KR101579402B1 - 액상 케미컬 디스펜싱 시스템 - Google Patents

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KR101579402B1
KR101579402B1 KR1020150052744A KR20150052744A KR101579402B1 KR 101579402 B1 KR101579402 B1 KR 101579402B1 KR 1020150052744 A KR1020150052744 A KR 1020150052744A KR 20150052744 A KR20150052744 A KR 20150052744A KR 101579402 B1 KR101579402 B1 KR 101579402B1
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봉석수
이경화
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봉석수
이경화
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    • B67D7/0288—Container connection means
    • B67D7/0294—Combined with valves

Abstract

드럼에 장착되는 디스펜싱 시스템의 부속기구를 드럼에 담긴 케미컬의 종류에 상관없이 쉽게 재활용할 수 있고, 딥 호스가 쉽게 분리되면서도 밀봉 성능이 우수하고 패킹과 제1오링 등 밀봉 부품의 교체가 수월한 액상 케미컬 디스펜싱 시스템이 개시된다. 상기 액상 케미컬 디스펜싱 시스템은 드럼 내부로 삽입하기 위한 호스부와 상기 호스부 상단에서 바깥으로 돌출된 돌출턱이 형성되어 있는 호스부재, 내부에 상기 호스부의 통과를 허용하는 호스구멍, 돌출턱이 걸릴 수 있는 제1확장부, 제2확장부, 플랜지부를 구비하고, 제2확장부 바닥면에 통기공과 통기공 바깥으로 배치되는 제1오링이 장착된 제1오링홈을 가지며 드럼에 결합하는 캡부재, 상하의 제1, 제2패킹, 저면에 밀봉돌기가 형성된 밸브기구, 밸브기구가 삽입되어 장착되며 저면이 제1오링을 가압하는 하우징, 하우징과 밸브기구를 하방으로 가압하기 위한 가압결합구를 포함하는 구성을 한다.

Description

액상 케미컬 디스펜싱 시스템{Liquid chemical dispensing system}
본 발명은 드럼에 담긴 웨이퍼 식각액, 세정액이나 현상액 등의 액상 케미컬을 안전하게 뽑아내는데 사용되는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 개선에 관한 것이다.
반도체 제조 등에 사용되는 액상 케미컬은 그것에 견딜 수 있는 드럼에 저장되어 보관 및 운송되며, 사용 시에는 개구를 막고 있던 플러그를 열고 디스펜싱 시스템을 설치하여 질소 등의 가스를 드럼 내로 주입하면서 드럼 내에 저장되어 있는 케미컬을 뽑아낸다.
이와 관련된 종래기술로는 공개번호 10-2007-0021230호(발명의 명칭: 액체 탱크 장착용 커넥터 및 그를 구비한 액체 탱크, 발명자: 아베 코이치), US 8561855 B2(발명의 명칭: High-volume fluid dispense system, 발명자: John M. Hennen 외 2) 등에 개시되어 있다.
상기와 같은 종래기술의 디스펜싱 시스템은 부품수가 많고 구조가 복잡하여 만들기 어렵고 드럼 내부 바닥까지 연장된 딥 호스(dip hose)가 드럼의 개구에 장착되는 부속기구에 일체화되어 있다. 일반적으로, 반도체 제조 등의 특정 공정에 사용되는 특정 액상 케미컬은 제품 불량을 방지하기 위해 고순도의 것이 사용되어야 하는 데, 딥 호스에 특정 케미컬이 잔류하기 때문에 드럼의 개구에 장착되는 부속기구가 고가임에도 불구하고 다른 종류의 케미컬을 담는 드럼에 재활용하기 어렵다.
본 발명의 목적은 드럼에 장착되는 디스펜싱 시스템의 부속기구를 재활용할 수 있는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 딥 호스를 드럼의 개구에 장착되는 부속기구에서 쉽게 분리할 수 있으면서도 케미컬이 외부로 누출될 염려가 없는 케미컬 디스펜싱 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 구조가 복잡하지 않으면서도 케미컬과 가스의 누출 염려가 없는 케미컬 디스펜싱 시스템을 제공하는 데 있다.
바람직하게, 본 발명에 따른 케미컬 디스펜싱 시스템은 드럼 내부로 삽입하기 위한 호스부와 상기 호스부 상단에서 바깥으로 돌출된 돌출턱이 형성되어 있는 호스부재; 내부에 상기 호스부의 통과를 허용하는 호스구멍, 상기 호스구멍의 상측에서 바깥으로 확장되어 상기 돌출턱이 걸릴 수 있는 제1확장부, 상기 제1확장부의 상측에서 바깥으로 확장된 제2확장부, 상기 제2확장부 상단에서 바깥으로 돌출된 플랜지부를 구비하고, 상기 플랜지부 하측 외주면과 상기 제2확장부의 내주면에 제1, 제2나선이 형성되고, 상기 제2확장부 바닥면에 상기 드럼 내로 기체주입을 위한 통기공과 상기 통기공 바깥으로 배치되는 제1오링홈을 가지며 상기 제1나선을 통해 상기 드럼에 결합하는 캡부재; 상기 호스부 외주면에 결합되어 상기 돌출턱 저면에 밀착되는 제1패킹; 상기 돌출턱 상면에 밀착되는 제2패킹; 상기 제1오링홈에 장착되는 제1오링; 외부몸체 내부를 따라 형성되고 상기 호스구멍과 통하는 밸브설치공을 개폐하기 위한 밸브부품들이 내부에 설치되어 있고, 상기 외부몸체의 하측 단면부에 상기 호스부재의 구멍을 둘러싸면서 상기 제2패킹의 상면에 밀착되어 상기 호스부재의 구멍과 상기 통기공 사이를 차단하는 밀봉돌기가 형성되고, 하측부보다 큰 단면으로 된 상측부 외주면에 제3나선이 형성된 밸브기구; 상기 밸브기구가 삽입되어 상기 밀봉돌기가 하측 외부로 노출되는 것을 허용하고, 상측부 내주면에 상기 제3나선이 결합하는 제4나선이 형성되고, 일 측면에는 장착공이 형성되어 있고, 상기 장착공 하부의 내주면에는 상기 밸브기구의 외주면과의 사이에 상기 장착공을 상기 통기공과 연결하는 가스이동로를 제공하며 상기 가스이동로 바깥쪽 하면이 상기 제1오링의 상면에 밀착되어서 상기 제1오링의 내부와 외부를 차단하는 하우징; 상기 하우징의 하측부 외주면에 회동 가능케 설치되고 외주면에 상기 캡의 상기 제2나선에 결합하는 제5나선을 구비하고, 상기 제5나선을 상기 제2나선에 결합하는 체결력으로 상기 밀봉돌기와 상기 하우징의 하면을 각각 상기 제2패킹과 상기 제1오링을 향해 가압되게 하는 가압결합구; 상기 밸브설치공의 상측부에 결합한 케미컬배출호스 연결구; 및 상기 장착공에 설치된 가스주입호스 연결구를 포함하는 구성을 하고 있다.
상기 제1확장부는 상기 돌출턱, 상기 제1패킹 및 상기 제2패킹의 두께를 합한 것보다 깊게 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 외부몸체에는 상기 밀봉돌기 바깥으로 상기 제2패킹 위쪽의 상기 제1확장부에 삽입되는 삽입부를 남겨두고 단턱이 형성되고, 상기 하우징에는 상기 제4나선 아래쪽 턱부에 상기 외부몸체의 일측 외주면을 둘러싸는 제2오링홈이 형성되고, 상기 제2오링홈에는 상기 하우징에 결합되는 상기외부몸체의 대응 외주면에 밀착되어 상기 가스이동로를 외부와 차단하는 제2오링이 설치되고, 상기 제1확장부의 바닥면에 상기 호스구멍 둘레를 따라 상방으로 돌출되어 상기 제1패킹 저면에 밀착되는 환형돌기가 형성된 것이 바람직하다.
상기 밀봉돌기는 환형의 제1밀봉돌기와 상기 제1밀봉돌기 바깥으로 간격을 두고 배치되어 상기 제 1밀봉돌기를 둘러싸는 제2밀봉돌기를 가지는 것이 더욱 바람직하다.
상기 하우징의 하측 외주면에 링홈이 형성되고, 상기 가압결합구는 상기 링홈에 결합한 링의 지지를 받을 수 있다.
바깥에서 안쪽으로 갈수록 상기 링홈은 하면이 점점 낮아지게 형성되고, 상기 링은 하면은 점점 낮아지고 상면은 점점 높아지게 형성되고, 상기 링의 상면에 접촉되는 상기 가압결합구의 저면은 점점 높아지게 형성되어 상기 가압결합구가 상기 링을 아래쪽으로 가압하면 상기 링이 안쪽으로 수축되는 방향으로 힘을 받게 된 것이 바람직하다.
상기 플랜지부 상면에 상기 드럼에 담기는 케미컬의 종류를 구분하기 위한 키-코드를 형성하는 홈들이 형성되어 있고, 상기 가압결합구 아래쪽의 상기 하우징의 하측 외주면에는 상기 키-코드를 형성하는 홈에 결합하는 돌기들이 형성된 키-코드부재가 설치된 것이 좋다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템은 드럼에 장착되는 디스펜싱 시스템의 부속기구를 드럼에 담긴 케미컬의 종류에 상관없이 쉽게 재활용할 수 있다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템은 딥 호스가 쉽게 분리되면서도 밀봉 성능이 우수하고 패킹과 제1오링 등 밀봉 부품의 교체가 수월하다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템은 딥 호스를 쉽게 분리할 수 있는 분리형이면서도 구조가 복잡하지 않아서 만들기도 쉽다.
도 1은 본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 사시도,
도 2는 도 1 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 분해사시도,
도 3은 본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 단면도,
도 4는 링홈과 링 및 하우징 단면부의 변형 예를 나타낸 확대 단면도,
도 5는 도 4 링의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 사시도, 도 2는 도 1 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템의 단면도이다.
도 1 내지 3을 참고하면, 본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 호스부재(110)를 갖춘다. 이 호스부재(110)는 케미컬이 담긴 드럼 내부로 삽입하기 위한 호스부(112)와 호스부(112) 상단에서 바깥으로 돌출된 돌출턱(114)을 가진다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 캡부재(120)를 구비한다. 이 캡부재(120)의 내부를 따라서는 상하로 호스구멍(121)이 형성되어 있다. 이 호스구멍(121)은 호스부(112)의 통과를 허용하는 부분으로, 돌출턱(114)의 외경보다는 작은 직경으로 형성된다. 호스구멍(121)의 위쪽에는 호스구멍(121)의 상측에서 바깥으로 확장되어 돌출턱(114)이 걸릴 수 있는 제1확장부(122)가 형성되어 있다. 제1확장부(122)의 위쪽으로는 제1확장부(122)의 상측에서 바깥으로 확장된 제2확장부(124), 제2확장부(124) 상단에서 바깥으로 돌출된 플랜지부(126)가 형성되어 있다.
바람직하게, 제1확장부(122)의 바닥에는 호스구멍(121) 둘레를 따라 상방으로 돌출된 환형돌기(122a)가 형성되어 있다. 이 환형돌기(122a)는 뒤에서 설명되는 제1패킹(131)의 저면에 밀착되어 밀봉력을 높이는 역할을 한다. 물론, 이 환형돌기(122a)를 반드시 형성하여야 하는 것은 아니다. 이러한 제1확장부(122)는 바람직하게, 호스부재(110)의 돌출턱(114), 제1패킹(131) 및 제2패킹(132)의 두께를 합한 것보다 깊게 형성되어 있다.
플랜지부(126) 하측의 캡부재(120) 외주면에는 제1나선(127)이 형성되어 있고, 제2확장부(124)의 내주면에는 제2나선(124a)이 형성되어 있다. 그리고 제2확장부(124) 바닥면에 케미컬 배출 시에 드럼 내로 기체주입을 위한 통기공(124b)과 통기공(124b) 바깥으로 배치되는 제1오링홈(124c)을 가진다. 이러한 캡부재(120)는 제1나선(127)을 통해 드럼에 결합한다.
바람직하게, 플랜지부(126)의 상면에는 드럼에 담기는 케미컬의 종류를 구분하기 위한 키-코드를 형성하는 홈(126a)들이 형성되어 있다. 이는 가압결합구(140) 아래쪽의 하우징(150)의 하측 외주면에 설치되어, 키-코드를 형성하는 홈(126a)에 결합하는 돌기(162)들이 형성된 키-코드부재(160)와 결합하는 부분이다. 혹, 다른 종류의 케미컬이 담긴 드럼인 경우, 키-코드부재(160)의 돌기(162)와 홈(126a)의 위치가 서로 맞지 않아서 서로 결합되지 않기 때문에 작업자가 드럼에 수용된 케미컬이 다른 종류인 것을 쉽게 알 수 있게 한다. 이러한 기술은 기존에 잘 알려진 일반적인 기술이므로 여기에서 더 자세히 설명하지는 않는다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 호스부(112) 외주면에 결합되어 돌출턱(114) 저면에 밀착되는 제1패킹(131)을 갖춘다. 이 제1패킹(131)의 저면은 제1확장부(122)의 바닥면에 접촉되며, 환형돌기(122a)가 있는 경우, 환경돌기(122a)에 강하게 밀착되어 케미컬이 옆으로 새지 못하게 밀봉력을 높여준다.
돌출턱(114)의 상면에는 제1확장부(122)에 삽입된 상태로 제2패킹(132)이 장착된다. 그리고 제1오링홈(124c)에는 드럼 내부 케미컬이 외부로 유출되는 것을 방지하는 역할을 하기 위한 제1오링(124d)이 설치된다. 물론, 이 제1오링(124d)은 질소 등 드럼 내부로 주입되는 가스가 외부로 새는 것을 방지하는 역할도 한다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 밸브기구(170)를 갖추고 있다. 밸브기구(170)는 외부몸체(171)를 가진다. 외부몸체(171) 내부를 따라서는 밸브설치공(172)이 형성되어 있다. 밸브설치공(172)은 하부의 좁은 구멍과 상부의 넓은 구멍을 가지게 형성되며, 호스구멍(121)과 연결되어 있다.
밸브설치공(172)에는 밸브설치공(172)의 좁아지는 한 부분을 개폐하기 위한 밸브부품들이 설치되어 있다. 밸브부품으로는 승강되면서 밸브설치공(172)의 단이 형성된 부분의 구멍을 개폐하는 밸브체(173)와, 밸브체(173)를 탄성적으로 하방으로 가압하는 스프링(174)과 밸브설치공(172) 내주면 홈에 결합되어 스프링(174)을 지지하는 스프링 지지링(175)으로 이루어져 있다. 때에 따라 스프링(174) 하면과 밸브체(173) 사이에 스프링의 힘이 균일하게 전달되도록 하기 위한 보조링(176)이 더 설치될 수 있다.
그리고 외부몸체(171)의 하측 단면부에 호스부재(110)의 구멍을 둘러싸면서 제2패킹(132)의 상면에 밀착되어 호스부재(110)의 구멍과 통기공(124b) 사이를 차단하는 밀봉돌기(177)가 형성되어 있다.
밀봉돌기(177)로는 환형의 제1밀봉돌기와 제1밀봉돌기 바깥으로 간격을 두고 배치되어 제 1밀봉돌기를 둘러싸는 제2밀봉돌기를 함께 형성하여 이중으로 밀폐되게 하는 것이 좋다.
밀봉돌기(177) 바깥으로 제2패킹(132) 위쪽의 제1확장부(122)에 삽입되는 삽입부를 남겨두고 단턱(178)이 형성된다. 이는 외부몸체(171)가 더욱 안정되게 지지가 되게 한다.
또한, 외부몸체(171)의 외주면은 하측부의 작은 단면부와 상측부의 큰 단면부로 형성되며, 큰 단면부의 상측부 외주면에 제3나선(179)이 형성되어 있다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 밸브기구(170)가 삽입되어 밀봉돌기(177)가 하측 외부로 노출되는 것을 허용하는 하우징(150)을 갖춘다. 이 하우징(150)의 상측부 내주면에 제3나선(179)이 결합하는 제4나선(151)이 형성되어 있고, 제4나선(151) 아래쪽 턱부의 제2오링홈(156)에 제2오링(OR)이 장착되어 있다. 이 제2오링(OR)은 제품 내부에서 발생하는 압력으로 인해 가스가 가스이동로(153)를 통해 외부로 배출되는 것을 방지하기 위한 것이다.
그리고 하우징(150)의 일 측면에는 내부와 연통된 장착공(152)이 형성되어 있다. 이 장착공(152)은 가스 주입을 위한 호스를 연결하기 위한 가스주입호스 연결구(180)가 장착되는 부분이다.
장착공(152) 하부의 하우징(150) 내주면은 밸브기구(170)를 구성하는 외부몸체(171)의 외주면과의 사이에 장착공(152)을 통기공(124b)과 연결하는 가스이동로(153)를 형성한다. 이 하우징(150)의 가스이동로(153) 바깥쪽 하면이 제1오링(124d)의 상면에 밀착되어서 제1오링(124d)의 내부와 외부를 차단하여 가스가 외부로 새는 것을 방지한다.
본 발명에 따른 액상 케미컬 디스펜싱 시스템(100)은 가압결합구(140)를 갖춘다. 이 가압결합구(140)는 하우징(150)의 하측부 외주면에 회동 가능케 설치되어 있다. 이 가압결합구(140)는 하우징(150)의 하측 외주면에 링홈(154)을 형성하고, 이 링홈(154)에 결합한 링(155)의 지지를 받고 있다. 이 경우 링(155)은 플라스틱으로 만들어진 것이 이용되며 가열한 상태에서 장착한다.
이 가압결합구(140) 외주면에 캡부재(120)의 제2나선(124a)에 결합하는 제5나선(142)이 형성되어 있다. 이 제5나선(142)을 제2나선(124a)에 결합할 때의 체결력은 하우징(150)을 하방으로 가압하여 밀봉돌기(177)와 하우징(150)의 하면이 각각 제2패킹(132)과 제1오링(124d)을 가압하게 한다.
밸브설치공(172)의 상측부에 케미컬배출호스 연결구(190)가 장착되어 있다.
즉, 본 발명에 따른 케미컬 디스펜싱 시스템(100)을 드럼에 설치한 상태에서, 케미컬 배출을 위한 호스와 가스 주입을 위한 호스를 해당 연결구에 각각 연결한 상태에서 펌프를 가동하면 밸브체(173) 위쪽의 압력이 낮아져 밸브체(173)가 후퇴하면서 드럼 내의 케미컬이 호스를 통해 외부로 배출된다.
한편으로는 가스 주입을 위한 호스로는 질소 등의 가스를 주입한다. 가스는 장착공(152), 가스이동로(153), 통기공(124b)을 거쳐 드럼 내로 주입된다.
도 4는 링홈과 링 및 하우징 단면부의 변형 예를 나타낸 확대 단면도, 도 5는 도 4 링의 사시도이다.
때에 따라, 도 4와 5에 나타낸 바와 같이, 링홈(154)은 바깥에서 안쪽으로 갈수록 하면이 점점 낮아지게 형성되고, 링(155)은 하면은 점점 낮아지고 상면은 점점 높아지게 형성되고, 링(155)의 상면에 접촉되는 가압결합구(140)의 저면은 점점 높아지게 형성되어 구성될 수 있다. 이 경우, 링(155)의 마주 보는 양단은 틈을 가지게 하여 가열하지 않고 링홈(154)에 장착할 수 있도록 할 수 있다. 이 경우 링(155)으로는 금속재로 만든 것이 이용될 수 있다.
상기와 같이 구성하면, 가압결합구(140)가 링(155)을 아래쪽으로 가압하면 링(155)이 안쪽으로 수축되는 방향으로 힘을 받게 되어 링(155)이 벌어지거나 파손되는 것을 방지할 수 있다.
나머지는 앞에서 설명한 것과 같다.
본 발명은 드럼에 담긴 웨이퍼 식각액, 세정액이나 현상액 등의 액상 케미컬을 드럼에서 안전하게 뽑아내는데 사용되는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템을 만드는 데 이용될 가능성이 있다.
100: 액상 케미컬 디스펜싱 시스템 110: 호스부재
112 : 호스부 114: 돌출턱
120: 캡부재 122: 제1확장부
122a: 환형돌기 131: 제1패킷
132: 제2패킹 140: 가압결합구
154: 링홈 155: 링
150: 하우징 170: 밸브기구
171: 외부몸체 177: 밀봉돌기

Claims (7)

  1. 드럼 내부로 삽입하기 위한 호스부와 상기 호스부 상단에서 바깥으로 돌출된 돌출턱이 형성되어 있는 호스부재;
    내부에 상기 호스부의 통과를 허용하는 호스구멍, 상기 호스구멍의 상측에서 바깥으로 확장되어 상기 돌출턱이 걸릴 수 있는 제1확장부, 상기 제1확장부의 상측에서 바깥으로 확장된 제2확장부, 상기 제2확장부 상단에서 바깥으로 돌출된 플랜지부를 구비하고, 상기 플랜지부 하측 외주면과 상기 제2확장부의 내주면에 제1, 제2나선이 형성되고, 상기 제2확장부 바닥면에 상기 드럼 내로 기체주입을 위한 통기공과 상기 통기공 바깥으로 배치되는 제1오링홈을 가지며 상기 제1나선을 통해 상기 드럼에 결합하는 캡부재;
    상기 호스부 외주면에 결합되어 상기 돌출턱 저면에 밀착되는 제1패킹;
    상기 돌출턱 상면에 밀착되는 제2패킹;
    상기 제1오링홈에 장착되는 제1오링;
    외부몸체 내부를 따라 형성되고 상기 호스구멍과 통하는 밸브설치공을 개폐하기 위한 밸브부품들이 내부에 설치되어 있고, 상기 외부몸체의 하측 단면부에 상기 호스부재의 구멍을 둘러싸면서 상기 제2패킹의 상면에 밀착되어 상기 호스부재의 구멍과 상기 통기공 사이를 차단하는 밀봉돌기가 형성되고, 하측부보다 큰 단면으로 된 상측부 외주면에 제3나선이 형성된 밸브기구;
    상기 밸브기구가 삽입되어 상기 밀봉돌기가 하측 외부로 노출되는 것을 허용하고, 상측부 내주면에 상기 제3나선이 결합하는 제4나선이 형성되고, 일 측면에는 장착공이 형성되어 있고, 상기 장착공 하부의 내주면에는 상기 밸브기구의 외주면과의 사이에 상기 장착공을 상기 통기공과 연결하는 가스이동로를 제공하며 상기 가스이동로 바깥쪽 하면이 상기 제1오링의 상면에 밀착되어서 상기 제1오링의 내부와 외부를 차단하는 하우징;
    상기 하우징의 하측부 외주면에 회동 가능케 설치되고 외주면에 상기 캡의 상기 제2나선에 결합하는 제5나선을 구비하고, 상기 제5나선을 상기 제2나선에 결합하는 체결력으로 상기 밀봉돌기와 상기 하우징의 하면을 각각 상기 제2패킹과 상기 제1오링을 향해 가압되게 하는 가압결합구;
    상기 밸브설치공의 상측부에 결합한 케미컬배출호스 연결구; 및
    상기 장착공에 설치된 가스주입호스 연결구를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  2. 제1항에서, 상기 제1확장부는 상기 돌출턱, 상기 제1패킹 및 상기 제2패킹의 두께를 합한 것보다 깊게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  3. 제2항에서, 상기 외부몸체에는 상기 밀봉돌기 바깥으로 상기 제2패킹 위쪽의 상기 제1확장부에 삽입되는 삽입부를 남겨두고 단턱이 형성되고,
    상기 하우징에는 상기 제4나선 아래쪽 턱부에 상기 외부몸체의 일측 외주면을 둘러싸는 제2오링홈이 형성되고,
    상기 제2오링홈에는 상기 하우징에 결합되는 상기외부몸체의 대응 외주면에 밀착되어 상기 가스이동로를 외부와 차단하는 제2오링이 설치되고,
    상기 제1확장부의 바닥면에 상기 호스구멍 둘레를 따라 상방으로 돌출되어 상기 제1패킹 저면에 밀착되는 환형돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에서, 상기 밀봉돌기는 환형의 제1밀봉돌기와 상기 제1밀봉돌기 바깥으로 간격을 두고 배치되어 상기 제 1밀봉돌기를 둘러싸는 제2밀봉돌기를 가지는 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에서, 상기 하우징의 하측 외주면에 링홈이 형성되고, 상기 가압결합구는 상기 링홈에 결합한 링의 지지를 받는 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  6. 제5항에서, 바깥에서 안쪽으로 갈수록 상기 링홈은 하면이 점점 낮아지게 형성되고, 상기 링은 하면은 점점 낮아지고 상면은 점점 높아지게 형성되고, 상기 링의 상면에 접촉되는 상기 가압결합구의 저면은 점점 높아지게 형성되어 상기 가압결합구가 상기 링을 아래쪽으로 가압하면 상기 링이 안쪽으로 수축되는 방향으로 힘을 받게 된 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에서, 상기 플랜지부 상면에 상기 드럼에 담기는 케미컬의 종류를 구분하기 위한 키-코드를 형성하는 홈들이 형성되어 있고, 상기 가압결합구 아래쪽의 상기 하우징의 하측 외주면에는 상기 키-코드를 형성하는 홈에 결합하는 돌기들이 형성된 키-코드부재가 설치된 것을 특징으로 하는 액상 케미컬 디스펜싱 시스템.
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JPH05332483A (ja) * 1992-06-04 1993-12-14 Kiyohara Masako 管継手
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