JP2000006074A - 基板搬送用ハンド - Google Patents
基板搬送用ハンドInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板を斜めまたは垂直に搬送するときも、水
平に搬送するときも基板のたわみを少なくすることがで
きる。 【解決手段】 基板１４を把持して移送する基板搬送用
ロボット９に使用するハンド１であって、先端にＶ字状
の切欠き部１ａを有する４角形状をしており、前記Ｖ字
状の切欠き部１ａの両側とハンド中間部の両側とに基板
１４に吸着する吸盤４を有し、かつ、前記Ｖ字状の切欠
き部１ａの両側の各先端に、起立して基板１４の先端を
把持する起伏可能な先端フック５を有し、ハンド内部に
先端をリンク１７を介して先端フック５に連結するとと
もに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装置７
に連結した連結ロッド６を有し、ハンド後端の両側に先
端フック５と対峙するように設けられ、ばね力により基
板１４の後端部を押える後端フック１３を有する基板押
え装置８を配設した。
平に搬送するときも基板のたわみを少なくすることがで
きる。 【解決手段】 基板１４を把持して移送する基板搬送用
ロボット９に使用するハンド１であって、先端にＶ字状
の切欠き部１ａを有する４角形状をしており、前記Ｖ字
状の切欠き部１ａの両側とハンド中間部の両側とに基板
１４に吸着する吸盤４を有し、かつ、前記Ｖ字状の切欠
き部１ａの両側の各先端に、起立して基板１４の先端を
把持する起伏可能な先端フック５を有し、ハンド内部に
先端をリンク１７を介して先端フック５に連結するとと
もに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装置７
に連結した連結ロッド６を有し、ハンド後端の両側に先
端フック５と対峙するように設けられ、ばね力により基
板１４の後端部を押える後端フック１３を有する基板押
え装置８を配設した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送用ハンド
に係り、特にクリーンルーム内におけるＰＤＰ（プラズ
マ・ディスプレイ・パネル）用ガラス基板等を移送する
基板搬送用ハンドに関するものである。
に係り、特にクリーンルーム内におけるＰＤＰ（プラズ
マ・ディスプレイ・パネル）用ガラス基板等を移送する
基板搬送用ハンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図９は複数のガラス基板等を収納したカ
セットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するように
なっている。
セットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するように
なっている。
【０００３】図１０は基板移載用ロボットの平面図であ
る。上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板移
載用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されて
いる。基板移載用ロボットｃは、２本の関節アームｄを
有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有してお
り、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に挿
入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方に
持ち上げてカセットａから取り出すようになっている。
る。上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板移
載用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されて
いる。基板移載用ロボットｃは、２本の関節アームｄを
有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有してお
り、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に挿
入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方に
持ち上げてカセットａから取り出すようになっている。
【０００４】これまで比較的小さな基板を搬送する場
合、このように水平に載置されたカセットから基板を取
り出し、水平に把持して水平な検査台等に移載してい
た。
合、このように水平に載置されたカセットから基板を取
り出し、水平に把持して水平な検査台等に移載してい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルームのレイアウト上、基板を収納したカセットを斜
めまたは垂直に載置しなければならないことがある。ま
た、基板のサイズが大きくなるとたわみ等によって、基
板を水平に把持して移載するのがむずかしくなるなどの
問題がある。
ンルームのレイアウト上、基板を収納したカセットを斜
めまたは垂直に載置しなければならないことがある。ま
た、基板のサイズが大きくなるとたわみ等によって、基
板を水平に把持して移載するのがむずかしくなるなどの
問題がある。
【０００６】本発明は、上述した種々の問題点に鑑み創
案されたものである。すなわち、本発明は、斜めまたは
垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出すこ
とができるとともに、基板を斜めまたは垂直に把持して
搬送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板
のたわみを少なくすることができる基板搬送用ハンドを
提供することを目的とする。
案されたものである。すなわち、本発明は、斜めまたは
垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出すこ
とができるとともに、基板を斜めまたは垂直に把持して
搬送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板
のたわみを少なくすることができる基板搬送用ハンドを
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、基板を把持して移送する基板搬送用ロボット
に使用するハンドであって、先端にＶ字状の切欠き部を
有する４角形状をしており、前記Ｖ字状の切欠き部の両
側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を有
し、かつ、前記Ｖ字状の切欠き部の両側の各先端に、起
立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを有
し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに連
結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド
押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の両
側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え装
置を配設した基板搬送用ハンドを提供する。
本発明は、基板を把持して移送する基板搬送用ロボット
に使用するハンドであって、先端にＶ字状の切欠き部を
有する４角形状をしており、前記Ｖ字状の切欠き部の両
側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を有
し、かつ、前記Ｖ字状の切欠き部の両側の各先端に、起
立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを有
し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに連
結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド
押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の両
側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え装
置を配設した基板搬送用ハンドを提供する。
【０００８】本発明の好ましい実施形態によれば、上記
吸盤は、上記ハンド上面の凹部内に設けられ、底板の上
面周縁部に環状の突起を有するとともに、中央に貫通孔
を有する有底円筒状の基板受け部材と、底板の下面に固
着され、中央に前記貫通孔に連通する貫通孔を有し、杯
を伏せた形状の弾性支持部材とからなり、ハンド上面の
凹部の底には支持部材内部に連通する空気吸引通路が設
けられている。
吸盤は、上記ハンド上面の凹部内に設けられ、底板の上
面周縁部に環状の突起を有するとともに、中央に貫通孔
を有する有底円筒状の基板受け部材と、底板の下面に固
着され、中央に前記貫通孔に連通する貫通孔を有し、杯
を伏せた形状の弾性支持部材とからなり、ハンド上面の
凹部の底には支持部材内部に連通する空気吸引通路が設
けられている。
【０００９】本発明の他の好ましい実施形態によれば、
上記吸盤の環状の突起の上面に環状のシールリングを嵌
着している。
上記吸盤の環状の突起の上面に環状のシールリングを嵌
着している。
【００１０】本発明の他の好ましい実施形態によれば、
上記先端フックは、先端に突起を有し、後端は回転軸に
支持されており、かつ、中間にはリンクおよびスライド
部材を介して連結ロッドの先端に連結したピンを設けて
いる。
上記先端フックは、先端に突起を有し、後端は回転軸に
支持されており、かつ、中間にはリンクおよびスライド
部材を介して連結ロッドの先端に連結したピンを設けて
いる。
【００１１】本発明の他の好ましい実施形態によれば、
上記基板押え装置は、基板の後端を押える先方に突出し
た後端フックと、該後端フックを移動する伸縮シリンダ
と、後端フックと伸縮シリンダとの間に介在させたスプ
リングボックスとからなる。
上記基板押え装置は、基板の後端を押える先方に突出し
た後端フックと、該後端フックを移動する伸縮シリンダ
と、後端フックと伸縮シリンダとの間に介在させたスプ
リングボックスとからなる。
【００１２】本発明の他の好ましい実施形態によれば、
上記連結ロッドは、複数の連結ロッドを連結してＹ字状
に形成している。
上記連結ロッドは、複数の連結ロッドを連結してＹ字状
に形成している。
【００１３】次に本発明の作用について説明する。ハン
ドは先端に切欠き部を有し、後端は基板移載用ロボット
（多関節アームロボット）の手首の先端に接続される。
先端に設けられたＶ字状の切欠き部は、カセットから基
板を取り出す際や基板を検査台等に載置する際、基板を
支持する基板支持部材に干渉しないように設けられてい
る。斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を取
り出すときは、基板移載用ロボットを作動してハンドを
カセット内に収納されている基板の下側に挿入し、ハン
ドをわずかに上方に持ち上げてハンドの凹部内に設けら
れた吸盤の環状の突起で基板の下面を支持すると同時
に、連結ロッド押引装置により連結ロッドを引っ張り、
ハンド先端に伏していた先端フックを起立させ、基板を
把持して、対峙して設けられた基板押え装置の後端フッ
クとの間で押える。吸盤の弾性支持部材のスカート内を
スカート内に連通した空気吸引通路から空気を吸引して
弾性支持部材内を真空として基板を吸盤により吸着して
固定する。なお、基板を吸盤により吸着して固定するの
は、斜めまたは垂直に支持するときは、基板の自重が先
端フックにかかるので、先端フックと後端フックで押え
るだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板の
自重が先端フックにかからず横ずれを起こしやすいの
で、それを防止するためである。移送後、ハンドから検
査台等へ基板を移載するときは、前記基板の固定と反対
の操作により弾性支持部材内の空気の吸引を停止して基
板の固定を開放すると同時に、連結ロッド押引装置によ
り連結ロッドを押し出して先端フックの先端を伏せて基
板の先端部を開放する。なお、吸盤の環状の突起の上面
に環状のシールリング（Ｏリング）を配設しておけば、
基板と吸盤との間をより気密にすることができる。
ドは先端に切欠き部を有し、後端は基板移載用ロボット
（多関節アームロボット）の手首の先端に接続される。
先端に設けられたＶ字状の切欠き部は、カセットから基
板を取り出す際や基板を検査台等に載置する際、基板を
支持する基板支持部材に干渉しないように設けられてい
る。斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を取
り出すときは、基板移載用ロボットを作動してハンドを
カセット内に収納されている基板の下側に挿入し、ハン
ドをわずかに上方に持ち上げてハンドの凹部内に設けら
れた吸盤の環状の突起で基板の下面を支持すると同時
に、連結ロッド押引装置により連結ロッドを引っ張り、
ハンド先端に伏していた先端フックを起立させ、基板を
把持して、対峙して設けられた基板押え装置の後端フッ
クとの間で押える。吸盤の弾性支持部材のスカート内を
スカート内に連通した空気吸引通路から空気を吸引して
弾性支持部材内を真空として基板を吸盤により吸着して
固定する。なお、基板を吸盤により吸着して固定するの
は、斜めまたは垂直に支持するときは、基板の自重が先
端フックにかかるので、先端フックと後端フックで押え
るだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板の
自重が先端フックにかからず横ずれを起こしやすいの
で、それを防止するためである。移送後、ハンドから検
査台等へ基板を移載するときは、前記基板の固定と反対
の操作により弾性支持部材内の空気の吸引を停止して基
板の固定を開放すると同時に、連結ロッド押引装置によ
り連結ロッドを押し出して先端フックの先端を伏せて基
板の先端部を開放する。なお、吸盤の環状の突起の上面
に環状のシールリング（Ｏリング）を配設しておけば、
基板と吸盤との間をより気密にすることができる。
【００１４】このように先端に起伏可能な先端フック
を、後端に連結ロッド押引装置と後端フックを有する基
板押え装置を、上面に吸盤を配置しているので、斜めま
たは垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出
すことができるとともに、斜めまたは垂直に把持して搬
送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板の
たわみを少なくすることができる。
を、後端に連結ロッド押引装置と後端フックを有する基
板押え装置を、上面に吸盤を配置しているので、斜めま
たは垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出
すことができるとともに、斜めまたは垂直に把持して搬
送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板の
たわみを少なくすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい一実施形
態について図面を参照して説明する。図１は本発明の基
板搬送用ハンドを接続して使用する基板移載用ロボット
の側面図、図２は基板搬送用ハンドの平面図、図３は基
板搬送用ハンドの側面断面図で、（Ａ）は図２のＡ−Ａ
矢視図、（Ｂ）は図２のＢ−Ｂ矢視図、図４は先端フッ
クの平面図、図５は図４のＣ−Ｃ矢視図、図６は基板押
え装置の平面図、図７は図６のＤ−Ｄ矢視図、図８は吸
盤の側面断面図である。
態について図面を参照して説明する。図１は本発明の基
板搬送用ハンドを接続して使用する基板移載用ロボット
の側面図、図２は基板搬送用ハンドの平面図、図３は基
板搬送用ハンドの側面断面図で、（Ａ）は図２のＡ−Ａ
矢視図、（Ｂ）は図２のＢ−Ｂ矢視図、図４は先端フッ
クの平面図、図５は図４のＣ−Ｃ矢視図、図６は基板押
え装置の平面図、図７は図６のＤ−Ｄ矢視図、図８は吸
盤の側面断面図である。
【００１６】図１ないし図８において、１は基板１４を
把持して移送する基板搬送用ロボット９に使用する基板
搬送用ハンド（以下「ハンド」という）であって、先端
にＶ字状の切欠き部１ａを有する４角形状をしており、
Ｖ字状の切欠き部１ａの両側とハンド中間部の両側とに
基板１４に吸着する吸盤４を有し、かつ、前記Ｖ字状の
切欠き部１ａの両側の各先端に、起立して基板１４の先
端を把持する起伏可能な先端フック５を有し、ハンド内
部に先端をリンク１７を介して先端フック５に連結する
とともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装
置７に連結した連結ロッド６を有し、ハンド後端の両側
に先端フック５と対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板１４の後端部を押える後端フック１３を有する基
板押え装置８を配設している。
把持して移送する基板搬送用ロボット９に使用する基板
搬送用ハンド（以下「ハンド」という）であって、先端
にＶ字状の切欠き部１ａを有する４角形状をしており、
Ｖ字状の切欠き部１ａの両側とハンド中間部の両側とに
基板１４に吸着する吸盤４を有し、かつ、前記Ｖ字状の
切欠き部１ａの両側の各先端に、起立して基板１４の先
端を把持する起伏可能な先端フック５を有し、ハンド内
部に先端をリンク１７を介して先端フック５に連結する
とともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装
置７に連結した連結ロッド６を有し、ハンド後端の両側
に先端フック５と対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板１４の後端部を押える後端フック１３を有する基
板押え装置８を配設している。
【００１７】ハンド１は、図２に示すように、Ｖ字状の
切欠き部１ａの両側の先端に先端ハンド１ｂが設けられ
ている。また、ハンド１および先端ハンド１ｂの下面側
は所定部をくり抜いて下方を開放した凹部１ｄを設ける
とともに、その凹部１ｄを下側からハンドカバー３，３
ａにより塞いで軽量化を図るようにしている（図５，図
７，図８）。２はハンド１の後端に設けた接続部で、図
１に示すように、基板移載用ロボット（多関節アームロ
ボット）９の２本の関節アーム９ａ，９ｂの先端に設け
られた自由角度手首９ｃの先端に接続されている。基板
移載用ロボット９は、２本の関節アーム９ａ，９ｂによ
ってハンド１を斜めまたは垂直に傾斜させることがで
き、また、先端アーム９ｂの手首９ｃによってハンド１
を水平にすることもできるようになっている。１４はハ
ンド１上に支持した基板である（図２の１点鎖線）。
切欠き部１ａの両側の先端に先端ハンド１ｂが設けられ
ている。また、ハンド１および先端ハンド１ｂの下面側
は所定部をくり抜いて下方を開放した凹部１ｄを設ける
とともに、その凹部１ｄを下側からハンドカバー３，３
ａにより塞いで軽量化を図るようにしている（図５，図
７，図８）。２はハンド１の後端に設けた接続部で、図
１に示すように、基板移載用ロボット（多関節アームロ
ボット）９の２本の関節アーム９ａ，９ｂの先端に設け
られた自由角度手首９ｃの先端に接続されている。基板
移載用ロボット９は、２本の関節アーム９ａ，９ｂによ
ってハンド１を斜めまたは垂直に傾斜させることがで
き、また、先端アーム９ｂの手首９ｃによってハンド１
を水平にすることもできるようになっている。１４はハ
ンド１上に支持した基板である（図２の１点鎖線）。
【００１８】１０は移動可能なカセット受入架台で、上
下方向に所定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納
したカセット１１を載置するカセット受１０ａを有し、
かつ、カセット受１０ａをシリンダ１０ｂにより斜め、
水平および垂直（図１の２点鎖線）に傾動可能に設けて
いる。１２は移動可能な基板検査台で、カセット１１か
ら基板移載用ロボット９のハンド１によって取り出さ
れ、把持されて搬送された基板１４を載置するようにな
っている（図１）。
下方向に所定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納
したカセット１１を載置するカセット受１０ａを有し、
かつ、カセット受１０ａをシリンダ１０ｂにより斜め、
水平および垂直（図１の２点鎖線）に傾動可能に設けて
いる。１２は移動可能な基板検査台で、カセット１１か
ら基板移載用ロボット９のハンド１によって取り出さ
れ、把持されて搬送された基板１４を載置するようにな
っている（図１）。
【００１９】４はハンド１に設けられた吸盤で、図２に
示すように、ハンド１の切欠き部１ａの両側の先端ハン
ド１ｂの手前側とハンド１の中間部の両側に計４個設け
られている。この吸盤４は、図８に示すように、ハンド
１に設けられた上方を開放した凹部１ｃ内に設けられて
いる。また、吸盤４は、底板２６ａの上面周縁部に環状
の突起２６ｂを有するとともに、中央に貫通孔２６ｃを
有する有底円筒状の基板受け部材２６と、底板２６ａの
下面に固着され、中央に貫通孔２６ｃに連通する貫通孔
２７ａを有し、杯を伏せた形状の弾性支持部材２７とか
ら構成されている。２７ｂは弾性支持部材２７のばねと
シールを兼ねた環状のスカートである。２８は吸盤４の
環状の突起２６ａの上面に嵌着したシールリング（Ｏリ
ング）である。吸盤４は環状の吸盤押え板２９によりハ
ンド１にわずかに上下動可能に設けられている。
示すように、ハンド１の切欠き部１ａの両側の先端ハン
ド１ｂの手前側とハンド１の中間部の両側に計４個設け
られている。この吸盤４は、図８に示すように、ハンド
１に設けられた上方を開放した凹部１ｃ内に設けられて
いる。また、吸盤４は、底板２６ａの上面周縁部に環状
の突起２６ｂを有するとともに、中央に貫通孔２６ｃを
有する有底円筒状の基板受け部材２６と、底板２６ａの
下面に固着され、中央に貫通孔２６ｃに連通する貫通孔
２７ａを有し、杯を伏せた形状の弾性支持部材２７とか
ら構成されている。２７ｂは弾性支持部材２７のばねと
シールを兼ねた環状のスカートである。２８は吸盤４の
環状の突起２６ａの上面に嵌着したシールリング（Ｏリ
ング）である。吸盤４は環状の吸盤押え板２９によりハ
ンド１にわずかに上下動可能に設けられている。
【００２０】ハンド１の凹部１ｃの底には弾性支持部材
２７の内部に連通する空気吸引通路１ｆが設けられてい
る。３１は空気吸引通路１ｆを形成するための塞ぎ板
で、この塞ぎ板３１の下面をハンドカバー３が覆うよう
に固定されている（図５，図７、図８）。１ｇはハンド
１の両側に設けた空気吸引通路で、空気吸引通路１ｆと
連通するように設けられている。
２７の内部に連通する空気吸引通路１ｆが設けられてい
る。３１は空気吸引通路１ｆを形成するための塞ぎ板
で、この塞ぎ板３１の下面をハンドカバー３が覆うよう
に固定されている（図５，図７、図８）。１ｇはハンド
１の両側に設けた空気吸引通路で、空気吸引通路１ｆと
連通するように設けられている。
【００２１】５はハンド１の先端ハンド１ｂに設けられ
た起伏可能な先端フックで、図２ないし図５に示すよう
に、先端に基板１４の先端を把持する突起５ａを有し、
後端は先端ハンド１ｂに先端ハンド１ｂと直交するよう
に設けた回転軸１５により回転可能に支持されており、
中間にはリンク１７およびスライド部材１８を介して連
結ロッド６ｃの先端に連結したピン１６を設けている。
リンク１７とスライド部材１８とはピン１６ａを介して
連結されている。
た起伏可能な先端フックで、図２ないし図５に示すよう
に、先端に基板１４の先端を把持する突起５ａを有し、
後端は先端ハンド１ｂに先端ハンド１ｂと直交するよう
に設けた回転軸１５により回転可能に支持されており、
中間にはリンク１７およびスライド部材１８を介して連
結ロッド６ｃの先端に連結したピン１６を設けている。
リンク１７とスライド部材１８とはピン１６ａを介して
連結されている。
【００２２】６は連結ロッドで、図２に示すように、１
本の後端ロッド６ａ，２本のＶ字状の中間ロッド６ｂ，
２本の平行な先端ロッド６ｃを連結してＹ字状に形成し
ている。
本の後端ロッド６ａ，２本のＶ字状の中間ロッド６ｂ，
２本の平行な先端ロッド６ｃを連結してＹ字状に形成し
ている。
【００２３】前記スライド部材１８は、後端を先端連結
ロッド６ｃに連結し、かつ、幅方向の両端部に貫通孔１
８ａを設けており、この貫通孔１８ａに先端連結ロッド
６ｃに沿うように設けたガイドロッド１９を貫通して支
持され、連結ロッド６によって押し引きされる際、スラ
イド部材１８が常に水平に摺動できるようになってい
る。また、ガイドロッド１９の後端側にはコイルばね２
０が外嵌されており、連結ロッド６の引っ張りを開放し
た際、ばね力によってスライド部材１８およびリンク１
７を先方に移動させて先端フック５を伏せるようになっ
ている。
ロッド６ｃに連結し、かつ、幅方向の両端部に貫通孔１
８ａを設けており、この貫通孔１８ａに先端連結ロッド
６ｃに沿うように設けたガイドロッド１９を貫通して支
持され、連結ロッド６によって押し引きされる際、スラ
イド部材１８が常に水平に摺動できるようになってい
る。また、ガイドロッド１９の後端側にはコイルばね２
０が外嵌されており、連結ロッド６の引っ張りを開放し
た際、ばね力によってスライド部材１８およびリンク１
７を先方に移動させて先端フック５を伏せるようになっ
ている。
【００２４】７はハンド１の後端の幅方向の中間に設け
られた連結ロッド押引装置（伸縮シリンダ）で、伸縮シ
リンダの先端は、図２および図３（Ａ）に示すように、
連結ロッド６の後端に連結されており、連結ロッド６の
押し引きによって、先端フック５の起伏を行うようにな
っている。
られた連結ロッド押引装置（伸縮シリンダ）で、伸縮シ
リンダの先端は、図２および図３（Ａ）に示すように、
連結ロッド６の後端に連結されており、連結ロッド６の
押し引きによって、先端フック５の起伏を行うようにな
っている。
【００２５】８はハンド１の後端の両側の上方に開放し
た凹部１ｅ内に設けられた基板押え装置で、図２，図６
および図７に示すように、基板１４の後端を押える上方
に突出した後端フック１３と、この後端フック１３を移
動する伸縮シリンダ２５と、後端フック１３と伸縮シリ
ンダ２５との間に介在させたスプリングボックス２１と
から構成されている。後端フック１３は、後端フック取
付部材１３ａの中間に設けられている。後端フック取付
部材１３ａの両端に設けられたスプリングボックス２１
は、一端を後端フック取付部材１３ａの両端に設けたボ
ルト２２と、ボルト２２に外嵌したコイルばね２４と、
このコイルばね２４に外嵌し、先端を後端フック取付部
材１３ａに固定した摺動ガイド（内筒）２３と、摺動ガ
イド（内筒）２３に外嵌した摺動ガイド（外筒）２３ａ
とから構成されている。また、摺動ガイド（外筒）２３
ａ同士は、連結部材２３ｂによって連結されており、か
つ、連結部材２３ｂは、図６に示すように、３本のロッ
ドを有する伸縮シリンダ２５の先端に連結されている。
スプリングボックス２１のコイルばね２４は、後端フッ
ク１３を先方に押し出すようになっており、連結ロット
６を引っ張って先端フック５を起立させたとき、後端フ
ック１３により基板１４の後端を把持し、基板１４を水
平な基板検査台１２に載置するときは、後端フック１３
が基板１４の載置の障害にならないように、後端フック
１３を伸縮シリンダ２５によって後端フック１３を後方
に移動させて後端フック１３を基板１４から開放し、基
板検査台１２の上に水平に載置できるようになってい
る。
た凹部１ｅ内に設けられた基板押え装置で、図２，図６
および図７に示すように、基板１４の後端を押える上方
に突出した後端フック１３と、この後端フック１３を移
動する伸縮シリンダ２５と、後端フック１３と伸縮シリ
ンダ２５との間に介在させたスプリングボックス２１と
から構成されている。後端フック１３は、後端フック取
付部材１３ａの中間に設けられている。後端フック取付
部材１３ａの両端に設けられたスプリングボックス２１
は、一端を後端フック取付部材１３ａの両端に設けたボ
ルト２２と、ボルト２２に外嵌したコイルばね２４と、
このコイルばね２４に外嵌し、先端を後端フック取付部
材１３ａに固定した摺動ガイド（内筒）２３と、摺動ガ
イド（内筒）２３に外嵌した摺動ガイド（外筒）２３ａ
とから構成されている。また、摺動ガイド（外筒）２３
ａ同士は、連結部材２３ｂによって連結されており、か
つ、連結部材２３ｂは、図６に示すように、３本のロッ
ドを有する伸縮シリンダ２５の先端に連結されている。
スプリングボックス２１のコイルばね２４は、後端フッ
ク１３を先方に押し出すようになっており、連結ロット
６を引っ張って先端フック５を起立させたとき、後端フ
ック１３により基板１４の後端を把持し、基板１４を水
平な基板検査台１２に載置するときは、後端フック１３
が基板１４の載置の障害にならないように、後端フック
１３を伸縮シリンダ２５によって後端フック１３を後方
に移動させて後端フック１３を基板１４から開放し、基
板検査台１２の上に水平に載置できるようになってい
る。
【００２６】３０はハンド１の中間に設けられた光セン
サーで、ハンド１上に基板１４が有るか否かを検知する
（図２）。
サーで、ハンド１上に基板１４が有るか否かを検知する
（図２）。
【００２７】次に本発明の実施形態の作用について説明
する。ハンド１は先端に切欠き部１ａを有し、後端は基
板移載用ロボット（多関節アームロボット）９の手首９
ｃの先端に接続される。先端に設けられたＶ字上の切欠
き部１ａは、カセット１１から基板１４を取り出す際や
基板１４を検査台１２等に載置する際、基板１４を支持
する図示しない基板支持部材に干渉しないように設けら
れている。斜めまたは垂直に載置されたカセット１１か
ら基板１４を取り出すときは、基板移載用ロボット９を
作動してハンド１をカセット１１内に収納されている基
板１４の下側に挿入し、ハンド１をわずかに上方に持ち
上げてハンド１の凹部１ｃ内に設けられた吸盤４の環状
の突起２６ｂで基板１４の下面を支持すると同時に、連
結ロッド押引装置７により連結ロッド６を引っ張り、ハ
ンド１先端に伏していた先端フック５を起立させ、基板
１４を把持して、対峙して設けられた基板押え装置８の
後端フックとの間で押える。基板１４を吸盤４の突起２
６ｂで支持したのち、吸盤４の弾性支持部材２７のスカ
ート２７ｂ内をスカート２７ｂ内に連通した空気吸引通
路１ｆから空気を吸引して弾性支持部材２７内を真空と
して基板１４を吸盤４により吸着して固定する。なお、
基板１４を吸盤４により吸着して固定するのは、斜めま
たは垂直に支持するときは、基板１４の自重が先端フッ
ク５にかかるので、先端フック５と後端フック１３で押
えるだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板
１４の自重が先端フック５にかからず横ずれを起こしや
すいので、それを防止するためである。移送後、ハンド
１から検査台１２等へ基板１４を移載するときは、前記
基板１４の固定と反対の操作により弾性支持部材２７内
の空気の吸引を停止して基板１４の固定を開放すると同
時に、連結ロッド押引装置７により連結ロッド６を押し
出して先端フック５の先端を伏せて基板１４の先端部を
開放する。なお、吸盤４の環状の突起２６ｂの上面に環
状のシールリング（Ｏリング）１８を配設しておけば、
基板１４と吸盤４との間をより気密にすることができ
る。
する。ハンド１は先端に切欠き部１ａを有し、後端は基
板移載用ロボット（多関節アームロボット）９の手首９
ｃの先端に接続される。先端に設けられたＶ字上の切欠
き部１ａは、カセット１１から基板１４を取り出す際や
基板１４を検査台１２等に載置する際、基板１４を支持
する図示しない基板支持部材に干渉しないように設けら
れている。斜めまたは垂直に載置されたカセット１１か
ら基板１４を取り出すときは、基板移載用ロボット９を
作動してハンド１をカセット１１内に収納されている基
板１４の下側に挿入し、ハンド１をわずかに上方に持ち
上げてハンド１の凹部１ｃ内に設けられた吸盤４の環状
の突起２６ｂで基板１４の下面を支持すると同時に、連
結ロッド押引装置７により連結ロッド６を引っ張り、ハ
ンド１先端に伏していた先端フック５を起立させ、基板
１４を把持して、対峙して設けられた基板押え装置８の
後端フックとの間で押える。基板１４を吸盤４の突起２
６ｂで支持したのち、吸盤４の弾性支持部材２７のスカ
ート２７ｂ内をスカート２７ｂ内に連通した空気吸引通
路１ｆから空気を吸引して弾性支持部材２７内を真空と
して基板１４を吸盤４により吸着して固定する。なお、
基板１４を吸盤４により吸着して固定するのは、斜めま
たは垂直に支持するときは、基板１４の自重が先端フッ
ク５にかかるので、先端フック５と後端フック１３で押
えるだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板
１４の自重が先端フック５にかからず横ずれを起こしや
すいので、それを防止するためである。移送後、ハンド
１から検査台１２等へ基板１４を移載するときは、前記
基板１４の固定と反対の操作により弾性支持部材２７内
の空気の吸引を停止して基板１４の固定を開放すると同
時に、連結ロッド押引装置７により連結ロッド６を押し
出して先端フック５の先端を伏せて基板１４の先端部を
開放する。なお、吸盤４の環状の突起２６ｂの上面に環
状のシールリング（Ｏリング）１８を配設しておけば、
基板１４と吸盤４との間をより気密にすることができ
る。
【００２８】このように先端に起伏可能な先端フック５
を、後端に連結ロッド押引装置７と後端フック１３を有
する基板押え装置８を、上面に吸盤４を配置するように
なっているので、斜めまたは垂直に載置されたカセット
１１から基板１４を容易に取り出すことができるととも
に、斜めまたは垂直に把持して搬送するときも、水平な
検査台等１２に移載するときも基板１４のたわみを少な
くすることができる。
を、後端に連結ロッド押引装置７と後端フック１３を有
する基板押え装置８を、上面に吸盤４を配置するように
なっているので、斜めまたは垂直に載置されたカセット
１１から基板１４を容易に取り出すことができるととも
に、斜めまたは垂直に把持して搬送するときも、水平な
検査台等１２に移載するときも基板１４のたわみを少な
くすることができる。
【００２９】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、Ｙ字状の連結ロッドに替えて、ハンドの
両幅側の長手方向に設けた２本の連結ロッドにしてもよ
いなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得
ることは勿論である。
ものではなく、Ｙ字状の連結ロッドに替えて、ハンドの
両幅側の長手方向に設けた２本の連結ロッドにしてもよ
いなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得
ることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】上述した本発明の基板搬送用ハンドによ
れば、斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を
容易に取り出すことができるとともに、斜めまたは垂直
に把持して搬送するときも、水平な検査台等に移載する
ときも基板のたわみを少なくすることができるなどの優
れた効果を奏する。
れば、斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を
容易に取り出すことができるとともに、斜めまたは垂直
に把持して搬送するときも、水平な検査台等に移載する
ときも基板のたわみを少なくすることができるなどの優
れた効果を奏する。
【図１】本発明の基板搬送用ハンドを接続して使用する
基板移載用ロボット（多関節アームロボット）の側面図
である。
基板移載用ロボット（多関節アームロボット）の側面図
である。
【図２】本発明の基板搬送用ハンドの平面図である。
【図３】基板搬送用ハンドの側面断面図で、（Ａ）は図
２のＡ−Ａ矢視図、（Ｂ）は図２のＢ−Ｂ矢視図であ
る。
２のＡ−Ａ矢視図、（Ｂ）は図２のＢ−Ｂ矢視図であ
る。
【図４】基板押え装置の側面断面図。
【図５】図４のＣ−Ｃ矢視図である。
【図６】基板押え装置の平面図である。
【図７】図６のＤ−Ｄ矢視図である。
【図８】吸盤の側面断面図である。
【図９】カセットの斜視図である。
【図１０】基板搬送用ロボットの平面図である。
１ ハンド １ａ 切欠き部 １ｂ 先端ハンド １ｃ，１ｄ，１ｅ 凹部 １ｆ，１ｇ 吸引空気通路 ２ 接続部 ３，３ａ ハンドカバー ４ 吸盤 ５ 先端フック ６ 連結ロッド ７ 連結ロッド押引装置 ８ 基板押え装置 ９ 基板移載用ロボット １０ カセット受入架台 １１ カセット １２ 基板検査台 １３ 後端フック １４ 基板 １５ 回転軸 １６，１６ａ リンクピン １７ リンク １８ スライド部材 １９ ガイドロッド ２０ コイルばね ２１ スプリングボックス ２２ ボルト ２３ 摺動ガイド（内筒） ２４ 摺動ガイド（外筒） ２５ シリンダ ２６ 基板受け部材 ２６ａ 底板 ２６ｂ 突起 ２６ｃ 貫通孔 ２７ 弾性支持部材 ２７ａ 貫通孔 ２７ｂ スカート ２８ Ｏリング ２９ 吸盤押え板 ３０ 光センサ ３１ 空気通路塞ぎ板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星野 修二 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 Ｆターム(参考） 3F061 AA01 BA03 BB03 BC09 BD01 BD10 CA01 CB02 CB05 CC01 CC03 DB04 DB06
Claims (6)
- 【請求項１】 基板を把持して移送する基板搬送用ロボ
ットに使用するハンドであって、先端にＶ字状の切欠き
部を有する４角形状をしており、前記Ｖ字状の切欠き部
の両側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を
有し、かつ、前記Ｖ字状の切欠き部の両側の各先端に、
起立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを
有し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに
連結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッ
ド押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の
両側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力に
より基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え
装置を配設したことを特徴とする基板搬送用ハンド。 - 【請求項２】 上記吸盤は、上記ハンド上面の凹部内に
設けられ、底板の上面周縁部に環状の突起を有するとと
もに、中央に貫通孔を有する有底円筒状の基板受け部材
と、底板の下面に固着され、中央に前記貫通孔に連通す
る貫通孔を有し、杯を伏せた形状の弾性支持部材とから
なり、ハンド上面の凹部の底には支持部材内部に連通す
る空気吸引通路が設けられている請求項１記載の基板搬
送用ハンド。 - 【請求項３】 上記吸盤の環状の突起の上面に環状のシ
ールリングを嵌着した請求項１または請求項２記載の基
板搬送用ハンド。 - 【請求項４】 上記先端フックは、先端に突起を有し、
後端は回転軸に支持されており、かつ、中間にはリンク
およびスライド部材を介して連結ロッドの先端に連結し
たピンを設けている請求項１ないし請求項３記載の基板
搬送用ハンド。 - 【請求項５】 上記基板押え装置は、基板の後端を押え
る先方に突出した後端フックと、該後端フックを移動す
る伸縮シリンダと、後端フックと伸縮シリンダとの間に
介在させたスプリングボックスとからなる請求項１ない
し請求項４記載の基板搬送用ハンド。 - 【請求項６】 上記連結ロッドは、複数の連結ロッドを
連結してＹ字状に形成している請求項１ないし請求項５
記載の基板搬送用ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17821698A JP3900229B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 基板搬送用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17821698A JP3900229B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 基板搬送用ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000006074A true JP2000006074A (ja) | 2000-01-11 |
| JP3900229B2 JP3900229B2 (ja) | 2007-04-04 |
Family
ID=16044623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17821698A Expired - Fee Related JP3900229B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 基板搬送用ハンド |
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002019958A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板ハンドリング設備 |
| JP2006213899A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Kaneka Corp | 硬化性組成物、および、その硬化性組成物により封止された半導体装置 |
| KR100814338B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2008-03-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 로봇용 가이드핀 |
| JP2008085025A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法 |
| EP2042453A1 (en) | 2007-09-28 | 2009-04-01 | Yushin Precision Equipment Co. , Ltd. | A grasping device |
| JP2011173732A (ja) * | 2011-04-25 | 2011-09-08 | Ihi Corp | 基板搭載方法および基板取出方法 |
| KR20160011292A (ko) * | 2014-07-21 | 2016-02-01 | 세메스 주식회사 | 진공 흡착 모듈, 이를 갖는 기판 반송 장치 |
| CN107857119A (zh) * | 2017-07-12 | 2018-03-30 | 河南环宇玻璃科技股份有限公司 | 用于玻璃输送的电动上下片小车 |
| EP3566983A1 (en) * | 2018-05-09 | 2019-11-13 | Intelligrated Headquarters LLC | Method and system for manipulating articles |
| US11120679B2 (en) | 2015-04-30 | 2021-09-14 | Honeywell International Inc. | System for integrating multiple sensor data to predict a fall risk |
| US11318620B2 (en) | 2018-05-09 | 2022-05-03 | Intelligrated Headquarters, Llc | Method and system for manipulating items |
| US11458635B2 (en) | 2018-05-09 | 2022-10-04 | Intelligrated Headquarters, Llc | Method and system for manipulating articles |
-
1998
- 1998-06-25 JP JP17821698A patent/JP3900229B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002019958A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板ハンドリング設備 |
| KR100814338B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2008-03-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 로봇용 가이드핀 |
| JP2006213899A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Kaneka Corp | 硬化性組成物、および、その硬化性組成物により封止された半導体装置 |
| JP2008085025A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法 |
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| US7740124B2 (en) | 2007-09-28 | 2010-06-22 | Yushin Precision Equipment Co., Ltd. | Grasping device |
| JP2011173732A (ja) * | 2011-04-25 | 2011-09-08 | Ihi Corp | 基板搭載方法および基板取出方法 |
| KR102222461B1 (ko) | 2014-07-21 | 2021-03-04 | 세메스 주식회사 | 진공 흡착 모듈, 이를 갖는 기판 반송 장치 |
| KR20160011292A (ko) * | 2014-07-21 | 2016-02-01 | 세메스 주식회사 | 진공 흡착 모듈, 이를 갖는 기판 반송 장치 |
| US11120679B2 (en) | 2015-04-30 | 2021-09-14 | Honeywell International Inc. | System for integrating multiple sensor data to predict a fall risk |
| US11763655B2 (en) | 2015-04-30 | 2023-09-19 | Honeywell International Inc. | System for integrating multiple sensor data to predict a fall risk |
| CN107857119A (zh) * | 2017-07-12 | 2018-03-30 | 河南环宇玻璃科技股份有限公司 | 用于玻璃输送的电动上下片小车 |
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