T5 (de) | 2005-08-11 | 2008-07-17 | Surpass Industry Co., Ltd., Gyoda | Einrichtung zum Verhindern eines Lösens für Stecker |
| US8011526B2 (en) | 2005-08-11 | 2011-09-06 | Surpass Industry Co., Ltd. | Loosening prevention device for plug |
| KR101322936B1 (ko) * | 2005-08-11 | 2013-10-25 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 플러그용 풀림방지장치 |
| DE112006002131B4 (de) * | 2005-08-11 | 2020-09-03 | Surpass Industry Co., Ltd. | Einrichtung zum Verhindern eines Lösens für Stecker |
| JP2008100714A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ディスペンサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
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