JP2000077468A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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- H01L2224/27011—Involving a permanent auxiliary member, i.e. a member which is left at least partly in the finished device, e.g. coating, dummy feature
- H01L2224/27013—Involving a permanent auxiliary member, i.e. a member which is left at least partly in the finished device, e.g. coating, dummy feature for holding or confining the layer connector, e.g. solder flow barrier
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- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
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- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1515—Shape
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バンプに与える応力を低減し、高い信頼性を
得ることのできる半導体装置を提供する。 【解決手段】 実装基板1に形成された接続用電極3
に、半導体素子2に形成された電極4がバンプ5を介し
てフリップチップ実装され、半導体素子2の周縁部にお
いて封止樹脂6により封止されている。このとき、実装
基板1に枠状の突起部1aが形成され、突起部1aの頂
部を半導体素子2の周縁部に当接させ、突起部1aによ
り囲まれた箇所で半導体素子2に形成された電極4と実
装基板1に形成された接続用電極3とがバンプ5を介し
てフリップチップ実装されている。
得ることのできる半導体装置を提供する。 【解決手段】 実装基板1に形成された接続用電極3
に、半導体素子2に形成された電極4がバンプ5を介し
てフリップチップ実装され、半導体素子2の周縁部にお
いて封止樹脂6により封止されている。このとき、実装
基板1に枠状の突起部1aが形成され、突起部1aの頂
部を半導体素子2の周縁部に当接させ、突起部1aによ
り囲まれた箇所で半導体素子2に形成された電極4と実
装基板1に形成された接続用電極3とがバンプ5を介し
てフリップチップ実装されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に関す
るものであり、特に、フリップチップ実装された半導体
装置に関する。
るものであり、特に、フリップチップ実装された半導体
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来例に係る半導体装置を示す
概略断面図である。この半導体装置は、実装基板1に形
成された接続用電極3に、半導体素子2に形成された電
極4がバンプ5を介してフリップチップ実装され、実装
基板1と半導体素子2との間にはボイドがなく均一に封
止樹脂6が充填されている。この半導体装置において
は、バンプ5は、半導体素子2の実装面の周辺部または
全体に配置されている。
概略断面図である。この半導体装置は、実装基板1に形
成された接続用電極3に、半導体素子2に形成された電
極4がバンプ5を介してフリップチップ実装され、実装
基板1と半導体素子2との間にはボイドがなく均一に封
止樹脂6が充填されている。この半導体装置において
は、バンプ5は、半導体素子2の実装面の周辺部または
全体に配置されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な構成の半導体装置においては、ヒートサイクル等の信
頼性評価時に、構成材料の熱膨張量の違いにより発生し
た反りのため、特に半導体素子1の周辺部のバンプ5に
過度の応力がかかり、寿命を縮めるという問題があっ
た。
な構成の半導体装置においては、ヒートサイクル等の信
頼性評価時に、構成材料の熱膨張量の違いにより発生し
た反りのため、特に半導体素子1の周辺部のバンプ5に
過度の応力がかかり、寿命を縮めるという問題があっ
た。
【0004】また、同時に封止樹脂6自体の熱膨張量が
剪断応力としてバンプ5に影響を与え、半導体装置の寿
命を縮めるという問題があった。
剪断応力としてバンプ5に影響を与え、半導体装置の寿
命を縮めるという問題があった。
【0005】これを解決する方法として、特開平1-2381
48号公報や特開平5-315397号公報に開示されている。こ
れは、図5に示すように、半導体素子2の周縁部におい
てのみ、封止樹脂6により封止した構成である。
48号公報や特開平5-315397号公報に開示されている。こ
れは、図5に示すように、半導体素子2の周縁部におい
てのみ、封止樹脂6により封止した構成である。
【0006】しかし、封止樹脂6により封止する際に、
封止樹脂6がバンプ5形成箇所に流れ込んでしまい、バ
ンプ5に過度の応力がかかってしまうという問題があっ
た。
封止樹脂6がバンプ5形成箇所に流れ込んでしまい、バ
ンプ5に過度の応力がかかってしまうという問題があっ
た。
【0007】本発明は、上記の点に鑑みて成されたもの
であり、その目的とするところは、バンプに与える応力
を低減し、高い信頼性を得ることのできる半導体装置を
提供することにある。
であり、その目的とするところは、バンプに与える応力
を低減し、高い信頼性を得ることのできる半導体装置を
提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
半導体素子がバンプを介して実装基板にフリップチップ
実装され、前記半導体素子の周縁部のみが封止樹脂によ
り封止された半導体装置において、前記半導体素子また
は前記実装基板の周縁部に枠状の突起部を設け、該突起
部の頂部を前記実装基板または前記半導体素子の周縁部
に当接させ、前記突起部に囲まれた箇所で前記半導体素
子と前記実装基板とをバンプを介してフリップチップ実
装するようにしたことを特徴とするものである。
半導体素子がバンプを介して実装基板にフリップチップ
実装され、前記半導体素子の周縁部のみが封止樹脂によ
り封止された半導体装置において、前記半導体素子また
は前記実装基板の周縁部に枠状の突起部を設け、該突起
部の頂部を前記実装基板または前記半導体素子の周縁部
に当接させ、前記突起部に囲まれた箇所で前記半導体素
子と前記実装基板とをバンプを介してフリップチップ実
装するようにしたことを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面に基づき説明する。図1は、本発明の一実施形態
に係る半導体装置を示す概略断面図であり、図2は、本
実施の形態に係る半導体装置の上面から見た状態を示す
概略平面図である。本実施の形態に係る半導体装置は、
従来例として図5に示す半導体装置において、実装基板
1に枠状の突起部1aを形成し、突起部1aの頂部を半
導体素子2の周縁部に当接させ、突起部1aにより囲ま
れた箇所で、半導体素子2に形成された電極4と実装基
板1に形成された接続用電極3とをバンプ5を介してフ
リップチップ実装し、半導体素子2の周縁部で封止樹脂
6により封止した構成である。ここで、本実施の形態に
おいては、バンプ5を突起部1aにより囲まれた箇所に
位置するように電極4及び接続用電極3が設けられてい
る。
て図面に基づき説明する。図1は、本発明の一実施形態
に係る半導体装置を示す概略断面図であり、図2は、本
実施の形態に係る半導体装置の上面から見た状態を示す
概略平面図である。本実施の形態に係る半導体装置は、
従来例として図5に示す半導体装置において、実装基板
1に枠状の突起部1aを形成し、突起部1aの頂部を半
導体素子2の周縁部に当接させ、突起部1aにより囲ま
れた箇所で、半導体素子2に形成された電極4と実装基
板1に形成された接続用電極3とをバンプ5を介してフ
リップチップ実装し、半導体素子2の周縁部で封止樹脂
6により封止した構成である。ここで、本実施の形態に
おいては、バンプ5を突起部1aにより囲まれた箇所に
位置するように電極4及び接続用電極3が設けられてい
る。
【0010】従って、本実施の形態においては、ヒート
サイクル試験等の信頼性評価において、半導体素子2に
かかるストレスは主に半導体素子2の周縁部の封止樹脂
6にかかり、半導体素子2の中央部に存在するバンプ5
に与える応力を低減することができる。
サイクル試験等の信頼性評価において、半導体素子2に
かかるストレスは主に半導体素子2の周縁部の封止樹脂
6にかかり、半導体素子2の中央部に存在するバンプ5
に与える応力を低減することができる。
【0011】また、バンプ5近傍に封止樹脂6が存在し
ないので、封止樹脂6による剪断応力がバンプ5に影響
を与えることもない。以上により、信頼性の寿命を高め
ることができる。
ないので、封止樹脂6による剪断応力がバンプ5に影響
を与えることもない。以上により、信頼性の寿命を高め
ることができる。
【0012】なお、本実施の形態においては、実装基板
1に突起部1aを形成するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、例えば、図3に示すように半導体素
子2に枠状の突起部2aを形成したり、実装基板1及び
半導体素子2に突起部を形成するようにしても良い。
1に突起部1aを形成するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、例えば、図3に示すように半導体素
子2に枠状の突起部2aを形成したり、実装基板1及び
半導体素子2に突起部を形成するようにしても良い。
【0013】
【発明の効果】請求項1記載の発明は、半導体素子がバ
ンプを介して実装基板にフリップチップ実装され、前記
半導体素子の周縁部のみが封止樹脂により封止された半
導体装置において、前記半導体素子または前記実装基板
の周縁部に枠状の突起部を設け、該突起部の頂部を前記
実装基板または前記半導体素子の周縁部に当接させ、前
記突起部に囲まれた箇所で前記半導体素子と前記実装基
板とをバンプを介してフリップチップ実装するようにし
たので、半導体素子にかかるストレスは主に半導体素子
の周縁部の封止樹脂にかかり、半導体素子の中央部に存
在するバンプに与える応力を低減することができ、ま
た、バンプ近傍に封止樹脂が存在しないので、封止樹脂
による剪断応力がバンプに影響を与えることもなく、バ
ンプに与える応力を低減し、高い信頼性を得ることので
きる半導体装置を提供することができた。
ンプを介して実装基板にフリップチップ実装され、前記
半導体素子の周縁部のみが封止樹脂により封止された半
導体装置において、前記半導体素子または前記実装基板
の周縁部に枠状の突起部を設け、該突起部の頂部を前記
実装基板または前記半導体素子の周縁部に当接させ、前
記突起部に囲まれた箇所で前記半導体素子と前記実装基
板とをバンプを介してフリップチップ実装するようにし
たので、半導体素子にかかるストレスは主に半導体素子
の周縁部の封止樹脂にかかり、半導体素子の中央部に存
在するバンプに与える応力を低減することができ、ま
た、バンプ近傍に封止樹脂が存在しないので、封止樹脂
による剪断応力がバンプに影響を与えることもなく、バ
ンプに与える応力を低減し、高い信頼性を得ることので
きる半導体装置を提供することができた。
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体装置を示す概
略断面図である。
略断面図である。
【図2】本実施の形態に係る半導体装置の上面から見た
状態を示す概略平面図である。
状態を示す概略平面図である。
【図3】本発明の他の実施形態に係る半導体装置を示す
概略断面図である。
概略断面図である。
【図4】従来例に係る半導体装置を示す概略断面図であ
る。
る。
【図5】従来例に係る半導体装置を示す概略断面図であ
る。
る。
1 実装基板 1a 突起部 2 半導体素子 2a 突起部 3 接続用電極 4 電極 5 バンプ 6 封止樹脂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 智広 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 山本 政博 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 4M105 AA01 BB02 GG18 4M109 AA01 BA03 CA04 DA08
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体素子がバンプを介して実装基板に
フリップチップ実装され、前記半導体素子の周縁部のみ
が封止樹脂により封止された半導体装置において、前記
半導体素子または前記実装基板の周縁部に枠状の突起部
を設け、該突起部の頂部を前記実装基板または前記半導
体素子の周縁部に当接させ、前記突起部に囲まれた箇所
で前記半導体素子と前記実装基板とをバンプを介してフ
リップチップ実装するようにしたことを特徴とする半導
体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10244478A JP2000077468A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10244478A JP2000077468A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000077468A true JP2000077468A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17119272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10244478A Pending JP2000077468A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000077468A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030043624A (ko) * | 2001-11-26 | 2003-06-02 | 신도 덴시 고교 가부시키가이샤 | 반도체장치 및 반도체장치의 ic 장착방법 |
JP2007013017A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Sony Corp | 電子デバイス装置およびその製造方法 |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP10244478A patent/JP2000077468A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030043624A (ko) * | 2001-11-26 | 2003-06-02 | 신도 덴시 고교 가부시키가이샤 | 반도체장치 및 반도체장치의 ic 장착방법 |
JP2007013017A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Sony Corp | 電子デバイス装置およびその製造方法 |
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