JP2000111269A - 焼成用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多品種の被焼成物に適用すること、および多
段に積み重ねて焼成した際の製品間の性能を均一化する
ことが可能で、かつリサイクル性に優れ、更に長寿命の
焼成用治具を提供する。 【解決手段】 庇部を有する突起部が板材の上面周縁の
３箇所以上に一体的に形成された耐熱衝撃性が良好な耐
火物からなるトレー本体と、この本体に開口されたガス
通過穴とを有するトレー；前記トレーの突起部における
庇部の下に着脱自在に嵌合され、被焼成物と反応し難い
材料で表面がコーティングされた耐熱金属からなるガス
流通性を有するセッター；を具備したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品のような
機能性セラミックスを焼成する際に用いる治具に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】電子部品等の機能性セラミックスの焼成
には、アルミナ質、アルミナ−シリカ質、マグネシア−
アルミナ−シリカ質および炭化ケイ素質から選ばれる少
なくとも１つの耐熱衝撃性が良好な耐火物から作られた
トレーと、このトレーの成分であるアルミナ、シリカ、
炭化ケイ素や不純物および被焼成物との反応防止または
前記被焼成物の成分が前記トレーに拡散するのを防止す
るために被焼成物との反応性の低いジルコニア質もしく
はジルコン酸塩からなるセッターとを組み合わせた治具
が使用されている。

【０００３】近年、焼成前後の被焼成物の積み下ろし工
程等を自動化を進めるためにトレーとセッターを一体化
した治具が要求されている。また、前記トレーとセッタ
ーとの一体化のほかに、次のような性能が治具に要求さ
れている。

【０００４】（ａ）生産性の向上のためにヒートサイク
ルの短縮を可能にする急激なヒートカーブに対応する優
れた耐熱衝撃性を有すること。

【０００５】（ｂ）軽量で、低熱容量であること。

【０００６】（ｃ）リサイクルが可能であること。

【０００７】（ｄ）多品種の被焼成物に使用可能である
こと。

【０００８】ところで、前記トレーとセッターとの一体
化治具としては、従来より次のような構造のものが知ら
れている。

【０００９】（１）ジルコニア質またはジルコン酸塩か
らなるトレーそのもので作られた治具。

【００１０】（２）特許第１７１２１１５号、特許第１
９１３７３２号、特許第１７３５２００号に開示されて
いるようにアルミナ−シリカ質等の耐熱衝撃性の良好な
トレーの表面にジルコニア質層をコーティング等により
形成した治具。

【００１１】（３）アルミナ−シリカ質等の耐熱衝撃性
の良好なトレーにジルコニア質のセッターを接着した治
具。

【００１２】（４）アルミナ−シリカ質等の耐熱衝撃性
の良好なトレーにジルコニア質のセッターを固定した治
具。

【００１３】しかしながら、前記（１）〜（４）の治具
は次のような問題があった。

【００１４】治具（１） この治具は、被焼成物との反応性の点では問題がない
が、耐熱衝撃性が劣るため、急激なヒートカーブで被焼
成物を焼成すると亀裂、破損を生じ易い。また、材両面
から高コストになり、しかも重く熱容量も大きくなる。

【００１５】治具（２） 焼成を繰り返すと、ジルコニア質層が剥離して使用でき
なくなる。また、使用不可能になった時にリサイクルを
考えると、トレーにジルコニア質層が一体化しているた
めトレーとジルコニア質層とを分別回収することが困難
になる。

【００１６】治具（３） 焼成を繰り返すと、トレーとセッターとの熱膨脹差によ
りトレーが割れたり、反りを発生して使用できなくな
る。また、使用不可能になった時にリサイクルを考える
と、トレーとセッターとが一体化しているため、それら
を分別回収することが困難になる。

【００１７】治具（４） リサイクルの点では優れているが、形状面から製造が難
しい。製造上、ジルコニア質のセッターを肉厚にする必
要があるため、冷却時にトレーの内部と外部とで温度差
が生じて大きな熱応力が発生し、トレーが割れ易くな
る。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、多品種の被
焼成物に適用すること、および多段に積み重ねて焼成し
た際の製品間の性能を均一化することが可能で、かつリ
サイクル性に優れ、更に長寿命の焼成用治具を提供しよ
うとするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる焼成用治
具は、庇部を有する突起部が板材の上面周縁の３箇所以
上に一体的に形成された耐熱衝撃性が良好な耐火物から
なるトレー本体と、この本体に開口されたガス通過穴と
を有するトレー；前記トレーの突起部における庇部の下
に着脱自在に嵌合され、被焼成物と反応し難い材料で表
面がコーティングされた耐熱金属からなるガス流通性を
有するセッター；を具備したことを特徴とすものであ
る。

【００２０】本発明に係わる焼成用治具において、前記
セッターは、焼成温度よりも融点の高い耐熱金属からな
る基材の表面に被焼成物と反応し難い材料の保護層を被
覆した０．２〜２．０ｍｍの厚さを有し、かつ前記基材
は網状または多数のガス流通孔を有することが好まし
い。

【００２１】本発明に係わる焼成用治具において、前記
トレーはアルミナ質、アルミナ−シリカ質、マグネシア
−アルミナ−シリカ質および炭化ケイ素質から選ばれる
少なくとも１つの耐熱衝撃性が良好な耐火物から作ら
れ、前記セッターはジルコニア質またはジルコン酸塩で
表面がコーティングされたニッケル、ニッケル合金、モ
リブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステ
ン合金、クロムおよびクロム合金から選ばれる耐熱金属
から作られることが好ましい。

【００２２】

【発明の実施の態様】以下、本発明に係わる焼成用治具
を図１、図２を参照して詳細に説明する。

【００２３】図１は、本発明に係わる焼成用治具を示す
斜視図、図２は図１の治具の分解斜視図である。トレー
１は、例えば矩形状のトレー本体２と、この本体２の対
向する２つの縁部上面のコーナ部および中央にそれぞれ
一体的に形成された３つ以上例えば６つの細長状の突起
部３と、前記本体２に開口された複数、例えば４つのガ
ス通過穴４とから構成されている。前記各突起部３は、
前記本体２の中央部側に向かう例えば断面が三角形状の
庇部５を有し、かつ前記庇部５の上面は多段積みするた
めに平坦になっている。なお、前記庇部５の高さは後述
するセッターの厚さより僅かに高くなっている。

【００２４】セッター６は、ガス流通性を有する。この
セッター６は、外縁に前記トレー１の各突起部３位置に
対応して切欠部７を有し、前記トレー１の各突起部３に
おける庇部５の下に着脱自在に嵌合されて、前記トレー
１の本体２に載置されている。

【００２５】前記セッター６の取り付け操作は、例えば
前記トレー１の左側の縁部に位置する３つの突起部３の
庇部５下にセッター６の左側の縁部に位置する切欠部７
が合致するように挿入した後、前記セッター６を前記切
欠部７の配列方向に沿って湾曲させて前記トレー１の右
側の縁部に位置する３つの突起部３の庇部５下にその右
側の縁部に位置する切欠部７が合致するように挿入する
ことにより前記セッター６を前記トレー１の本体２に装
着する。セッターの取り外し操作は、前記取り付け操作
と逆の手順により行われる。

【００２６】前記トレー１は、例えばアルミナ質、アル
ミナ−シリカ質、マグネシア−アルミナ−シリカ質およ
び炭化ケイ素質から選ばれる少なくとも１つの耐熱衝撃
性が良好な耐火物から作られる。このようなトレー１
は、例えば肉厚の矩形状耐火物を加工して前記庇部を有
する突起部を形成した後、ガス通過穴を穿設したり、鋳
込み成形したりすることによって製造される。

【００２７】前記ガス流通性を有するセッター６は、例
えば網状をなす。このセッター６は、焼成温度（１００
０〜１４００℃）よりも融点の高い耐熱金属からなる網
の表面に被焼成物と反応し難い材料の保護層を被覆した
構造で、０．２〜２．０ｍｍの厚さを有することが好ま
しい。

【００２８】前記網体材料である耐熱金属としては、例
えばニッケル、モリブデン、タングステン、クロムおよ
びこれらの合金またはサーメットを挙げることができ
る。

【００２９】前記被焼成物と反応し難い材料としては、
例えばジルコニア質またはＣａＺｒＯ₃のようなジルコ
ン酸塩を挙げることができる。この保護層は、３０〜５
００μｍ厚さを有することが好ましい。

【００３０】前記保護層を被覆するための方法として
は、溶射法等が考えられ、特に水プラズマ溶射法により
形成した保護層は耐剥離性に優れているために好まし
い。前記網体表面への保護層の被覆は、セッターをトレ
ーにセットする前に行なっても、セッターをトレーにセ
ットした後に行なってもよい。前記保護層の再被覆を行
なう場合には、予め元の保護層を研磨やブラスト等によ
り除去することが好ましい。

【００３１】前記セッターの厚さを規定したのは、その
厚さを０．２ｍｍ未満にすると、強度が低下する恐れが
あり、一方、２．０ｍｍを超えると湾曲し難くなってト
レーへの装着が困難になるばかりか、熱容量およびコス
トが増大する恐れがある。

【００３２】以上説明した本発明に係わる焼成用治具
は、図１および図２に示すようにトレー１の本体２にガ
ス通過穴４が開口されていると共に、セッター６は網状
のようなガス流通性を有する形状をなし、さらに前記ト
レー１と前記セッター６とが前記トレー１の縁部に一体
的に形成した庇部５を有する３つ以上の突起部３により
着脱自在な構造になっているため、次のような作用、効
果を奏する。

【００３３】（１）複数、例えば５つの焼成用治具のセ
ッター６上に複数の被焼成物（図示せず）をそれぞれ載
置し、これら焼成用治具を図３に示すようにトレー１の
突起部３上面に別のトレー１の本体２底面が接するよう
に多段積み重ね、所定の雰囲気ガス中で焼成を行なう
と、前記トレー本体２に水平方向に配列された突起部３
間の空間を通して水平方向に雰囲気ガスおよび熱の流れ
を形成できるのみならず、前記トレー本体２にガス通過
穴４が開口され、かつ前記セッター６が網体からなるた
めに上下方向に雰囲気ガスおよび熱の流れを形成でき
る。その結果、前記各セッター６に載置された複数の被
焼成物に対して十分な雰囲気ガスおよび熱の流れを形成
できるため、より均一な雰囲気、温度での焼成が可能に
なる。

【００３４】また、被焼成物から発生するバインダ成分
の分解ガスのようなガスも上面および周面のような開放
面のみならず、前記セッター６に接している面からもセ
ッター６およびトレー本体２のガス通過穴４を通して外
部に放出することが可能になる。つまり、被焼成物から
のバインダ成分の分解ガスを略開放した状態で全面から
放出することが可能になる。

【００３５】したがって、本発明に係わる焼成用治具に
よれば均一な焼成、均一な脱バインダ化により焼成後の
製品特性を著しく向上することができる。

【００３６】（２）セッター６の材質（特に基材の材
質）を変えることによって、トレー１は多品種の被焼成
物の焼成に使用することが可能になる。

【００３７】（３）焼成の繰り返しによりトレー１およ
びセッター６のいずれかが亀裂や破損等を生じた場合、
その破損等を生じた部材のみを交換することで正常な部
材をそのまま継続使用することができる。

【００３８】（４）使用不可となったトレー１およびセ
ッター６は、互いに分離可能であるため、別々に処理し
て再生することができる。

【００３９】（５）セッター６の基材（網体）として弾
性変形、塑性変形し得る耐熱金属を使用することによっ
て、トレー１に対する着脱を容易に行なうことが可能に
なる。

【００４０】また、耐熱金属からなる基材は、セラミッ
クスに比べて割れ難いため、ヒートサイクルを受ける繰
り返しの使用回数を増大することが可能になる。

【００４１】さらに、セッター６表面の保護層が剥離し
た場合にも再被覆処理により再利用できるため、廃棄物
量を低減することができる。

【００４２】（６）セッター６は、耐熱金属からなる基
材表面に被焼成体と反応し難い材料の保護層を被覆した
構造を有するため、積層セラミックコンデンサのような
被焼成物をその材料と反応を生じることなく良好に焼成
できる。特に、前記保護層をジルコン酸塩で形成すれ
ば、被焼成物との耐反応性をより一層改善することが可
能になる。

【００４３】（７）前記セッター６の厚さを０．２〜
２．０ｍｍにすることによって、その塑性変形性が良好
になるため、前記トレー１への取り付けを操作をより容
易に行なうことができる。

【００４４】また、前記セッター６を前述した厚さにす
ることによって、焼成用治具の軽量化と低熱容量化を図
ることができる。

【００４５】次に、本発明に係わる別の焼成用治具を図
３および図４を参照して説明する。

【００４６】図３は、本発明に係わる別の焼成用治具を
示す斜視図、図４は図３の治具の分解斜視図である。ト
レー１１は、例えば矩形状のトレー本体１２と、この本
体１２の縁部上面のコーナ部およびこの縁部と対向する
縁部の中央にそれぞれ一体的に形成された３つの細長状
の突起部１３と、前記本体の中央部に開口された例えば
１つのガス通過穴１４とから構成されている。前記各突
起部１３は、前記本体１２の中央部側に向かう例えば断
面が三角形状の庇部１５を有し、かつ前記庇部１５の上
面は多段積みするために平坦になっている。なお、前記
庇部１５の高さは後述するセッターの厚さより僅かに高
くなっている。

【００４７】セッター１６は、周縁部に矩形枠状突部１
７を有し、かつ外縁に前記トレー１１の各突起部１３位
置に対応して切欠部１８を有する形状をなし、前記トレ
ー１１の各突起部１４における庇部１５の下に着脱自在
に嵌合されて、前記トレー１１の底板１２に載置されて
いる。セッター１６は、前記矩形枠状突部１７より内側
部分にガス流通性を付与するための多数のガス流通孔１
９が開口されている。

【００４８】前記セッター１６の取り付け操作は、例え
ば前記トレー１１の左側の縁部に位置する２つの突起部
１３の庇部１５下にセッター１６の左側の縁部に位置す
る切欠部１８が合致するように挿入した後、前記セッタ
ー１６を前記切欠部１８の配列方向に沿って湾曲させて
前記トレー１１の右側の縁部に位置する１つの突起部１
３の庇部１５下にその右側の縁部に位置する切欠部１８
が合致するように挿入することにより前記セッター１６
を前記トレー１１の本体１２に装着する。セッターの取
り外し操作は、前記取り付け操作と逆の手順により行わ
れる。

【００４９】前記トレー１１は、例えばアルミナ質、ア
ルミナ−シリカ質、マグネシア−アルミナ−シリカ質お
よび炭化ケイ素質から選ばれる少なくとも１つの耐熱衝
撃性が良好な耐火物から作られる。このようなトレー１
１は、例えば肉厚の矩形状耐火物を加工して前記庇部を
有する突起部を形成した後、ガス通過穴を穿設したり、
鋳込み成形したりすることによって製造される。

【００５０】前記セッター１６は、焼成温度（１０００
〜１４００℃）よりも融点の高い耐熱金属からなる矩形
枠状突部より内側の基材部分表面に被焼成物と反応し難
い材料の保護層を被覆した構造で、０．２〜２．０ｍｍ
の厚さを有することが好ましい。

【００５１】前記基材材料である耐熱金属としては、例
えばニッケル、モリブデン、タングステン、クロムおよ
びこれらの合金またはサーメットを挙げることができ
る。

【００５２】前記被焼成物と反応し難い材料としては、
例えばジルコニア質またはＣａＺｒＯ₃のようなジルコ
ン酸塩を挙げることができる。この保護層は、３０〜５
００μｍ厚さを有することが好ましい。

【００５３】前記保護層を被覆するための方法として
は、前述した図１および図２に示す焼成用治具で説明し
たのと同様な手段が採用される。

【００５４】前記セッターの厚さを規定したのは、前述
した図１および図２に示す焼成用治具で説明したのと同
様な理由によるものである。より好ましい前記セッター
の厚さは、０．２〜０．６ｍｍである。

【００５５】以上説明した本発明に係わる焼成用治具
は、図３および図４に示すようにトレー１１の本体１２
にガス通過穴１４が開口されていると共に、セッター１
６は多数の微細なガス流通孔１９を有する形状をなすた
め、焼成用治具のセッター１６上に複数の被焼成物（図
示せず）をそれぞれ載置し、これら焼成用治具をトレー
１１の突起部１３上面に別のトレー１１の本体１２底面
が接するように多段積み重ね、所定の雰囲気ガス中で焼
成を行なう場合、前述した（１）と同様な作用、効果を
奏する。

【００５６】また、トレー１１とセッター１６とが前記
トレー１１の縁部に一体的に形成した庇部１５を有する
３つ以上の突起部１３により着脱自在な構造になってい
るため、前述した（２）〜（７）と同様な作用、効果を
奏する。

【００５７】特に、図３および図４に示す焼成用治具は
セッター１６が周縁部に補強作用をなす矩形枠状突部１
７を有し、全体を肉薄にした構造になっているため、よ
り一層の軽量化と低熱容量化を図ることができる。

【００５８】なお、本発明に係わる焼成用治具において
熱衝撃を緩和するためにトレー本体にスリットを設けて
もよい。

【００５９】また、本発明に係わる焼成用治具において
トレーを積み重ねて被焼成物を焼成する際、トレー同士
の接触部の摩擦によりその摩耗屑が発生して製品に悪影
響を及ぼす場合には前記トレー同士の接触部にジルコニ
ア等の難反応性成分を被覆することを許容する。

【００６０】

【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を説明する。

【００６１】（実施例１）まず、前述した図２に示すア
ルミナ量が９０ｗｔ％のアルミナ−シリカ質からなり、
長さ１５０ｍｍ，幅１５０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの矩形状
のトレー本体２と、この本体２の対向する２つの縁部上
面のコーナ部および中央にそれぞれ一体的に形成された
６つの細長状の突起部３と、前記本体２に開口された直
径６０ｍｍの４つのガス流通孔４とから構成されたトレ
ー１を用意した。なお、前記各突起部３は幅１６ｍｍ、
高さ６ｍｍで前記本体２の中央部側に向かう例えば断面
が三角形状の庇部５（延出長さ３ｍｍ）を有し、かつ前
記庇部５の上面は多段積みするために平坦になってい
る。

【００６２】また、図２に示すように前記トレー１の各
突起部３位置に対応して幅１６ｍｍ，奥行き５ｍｍの６
つの切欠部７を有する矩形状のニッケル網体（線材太
さ；０．３ｍｍ、目開き；０．７ｍｍ）の表面にＣａＯ
を４ｗｔ％含む部分安定化ジルコニアの保護層を水プラ
ズマ溶射法により被覆した長さ１５０ｍｍ，幅１５０ｍ
ｍ、厚さ１．５ｍｍのセッター６を用意した。

【００６３】次いで、前記トレー１の左側の縁部に位置
する３つの突起部３の庇部５下にセッター６の左側の縁
部に位置する切欠部７が合致するように挿入した後、前
記セッター６を前記切欠部７の配列方向に沿って湾曲さ
せて前記トレー１の右側の縁部に位置する３つの突起部
３の庇部５下にその右側の縁部に位置する切欠部７が合
致するように挿入することにより前記セッター６を前記
トレー１の本体２に装着して図１に示す焼成用治具を組
み立てた。

【００６４】得られた５つの焼成用治具のセッター上に
チタン酸バリウムからなる長さ３ｍｍ，幅３ｍｍ，厚さ
１ｍｍの被焼成物をそれぞれ載置し、これら焼成用治具
を前述した図３に示すように積み重ねた後、電気炉内で
窒素雰囲気中にて約３００℃／ｈｒの昇温速度で１３０
０℃まで加熱し、約３００℃／ｈｒの降温速度で４００
℃まで急冷し、その後室温まで徐冷して前記被焼成物の
焼成を行なった。

【００６５】得られた各チタン酸バリウム焼成物は、焼
成物間での特性にバラツキがなく、均一な特性を有する
ことが確認された。

【００６６】また、前記被焼成物の焼成を繰り返し、１
０サイクル毎に焼成用治具を電気炉から取り出し、割れ
等の損傷の有無を確認した。その結果、４０サイクル目
で前記治具のセッター表面に大きなシミが生じて被焼成
物が付着するようになった。このため、セッターをトレ
ーから脱離し、その表面をブラスト処理により保護層を
除去した後、再度、前記安定化ジルコニアからなる保護
層を被覆し、このセッターをトレーに装着して治具を組
み立てた。

【００６７】セッター交換後の治具を用いて同様な被焼
成物の焼成を繰り返した。その結果、通算で８０サイク
ル目、１２０サイクル目でセッター表面に同様なシミが
生じ、同様にセッターの脱離、保護層の再被覆、トレー
への再装着を行なって被焼成物の焼成を継続した。

【００６８】通算１８０サイクル目でトレーに大きなク
ラックが生じたために、焼成操作を中止した。この時、
トレーから取り出したセッターは別のトレーに装着する
ことにより使用可能であった。

【００６９】（実施例２）まず、前述した図４に示す炭
化ケイ素量が９０ｗｔ％の炭化ケイ素質からなり、長さ
１５０ｍｍ，幅１５０ｍｍ、厚さ２ｍｍの矩形状のトレ
ー本体１２と、この本体１２の縁部上面のコーナ部およ
びこの縁部と対向する縁部の中央にそれぞれ一体的に形
成された３つの細長状の突起部１３と、前記本体１２に
開口された直径１００ｍｍのガス流通孔１４とから構成
されたトレー１１を用意した。なお、前記各突起部１３
は幅１５ｍｍ、高さ５ｍｍで前記底板１２の中央部側に
向かう断面が三角形状の庇部１５（延出長さ３ｍｍ）を
有し、かつ前記庇部１５の上面は多段積みするために平
坦になっている。

【００７０】また、図４に示すように周縁部に高さ１ｍ
ｍ，幅６ｍｍの矩形枠状突部１７と、外縁に前記トレー
１１の各突起部１３位置に対応して形成された幅１７ｍ
ｍ，奥行き３．５ｍｍの３つの切欠部１８と、前記矩形
枠状突部１７の内側に穿設された直径２ｍｍの多数の微
細なガス流通孔１９とを有する矩形状のモリブデン基材
の表面にジルコン酸カルシウムの保護層を水プラズマ溶
射法により被覆した長さ１５０ｍｍ，幅１５０ｍｍ、厚
さ２ｍｍのセッター１６を用意した。

【００７１】次いで、前記トレー１１の左側の縁部に位
置する２つの突起部１４の庇部１５下にセッター１６の
左側の縁部に位置する切欠部１８が合致するように挿入
した後、前記セッター１６を前記切欠部１８の配列方向
に沿って湾曲させて前記トレー１１の右側の縁部に位置
する１つの突起部１４の庇部１５下にその右側の縁部に
位置する切欠部１８が合致するように挿入することによ
り前記セッター１６を前記トレー１１の底部１２に装着
して図３に示す焼成用治具を組み立てた。

【００７２】得られた５つの焼成用治具のセッター上に
チタン酸バリウムからなる長さ３ｍｍ，幅３ｍｍ，厚さ
１ｍｍの被焼成物をそれぞれ載置し、これら焼成用治具
を積み重ねた後、電気炉内で窒素雰囲気中にて約３００
℃／ｈｒの昇温速度で１３００℃まで加熱し、約３００
℃／ｈｒの降温速度で４００℃まで急冷し、その後室温
まで徐冷して前記被焼成物の焼成を行なった。

【００７３】得られた各チタン酸バリウム焼成物は、焼
成物間での特性にバラツキがなく、均一な特性を有する
ことが確認された。

【００７４】また、前記被焼成物の焼成を繰り返し、１
０サイクル毎に焼成用治具を電気炉から取り出し、割れ
等の損傷の有無を確認した。その結果、７０サイクル目
で前記治具のセッター表面の保護層が部分的に剥離した
ため、セッターをトレーから脱離し、その表面をブラス
ト処理により保護層を除去した後、再度、前記安定化ジ
ルコニアからなる保護層を被覆し、このセッターをトレ
ーに装着して治具を組み立てた。

【００７５】セッター交換後の治具を用いて同様な被焼
成物の焼成を繰り返した。その結果、通算で１５０サイ
クル目でセッター表面に保護層が部分的に剥離したた
め、同様にセッターの脱離、保護層の再被覆、トレーへ
の再装着を行なって被焼成物の焼成を継続した。

【００７６】通算２００サイクル目の焼成操作を行なっ
た後においてもトレーにクラック等の損傷が生じること
なく、更に継続使用が可能であった。

【００７７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば多
品種の被焼成物に適用する、および多段に積み重ねて焼
成した際の製品間の性能を均一化することが可能で、か
つリサイクル性に優れ、更に長寿命の焼成用治具を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる焼成用治具を示す斜視図。

【図２】図１の治具の分解斜視図。

【図３】図１の焼成用治具を多段に積み重ねて被焼成物
を焼成した状態を示す断面図。

【図４】本発明に係わる別の焼成用治具を示す斜視図。

【図５】図４の治具の分解斜視図。

【符号の説明】

１，１１…トレー、 ２，１２…トレー本体、 ３，１３…突起部、 ４，１４…ガス通過穴 ５，１５…庇部、 ６，１６…セッター、 ７，１８…切欠部、 １８…ガス流通孔。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 脇田 保 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 Ｆターム(参考） 4K055 AA08 HA02 HA12 HA14 HA15 HA25 HA27

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 庇部を有する突起部が板材の上面周縁の
   ３箇所以上に一体的に形成された耐熱衝撃性が良好な耐
   火物からなるトレー本体と、この本体に開口されたガス
   通過穴とを有するトレー；前記トレーの突起部における
   庇部の下に着脱自在に嵌合され、被焼成物と反応し難い
   材料で表面がコーティングされた耐熱金属からなるガス
   流通性を有するセッター；を具備したことを特徴とする
   焼成用治具。
2. 【請求項２】 前記セッターは、焼成温度よりも融点の
   高い耐熱金属からなる基材の表面に被焼成物と反応し難
   い材料の保護層を被覆した０．２〜２．０ｍｍの厚さを
   有し、かつ前記基材は網状または多数のガス流通孔を有
   することを特徴とする請求項１記載の焼成用治具。
3. 【請求項３】 前記トレーは、アルミナ質、アルミナ−
   シリカ質、マグネシア−アルミナ−シリカ質および炭化
   ケイ素質から選ばれる少なくとも１つの耐熱衝撃性が良
   好な耐火物から作られ、前記セッターはジルコニア質ま
   たはジルコン酸塩で表面がコーティングされたニッケ
   ル、ニッケル合金、モリブデン、モリブデン合金、タン
   グステン、タングステン合金、クロムおよびクロム合金
   から選ばれる耐熱金属から作られることを特徴とする請
   求項１または２記載の焼成用治具。