JP2000064305A - 鉄塔基礎構造とその製法 - Google Patents
鉄塔基礎構造とその製法Info
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- JP2000064305A JP2000064305A JP10239629A JP23962998A JP2000064305A JP 2000064305 A JP2000064305 A JP 2000064305A JP 10239629 A JP10239629 A JP 10239629A JP 23962998 A JP23962998 A JP 23962998A JP 2000064305 A JP2000064305 A JP 2000064305A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の鉄塔基礎構造の
鉄筋コンクリート製スラブは、基礎杭、スラブ鉄筋、碇
材の配置、強度等の設計や施工面の制約から、厚く大き
な構造が必要となり、また、コンクリート打設後に一週
間以上の養生期間が必要であり、工事工程が長期化する
課題があった。 【解決手段】 鉄塔脚部材、又は鉄塔
脚部材に接合した碇材を、基礎杭に直接に接合した鉄塔
基礎構造と、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇
材を、基礎杭に直接に接合することを特徴とした鉄塔基
礎構造の製法。
鉄筋コンクリート製スラブは、基礎杭、スラブ鉄筋、碇
材の配置、強度等の設計や施工面の制約から、厚く大き
な構造が必要となり、また、コンクリート打設後に一週
間以上の養生期間が必要であり、工事工程が長期化する
課題があった。 【解決手段】 鉄塔脚部材、又は鉄塔
脚部材に接合した碇材を、基礎杭に直接に接合した鉄塔
基礎構造と、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇
材を、基礎杭に直接に接合することを特徴とした鉄塔基
礎構造の製法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、鉄塔の基礎構造とその
製法に関する。
製法に関する。
【０００２】
【従来の技術】支持層深度の深い場所に立地する鉄塔基
礎としては、従来から杭基礎を採用しており、鉄塔脚部
材と杭とは直接連結することなく、鉄塔脚部材の下端部
に碇材を固定し、鉄塔脚部材及び碇材と杭との間に鉄筋
コンクリート製スラブを構築する方法を採用していた。
礎としては、従来から杭基礎を採用しており、鉄塔脚部
材と杭とは直接連結することなく、鉄塔脚部材の下端部
に碇材を固定し、鉄塔脚部材及び碇材と杭との間に鉄筋
コンクリート製スラブを構築する方法を採用していた。
【０００３】即ち、図１１及び１２において、鉄塔脚部
材１の下端部に碇材２を一体に固定し、鉄塔脚部材１及
び碇材２と杭３との間に鉄筋コンクリート製スラブ４を
構築する方法である。この場合、図１２に記載のよう
に、杭３の数は４本であり、４本の杭３上に設けたスラ
ブ４の中央の脚材定着部５内に鉄塔脚部材１及び碇材２
が定着されている。
材１の下端部に碇材２を一体に固定し、鉄塔脚部材１及
び碇材２と杭３との間に鉄筋コンクリート製スラブ４を
構築する方法である。この場合、図１２に記載のよう
に、杭３の数は４本であり、４本の杭３上に設けたスラ
ブ４の中央の脚材定着部５内に鉄塔脚部材１及び碇材２
が定着されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、鉄筋コ
ンクリート製スラブは、基礎杭、スラブ鉄筋、碇材の配
置、強度等の設計や施工面の制約から、厚く大きな構造
が必要となり、構造上過大な設計を採用せざるを得ない
場合が多々ある。また、コンクリートは打設直後に所要
の強度が発現しないことから、コンクリート打設後に一
週間以上の養生期間が必要であり、工事工程が長期化す
る課題があった。
ンクリート製スラブは、基礎杭、スラブ鉄筋、碇材の配
置、強度等の設計や施工面の制約から、厚く大きな構造
が必要となり、構造上過大な設計を採用せざるを得ない
場合が多々ある。また、コンクリートは打設直後に所要
の強度が発現しないことから、コンクリート打設後に一
週間以上の養生期間が必要であり、工事工程が長期化す
る課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、鉄塔
脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇材を、基礎杭に直
接に接合した鉄塔基礎構造を提供しようとするものであ
る。また、本発明は、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接
合した碇材を、基礎杭に直接に接合することを特徴とし
た鉄塔基礎構造の製法を提供しようとするものである。
脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇材を、基礎杭に直
接に接合した鉄塔基礎構造を提供しようとするものであ
る。また、本発明は、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接
合した碇材を、基礎杭に直接に接合することを特徴とし
た鉄塔基礎構造の製法を提供しようとするものである。
【０００６】鉄塔の構造によって鉄塔脚部材の数や、各
鉄塔脚部材ごとの基礎杭の数、間隔等が異なってくる
が、鉄塔脚部材を基礎杭に直接に接合する構成、又は、
鉄塔脚部材に接合した碇材を基礎杭に直接に接合する構
成にすることにより、従来の鉄筋コンクリート製スラブ
の構造を不要とすることができる。
鉄塔脚部材ごとの基礎杭の数、間隔等が異なってくる
が、鉄塔脚部材を基礎杭に直接に接合する構成、又は、
鉄塔脚部材に接合した碇材を基礎杭に直接に接合する構
成にすることにより、従来の鉄筋コンクリート製スラブ
の構造を不要とすることができる。
【０００７】従って、従来の鉄筋コンクリート製スラブ
の構造に必要な、鉄筋の組立工事、型枠の組立工事、コ
ンクリートの打設工事、コンクリートの養生が不要とな
り、工期の短縮、用地面積の縮小が可能となる。また、
鉄塔脚部材を基礎杭に直接に接合する構成、又は、鉄塔
脚部材に接合した碇材を基礎杭に直接に接合する構成に
することにより、従来の鉄筋コンクリート製スラブの構
造に対して、杭頭モーメントの低減を計ることができ
る。
の構造に必要な、鉄筋の組立工事、型枠の組立工事、コ
ンクリートの打設工事、コンクリートの養生が不要とな
り、工期の短縮、用地面積の縮小が可能となる。また、
鉄塔脚部材を基礎杭に直接に接合する構成、又は、鉄塔
脚部材に接合した碇材を基礎杭に直接に接合する構成に
することにより、従来の鉄筋コンクリート製スラブの構
造に対して、杭頭モーメントの低減を計ることができ
る。
【０００８】
【発明の実施の態様】実施態様１． 請求項１又は２に
記載の基礎杭が鋼製杭からなる鉄塔基礎構造とその製
法。 実施態様２． 請求項１、２又は実施態様１に記載の基
礎杭が中空管状体からなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様３． 請求項１、２、実施態様１又は２に記載
の基礎杭の数が１本からなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様４． 実施態様３に記載のものにおいて、基礎
杭に鉄塔脚部材を直接に接合する構成からなる鉄塔基礎
構造とその製法。 実施態様５． 請求項１、２、実施態様１又は２に記載
の基礎杭の数が２本以上の複数本からなる鉄塔基礎構造
とその製法。 実施態様６． 実施態様５に記載のものにおいて、基礎
杭に鉄塔脚部材に接合した碇材を直接に接合する構成か
らなる鉄塔基礎構造とその製法。
記載の基礎杭が鋼製杭からなる鉄塔基礎構造とその製
法。 実施態様２． 請求項１、２又は実施態様１に記載の基
礎杭が中空管状体からなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様３． 請求項１、２、実施態様１又は２に記載
の基礎杭の数が１本からなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様４． 実施態様３に記載のものにおいて、基礎
杭に鉄塔脚部材を直接に接合する構成からなる鉄塔基礎
構造とその製法。 実施態様５． 請求項１、２、実施態様１又は２に記載
の基礎杭の数が２本以上の複数本からなる鉄塔基礎構造
とその製法。 実施態様６． 実施態様５に記載のものにおいて、基礎
杭に鉄塔脚部材に接合した碇材を直接に接合する構成か
らなる鉄塔基礎構造とその製法。
【０００９】実施態様７． 実施態様６に記載のものに
おいて、鉄塔脚部材に接合した碇材を梁部材として基礎
杭の間に構築した構成からなる鉄塔基礎構造とその製
法。 実施態様８． 実施態様５、６又は７に記載のものにお
いて、鉄塔脚部材に接合した碇材がＨ型鋼からなること
を特徴とする鉄塔基礎構造とその製法。 鉄塔脚部材の 実施態様９． 請求項１、２又は実施態様１、２、３、
４、５、６、７又は８に記載の基礎杭が鋼管杭からなる
鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１０． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に鉄塔脚部材を直接埋め込む構成、又は、基礎杭
に埋め込み部材を埋め込み、埋め込み部材に碇材又は鉄
塔脚部材を直接接合してなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１１． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に、鉄塔脚部材又は碇材を、ボルト接合により直
接接合してなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１２． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に、鉄塔脚部材又は碇材を、溶接により直接接合
してなる鉄塔基礎構造とその製法。
おいて、鉄塔脚部材に接合した碇材を梁部材として基礎
杭の間に構築した構成からなる鉄塔基礎構造とその製
法。 実施態様８． 実施態様５、６又は７に記載のものにお
いて、鉄塔脚部材に接合した碇材がＨ型鋼からなること
を特徴とする鉄塔基礎構造とその製法。 鉄塔脚部材の 実施態様９． 請求項１、２又は実施態様１、２、３、
４、５、６、７又は８に記載の基礎杭が鋼管杭からなる
鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１０． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に鉄塔脚部材を直接埋め込む構成、又は、基礎杭
に埋め込み部材を埋め込み、埋め込み部材に碇材又は鉄
塔脚部材を直接接合してなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１１． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に、鉄塔脚部材又は碇材を、ボルト接合により直
接接合してなる鉄塔基礎構造とその製法。 実施態様１２． 請求項１、２又は実施態様１、２、
３、４、５、６、７、８又は９に記載のものにおいて、
基礎杭に、鉄塔脚部材又は碇材を、溶接により直接接合
してなる鉄塔基礎構造とその製法。
【００１０】
【実施例】図示する実施例により、本発明を詳細に説明
する。図において、１０は円型、Ｈ型、口型等の鋼製型
鋼等からなる基礎杭で、その頭部を除く大部分は必要な
深さまで予め地中に埋設される。１１は円型鋼又はＬ型
鋼等からなる鉄塔脚部材で、図１、図２の実施例の場
合、４本の基礎杭１０に一体に設けたＸ字状の碇材１２
の中心に位置するように、該碇材１２の中心に一体に設
けてあり、図３の実施例では、３本の基礎杭１０に一体
に設けたＹ字状の碇材１２の中心に位置するように、該
碇材１２の中心に一体に設けてあり、図４の実施例で
は、２本の基礎杭１０に一体に設けた一字状の碇材１２
の中心に位置するように、該碇材１２の中心に一体に設
けてあり、図５の実施例では、１本の基礎杭１０の中心
に位置するように一体に設けてある。
する。図において、１０は円型、Ｈ型、口型等の鋼製型
鋼等からなる基礎杭で、その頭部を除く大部分は必要な
深さまで予め地中に埋設される。１１は円型鋼又はＬ型
鋼等からなる鉄塔脚部材で、図１、図２の実施例の場
合、４本の基礎杭１０に一体に設けたＸ字状の碇材１２
の中心に位置するように、該碇材１２の中心に一体に設
けてあり、図３の実施例では、３本の基礎杭１０に一体
に設けたＹ字状の碇材１２の中心に位置するように、該
碇材１２の中心に一体に設けてあり、図４の実施例で
は、２本の基礎杭１０に一体に設けた一字状の碇材１２
の中心に位置するように、該碇材１２の中心に一体に設
けてあり、図５の実施例では、１本の基礎杭１０の中心
に位置するように一体に設けてある。
【００１１】碇材１２と基礎杭１０との接合手段として
は、図７に記載のように、基礎杭１０の上端部にモルタ
ル、コンクリート等の充填材により埋め込み部材１３を
埋め込み、埋め込み部材１３に碇材１２を一体に固定す
る手段、図８に記載のように、基礎杭１０にＨ型状の継
手部材１４を設け、これに碇材１２を連結片１５を介し
てボルト接合により一体に固定する手段、又は、図９及
び図１０に記載のように、基礎杭１０に溶接部１６によ
り碇材１２を一体に溶接して固定する手段、又はこれら
の組合せからなる手段等、従来公知の種々の手段を採用
することができる。
は、図７に記載のように、基礎杭１０の上端部にモルタ
ル、コンクリート等の充填材により埋め込み部材１３を
埋め込み、埋め込み部材１３に碇材１２を一体に固定す
る手段、図８に記載のように、基礎杭１０にＨ型状の継
手部材１４を設け、これに碇材１２を連結片１５を介し
てボルト接合により一体に固定する手段、又は、図９及
び図１０に記載のように、基礎杭１０に溶接部１６によ
り碇材１２を一体に溶接して固定する手段、又はこれら
の組合せからなる手段等、従来公知の種々の手段を採用
することができる。
【００１２】また、図５の実施例では、従来公知の種々
の手段を採用して１本の基礎杭１０の中心に位置するよ
うに鉄塔脚部材１１を一体に設けることができるが、図
６は基礎杭１０の上端部にモルタル、コンクリート等の
充填材１７により鉄塔脚部材１１を埋め込み一体に固定
する手段を示してある。なお、図７に記載の基礎杭１０
の上端部にモルタル、コンクリート等の充填材１７によ
り埋め込み部材１３を埋め込む手段において、基礎杭１
０の内側又は埋め込み部材１３の外側に、必要に応じた
段数と、寸法のリブ１８，１９を突設し、結合状態を補
強することができる。
の手段を採用して１本の基礎杭１０の中心に位置するよ
うに鉄塔脚部材１１を一体に設けることができるが、図
６は基礎杭１０の上端部にモルタル、コンクリート等の
充填材１７により鉄塔脚部材１１を埋め込み一体に固定
する手段を示してある。なお、図７に記載の基礎杭１０
の上端部にモルタル、コンクリート等の充填材１７によ
り埋め込み部材１３を埋め込む手段において、基礎杭１
０の内側又は埋め込み部材１３の外側に、必要に応じた
段数と、寸法のリブ１８，１９を突設し、結合状態を補
強することができる。
【００１３】また、図６に記載のように、基礎杭１０の
上端部にモルタル、コンクリート等の充填材１７により
鉄塔脚部材１１を埋め込む手段において、基礎杭１０の
内側又は鉄塔脚部材１１の外側に、必要に応じた段数
と、寸法のリブ１８，２０を突設し、結合状態を補強す
ることができる。また、図１，図３に記載のように、碇
材１２同士、又は鉄塔脚部材１１と碇材１２の間に、必
要な補強部材２１を設けることができると共に、基礎杭
１０と碇材１２との間にも必要な補強部材を適宜設ける
ことができる。また、基礎杭１０及び碇材１２は施工後
において地上に出ていても地中に埋め込んであっても良
いし、基礎杭１０、碇材１２及び鉄塔脚部材１１の接合
部分等の必要個所に錆止め処理を施すことができる。
上端部にモルタル、コンクリート等の充填材１７により
鉄塔脚部材１１を埋め込む手段において、基礎杭１０の
内側又は鉄塔脚部材１１の外側に、必要に応じた段数
と、寸法のリブ１８，２０を突設し、結合状態を補強す
ることができる。また、図１，図３に記載のように、碇
材１２同士、又は鉄塔脚部材１１と碇材１２の間に、必
要な補強部材２１を設けることができると共に、基礎杭
１０と碇材１２との間にも必要な補強部材を適宜設ける
ことができる。また、基礎杭１０及び碇材１２は施工後
において地上に出ていても地中に埋め込んであっても良
いし、基礎杭１０、碇材１２及び鉄塔脚部材１１の接合
部分等の必要個所に錆止め処理を施すことができる。
【００１４】図４の実施例において、二本の杭１０の間
隔を２．１２１ｍ（メートル）とし、鉄塔脚部材１１か
ら碇材１２の中央に加わる集中荷重を２２５ｔ（トン）
とすると、碇材１２を両端固定梁としたときの最大モー
メントＭｍａｘは、２２５×２．１２１÷８＝６０ｔｍ
であるから、高さ６００ｍｍ、幅３００ｍｍ、高さ部分
の厚み１２ｍｍ、幅部分の厚み２０ｍｍの市販のＨ型鋼
を碇材１２として使用した場合、断面係数Ｚｘとして最
大応力σｍａｘは、 σｍａｘ＝Ｍｍａｘ／Ｚｘ＝６×１０6／４０２０＝１
４９３ｋｇｆ／ｃｍ2 となり、鉄塔脚部材における一般的な許容応力である１
７００ｋｇｆ／ｃｍ2より遙かに小さい値となる。
隔を２．１２１ｍ（メートル）とし、鉄塔脚部材１１か
ら碇材１２の中央に加わる集中荷重を２２５ｔ（トン）
とすると、碇材１２を両端固定梁としたときの最大モー
メントＭｍａｘは、２２５×２．１２１÷８＝６０ｔｍ
であるから、高さ６００ｍｍ、幅３００ｍｍ、高さ部分
の厚み１２ｍｍ、幅部分の厚み２０ｍｍの市販のＨ型鋼
を碇材１２として使用した場合、断面係数Ｚｘとして最
大応力σｍａｘは、 σｍａｘ＝Ｍｍａｘ／Ｚｘ＝６×１０6／４０２０＝１
４９３ｋｇｆ／ｃｍ2 となり、鉄塔脚部材における一般的な許容応力である１
７００ｋｇｆ／ｃｍ2より遙かに小さい値となる。
【００１５】従って、図１及び図２に記載の実施例で
は、鉄塔脚部材１１を倍の２本の梁で支持する形式であ
るから、最大応力はその半分程度の値となり、図３の３
本の基礎杭をＹ字状の碇材１２で支持する場合も二本の
場合以下の値となる。このことからしても、本発明によ
れば、従来の鉄筋コンクリート製スラブの構造に対し
て、碇材が鉄鋼製であるため重量が軽減できるから杭頭
モーメントの低減を計ることができ、それだけ、基礎杭
の規模等を縮小することができることとなる。
は、鉄塔脚部材１１を倍の２本の梁で支持する形式であ
るから、最大応力はその半分程度の値となり、図３の３
本の基礎杭をＹ字状の碇材１２で支持する場合も二本の
場合以下の値となる。このことからしても、本発明によ
れば、従来の鉄筋コンクリート製スラブの構造に対し
て、碇材が鉄鋼製であるため重量が軽減できるから杭頭
モーメントの低減を計ることができ、それだけ、基礎杭
の規模等を縮小することができることとなる。
【００１６】
【発明の効果】以上の通り、本発明に係る鉄塔基礎構造
とその製法によれば、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接
合した碇材を、基礎杭に直接に接合した鉄塔基礎構造、
及び、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇材を、
基礎杭に直接に接合することを特徴とした鉄塔基礎構造
の製法の構成を有することにより、従来の鉄筋コンクリ
ート製スラブの構造を不要とすることができ、従って、
従来の鉄筋コンクリート製スラブの構造に必要な、鉄筋
の組立工事、型枠の組立工事、コンクリートの打設工
事、コンクリートの養生が不要となり、工期の短縮、用
地面積の縮小が可能となり、且つ、従来の鉄筋コンクリ
ート製スラブの構造に対して、杭頭モーメントの低減を
計ることができる効果がある。
とその製法によれば、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接
合した碇材を、基礎杭に直接に接合した鉄塔基礎構造、
及び、鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部材に接合した碇材を、
基礎杭に直接に接合することを特徴とした鉄塔基礎構造
の製法の構成を有することにより、従来の鉄筋コンクリ
ート製スラブの構造を不要とすることができ、従って、
従来の鉄筋コンクリート製スラブの構造に必要な、鉄筋
の組立工事、型枠の組立工事、コンクリートの打設工
事、コンクリートの養生が不要となり、工期の短縮、用
地面積の縮小が可能となり、且つ、従来の鉄筋コンクリ
ート製スラブの構造に対して、杭頭モーメントの低減を
計ることができる効果がある。
【図１】 本発明に係る鉄塔基礎構造の一実施例の要部
を概略して示す平面図。
を概略して示す平面図。
【図２】 図１の実施例の要部の一部縦断して示す概略
縦断正面図。
縦断正面図。
【図３】 他の実施例の概略平面図。
【図４】 他の実施例の概略平面図。
【図５】 他の実施例の一部縦断概略正面図。
【図６】 他の実施例の要部を一部縦断して示す概略縦
断正面図。
断正面図。
【図７】 本発明に係る鉄塔基礎構造の一実施例の要部
を一部縦断して示す概略縦断正面図。
を一部縦断して示す概略縦断正面図。
【図８】 他の実施例の要部を概略して示す概略平面
図。
図。
【図９】 他の実施例の要部を概略して示す概略平面
図。
図。
【図１０】 図９の実施例の要部を一部縦断して示す概
略縦断正面図。
略縦断正面図。
【図１１】 従来の鉄塔基礎構造の一実施例の要部を概
略して示す概略説明正面図。
略して示す概略説明正面図。
【図１２】 従来の鉄塔基礎構造の一実施例の要部を概
略して示す概略説明図。
略して示す概略説明図。
１ 鉄塔脚部材
２ 碇材
３ 杭
４ スラブ
５ 脚材定着部
１０ 基礎杭
１１ 鉄塔脚部材
１２ 碇材
１３ 埋め込み部材
１４ 継手部材
１５ 連結片
１６ 溶接部
１７ 充填材
１８、１９、２０ リブ
２１ 補強部材
Claims (2)
- 【請求項１】 鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部
材に接合した碇材を、基礎杭に直接に接合した鉄塔基礎
構造。 - 【請求項２】 鉄塔脚部材、又は鉄塔脚部
材に接合した碇材を、基礎杭に直接に接合することを特
徴とした鉄塔基礎構造の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10239629A JP2000064305A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 鉄塔基礎構造とその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10239629A JP2000064305A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 鉄塔基礎構造とその製法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007146525A Division JP2007218086A (ja) | 2007-06-01 | 2007-06-01 | 鉄塔基礎構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000064305A true JP2000064305A (ja) | 2000-02-29 |
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ID=17047568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10239629A Pending JP2000064305A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 鉄塔基礎構造とその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000064305A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006265999A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Koyama Kosakusho:Kk | 基礎梁のない独立杭基礎構造 |
| KR100725247B1 (ko) * | 2004-03-24 | 2007-06-07 | 샤프 가부시키가이샤 | 반도체 장치, 반도체 기판의 제조 방법, 및 반도체 장치의제조 방법 |
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