JP2750999B2 - 薄肉体の吸着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、薄肉体の吸着装置に係
るものであり、さらに詳しくは、抗張力が低いか、また
は、表面硬度が低いために外力によって形状変形や疵が
生じ易く把持または挟持することができない、例えばア
ルミニウムまたはその合金、銅またはその合金などを素
材として薄肉に形成された物品を、空気負圧によって吸
引かつ吸着して移送する装置に供する薄肉体の吸着装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術として、特公昭４８−３９２
４６号の「板状体の採板装置における移乗架台への移乗
方法及びこれを使用する吸着装置」、実公昭５６−１６
２９号の「シート吸着装置」、特公昭５７−５８２５７
号の「ハンドリング用フインガー」、実公昭５７−５０
２３０号の「真空吸着装置における吸着部」、実公平４
−５０３００号の「吸着子」などが開示されているが、
その殆どのものが金属板，硝子板，紙などの板またはシ
ート状のワークを吸着するものであるとともに、これら
のものは吸着子を一次的かつ機械的にワークに当接させ
るか、または、当接の後さらに押圧させるものであっ
て、形状変形や疵が生じ易い例えばアルミニウムまたは
その合金、銅またはその合金などを素材として薄肉に形
成された薄肉体を吸着すると、形状変形や疵が生じ易い
ものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術による特公
昭４８−３９２４６号と実公昭５６−１６２９号とは酷
似した技術であるが、前者はシリンダ３のピストン７の
上下動によって多数の椀状の吸着部５を板硝子，金属板
などに当接させて吸着するものであり、後者はシリンダ
１のピストン４の上下動によって多数の椀状の吸着カッ
プ６をシートなどに当接させて吸着するものであって、
吸着子がワークに一次的かつ機械的に当接するので吸着
子の押圧によって薄肉体のワークの形状が変形し易いば
かりではなく、吸着子の形状が椀状に形成されているの
で、薄肉体のワークの形状が椀状に倣って変形し易いと
いう問題があった。

【０００４】次に、特公昭５７−５８２５７号は、フイ
ンガー本体３の底面にＯリング４を設けて吸着子とな
し、フインガー本体３を上下動させ光学レンズなどのワ
ークに当接させて吸着するものであって、吸着子がワー
クに一次的かつ機械的に当接するので吸着子の押圧によ
って薄肉体のワークの形状が変形し易いばかりではな
く、吸着子の底面とＯリング４との段差が生じて薄肉体
のワークの形状に段差が生ずる変形がし易いという問題
があった。

【０００５】次に、実公昭５７−５０２３０号は、硬質
材料により下向皿状または椀状に形成された内側吸着盤
１の外側に、軟質材料により下向皿状または椀状に形成
された外側吸着盤３を重合密着させて吸着子となし、吸
着子を上下動させ平滑面を備えたプリント基板などのワ
ークに当接の後押圧させて吸着するものであって、吸着
子がワークに一次的かつ機械的に当接するので吸着子の
押圧によって薄肉体のワークの形状が変形し易いばかり
ではなく、吸着子の形状が下向皿状または椀状に形成さ
れているので、薄肉体のワークの形状が下向皿状または
椀状に倣って変形し易いという問題があった。

【０００６】次に、実公平４−５０３００号は、下部を
ラッパ状にしてワークに馴染ませる薄肉に形成した吸着
子１の背面に弾性体２を装着して構成し、吸着子を上下
動させ果菜物、鶏卵などのワークに当接させて吸着する
ものであって、吸着子がワークに一次的かつ機械的に当
接するので吸着子の押圧によって薄肉体のワークの形状
が変形し易いばかりではなく、吸着子の形状がラッパ状
に形成されているので、薄肉体のワークの形状がラッパ
状に倣って変形し易いという問題があった。

【０００７】また、吸着子の材料が弾性体であるものに
あっては、位置決めの位置精度が低く、耐油性に乏し
く、さらには、安定度に欠けるという問題があった。

【０００８】さらに、吸着子を一次的かつ機械的にワー
クに当接させるものにあっては、吸着子がワークに激突
することを避けるために，吸着子がワークに当接する直
前において吸着子の下降速度を遅速させることが必要と
なり、また、吸着子の下降端位置の位置決め精度に留意
する必要があり、そして、生産能率が低くなるととも
に、装置の構造が複雑になるという問題があった。

【０００９】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的とするところは、吸着子の材料が
弾性体に限定されず剛性体でも何ら不可なく使用でき、
吸着子を一次的かつ機械的にワークに当接させず、ワー
クに形状変形や疵を生じさせずに吸着して、そして、生
産能率が高く、装置の構造が簡単な薄肉体の吸着装置を
提供しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明による薄肉体の吸着装置は、上端側を中空
にして上端と下端との間にワークが載置可能な段部を設
け、該段部の周縁から上端に向かって拡口された凹テー
パを形設し、該段部のワークに当接する内方に該段部か
ら下端まで貫通して大気を流通させる通気孔を穿設した
載置台と、下面にワークの上面と密着可能な吸着面を設
け、下端の周縁から上方に向かって拡大され、前記載置
台の凹テーパと略密着可能に、かつ、前記載置台の凹テ
ーパに当接させた状態において前記載置台の段部に載置
されたワークの上面と該吸着面との間に所定の空間を形
成する位置関係に凸テーパを形設し、上端側の所定位置
から該吸着面に向かって負圧を流通させる負圧孔および
該負圧孔と負圧が流通可能に該吸着面に貫通して該吸着
面とワークの上面との間の空間に負圧を供給してワーク
を吸引する所要個の吸引孔を穿設した吸着子とを備え
て、載置台の凹テーパと吸着子の凸テーパとを当接させ
た後、吸着子の吸着面とワークの上面との間の空間に負
圧を供給して、載置台の段部に載置されたワークを吸着
子の吸着面に吸着するようにしたものである。

【００１１】また、吸着子の負圧孔の入口に接合部を設
けて、吸着子の該接合部と負圧が流通可能に接合する接
合部を下端に設け、外周の中胴部から上方に向かって拡
大された第２凸テーパを形設し、略軸芯に上端から下端
まで貫通して負圧を流通させる第２負圧孔を穿設した懸
装稈と、下端から略央部までの間に前記懸装稈の中胴部
を遊合可能に挿通する挿通穴を穿設し、該挿通穴の上端
周縁から上方に向かって拡口され、かつ、前記懸装稈の
第２凸テーパと略合致する第２凹テーパを形設した懸装
腕とを備えて、懸装稈の接合部および中胴部を懸装腕の
上端側からその挿通穴に挿通するとともに、懸装稈の第
２負圧孔と吸着子の負圧孔との間で負圧が流通可能に懸
装稈の接合部を吸着子の負圧孔に接合して取着し、懸装
腕からの下降押圧力によって吸着子の凸テーパを載置台
の凹テーパに加圧することなく、かつ、自動調芯して当
接するようにしたものである。

【００１２】

【作用】上述のように構成された本発明の作用につい
て、図１，図４および図６によって以下のとおり説明す
る。

【００１３】図１に示す如く、載置台１は、上端側を中
空にして上端と下端との間にワークＷが載置可能な段部
１１を設け、該段部１１の周縁から上端に向かって拡口
された凹テーパ１２を形設し、また、吸着子２は、下面
にワークＷの上面と密着可能な吸着面２１を設け、下端
の周縁から上方に向かって拡大され、前記載置台１の凹
テーパ１２と略密着可能に、かつ、前記凹テーパ１２に
当接させた状態において段部１１に載置されたワークＷ
の上面と吸着面２１との間に図６に示す所定の空間６を
形成する位置関係に凸テーパ２２を形設して構成したの
で、吸着子２を下降させたとき、吸着子２がワークＷに
一次的かつ機械的に当接する直前で該吸着子２が位置決
めされ、そして、図４に示す如く、図示しない負圧発生
装置によって、懸装稈３の継手接合部３４から第２負圧
孔３３、さらに吸着子２の負圧孔２３，中継穴２５およ
び所要個の吸引孔２６を経て図６に示すワークＷの上面
の空間６に負圧を供給すると、ワークＷの上面の空間６
の気圧はワークＷの下面の空間の気圧よりも低下して、
ワークＷは浮上し、そしてワークＷは吸着子２の所要個
の吸引孔２６に吸引されて吸着面２１に密着して吸着さ
れる。

【００１４】さらに、図１に示す如く、懸装稈３は、外
周の中胴部から上方に向かって拡大された第２凸テーパ
３２を形設し、また、懸装腕４は、長方体の下端から略
央部までの間に前記懸装稈３の中胴部を遊合可能に挿通
する挿通孔４３を穿設し、該挿通孔４３の上端周縁から
上方に向かって拡口され、かつ、前記懸装稈３の第２凸
テーパ３２と略合致する第２凹テーパ４２を形設して、
例えば図示しないピックアンドプレースなどのアクチュ
エータに取着するように構成したので、図２に示す如
く、図示しないピックアンドプレースの上下動可能なア
クチュエータの作動によって懸装腕４を下降させ、懸装
腕４からの下降押圧力を互いの当接面に加圧することな
く載置台１の凹テーパ１２に吸着子２の凸テーパ２２を
当接させ、そして、図３に示す如く、引き続いて懸装腕
４を下降させて、懸装腕４の第２凹テーパ４２が懸装稈
３の第２凸テーパ３２から離隔した後の所定の下端位置
で図示しないピックアンドプレースの上下動可能なアク
チュエータによって懸装腕４を位置決めし、載置台１の
凹テーパ１２と吸着子２の凸テーパ２２との軸芯が齟齬
した状態で当接していても、吸着子２の凸テーパ２２は
載置台１の凹テーパ１２に倣って自動調芯の作用をし
て、吸着子２の凸テーパ２２を載置台１の凹テーパ１２
に密着させる。

【００１５】

【実施例】本発明による薄肉体の吸着装置の構成の実施
例について、図１乃至図３および図６によって以下のと
おり説明する。

【００１６】載置台１は、上端側を中空にして上端と下
端との間にワークＷが載置可能な段部１１を設け、該段
部１１の周縁から上端に向かって拡口された凹テーパ１
２を形設し、該段部１１のワークＷに当接する内方に該
段部１１から下端まで貫通して大気を流通させる通気孔
１３を穿設して、搬送部材５に取着する。

【００１７】吸着子２は、下面にワークＷの上面と密着
可能な吸着面２１を設け、下端の周縁から上方に向かっ
て拡大され、前記載置台１の凹テーパ１２と略密着可能
に、かつ、前記載置台１の凹テーパ１２に当接させた状
態において前記載置台１の段部１１に載置されたワーク
Ｗの上面と該吸着面２１との間に図６に示す所定の空間
６を形成する位置関係に凸テーパ２２を形設し、略軸芯
に上端から該吸着面２１に向かって負圧を流通させる雌
ねじを螺刻した負圧孔２３を穿設し、該負圧孔２３の上
端側に懸装稈３の中胴部を係止する係止穴２４を穿設
し、上端と下端との間に前記負圧孔２３と負圧が流通可
能に中継穴２５を穿設して、負圧孔２３と負圧が流通可
能に中継穴２５から吸着面２１に貫通して該吸着面２１
とワークＷの上面との間の図６に示す空間６に負圧を供
給してワークＷを吸引する所要個の吸引孔２６を穿設し
て構成する。

【００１８】懸装稈３は、吸着子２の雌ねじを螺刻した
負圧孔２３と負圧が流通可能に接合する雄ねじを螺刻し
た接合部３１を下端に設け、外周の中胴部から上方に向
かって拡大された第２凸テーパ３２を形設し、略軸芯に
上端から下端まで貫通して負圧を流通させる第２負圧孔
３３を穿設し、第２負圧孔３３の上端部に図示しない負
圧発生装置からの図示しないフレキシブルチューブなど
の配管材を接合する雌ねじを螺刻した継手接合部３４を
設けて、後述する懸装腕４に接合部３１を下方にして接
合部３１および中胴部を挿通の後、接合部３１の雄ねじ
と前記吸着子２の負圧孔２３に螺刻された雌ねじをと螺
合させて螺着する。

【００１９】懸装腕４は、長方体の下端から略央部まで
の間に前記懸装稈３の中胴部を遊合可能に挿通する挿通
穴４３を穿設し、該挿通穴４３の上端周縁から上方に向
かって拡口され、かつ、前記懸装稈３の第２凸テーパ３
２と略合致する第２凹テーパ４２を形設して、例えば図
示しないピックアンドプレースなどのアクチュエータに
取着する。

【００２０】上述のように形成された構成部材は、例え
ば旋回または進退可能な搬送部材５に載置台１を取着
し、例えば図示しないピックアンドプレースなどのアク
チュエータに懸装腕４をその第２凹テーパ４２を上方に
して取着し、懸装腕４の第２凹テーパ４２に懸装稈３の
第２凸テーパ３２が係合するように懸装稈３を懸装腕４
に挿通した後、懸装稈３に吸着子２を螺着し、懸装腕４
の第２凹テーパ４２によって懸装稈３の第２凸テーパ３
２を支持して、懸装腕４に懸装稈３とともに吸着子２を
懸架する。

【００２１】懸装稈３はその第２凸テーパ３２を懸装腕
４の第２凹テーパ４２に係合させて載置することによっ
て支持され、かつ、懸装稈３の中胴部外周と懸装腕４の
挿通穴４３とは遊合されているので、懸装腕４の下降に
よって載置台１に対向する上方から吸着子２の凸テーパ
２２を図２に示す如く載置台１の凹テーパ１２に当接さ
せたとき、懸装腕４からの下降押圧力を互いの当接面に
加圧することなく当接させ、引き続いて懸装腕４を下降
させたとき、図３に示す如く懸装腕４の第２凹テーパ４
２が懸装稈３の第２凸テーパ３２から離隔するととも
に、載置台１の凹テーパ１２と吸着子２の凸テーパ２２
との軸芯が齟齬した状態で当接していても、吸着子２の
凸テーパ２２は載置台１の凹テーパ１２に倣って自動調
芯の作用をして、吸着子２の凸テーパ２２は載置台１の
凹テーパ１２に密着する。

【００２２】そして、搬送部材５に取着されワークＷが
載置された載置台１が所定位置に位置決めされた後、そ
の上方に吸着子２の凸テーパ２２が載置台１の凹テーパ
１２と略同軸芯に対向する位置で位置決めし、懸装腕４
を下降させて載置台１の凹テーパ１２に吸着子２の凸テ
ーパ２２を図２に示す如く当接させ、図６に示す吸着子
２の吸着面２１とワークＷの上面との間に所定の空間６
を形成するように構成してなるものである。

【００２３】次いで、本発明による薄肉体の吸着装置の
動作およびその順序の実施例について、図１乃至図６に
よって以下のとおり説明する。

【００２４】図１において、図示しないピックアンドプ
レースの上下動可能なアクチュエータに取着された懸装
腕４の第２凹テーパ４２に懸装稈３の第２凸テーパ３２
を係合させ懸装稈３とともに懸装腕４に吸着子２を懸架
して、ワークＷが段部１１に載置されて搬送部材５によ
って所定位置に位置決めされた載置台１の上方の対向す
る位置に、図示しないピックアンドプレースの旋回また
は進退可能なアクチュエータの作動によって吸着子２を
位置決めする。

【００２５】図２において、図示しないピックアンドプ
レースの上下動可能なアクチュエータの作動によって懸
装腕４を下降させ、懸装腕４からの下降押圧力を互いの
当接面に加圧することなく載置台１の凹テーパ１２に吸
着子２の凸テーパ２２を当接させる。

【００２６】図３において、引き続いて懸装腕４を下降
させて、懸装腕４の第２凹テーパ４２が懸装稈３の第２
凸テーパ３２から離隔した後の所定の下端位置で、図示
しないピックアンドプレースの上下動可能なアクチュエ
ータによって懸装腕４を位置決めし、載置台１の凹テー
パ１２と吸着子２の凸テーパ２２との軸芯が齟齬した状
態で当接していても、吸着子２の凸テーパ２２は載置台
１の凹テーパ１２に倣って自動調芯の作用をして、吸着
子２の凸テーパ２２を載置台１の凹テーパ１２に密着さ
せる。

【００２７】図４において、図示しない負圧発生装置に
よって、懸装稈３の継手接合部３４から第２負圧孔３
３、さらに吸着子２の負圧孔２３，中継穴２５および所
要個の吸引孔２６を経て図６に示すワークＷの上面の空
間６に負圧を供給すると、ワークＷの上面の空間６の気
圧はワークＷの下面の空間の気圧よりも低下して、ワー
クＷは浮上し、そしてワークＷは吸着子２の所要個の吸
引孔２６に吸引されて吸着子２の吸着面２１に密着して
吸着される。

【００２８】図５において、前欄に記載した負圧の供給
を継続して、ワークＷが吸着子２の所要個の吸引孔２６
に吸引されて吸着子２の吸着面２１に密着して吸着され
たまま、図示しないピックアンドプレースの上下動可能
なアクチュエータの作動によって懸装腕４を上昇させ
て、懸装稈３の第２凸テーパ３２に懸装腕４の第２凹テ
ーパ４２を係合させ懸装稈３とともに懸装腕４に吸着子
２を懸架し、引き続いて懸装腕４を上昇させて、載置第
１の凹テーパ１２と吸着子２の凸テーパ２２との当接面
が離隔した後の所定の上端位置で、図示しないピックア
ンドプレースの上下動可能なアクチュエータの作動によ
って、懸装腕４に懸装稈３とともに懸架され吸着面２１
にワークＷを密着して吸着させた吸着子２を位置決めす
る。

【００２９】そして、図示しないピックアンドプレース
の旋回または進退可能なアクチュエータの作動によって
吸着子２を所望の位置に位置決めした後、懸装稈３の継
手接合部３４から第２負圧孔３３、さらに吸着子２の負
圧孔２３，中継穴２５および所要個の吸引孔２６を経て
ワークＷの上面に、図示しない負圧発生装置によって供
給されていた負圧を解除すると（必要ならば、負圧を解
除の後所要個の吸引孔２６からワークＷの上面にエアブ
ロウをする）、ワークＷの上面の空間６の気圧とワーク
Ｗの下面の空間の気圧とは等しくなり、ワークＷはその
自重によって吸着子２の吸着面２１から離隔するととも
に落下して、ワークＷは所望の位置に載置されるもので
ある。

【００３０】なお、本実施例では、載置第１を旋回また
は進退可能な搬送部材５に取着して説明したが、載置台
１は固定された搬送部材５に取着しても本発明は実施さ
れ得るものである。また、図示しないピックアンドプレ
ースを、懸装腕４を取着して上下動可能なアクチュエー
タと旋回または進退可能なアクチュエータとを備えたも
のとして説明したが、懸装腕４を取着して上下動可能な
アクチュエータのみを備えていれば本発明は実施され得
るものである。

【００３１】

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、以下に記載する効果を奏する。

【００３２】上端側を中空にして設けた段部１１の周縁
から上端に向かって拡口された凹テーパ１２を形設した
載置台１と、下面にワークＷの上面と密着可能な吸着面
２１を設け、下端の周縁から上方に向かって拡大され、
載置台１の凹テーパ１２と略密着可能に、かつ、凹テー
パ１２に当接させた状態において段部１１に載置された
ワークＷの上面と吸着面２１との間に所定の空間６を形
成する位置関係に凸テーパ２２を形設した吸着子２とか
ら構成したので、吸着子がワークに一次的かつ機械的に
当接する直前で位置決めされ、薄肉に形成された薄肉体
のワークを吸着子の押圧による外力によって形状変形や
疵を生じさせるとなく、吸着子の形状に倣って形状が変
形することなく、また、吸着子の材料が剛性体でも何ら
不可なく使用できるので位置決め精度が高く、そして、
生産能率が高く、装置の構造が簡単にできるものであ
る。

【００３３】さらに、中胴部から上方に向かって拡大さ
れた第２凸テーパ３２を形設した懸装稈３と、懸装稈３
の中胴部を遊合可能に挿通する挿通穴４３の上端周縁か
ら上方に向かって拡口され、かつ、第２凸テーパ３２と
略合致する第２凹テーパ４２を形設した懸装腕４とによ
って吸着子２を懸架するように構成したので、懸装腕４
からの下降押圧力を互いの当接面に加圧することなく載
置台１の凹テーパ１２に吸着子２の凸テーパ２２を当接
させ、かつ、互いの軸芯が齟齬した状態で当接していて
も自動調芯の作用をして、凸テーパ２２を凹テーパ１２
に確実に密着させるものであって、吸着子の下降速度を
吸着子がワークに当接する直前において遅速させる必要
がなく、また、吸着子の下降端位置の位置決め精度に特
に留意する必要もなく、そして、生産能率が高く、装置
の構造が簡単にできるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を示す説明図であって、懸装腕に
吸着子を懸架して載置台の上方に吸着子を位置決めした
形態を示す断面図である。

【図２】本発明の構成を示す説明図であって、懸装腕を
下降させ載置台の凹テーパに吸着子の凸テーパを当接さ
せた形態を示す断面図である。

【図３】本発明の構成を示す説明図であって、引き続い
て懸装腕を下降させ吸着子の凸テーパが載置台の凹テー
パに自動調芯して密着した形態を示す断面図である。

【図４】本発明の構成を示す説明図であって、ワークの
上面の空間に負圧を供給してワークが吸着子の吸着面に
吸着された形態を示す断面図である。

【図５】本発明の構成を示す説明図であって、懸装腕を
上昇させて吸着子を懸架し凹テーパと凸テーパとの当接
面が離隔した形態を示す断面図である。

【図６】本発明の構成を示す説明図であって、図３の吸
着主要部の拡大図である。

【符号の説明】

１ 載置台 ２ 吸着子 ３ 懸装稈 ４ 懸装腕 ５ 搬送部材 ６ 空間 １１ 段部 １２ 凹テーパ １３ 通気孔 ２１ 吸着面 ２２ 凸テーパ ２３ 負圧孔 ２４ 係止穴 ２５ 中継穴 ２６ 吸引孔 ３１ 接合部 ３２ 第２凸テーパ ３３ 第２負圧
孔 ３４ 継手接合部 ４２ 第２凹テ
ーパ ４３ 挿通穴 Ｗ ワーク

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上端側を中空にして上端と下端との間に
   ワークが載置可能な段部を設け、該段部の周縁から上端
   に向かって拡口された凹テーパを形設し、該段部のワー
   クに当接する内方に該段部から下端まで貫通して大気を
   流通させる通気孔を穿設した載置台と、 下面にワークの上面と密着可能な吸着面を設け、下端の
   周縁から上方に向かって拡大され、前記載置台の凹テー
   パと略密着可能に、かつ、前記載置台の凹テーパに当接
   させた状態において前記載置台の段部に載置されたワー
   クの上面と該吸着面との間に所定の空間を形成する位置
   関係に凸テーパを形設し、上端側の所定位置から該吸着
   面に向かって負圧を流通させる負圧孔および該負圧孔と
   負圧が流通可能に該吸着面に貫通して該吸着面とワーク
   の上面との間の空間に負圧を供給してワークを吸引する
   所要個の吸引孔を穿設した吸着子とを備えて、 載置台の凹テーパと吸着子の凸テーパとを当接させた
   後、吸着子の吸着面とワークの上面との間の空間に負圧
   を供給して、載置台の段部に載置されたワークを吸着子
   の吸着面に吸着することを特徴とする薄肉体の吸着装
   置。
2. 【請求項２】 吸着子の負圧孔の入口に接合部を設け
   て、吸着子の該接合部と負圧が流通可能に接合する接合
   部を下端に設け、外周の中胴部から上方に向かって拡大
   された第２凸テーパを形設し、略軸芯に上端から下端ま
   で貫通して負圧を流通させる第２負圧孔を穿設した懸装
   稈と、 下端から略央部までの間に前記懸装稈の中胴部を遊合可
   能に挿通する挿通穴を穿設し、該挿通穴の上端周縁から
   上方に向かって拡口され、かつ、前記懸装稈の第２凸テ
   ーパと略合致する第２凹テーパを形設した懸装腕とを備
   えて、 懸装稈の接合部および中胴部を懸装腕の上端側からその
   挿通穴に挿通するとともに、懸装稈の第２負圧孔と吸着
   子の負圧孔との間で負圧が流通可能に懸装稈の接合部を
   吸着子の負圧孔に接合して取着し、懸装腕からの下降押
   圧力によって吸着子の凸テーパを載置台の凹テーパに加
   圧することなく、かつ、自動調芯して当接するようにし
   た請求項１記載の薄肉体の吸着装置。