JP2000022018A - Icパッケージの開封方法 - Google Patents

Icパッケージの開封方法

Info

Publication number
JP2000022018A
JP2000022018A JP10190850A JP19085098A JP2000022018A JP 2000022018 A JP2000022018 A JP 2000022018A JP 10190850 A JP10190850 A JP 10190850A JP 19085098 A JP19085098 A JP 19085098A JP 2000022018 A JP2000022018 A JP 2000022018A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
opening
ceramic package
package
coating member
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10190850A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3421716B2 (ja
Inventor
Nobuhiro Shinagawa
伸洋 品川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Engineering Ltd
Original Assignee
NEC Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Engineering Ltd filed Critical NEC Engineering Ltd
Priority to JP19085098A priority Critical patent/JP3421716B2/ja
Publication of JP2000022018A publication Critical patent/JP2000022018A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3421716B2 publication Critical patent/JP3421716B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的開封方法の簡便性を損なうことなく、
セラミックパッケージの開封時にセラミックパッケージ
本体内部に破片や異物が付着するのを防止し、開封後の
利用における諸問題の発生を防止可能なICパッケージ
の開封方法を提供する。 【解決手段】 開封対象のセラミックパッケージ1にコ
ーティング部材8を塗布し、コーティング部材8の硬化
後にセラミックパッケージ1を上下逆さに支持台7上に
載置する。支持台7の高さの調整の後に、刃物6a,6
bにてガラス封着部3を破壊し、コーティング部材8の
切れ残り部分10を刃物11で切断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はICパッケージの開
封方法に関し、特にガラスを封着材料に用いるセラミッ
クパッケージの開封方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、上記のセラミックパッケージの開
封方法の開封対象は、図6に示すように、フタ2と、ガ
ラス封着部3と、リード4と、本体5とからなるDIP
(Dual Inline Package)タイプの
セラミックパッケージIC1である。
【0003】このセラミックパッケージIC1の開封
は、図7に示すように、セラミックパッケージIC1の
フタ2及び本体5を封着するガラス封着部3に専用治具
の鋭利な刃物6a,6bを押し当てて、ガラス封着部3
を機械的に破壊することで行っている。
【0004】また、上記の方法以外に、セラミックパッ
ケージを温度衝撃にさらすことで、セラミックパッケー
ジとガラス封着部との間の熱膨張の差異によって生ずる
応力でガラス封着部を破壊する方法もある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のセラミ
ックパッケージの開封方法では、温度衝撃によってガラ
ス封着部を破壊する方法の場合、適切な温度コントロー
ルを必要とするとともに、低温→高温のサイクルを3〜
5サイクル程度繰返す必要があるので、熱衝撃装置を必
要とする。そのため、セラミックパッケージの開封作業
が大掛かりになるとともに、その作業に相当な時間を費
やすこととなる。
【0006】また、温度衝撃によってガラス封着部を破
壊する方法の場合には内部チップの取付け状態等に不備
があったり、あるいは温度衝撃の温度設定が不適切であ
った場合に、チップ周囲にも熱膨張の差異が生ずる可能
性があり、ガラス封着部だけでなく、内部チップにも損
傷を与える恐れがある。
【0007】一方、ガラス封着部を機械的に破壊する方
法の場合には、セラミックパッケージ本体の開口部が上
向きになり、開封時の応力で生じた破片や治具の刃物に
付着していた異物がセラミックパッケージ本体内部に入
りやすいので、それらの破片や異物がセラミックパッケ
ージ本体内部に付着してその後の利用に支障をきたす恐
れがある。
【0008】また、上記の問題点を解決するために、開
封時のセラミックパッケージ本体の開口部が下向きにな
るようにセラミックパッケージを上下逆さにして開封し
た場合、開封時の応力でセラミックパッケージのフタが
割れることがあり、その弾みで破片が飛散し、飛散した
破片がセラミックパッケージ本体内部に付着する恐れが
ある。
【0009】さらに、開封時のセラミックパッケージ本
体の開口部が下向きになるようにセラミックパッケージ
を上下逆さにして開封する場合、開封時の応力でセラミ
ックパッケージ本体が跳ね飛ぶことがあり、その弾みで
セラミックパッケージ本体が作業台等から落下してセラ
ミックパッケージに衝撃を与えたり、落下の弾みで落下
場所周辺の異物が内部に飛び込んだりすることがある。
【0010】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、機械的開封方法の簡便性を損なうことなく、セラ
ミックパッケージの開封時にセラミックパッケージ本体
内部に破片や異物が付着するのを防止することができ、
開封後の利用における諸問題の発生を防ぐことができる
ICパッケージの開封方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によるICパッケ
ージの開封方法は、ガラスを封着材料に用いるセラミッ
クパッケージ集積回路を開封するICパッケージの開封
方法であって、前記セラミックパッケージ集積回路の外
周にコーティング部材を塗布するステップと、前記コー
ティング部材の硬化後に前記セラミックパッケージ集積
回路の開封によって生ずる開口部が下向きとなるように
前記セラミックパッケージ集積回路を開封治具に載置す
るステップと、載置された前記セラミックパッケージ集
積回路を前記開封治具にて開封するステップとを備えて
いる。
【0012】すなわち、本発明のICパッケージの開封
方法は、従来の開封治具でセラミックパッケージの開封
する処理の前処理として、セラミックパッケージをコー
ティングする手順を追加する。また、開封治具でのセラ
ミックパッケージの開封時にセラミックパッケージを上
下逆さにしてからガラス封着部の破壊を行う。
【0013】より具体的には、セラミックパッケージに
ゴム状の材料でコーティングを施した後に、そのセラミ
ックパッケージを開封治具の支持台に上下逆さに設置
し、従来と同様に開封治具の刃物でガラス封着部を破壊
し、最後にコーティングを切断するという手順をとる。
【0014】上記の方法では開封作業の手順の最初にセ
ラミックパッケージの外周にゴム状のコーティングを施
しているので、開封治具の刃物が直接当たらない部分で
はセラミックパッケージがコーティングにつながってい
て、IC本体とフタとが完全に分離することはない。
【0015】また、開封治具の刃物による開封時には、
上下逆さに設置したセラミックパッケージのフタが刃で
その下の支持台に押え付けられる形になるので、フタや
IC本体が跳ね飛ぶことはない。
【0016】さらに、コーティングにはゴム状のものを
使用しているので、コーティング自体に柔軟性があり、
開封時のストレスが緩和されるので、フタが割れにくく
なるとともに、割れた時に飛散しにくくなる。尚、セラ
ミックパッケージのコーティングでつながっている部分
については、カッターナイフ等の鋭利な刃物で最後に静
かに切離す。
【0017】これによって、機械的開封方法の簡便性を
損なうことなく、セラミックパッケージの開封時にセラ
ミックパッケージ本体内部に破片や異物が付着するのを
防止することが可能となり、開封後の利用における諸問
題の発生を防ぐことが可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施例によ
るICパッケージの開封方法を示す正面断面図である。
図において、本発明の一実施例によるICパッケージの
開封方法ではセラミックパッケージ1の外周をゴム状の
コーティング部材8で覆い、セラミックパッケージ1を
上下逆さに支持台7に載置した状態で、開封治具の刃物
6a,6bによってセラミックパッケージ1のガラス封
着部3を破壊している。
【0019】ここで、開封対象のセラミックパッケージ
1はフタ2と、ガラス封着部3と、リード4と、本体5
とからなるDIP(Dual Inline Pack
age)タイプのセラミックパッケージICである。
【0020】コーティング部材8としてはシリコン系や
ウレタン系等の塗布可能な樹脂を用いている。この場
合、コーティング部材8の材料の選別基準としては、塗
布した時に液だれしない程度の粘性を持つこと、可能な
限り短時間で硬化すること、硬化温度が開封対象の保存
温度範囲であること(常温硬化が望ましい)、筆塗りや
スプレー等の簡易な方法で塗布可能であること、硬化後
に透明または半透明になること、硬化後にパッケージと
の密着性が高くかつ引張りに対して柔軟に伸引して切れ
にくいこと、硬化後に刃物6a,6bでの切断が容易に
なること等があげられる。これらの基準を満たす材料と
しては、例えばシリコン系のPWB(Printed
Wiring Board)パターン面防湿用コーティ
ング材等がある。
【0021】また、本発明の一実施例によるICパッケ
ージの開封方法で使用可能な開封治具の条件には、高さ
調節が可能な支持台を有すること、十分な強度を持ちか
つ左右対称に挟み込むための2枚の刃物を有すること、
刃物に対して容易に少しずつ力を加えられるようになっ
ていること等があげられる。
【0022】さらに、ガラス封着部3の破壊後に、切れ
残ったコーティング部材8を切断するための刃物として
は、異物等の付着による汚れのない薄くかつ鋭いカッタ
ーナイフ等を用いる。
【0023】図2は本発明の一実施例によるICパッケ
ージの開封方法の処理動作を示すフローチャートであ
る。また、図3は本発明の一実施例によるICパッケー
ジの開封方法によるガラス封着部3の破壊後の状態を示
す正面断面図であり、図4は本発明の一実施例によるI
Cパッケージの開封方法によるガラス封着部3の破壊後
の状態を示す側面断面図であり、図5は本発明の一実施
例によるICパッケージの開封方法によるガラス封着部
3の破壊後のコーティング部材8の切断状態を示す側面
断面図である。これら図1〜図5を参照して本発明の一
実施例によるICパッケージの開封方法について説明す
る。
【0024】本発明の一実施例によるICパッケージの
開封方法では以下のような手順及び方法でセラミックパ
ッケージ1を開封する。まず、コーティング部材8をセ
ラミックパッケージ1の外周に塗布する(図2ステップ
S1)。この場合、コーティング部材8のセラミックパ
ッケージ1への塗布は筆(図示せず)にて行う。また、
コーティング部材8はその厚さが0.3mm程度になる
ように、概ね均一に塗布する。
【0025】次に、コーティング部材8を硬化させる
(図2ステップS2)。この場合、コーティング部材8
の硬化は常温で1時間程度であり、硬化後に半透明にな
る。この後に、セラミックパッケージ1を上下逆さにし
て開封治具の支持台7に載置する(図2ステップS
3)。
【0026】セラミックパッケージ1を支持台7に載置
した後に、開封治具の刃物6a,6bの高さがガラス封
着部3の位置(ガラス封着部3の破壊箇所9)になるよ
うに支持台7の高さを調整する(図1参照)(図2ステ
ップS4)。
【0027】開封治具の図示せぬハンドルを徐々に回し
て開封治具の刃物6a,6bを少しずつ閉じ、開封治具
の刃物6a,6bをコーティング部材8を介してガラス
封着部3に押付けることで、ガラス封着部3を機械的に
破壊(切断)する(図2参照)(図2ステップS5)。
【0028】ガラス封着部3を破壊した後に、セラミッ
クパッケージ1を支持台7から上下逆さのままおろし
(図2ステップS6)、コーティング部材8の切れ残り
部分10(図3参照)を刃物(カッターナイフ等)11
で静かに切断する(図4参照)(図2ステップS7)。
その後に、フタ2と本体5とを静かに分離する(図2ス
テップS8)。
【0029】このフタ2と本体5とを分離する際に、ガ
ラス封着部3の破壊やコーティング部材8の切断で生じ
た破片や異物は本体5とは逆方向に離れるので、本体5
の内部に破片や異物が付着しにくくなる。
【0030】また、セラミックパッケージ1の開封前の
処理として、セラミックパッケージ1の外周にコーティ
ング部材8を塗布しているため、開封時の応力でフタ1
が割れても、コーティング部材8の密着性によって破片
が飛散しにくくなっており、本体5の内部への破片の付
着の可能性がさらに低下する。
【0031】さらに、ガラス封着部3の破壊後も切断さ
れていない一部のコーティング部材8によってフタ2と
本体5とが完全には切離されない。そのため、ガラス封
着部3の破壊後にフタ2が刃物6a,6bと支持台7と
の間に押え付けられることになるので、本体5が跳ね飛
ぶことを防止することができる。
【0032】このように、開封対象のセラミックパッケ
ージ1にコーティング部材8を塗布し、コーティング部
材8の硬化後にセラミックパッケージ1を上下逆さに支
持台7上に載置して刃物6a,6bにてガラス封着部3
を破壊することによって、本体5の開口部を下向きにし
て落下物がその内部に付着するのを防ぐことができ、コ
ーティング部材8の密着性で破片が飛散するのを防ぐこ
とができる。よって、セラミックパッケージ1の開封
(ガラス封着部3の破壊)に伴う異物や破片の本体5の
内部への付着を防止することができる。
【0033】また、セラミックパッケージ1の外周に塗
布したコーティング部材8はガラス封着部3の破壊後も
切れ残るため、フタ2と本体5とが完全に分離してしま
うのを防ぐことができるので、セラミックパッケージ1
を開封する際に生ずる衝撃で本体5が跳ね飛ぶのを防止
することができる。
【0034】さらに、開封治具としては従来のものをそ
のまま使用することができ、追加するコーティング部材
8に必要な条件に適合する樹脂も入手しやすくかつ塗布
も容易であるから、従来の機械的開封方法の簡便性を損
なうことなく、セラミックパッケージ1を容易に開封す
ることができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ラスを封着材料に用いるセラミックパッケージ集積回路
を開封する際に、セラミックパッケージ集積回路の外周
にコーティング部材を塗布し、そのコーティング部材の
硬化後にセラミックパッケージ集積回路の開封によって
生ずる開口部が下向きとなるようにセラミックパッケー
ジ集積回路を開封治具に載置してから開封治具にて開封
することによって、機械的開封方法の簡便性を損なうこ
となく、セラミックパッケージの開封時にセラミックパ
ッケージ本体内部に破片や異物が付着するのを防止する
ことができ、開封後の利用における諸問題の発生を防ぐ
ことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるICパッケージの開封
方法を示す正面断面図である。
【図2】本発明の一実施例によるICパッケージの開封
方法の処理動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の一実施例によるICパッケージの開封
方法によるガラス封着部の破壊後の状態を示す正面断面
図である。
【図4】本発明の一実施例によるICパッケージの開封
方法によるガラス封着部の破壊後の状態を示す側面断面
図である。
【図5】本発明の一実施例によるICパッケージの開封
方法によるガラス封着部の破壊後のコーティング部材の
切断状態を示す側面断面図である。
【図6】従来のICパッケージの開封前の状態を示す斜
視図である。
【図7】従来のICパッケージの開封方法を示す正面断
面図である。
【符号の説明】
1 セラミックパッケージ 2 フタ 3 ガラス封着部 4 リード 5 本体 6a,6b 開封治具の刃物 7 支持台 8 コーティング部材 9 ガラス封着部の破壊箇所 10 コーティング部材の切れ残り部分

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラスを封着材料に用いるセラミックパ
    ッケージ集積回路を開封するICパッケージの開封方法
    であって、前記セラミックパッケージ集積回路の外周に
    コーティング部材を塗布するステップと、前記コーティ
    ング部材の硬化後に前記セラミックパッケージ集積回路
    の開封によって生ずる開口部が下向きとなるように前記
    セラミックパッケージ集積回路を開封治具に載置するス
    テップと、載置された前記セラミックパッケージ集積回
    路を前記開封治具にて開封するステップとを有すること
    を特徴とする開封方法。
  2. 【請求項2】 前記コーティング部材は、硬化後に透明
    及び半透明の一方の状態となりかつ硬化後に前記セラミ
    ックパッケージ集積回路との高密着性と柔軟性と刃物に
    よる切断の容易性とを持つことを特徴とする請求項1記
    載の開封方法。
  3. 【請求項3】 前記セラミックパッケージ集積回路の開
    封後に前記コーティング部材の切れ残り部分を切断する
    ステップを含むことを請求項1または請求項2記載の開
    封方法。
JP19085098A 1998-07-06 1998-07-06 Icパッケージの開封方法 Expired - Fee Related JP3421716B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19085098A JP3421716B2 (ja) 1998-07-06 1998-07-06 Icパッケージの開封方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19085098A JP3421716B2 (ja) 1998-07-06 1998-07-06 Icパッケージの開封方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000022018A true JP2000022018A (ja) 2000-01-21
JP3421716B2 JP3421716B2 (ja) 2003-06-30

Family

ID=16264823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19085098A Expired - Fee Related JP3421716B2 (ja) 1998-07-06 1998-07-06 Icパッケージの開封方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3421716B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111524812A (zh) * 2020-04-09 2020-08-11 中国电子科技集团公司第十三研究所 陶瓷气密封装器件开封方法及陶瓷气密封装器件开封装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110371923A (zh) * 2019-06-03 2019-10-25 航天科工防御技术研究试验中心 一种mems加速度传感器件的开封方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111524812A (zh) * 2020-04-09 2020-08-11 中国电子科技集团公司第十三研究所 陶瓷气密封装器件开封方法及陶瓷气密封装器件开封装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3421716B2 (ja) 2003-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5041396A (en) Reusable package for holding a semiconductor chip and method for reusing the package
KR940022799A (ko) 디엠디(dmd)를 절단한 후의 웨이퍼 처리방법
JPH037685A (ja) 片側が粘着性である可撓性の多層ボディ部材を工作物の表面に対し機械的に付着させるための装置
US20130193530A1 (en) Semiconductor Component and Corresponding Production Method
GB2345397A (en) Piezoelectric vibrator
JP2000022018A (ja) Icパッケージの開封方法
WO2003001965A3 (en) Cutting blade assembly for a microkeratome
KR940010226A (ko) 다이싱(dicing)방법
JP2002064135A (ja) チップトレイ
JPH05343517A (ja) ダイソータテープ
CA1255813A (en) Antistatic and antitack coating for circuit devices
JPS6135696B2 (ja)
JPH04286355A (ja) リードフレーム
JPS63184347A (ja) 半導体パツケ−ジの開封方法
JP2803805B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH02191358A (ja) 半導体素子の加工方法
JP2001267342A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2003110392A (ja) 電子部品の製造方法
JPH02165613A (ja) 電子部品の封止方法
JP2001332570A (ja) 半導体パッケージベースの基板固定用接着テープおよびその製造方法
JP2642355B2 (ja) 液晶表示素子の製造方法
JP2000021915A (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
KR20000025861A (ko) 반도체 칩 사이즈 패키지 및 그 제조방법
JPH0832348B2 (ja) 半導体装置のリードカツト方法
JPH08162583A (ja) リードフレームの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030311

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080425

Year of fee payment: 5

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees