JP2000077205A - 抵抗器およびその製造方法 - Google Patents

抵抗器およびその製造方法

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JP2000077205A JP10246782A JP24678298A JP2000077205A JP 2000077205 A JP2000077205 A JP 2000077205A JP 10246782 A JP10246782 A JP 10246782A JP 24678298 A JP24678298 A JP 24678298A JP 2000077205 A JP2000077205 A JP 2000077205A
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layer
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resistor
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Hisahiro Takashima
尚弘 高嶋
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 トリミング工程でのプローブの当接位置と完
成抵抗値選別工程でのプローブの当接位置を同一にする
ことができ、これにより、低抵抗値でも製品歩留まりの
安定したものが得られる抵抗器を提供することを目的と
する。 【解決手段】 基板21の側面および第1の上面電極層
23における第2の上面電極層25を有していない上面
に、前記第2の上面電極層25より高さが低い側面電極
層28を設けることにより、トリミング工程のプローブ
当接位置と完成抵抗値選別工程のプローブ当接位置が第
2の上面電極層25になるようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器に利
用される抵抗器およびその製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の抵抗器としては、特開平
4−102302号公報に開示されたものが知られてい
る。
【0003】以下、従来の抵抗器およびその製造方法に
ついて、図面を参照しながら説明する。
【0004】図6は従来の抵抗器の断面図である。図6
において、1は絶縁基板である。2は絶縁基板1の裏面
の左右両端部に設けられた裏面電極層である。3は絶縁
基板1の上面の左右両端部に設けられた第1の上面電極
層である。4は第1の上面電極層3に一部が重なるよう
に設けられた抵抗層である。5は抵抗値を修正するため
に抵抗層上に設けられたトリミング溝である。6は抵抗
層4の上面にのみ設けられた第2の保護層である。7は
第1の上面電極層3の上面に絶縁基板1の幅一杯まで延
びるように設けられた第2の上面電極層である。8は裏
面電極層2と第2の上面電極層7を電気的に接続するた
めに絶縁基板1の側面に設けられた側面電極層である。
9,10は裏面電極層2、第2の上面電極層7および側
面電極層8の表面に設けられたニッケルめっき層および
はんだめっき層である。そして前記側面電極層8の形成
時には第2の上面電極層7の上面部にまで側面電極層8
が回り込むため、第2の上面電極層7上では側面電極層
8の形成されている側端部が一番高くなっているもので
あった。
【0005】以上のように構成された従来の抵抗器につ
いて、以下にその製造方法を図面を参照しながら説明す
る。
【0006】図7(a)〜(c)および図8(a)〜
(c)は従来の抵抗器の製造方法を示す工程図である。
【0007】まず、図7(a)に示すように、絶縁基板
1の裏面の左右両端部に裏面電極層2(図示せず)を塗
着形成し、かつ上面の左右両端部に第1の上面電極層3
を塗着形成する。
【0008】次に、図7(b)に示すように、第1の上
面電極層3に一部が重なるように絶縁基板1の上面に抵
抗層4を塗着形成する。
【0009】次に、図7(c)に示すように、抵抗層4
における全抵抗値が所定の抵抗値の範囲内に入るように
レーザ等により抵抗層4にトリミング溝5を施す。
【0010】次に、図8(a)に示すように、抵抗層4
の上面にのみ保護層6を塗着形成する。
【0011】次に、図8(b)に示すように、第1の上
面電極層3の上面に絶縁基板1の幅一杯まで延びるよう
に第2の上面電極層7を塗着形成する。
【0012】次に、図8(c)に示すように、第1の上
面電極層3および絶縁基板1の左右両端の側面に第1,
第2の上面電極層3,7と電気的に接続するように側面
電極層8を塗着形成する。
【0013】最後に、第2の上面電極層7および側面電
極層8の表面にニッケルめっきを施した後、はんだめっ
きを施すことにより、ニッケルめっき層9、はんだめっ
き層10を形成し、従来の抵抗器を製造していた。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成および製造方法では、側面電極層8の形成時に
第2の上面電極層7上に側面電極層8が回り込んで、第
2の上面電極層7よりも側面電極層8が高く形成されて
突出部11が形成されるため、トリミング工程では、図
9(a)に示すように、第1の上面電極層3の上のA部
にトリミングプローブ12が当接するのに対し、完成抵
抗値選別工程では、図9(b)に示すように、突出部1
1上のはんだめっき層10に完成抵抗値選別器プローブ
13が当接するため、トリミング工程と完成抵抗値選別
工程ではプロープの当接位置がずれるもので、この位置
ずれによって、この位置ずれ分だけ抵抗値がトリミング
時の抵抗値よりも高い方向に変化してしまう。また、側
面電極層8の第2の上面電極層7上への回り込み量が製
品によって変化するため、これに伴って完成抵抗値選別
工程のプローブの当接位置も製品毎に異なり、その結
果、位置ずれにより変化した抵抗値にばらつきが生じる
ため、特に低抵抗値(1Ω以下)の場合は、歩留まりが
悪化するという課題を有していた。
【0015】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、トリミング工程でのプローブの当接位置と完成抵抗
値選別工程でのプローブの当接位置を同一にすることが
でき、これにより、低抵抗値でも製品歩留まりの安定し
たものが得られる抵抗器およびその製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の抵抗器は、基板と、前記基板の下面の側部に
設けられた一対の下面電極層と、前記基板の上面に設け
られ、かつ前記下面電極層と同じ電極材料で構成された
一対の第1の上面電極層と、前記第1の上面電極層と電
気的に接続するように設けられた抵抗層と、前記第1の
上面電極層上に前記抵抗層の一部に重畳すると共に前記
基板の側部から離間して設けられ、かつ前記第1の上面
電極層と異なる電極材料で構成された一対の第2の上面
電極層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設けられ
た保護層と、少なくとも前記基板の側面および第1の上
面電極層における前記第2の上面電極層を有していない
上面に設けられ、かつ前記第2の上面電極層より高さが
低い側面電極層と、前記下面電極層、第2の上面電極層
および側面電極層を覆うように設けられためっき層とを
備えたもので、この構成によれば、トリミング工程での
プローブの当接位置と完成抵抗値選別工程でのプローブ
の当接位置を同一にすることができ、これにより、低抵
抗値でも製品歩留まりの安定したものが得られるもので
ある。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、基板と、前記基板の下面の側部に設けられた一対の
下面電極層と、前記基板の上面に設けられ、かつ前記下
面電極層と同じ電極材料で構成された一対の第1の上面
電極層と、前記第1の上面電極層と電気的に接続される
ように設けられた抵抗層と、前記第1の上面電極層上に
前記抵抗層の一部に重畳すると共に前記基板の側部から
離間して設けられ、かつ前記第1の上面電極層と異なる
電極材料で構成された一対の第2の上面電極層と、少な
くとも前記抵抗層を覆うように設けられた保護層と、少
なくとも前記基板の側面および第1の上面電極層におけ
る前記第2の上面電極層を有していない上面に設けら
れ、かつ前記第2の上面電極層より高さが低い側面電極
層と、前記下面電極層、第2の上面電極層および側面電
極層を覆うように設けられためっき層とを備えたもの
で、この構成によれば、側面電極層よりも第2の上面電
極層の高さが高くなるように構成しているため、トリミ
ング工程と完成抵抗値選別工程でプローブを当接させる
場合、このフローブはいずれも第2の上面電極層に当接
させることができ、その結果、トリミング工程でのプロ
ーブ当接位置と完成抵抗値選別工程でのプローブ当接位
置を同一にすることができるため、従来のように抵抗値
のずれやばらつきが生じるということはなくなり、これ
により、製品歩留まりの安定したものが得られるという
作用を有するものである。
【0018】請求項2に記載の発明は、請求項1記載の
第1の上面電極層を基板の側端部まで設けるようにした
もので、この構成によれば、第1の上面電極層を基板の
側端部まで設けているため、側面電極層の第1の上面電
極層の上面への回り込み量が少ない場合でも、側面電極
層と第1の上面電極層とを確実に接続することができ、
その結果、品質の安定した抵抗器が得られるという作用
を有するものである。
【0019】請求項3に記載の発明は、請求項1記載の
下面電極層および第1の上面電極層を銅の導電粉末にガ
ラスを含有させたもので構成し、かつ第2の上面電極層
は銅の導電粉末で構成し、さらに抵抗層は銅とニッケル
の合金粉末で構成したもので、この構成によれば、下面
電極層および第1の上面電極層の電極材料にガラスを含
有させているため、基板との密着強度を向上させること
ができ、これにより、特性の良好な抵抗器が得られると
いう作用を有するとともに、第1,第2の上面電極層お
よび抵抗層は銅系の電極材料および銅とニッケル系の抵
抗材料で構成しているため、超低抵抗でかつ低TCRの
抵抗器が得られるという作用を有するものである。
【0020】請求項4に記載の発明は、請求項1記載の
下面電極層および第1の上面電極層を銀の導電粉末にガ
ラスを含有させたもので構成し、かつ第2の上面電極層
は銀とパラジウムの導電粉末にガラスを含有させたもの
で構成し、かつ第2の上面電極層は銀とパラジウムの導
電粉末にガラスを含有させたもので構成し、さらに抵抗
層は銀とパラジウムの合金粉末で構成したもので、この
構成によれば、下面電極層および第1の上面電極層の電
極材料にガラスを含有させているため、基板との密着強
度を向上させることができ、これにより、特性の良好な
抵抗器が得られるという作用を有するとともに、第1,
第2の上面電極層および抵抗層は銀系の電極材料および
銀とパラジウム系の抵抗材料で構成しているため、従来
の抵抗器と同じ材料および製造工程を利用することがで
き、これにより、コスト的にも安価に、かつ低TCRの
抵抗器が得られるという作用を有するものである。
【0021】請求項5に記載の発明は、請求項3または
4記載の第2の上面電極層を第1の上面電極層よりも基
板の内側に位置させて設けたもので、この構成によれ
ば、第2の上面電極層を第1の上面電極層よりも基板の
内側に位置させて設けているため、請求項3の構成の場
合は第1の上面電極層におけるガラスの抵抗体への拡散
の影響がなくなることにより電気特性の安定した抵抗器
が得られるという作用を有し、また請求項4の構成の場
合は第1の上面電極層における銀の抵抗体への拡散の影
響がなくなることによりTCRの安定した抵抗器が得ら
れるという作用を有するものである。
【0022】請求項6に記載の発明は、分割溝を有する
シート基板の下面の分割溝を跨ぐように下面電極層を形
成する工程と、前記下面電極層と同じ電極材料により前
記シート基板の上面の分割溝を跨ぐように第1の上面電
極層を形成する工程と、前記第1の上面電極層と電気的
に接続されるように抵抗層を形成する工程と、前記第1
の上面電極層の電極材料と異なる電極材料により前記第
1の上面電極層上に前記抵抗層の一部に重畳すると共に
前記シート基板の分割溝の真上から離間して第2の上面
電極層を形成する工程と、前記第2の上面電極層に少な
くとも2端子のプローブを当接しながら所望の抵抗値と
なるように前記抵抗層をトリミングする工程と、少なく
とも前記抵抗層を覆うように保護層を形成する工程と、
前記保護層を有するシート基板を短冊状に分割する工程
と、少なくとも前記短冊状基板の側面および第1の上面
電極層における第2の上面電極層を有していない上面に
前記第2の上面電極層より高さが低い側面電極層を形成
する工程と、前記側面電極層を形成してなる前記短冊状
基板を分割して個片状基板を形成する工程と、前記下面
電極層、第2の上面電極層および側面電極層を覆うよう
にめっき層を形成する工程と、前記第2の上面電極層の
上面に位置する前記めっき層の上面における前記トリミ
ング工程と同位置に少なくとも2端子のプローブを当接
して抵抗値を測定し所望の抵抗値範囲に選別する工程を
備えたもので、この製造方法によれば、トリミング工程
でのプローブ当接位置と完成抵抗値選別工程でのプロー
ブ当接位置を同一にすることができるため、従来のよう
に抵抗値のずれやばらつきが生じるということはなくな
り、これにより、製品歩留まりの安定したものが得られ
るという作用を有するものである。
【0023】(実施の形態1)以下、本発明の実施の形
態1における抵抗器およびその製造方法について、図面
を参照しながら説明する。
【0024】図1は本発明の実施の形態1における抵抗
器の断面図である。図1において、21はアルミナ等か
らなる基板である。22は基板21の下面の側部に設け
られた銅とガラスとの混合材料からなる一対の下面電極
層である。23は基板21の上面の側部に設けられた銅
とガラスとの混合材料からなる一対の第1の上面電極層
である。24は第1の上面電極層23と電気的に接続さ
れるように設けられた銅とニッケルとの混合材料からな
る抵抗層である。25は抵抗層24の一部に重畳し、か
つ第1の上面電極層23の上面に基板21の側部から離
間して設けられた銅からなる第2の上面電極層で、この
第2の上面電極層25は第1の上面電極層23よりも基
板21の内側に位置させて設けられている。26は抵抗
層23に設けられたトリミング溝である。27は少なく
とも前記抵抗層24の上面を覆うように設けられたエポ
キシ系の樹脂等からなる保護層である。28は第1の上
面電極層23と下面電極層22に電気的に接続されると
共に少なくとも基板21の側面および第1の上面電極層
23における第2の上面電極層25を有していない上面
に設けられた銀とフェノール系の樹脂との混合材料等か
らなる側面電極層で、この側面電極層28は第2の上面
電極層25より高さが低く設けられているものである。
29は必要により下面電極層22、第1,第2の上面電
極層23,25および側面電極層28を覆うように設け
られたニッケルめっき等からなる第1のめっき層であ
る。30は必要により第1のめっき層29を覆うように
設けられたはんだめっき等からなる第2のめっき層であ
る。
【0025】以上のように構成された抵抗器について、
以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【0026】図2(a〜d)および図3(a)〜(d)
は本発明の実施の形態1における抵抗器の製造方法を示
す工程図である。
【0027】まず、図2(a)に示すように、縦横の分
割溝31を有するアルミナ等からなるシート基板32の
一方の主面上に分割溝31を跨ぐように銅とガラスとの
混合ペースト材料をスクリーン印刷・乾燥し(図示せ
ず)、さらにシート基板32の他方の主面上に分割溝3
1を跨ぐように銅とガラスの混合ペースト材料をスクリ
ーン印刷・乾燥して、窒素雰囲気のベルト式連続焼成炉
によって約950℃の温度で、約50分のプロファイル
によって焼成し、下面電極層(図示せず)と第1の上面
電極層34を形成する。
【0028】次に、図2(b)に示すように、第1の上
面電極層34の一部に重畳するように、銅とニッケルの
混合ペースト材料をスクリーン印刷・乾燥し、さらにそ
の側部に分割溝31から離間して銅のペースト材料をス
クリーン印刷・乾燥して、窒素雰囲気のベルト式連続焼
成炉によって約950℃の温度で、約50分のプロファ
イルによって焼成し、抵抗層35と第2の上面電極層3
6を形成する。
【0029】次に、図2(c)に示すように、抵抗層3
5の抵抗値を修正するために、少なくとも2端子のプロ
ーブを第2の上面電極層36上のB部に当接させながら
レーザ等によりトリミングし、トリミング溝38を形成
する。
【0030】次に、図2(d)に示すように、少なくと
も第1,第2の上面電極層34,36の重畳されていな
い抵抗層35の上面を覆うようにエポキシ系樹脂ペース
トをスクリーン印刷・乾燥し、箱形乾燥炉によって約2
00℃の温度で、約30分硬化し、保護層39を形成す
る。
【0031】次に、図3(a)に示すように、シート基
板32の分割溝31に沿って分割して、短冊状基板40
を形成する。
【0032】次に、図3(b)に示すように、下面電極
層33と第1の上面電極層34とを電気的に接続するよ
うに、銀とフェノール系樹脂との混合ペースト材料をロ
ーラ転写印刷・乾燥し、箱形乾燥炉によって約200℃
の温度で、約30分硬化し、側面電極層41を形成す
る。
【0033】次に、図3(c)に示すように、短冊状基
板40を個片に分割して、個片状基板42を形成する。
【0034】最後に、図3(d)に示すように、下面電
極層33、第1,第2の上面電極層34,36および側
面電極層41を覆うようにニッケルめっき等からなる第
1のめっき層(図示せず)を形成するとともに、この第
1のめっき層を覆うようにスズと鉛との合金めっき等か
らなる第2のめっき層43を形成し、そして第2の上面
電極層36の上面に位置する第2のめっき層43の上面
におけるトリミング時と同位置のB部に少なくとも2端
子のプローブを当接させて抵抗値を測定し、所望の抵抗
値範囲に選別して抵抗器を製造するものである。
【0035】以上のようにして構成・製造された本発明
の実施の形態1における抵抗器を3.2×2.5mmサイ
ズの50mΩで作製し、その抵抗値分布並びに歩留まり
を比較した。図4は従来の抵抗器と本発明の実施の形態
1における抵抗器とのトリミング工程における抵抗値分
布特性を示す特性図であり、図5は同完成抵抗値選別工
程における抵抗値分布特性を示す特性図である。また、
(表1)に、同完成抵抗値の歩留まりを示す。この時、
抵抗値分布はn=100個をハンド測定したときの結果
で、歩留まりはn=10,000個を完成抵抗値選別機
で選別した結果である。
【0036】
【表1】
【0037】図4(a),図5(a)および(表1)か
ら明らかなように、従来の抵抗器ではトリミング工程か
ら完成抵抗値選別工程で抵抗値が変化すると共に抵抗値
分布が悪化しており、完成抵抗値選別機での歩留まりも
悪い。それに対し、図4(b),図5(b)および(表
1)から明らかなように、本発明の実施の形態1の抵抗
器では、トリミング工程と完成抵抗値選別工程でのプロ
ーブ当接位置を同一にすることができるため、トリミン
グ工程から完成抵抗値選別工程で抵抗値ならびに抵抗値
分布もほとんど変化せず、完成抵抗値選別機での歩留ま
りも良好であることが分かる。
【0038】なお、本発明の実施の形態1においては、
下面電極層22と抵抗層24を同時に形成するととも
に、第1の上面電極層23と第2の上面電極層25を同
時に形成した場合について説明したが、それぞれ個別
に、または全て同時に形成しても良いものである。
【0039】また、本発明の実施の形態1において下面
電極層22、抵抗層24、第1,第2の上面電極層2
3,25、保護層27および側面電極層28を(表2)
に示す組み合わせとした場合には、(表2)に示す他の
効果が得られるものである。
【0040】
【表2】
【0041】
【発明の効果】以上のように本発明の抵抗器は、基板
と、前記基板の下面の側部に設けられた一対の下面電極
層と、前記基板の上面に設けられ、かつ前記下面電極層
と同じ電極材料で構成された一対の第1の上面電極層
と、前記第1の上面電極層と電気的に接続されるように
設けられた抵抗層と、前記第1の上面電極層上に前記抵
抗層の一部に重畳すると共に前記基板の側部から離間し
て設けられ、かつ前記第1の上面電極層と異なる電極材
料で構成された一対の第2の上面電極層と、少なくとも
前記抵抗層を覆うように設けられた保護層と、少なくと
も前記基板の側部および第1の上面電極層における前記
第2の上面電極層を有していない上面に設けられ、かつ
前記第2の上面電極層より高さが低い側面電極層と、前
記下面電極層、第2の上面電極層および側面電極層を覆
うように設けられためっき層とを備えたもので、この構
成によれば、側面電極層よりも第2の上面電極層の高さ
が高くなるように構成しているため、トリミング工程と
完成抵抗値選別工程でプローブを当接させる場合、この
プローブはいずれも第2の上面電極層に当接させること
ができ、その結果、トリミング工程でのプローブ当接位
置と完成抵抗値選別工程でのプローブ当接位置を同一に
することができるため、従来のように抵抗値のずれやば
らつきが生じるということはなくなり、これにより、製
品歩留まりの安定したものが得られるというすぐれた効
果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における抵抗器の断面図
【図2】(a)〜(d)同抵抗器の製造方法を示す工程
【図3】(a)〜(d)同抵抗器の製造方法を示す工程
【図4】(a)従来の抵抗器のトリミング工程での抵抗
値分布を示す図 (b)本発明の実施の形態1における抵抗器のトリミン
グ工程での抵抗値分布を示す図
【図5】(a)従来の抵抗器の完成抵抗値選別工程での
抵抗値分布を示す図 (b)本発明の実施の形態1における抵抗器の完成抵抗
値選別工程での抵抗値分布を示す図
【図6】従来の抵抗器の断面図
【図7】(a)〜(c)同抵抗器の製造方法を示す工程
【図8】(a)〜(c)同抵抗器の製造方法を示す工程
【図9】(a)従来の抵抗器のトリミング工程でのプロ
ーブ当接位置を示す図 (b)従来の抵抗器の完成抵抗値選別工程でのプローブ
当接位置を示す図
【符号の説明】
21 基板 22,33 下面電極層 23,34 第1の上面電極層 24,35 抵抗層 25,36 第2の上面電極層 26,38 トリミング溝 27,39 保護層 28,41 側面電極層 29 第1のめっき層 30,43 第2のめっき層 31 分割溝 32 シート基板 40 短冊状基板 42 個片状基板

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、前記基板の下面の側部に設けら
    れた一対の下面電極層と、前記基板の上面に設けられ、
    かつ前記下面電極層と同じ電極材料で構成された一対の
    第1の上面電極層と、前記第1の上面電極層と電気的に
    接続されるように設けられた抵抗層と、前記第1の上面
    電極層上に前記抵抗層の一部に重畳すると共に前記基板
    の側部から離間して設けられ、かつ前記第1の上面電極
    層と異なる電極材料で構成された一対の第2の上面電極
    層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設けられた保
    護層と、少なくとも前記基板の側面および第1の上面電
    極層における前記第2の上面電極層を有していない上面
    に設けられ、かつ前記第2の上面電極層より高さが低い
    側面電極層と、前記下面電極層、第2の上面電極層およ
    び側面電極層を覆うように設けられためっき層とを備え
    た抵抗器。
  2. 【請求項2】 第1の上面電極層を基板の側端部まで設
    けるようにした請求項1記載の抵抗器。
  3. 【請求項3】 下面電極層および第1の上面電極層を銅
    の導電粉末にガラスを含有させたもので構成し、かつ第
    2の上面電極層は銅の導電粉末で構成し、さらに抵抗層
    は銅とニッケルの合金粉末で構成した請求項1記載の抵
    抗器。
  4. 【請求項4】 下面電極層および第1の上面電極層を銀
    の導電粉末にガラスを含有させたもので構成し、かつ第
    2の上面電極層は銀とパラジウムの導電粉末にガラスを
    含有させたもので構成し、さらに抵抗層は銀とパラジウ
    ムの合金粉末で構成した請求項1記載の抵抗器。
  5. 【請求項5】 第2の上面電極層を第1の上面電極層よ
    りも基板の内側に位置させて設けた請求項3または4記
    載の抵抗器。
  6. 【請求項6】 分割溝を有するシート基板の下面の分割
    溝を跨ぐように下面電極層を形成する工程と、前記下面
    電極層と同じ電極材料により前記シート基板の上面の分
    割溝を跨ぐように第1の上面電極層を形成する工程と、
    前記第1の上面電極層と電気的に接続されるように抵抗
    層を形成する工程と、前記第1の上面電極層の電極材料
    と異なる電極材料により前記第1の上面電極層上に前記
    抵抗層の一部に重畳すると共に前記シート基板の分割溝
    の真上から離間して第2の上面電極層を形成する工程
    と、前記第2の上面電極層に少なくとも2端子のプロー
    ブを当接しながら所望の抵抗値となるように前記抵抗層
    をトリミングする工程と、少なくとも前記抵抗層を覆う
    ように保護層を形成する工程と、前記保護層を有するシ
    ート基板を短冊状に分割する工程と、少なくとも前記短
    冊状基板の側面および第1の上面電極層における第2の
    上面電極層を有していない上面に前記第2の上面電極層
    より高さが低い側面電極層を形成する工程と、前記側面
    電極層を形成してなる前記短冊状基板を分割して個片状
    基板を形成する工程と、前記下面電極層、第2の上面電
    極層および側面電極層を覆うようにめっき層を形成する
    工程と、前記第2の上面電極層の上面に位置する前記め
    っき層の上面における前記トリミング工程と同位置に少
    なくとも2端子のプロープを当接して抵抗値を測定し所
    望の抵抗値範囲に選別する工程を備えた抵抗器の製造方
    法。
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