JP2000105331A - ガルバノミラーユニットの取付位置調節方法及び取付構造 - Google Patents

ガルバノミラーユニットの取付位置調節方法及び取付構造

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JP2000105331A
JP2000105331A JP27703798A JP27703798A JP2000105331A JP 2000105331 A JP2000105331 A JP 2000105331A JP 27703798 A JP27703798 A JP 27703798A JP 27703798 A JP27703798 A JP 27703798A JP 2000105331 A JP2000105331 A JP 2000105331A
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mounting structure
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Takashi Takishima
俊 滝島
Hiroshi Nishikawa
博 西川
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ガルバノミラーの取付位置や取付角度を簡単に
調整できるようにすること。 【解決手段】ガルバノミラーを取り付けた可動部を電磁
駆動により回動させるガルバノミラーユニットを搭載し
た光ディスク装置において、ガルバノミラーユニットの
取付位置を調節するための方法であって、ガルバノミラ
ーユニットの固定部であるハウジングに対してガルバノ
ミラーが所定の方向を向くよう可動部をバネ部材で付勢
し、その状態でハウジングの位置調節を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスク装置
において、ガルバノミラーユニットを光ディスク装置の
回動アーム等に取り付けるための構造及び方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】近年、面記録密度が10Gビット/(イ
ンチ)2を越える光ディスク装置の開発が進んでいる。
このような光ディスク装置では、光ディスクの記録面に
光ビームを収束させる対物光学系は、光ディスクの記録
面に沿って回動する回動アーム等(あるいは直進移動す
るキャリッジ)に搭載されている。
【0003】光ディスクの記録面上に形成される光スポ
ットを比較的粗い精度で目標位置に近づけるいわゆる粗
動トラッキングは、回動アームの回動(あるいはキャリ
ッジの直進移動)によって行われる。一方、光スポット
を正確に目標位置に位置させるいわゆる微動トラッキン
グは、対物光学系と光源の間に配置されたガルバノミラ
ーによって行われる。ガルバノミラーはミラー面に沿っ
た回動軸を中心として所定量回動される。これにより対
物光学系に対するレーザ光束の入射角が変化し、記録面
上の光スポットが移動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高精度のト
ラッキングを行うためには、回動アームを組み立てる際
に、ガルバノミラーの取付位置や取付角度を調節するこ
とが望ましい。しかしながら、従来の光ディスク装置で
は、ガルバノミラーが回動自在であって静止角度が定ま
らないため、このような調節が難しいという問題点があ
った。
【0005】上記のような事情に鑑み、本発明は、ガル
バノミラーの取付位置や取付角度の調節を可能にするこ
とを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明によるガルバノミラーユニットの取付位置調
節方法は、ガルバノミラーユニットの固定部であるハウ
ジングに対してガルバノミラーが所定の方向を向くよう
可動部をバネ部材で付勢し、その状態でハウジングの光
ディスク装置への取付位置を調節すること、を特徴とす
るものである。このようにすれば、ハウジングに対して
ガルバノミラーが静止するため、ハウジングの取付位置
を調節するだけで、ガルバノミラーの取付位置や取付角
度が調節できる。
【0007】尚、ハウジングをガルバノミラーのミラー
面の垂線方向に位置調節することにより、ガルバノミラ
ーにより偏向された(偏向後の)光束を平行移動するこ
とができる。又、ハウジングをガルバノミラーの回動軸
を中心とする回転方向に位置調節することにより、ガル
バノミラーによる偏向角度を変化させることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】まず、実施形態の光ディスク装置
の概要を図1乃至図5を参照して説明する。実施形態の
光ディスク装置1は、ニア・フィールド記録(NFR: ne
ar field recording) 技術と呼ばれる記録再生方式を
用いたものである。
【0009】図1は光ディスク装置の全体概要を示す模
式図である。光ディスク装置1には光ディスク2が図示
しないスピンドルモータの回転軸2aに装着されてい
る。一方、光ディスク2の情報を再生又は記録するた
め、回動(粗動)アーム3が光ディスク2の記録面に対
して平行に取り付けられている。この回動アーム3はボ
イスコイルモーター4によって回転軸5を回転中心とし
て回動可能となっている。この回動アーム3の光ディス
ク2に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上型光
学ヘッド6が搭載されている。又、回動アーム3の回転
軸5近傍には光源ユニット及び受光ユニットを備えた光
源モジュール7が配設され、回動アーム3と一体となっ
て駆動する構成となっている。
【0010】図2及び図3は回動アーム3の先端部を説
明するものであり、特に浮上型光学ヘッド6を詳細に説
明するものである。浮上型光学ユニット6はフレクシャ
ービーム8を介して回動アーム3に取り付けられてお
り、光ディスク2に対向して配置されている。フレクシ
ャービーム8は、その一端に浮上型光学ユニット6が取
り付けられ、他端で回動アーム3に固着されている。フ
レクシャービーム8の弾性力により先端部の浮上光学ユ
ニット6を光ディスク2に接触させる方向に加圧してい
る。
【0011】浮上型光学ユニット6は浮上スライダー
9,対物レンズ10,ソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11,磁気コイル12から構成されており、光源
モジュール7から出射された平行なレーザー光束13を
光ディスク2上に収束させる働きをする。又、回動アー
ム3の先端部には前記レーザー光束13を浮上型光学ユ
ニット6に導くために偏向ミラー31が固着されてい
る。偏向ミラー31により対物レンズ10に入射したレ
ーザー光束13は、対物レンズ10の屈折作用により収
束される。この集光点近傍にはソリッドイマージョンレ
ンズ11が配置されており、前記収束光を更に微細なエ
バネッセント光15として光ディスク2に照射させる。
【0012】又、光ディスク2に面したソリッドイマー
ジョンレンズ11の周囲には、光磁気記録方式で記録す
るための磁気コイル12が形成されており、記録時には
必要な磁界を光ディスク2の記録面上に印加出来るよう
になっている。このエバネッセント光15と磁気コイル
12により、光ディスク2への高密度な記録及び再生が
可能となる。尚、浮上型光学ユニット6は光ディスク2
の回転による空気流により微小量浮上するものであり、
光ディスク2の面振れ等に追従する。このため従来の光
ディスク装置では必要であった対物レンズの焦点制御
(フォーカスサーボ)が不要となっている。
【0013】以下、図4,図5を用いて回動アーム3上
に搭載された光源モジュール7及び浮上型光学ユニット
6へ導かれる光束に関し詳細に説明する。回動アーム3
は先端部に浮上型光学ユニット6を搭載し、他端にはボ
イスコイルモーター4を駆動するための駆動コイル16
が固着されている。駆動コイル16は扁平状のコイルで
あり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置され
ている。回転軸5と回動アーム3はベアリング17,1
7により回動自在に締結されており、駆動コイルに電流
を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸5を回
転中心として回動アーム3を回動させることができる。
【0014】回動アーム3上に搭載された光源モジュー
ル7には半導体レーザー18,レーザー駆動回路19,
コリメートレンズ20,複合プリズムアッセイ21,レ
ーザーパワーモニターセンサー22,反射プリズム2
3,データ検出センサー24,及びトラッキング検出セ
ンサー25が配置されている。
【0015】半導体レーザー18から放出された発散光
束状態のレーザー光束は、コリメートレンズ20によっ
て平行光束に変換される。この平行光束の断面形状は半
導体レーザー18の特性から長円状であり、光ビームを
光ディスク2上に微小に絞り込むには都合が悪いため略
円形断面に変換する必要がある。このためコリメートレ
ンズ20から出射された断面長円状の平行光束を、複合
プリズムアッセイ21に入射させることにより平行光束
の断面形状を整形する。
【0016】複合プリズムアッセイ21の入射面21a
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ21内を進み第1の
ハーフミラー面21bに入射する。第1のハーフミラー
面21bは光ディスク2から得られた情報を、データ検
出センサー24及びトラッキング検出センサー25に導
くために設定されているが、往路においては半導体レー
ザー18から出射されたレーザーの出力パワーを検出す
るためのレーザーパワーモニターセンサー22への光束
を分離する役目を果たす。
【0017】レーザーパワーモニターセンサー22は受
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー18の出力を安定化させ
ることが出来る。複合プリズムアッセイ21から出射さ
れた略円形断面形状をもったレーザー光束13はガルバ
ノミラー26に照射され、レーザー光束13の進行方向
が変えられる。このガルバノミラー26はそのミラー面
上に形成された回転軸(紙面に垂直な軸)を中心として
回動され、レーザー光束13を紙面に平行な方向に微小
角度振ることが出来るようになっている。
【0018】ガルバノミラー26は微動トラッキングの
ためのものである。即ち、ガルバノミラー26を回動す
ると、対物レンズ10に入射するレーザー光束13の入
射角度が変化し、光ディスク2上で集光ビームがトラッ
キング方向に移動することを利用して、正確なトラッキ
ング制御が行われる。尚、光ディスク2の内周/外周に
渡るアクセス動作は回動アーム3を回動させて行い、極
微小なトラッキング制御のみガルバノミラー26を回動
させて行う。
【0019】ガルバノミラー26の背後には、ガルバノ
ミラー26の回転角度を検出するためのフォトセンサ
(図示せず)が配置されている。ガルバノミラー26に
より反射されたレーザー光束13は、第1のリレーレン
ズ29及び第2のリレーレンズ(イメージングレンズ)
30を経て、偏向ミラー31で反射後浮上型光学ユニッ
ト6に至る。この第1のリレーレンズ29及び第2のリ
レーレンズ30は、ガルバノミラー26の反射面と浮上
型光学ユニット6に配置されている対物レンズ10の瞳
面(主平面)との関係を共役関係になるようにするもの
で、リレーレンズ光学系を形成するものである。
【0020】ここで、ガルバノミラーの回動により微動
トラッキングを行うと、ガルバノミラー26と対物レン
ズ10の光学的距離が長い場合は、対物レンズ10へ入
射するレーザー光束13の移動量が大きくなり、対物レ
ンズ10に入射出来なくなる場合がある。この様な現象
を回避するため、第1のリレーレンズ29及び第2のリ
レーレンズ30によって、ガルバノミラー26の反射面
と対物レンズ10の瞳面との関係を共役関係になるよう
に設定し、ガルバノミラー26が回動しても対物レンズ
10に入射するレーザー光束13は移動せず、正確なト
ラッキング制御が可能となるようにしている。
【0021】光ディスク2から反射されて戻ってきた復
路のレーザー光束13は、往路と逆に進みガルバノミラ
ー26に反射されて複合プリズムアッセイ21に入射す
る。その後第1のハーフミラー面21bで反射され、第
2のハーフミラー面21cに向かう。第2のハーフミラ
ー面21cは、トラッキング検出センサー25へ向かう
透過光と、データ検出センサー24へ向かう反射光を生
成し、復路のレーザー光束を分離する。第2のハーフミ
ラー面21cを透過したレーザー光束はトラッキング検
出センサー25へ照射され、トラッキング誤差信号を出
力する。
【0022】一方、第2のハーフミラー面21cで反射
されたレーザー光束はウォラストンプリズム32により
偏光分離され、かつ集光レンズ33によって収束光に変
換後、反射プリズム23で反射されてデータ検出センサ
ー24に照射される。データ検出センサー24は2つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム32によ
り偏光分離された2つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク2に記録されているデータ情報
を読みとりデータ信号を出力する。尚、正確には前記ト
ラッキング誤差信号及びデータ信号は図示せぬヘッドア
ンプ回路によって生成され、制御回路又は情報処理回路
に送られるものである。
【0023】次に、ガルバノミラーユニットについて説
明する。図6は、ガルバノミラーユニットを示す斜視図
である。図7及び図8は、ガルバノミラーユニットの断
面図及び側断面図である。前述のとおり、ガルバノミラ
ー26は、そのミラー面に沿った回動軸(Zとする)を
中心として回動するものである。ガルバノミラーユニッ
トは、ガルバノミラー26を保持するミラーホルダ10
0と、ミラーホルダ100を回動軸Zを中心として回動
自在に支持するハウジング110とを備えている。
【0024】図7及び図8に示すように、ミラーホルダ
100は略直方体形状のブロックであり、その長手方向
両端部にコイル106,107が取り付けられている。
又、ミラーホルダ100の長手方向中央部には、ガルバ
ノミラー26を装着するための装着穴105が形成され
ている。ガルバノミラー26はミラー面を外側に向けた
状態で装着穴105に装着される。
【0025】図8に示すように、ハウジング110に
は、ミラーホルダ100を回動軸Z方向上下に挟み込む
一対のセンターピン(ピボット軸)118,119が設
けられている。ミラーホルダ100の上下面には、これ
ら一対のセンターピン118,119を受ける軸受部1
08,109が設けられている。センターピン118,
119と軸受部108,109を結ぶ軸線が上記の回動
軸Zとなり、ミラーホルダ100はこの軸線回りに回動
自在に支持される。
【0026】ハウジング110には、ミラーホルダ10
0のコイル106,107に対向する一対のマグネット
116,117が設けられている。そして、コイル10
6,107に電流を流すと、コイル106,107とマ
グネット116,117の電磁誘導の作用によりミラー
ホルダ100が回動軸Zを中心として回動する。これに
より、ガルバノミラー26に反射されるレーザー光束の
向きを変えることができる。
【0027】図7に示すように、ミラーホルダ100の
背後(ガルバノミラー26のミラー面と反対の側)に
は、ミラーホルダ100を中立位置に向けて付勢するバ
ネ部材130が設けられている。図9は、バネ部材13
0の構造を示す斜視図である。バネ部材130は八の字
状に屈曲した長尺の板バネであり、その長手方向両端部
である第1及び第2バネ部131,132が夫々ミラー
ホルダ100の背面の両側端部101,102に当接し
ている。
【0028】バネ部材130は、ハウジング110の背
面から後方に延びる水平の取付台150上に設けられて
いる。即ち、水平の取付台150上には、L字型の支持
部材140がネジ止めされており、このL字型の支持部
材140の鉛直部分(回動軸Z方向に延びる部分)にバ
ネ部材130の長手方向中央部が固着されている。尚、
支持部材140の高さは、バネ部材130がミラーホル
ダ100の高さ方向(回動軸Z方向)中央部に当接する
ような寸法に設定されている。
【0029】バネ部材130の第1当接部131はミラ
ーホルダ100を図7中時計回り方向に付勢し、第2当
接部132はミラーホルダ100を図7中反時計回り方
向に付勢する。そして、図7に示すように、第1及び第
2当接部131,132がミラーホルダ100に互いに
均等に当接している状態で、第1及び第2当接部13
1,132はどちらも僅かに変形しており、両者の付勢
力が釣り合っている。この状態がミラーホルダ100の
中立位置となる。
【0030】ミラーホルダ100が中立位置から回動す
ると、第1及び第2当接部131,132の一方の変形
量が増加し、ミラーホルダ100を押し戻す方向に付勢
する。ミラーホルダ100に回転駆動力が作用していな
い状態では、ミラーホルダ100は常に中立位置にあ
る。
【0031】図9に示すように、バネ部材130のL字
型の支持部材140は一本のネジ142で取付台150
に固定されている。そのため、ネジ142を僅かに緩
め、支持部材140をネジ142を中心として(図中矢
印で示す方向に)所定量回転させると、バネ部材130
の第1及び第2当接部131,132のミラーホルダ1
00に当接する位置を変化させることができる。即ち、
ミラーホルダ100の中立位置を変化させることができ
る。
【0032】支持部材140の水平部分の後端部には切
り欠き144が形成されている。図示しない治具を当該
切り欠き144に引っかけ、支持部材140を図中矢印
で示す方向に回転させると、ミラーホルダ100の中立
位置を変化させることができる。
【0033】このミラーホルダ100の中立位置の調整
は、後述のハウジング110の取付位置調整の前に行わ
れる。そして、ミラーホルダ100の中立位置は、ガル
バノミラー26が光源モジュール7からのレーザー光束
を丁度90°偏向する位置に調節される。
【0034】次に、ハウジング110の取付構造につい
て説明する。図6及び図8に示すように、ハウジング1
10の底面には、ガルバノミラー26の回動軸Zと同軸
上(且つ下方に)に突設する円筒状の凸部111が形成
されている。又、回動アーム3のベース3aには、凸部
111が係合する直進案内溝3bが形成されている。直
進案内溝3bの延出方向は、ガルバノミラー26が前述
の基準角度にある時のミラー面における垂線の方向(図
4に矢印Aで示す)である。
【0035】一方、ハウジング110の両側端部には一
対の固定フランジ部112,112が形成されている。
フランジ部112,112には、ガルバノミラー26が
前述の基準角度にある時のミラー面における垂線の方向
に延びる挿通溝113,113が形成されている。前述
の凸部111を直進案内溝3bに係合させた状態で、固
定ネジ114,114が挿通溝113,113を貫通し
て、ベース3aに形成されたネジ孔3c,3cに螺合す
ることにより、ハウジング110はベース3aに固定さ
れる。
【0036】ハウジング110の取付位置の調節は、上
記バネ部材130によりミラーホルダ100を中立位置
に付勢した状態で行われる。このようにすれば、ミラー
ホルダ100がハウジング110に対して静止するた
め、ハウジング110の取付位置を調整するだけで、簡
単にガルバノミラー26の位置・角度を調節することが
できる。
【0037】固定ネジ114,114を緩め、図示しな
い治具を用いてハウジング110を直進案内溝3bに沿
って平行移動させると、ガルバノミラー26は入射光束
に対して45°方向に平行移動する。ハウジング110
を直進案内溝3bに沿って所定量移動させた後、固定ネ
ジ114,114を締め付ける。かくして、ガルバノミ
ラー26が入射光束に対して45°方向に位置調節さ
れ、これによりガルバノミラー26により偏向された偏
向光束13は、図4に矢印Bで示す方向に平行移動す
る。
【0038】又、挿通溝113,113の溝幅は、固定
ネジ114,114のネジ部の外径よりも所定量大きく
形成されている。そのため、固定ネジ114,114を
緩め、ハウジング110を凸部111を中心として回転
させ、再度固定ネジ114,114を締め付けることに
より、ハウジング111の回転方向の位置調節も可能に
なる。前述のとおり、ハウジング110の凸部111は
ガルバノミラー26の回動軸Zと同軸であるため、ガル
バノミラー26が回動軸Zを中心とする回転方向に位置
調節され、これによりガルバノミラー26による偏向角
度が変化する。
【0039】尚、ハウジング110の取付位置の調節が
完了すると、バネ部材130と支持部材140は、取付
台150から取り外される。従って、微動トラッキング
のためにミラーホルダ100を回動させる際には、バネ
部材130がミラーホルダ100の回動の邪魔になるこ
とは無い。
【0040】以上のように、本実施形態によれば、ガル
バノミラー26が所定の位置を向くようミラーホルダ1
00をバネ部材130で付勢した状態でハウジング11
0の取付位置を調節しているため、ハウジング110の
取付位置を調節するだけで、ガルバノミラー26の位置
や角度を容易に調節することができる。特に、ガルバノ
ミラー26のミラー面における垂線の方向にハウジング
100を位置調節することにより、ガルバノミラー26
による偏向光束を平行移動させることが可能になる。
又、ガルバノミラー26の回動軸線Zを中心とする回転
方向にハウジング100を位置調節可能にすることによ
り、ガルバノミラー26による偏向角度を調節すること
が可能になる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるガル
バノミラーユニットの取付位置調節方法によれば、ガル
バノミラーユニットの固定部であるハウジングに対し、
ガルバノミラーが取り付けられた可動部を静止させ、そ
の状態でハウジングの取付位置を調節しているため、ガ
ルバノミラーの位置・角度を容易に調節することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の光磁気ディスク装置の基本構成を示
す模式図である。
【図2】回動アームの先端部を示す図である。
【図3】浮上型光学ユニットを示す断面図である。
【図4】ガルバノミラーと浮上型光学ユニットを示す平
面図である。
【図5】回動アームの側断面図である。
【図6】ガルバノミラーユニットの斜視図である。
【図7】図6のガルバノミラーユニットの断面図であ
る。
【図8】図6のガルバノミラーユニットの側断面図であ
る。
【図9】バネ部材を示す斜視図である。
【符号の説明】
3 回動アーム 3a ベース 3b 直進案内溝 26 ガルバノミラー 100 ミラーホルダ 110 ハウジング 111 凸部 112 固定フランジ部 113 挿通溝 130 バネ部材 131 板バネ 140 支持部材

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガルバノミラーを取り付けた可動部を電磁
    駆動により回動させるガルバノミラーユニットを搭載し
    た光ディスク装置において、前記ガルバノミラーユニッ
    トの取付位置を調節するための方法であって、 前記ガルバノミラーユニットの固定部であるハウジング
    に対して前記ガルバノミラーが所定の方向を向くよう前
    記可動部をバネ部材で付勢し、その状態で前記ハウジン
    グの前記光ディスク装置への取付位置を調節すること、 を特徴とするガルバノミラーユニットの取付位置調節方
    法。
  2. 【請求項2】前記ハウジングを、前記ガルバノミラーの
    回動軸を中心とする回転方向に位置調節すること、を特
    徴とする請求項1に記載のガルバノミラーユニットの取
    付位置調節方法。
  3. 【請求項3】前記ハウジングを、前記ガルバノミラーが
    前記所定の方向を向いている時のミラー面の垂線の方向
    に位置調節すること、を特徴とする請求項1又は2に記
    載のガルバノミラーユニットの取付位置調節方法。
  4. 【請求項4】ガルバノミラーを取り付けた可動部を電磁
    駆動により回動させるガルバノミラーユニットを、光デ
    ィスク装置の所定の取付部位に取り付けるための構造で
    あって、 前記ガルバノミラーユニットの固定部であるハウジング
    に対して前記ガルバノミラーが所定の方向を向くよう、
    前記可動部が付勢手段によって付勢されており、 前記ハウジングが、前記ガルバノミラーが前記所定の方
    向を向いている時のミラー面における垂線の方向に位置
    調節できるよう、前記取付部位に取り付けられているこ
    と、 を特徴とするガルバノミラーユニットの取付構造。
  5. 【請求項5】前記付勢手段は、前記可動部を第1の回転
    方向に付勢する第1バネ部と、前記可動部を第2の方向
    に付勢する第2バネ部を有すること、を特徴とする請求
    項4に記載のガルバノミラーユニットの取付構造。
  6. 【請求項6】前記第1及び第2のバネ部は、一本の板バ
    ネの長手方向両端部として構成されていること、を特徴
    とする請求項5に記載のガルバノミラーユニットの取付
    構造。
  7. 【請求項7】前記付勢手段の取付位置を調節して前記第
    1及び第2バネ部が前記ハウジングに当接する位置を変
    化させ、前記ガルバノミラーの向きを微調整できるよう
    構成されていること、を特徴とする請求項4から6のい
    ずれかに記載のガルバノミラーユニットの取付構造。
  8. 【請求項8】前記ハウジングが、前記ガルバノミラーの
    回動軸線を中心とする回転方向にも位置調節可能である
    こと、を特徴とする請求項4から7のいずれかに記載の
    ガルバノミラーユニットの取付構造。
  9. 【請求項9】前記光ディスク装置において前記ガルバノ
    ミラーユニットを取り付ける取付部位には、前記垂線の
    方向に延びる直進案内溝が形成されており、 前記ハウジングには前記直進案内溝に係合する凸部が突
    設されていること、を特徴とする請求項8に記載のガル
    バノミラーユニットの取付構造。
  10. 【請求項10】前記凸部は円形断面を有し、前記凸部が
    前記直進案内溝に係合した状態で、前記凸部を中心とし
    て前記ハウジングを回動させることができること、を特
    徴とする請求項9に記載のガルバノミラーユニットの取
    付構造。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018159945A (ja) * 2018-06-19 2018-10-11 株式会社nittoh 曲面ミラーの調整装置

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