JP2000003920A - 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル - Google Patents
半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブルInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びＸ
Ｙテーブルにおいて、架台の振動を防止する。 【解決手段】リニアモータ４により駆動体１０を駆動す
るリニアモータ駆動装置において、リニアモータ４のモ
ータ本体６及び駆動体１０を同一駆動軸方向に移動可能
に架台２上に設け、リニアモータ４の直線可動部８と駆
動体１０を連結し、該駆動体１０を駆動した時にモータ
本体６が駆動体１０と反対方向に動けるようにし、駆動
体１０の駆動による反力を打ち消すように構成した。
Ｙテーブルにおいて、架台の振動を防止する。 【解決手段】リニアモータ４により駆動体１０を駆動す
るリニアモータ駆動装置において、リニアモータ４のモ
ータ本体６及び駆動体１０を同一駆動軸方向に移動可能
に架台２上に設け、リニアモータ４の直線可動部８と駆
動体１０を連結し、該駆動体１０を駆動した時にモータ
本体６が駆動体１０と反対方向に動けるようにし、駆動
体１０の駆動による反力を打ち消すように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置にお
けるモータ駆動装置及びＸＹテーブルに関する。
けるモータ駆動装置及びＸＹテーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】モータ駆動装置は種々の分野で使用され
ているが、例えば、ボンディング装置には、平面上の単
軸駆動としてダイボンディング装置があり、平面上の２
軸（ＸＹ軸）駆動としてワイヤボンディング装置があ
る。
ているが、例えば、ボンディング装置には、平面上の単
軸駆動としてダイボンディング装置があり、平面上の２
軸（ＸＹ軸）駆動としてワイヤボンディング装置があ
る。
【０００３】ダイボンディング装置は、コレットを保持
するアームが該アームの延在方向に単軸移動可能となっ
ており、ウエハーからダイをコレットでピックアップ又
は位置決めされたダイをピックアップしてリードフレー
ム上に移送してボンディングする。なお、この種のダイ
ボンディング装置として、例えば特開昭５７−２６４４
８号公報、特開昭５７−３６８３６号公報があげられ
る。ワイヤボンディング装置は、平面上の２軸（ＸＹ
軸）方向に駆動されるＸＹテーブルを有しており、ＸＹ
テーブルによりツールがＸＹ軸方向に駆動され、ツール
に挿通されたワイヤを第１ボンド点と第２ボンド点に接
続する。なお、この種のワイヤボンディング装置とし
て、例えば特開平４−３２０３５０号公報があげられ
る。
するアームが該アームの延在方向に単軸移動可能となっ
ており、ウエハーからダイをコレットでピックアップ又
は位置決めされたダイをピックアップしてリードフレー
ム上に移送してボンディングする。なお、この種のダイ
ボンディング装置として、例えば特開昭５７−２６４４
８号公報、特開昭５７−３６８３６号公報があげられ
る。ワイヤボンディング装置は、平面上の２軸（ＸＹ
軸）方向に駆動されるＸＹテーブルを有しており、ＸＹ
テーブルによりツールがＸＹ軸方向に駆動され、ツール
に挿通されたワイヤを第１ボンド点と第２ボンド点に接
続する。なお、この種のワイヤボンディング装置とし
て、例えば特開平４−３２０３５０号公報があげられ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】特に、精密な位置決め
を高速に行うワイヤボンディング装置においては、高速
に駆動されるＸＹテーブルから発生する振動を如何に小
さくするかが問われる。更に近年は、ボンディングに要
求される精度がμｍのオーダーに入ってきたことから振
動の影響による位置検出精度の劣化、機構部のぶれ等が
問題となってきた。即ち、振動の全く無いシステムがあ
れば大きな効果が期待できる。
を高速に行うワイヤボンディング装置においては、高速
に駆動されるＸＹテーブルから発生する振動を如何に小
さくするかが問われる。更に近年は、ボンディングに要
求される精度がμｍのオーダーに入ってきたことから振
動の影響による位置検出精度の劣化、機構部のぶれ等が
問題となってきた。即ち、振動の全く無いシステムがあ
れば大きな効果が期待できる。
【０００５】ＸＹテーブルの振動による影響について更
に詳記すると、ＸＹテーブルの振動により架台が振動
し、この振動は半導体デバイスを搬送及びボンディング
中に位置決め固定するフィーダに伝わり、半導体デバイ
スを振り回して或いはフィーダのレール（半導体デバイ
スをガイドするガイドレール）を揺らしてボンディング
されたワイヤにダメージを与える。また、ボンディング
が終了した半導体デバイスを収納するアンローダマガジ
ンでは、該アンローダマガジンに絶え間無く伝わる振動
によりワイヤの破断等の事故を起こすことがある。その
ため、アンローダマガジンに収納された半導体デバイス
は、長時間そのままにしないように注意が必要であっ
た。
に詳記すると、ＸＹテーブルの振動により架台が振動
し、この振動は半導体デバイスを搬送及びボンディング
中に位置決め固定するフィーダに伝わり、半導体デバイ
スを振り回して或いはフィーダのレール（半導体デバイ
スをガイドするガイドレール）を揺らしてボンディング
されたワイヤにダメージを与える。また、ボンディング
が終了した半導体デバイスを収納するアンローダマガジ
ンでは、該アンローダマガジンに絶え間無く伝わる振動
によりワイヤの破断等の事故を起こすことがある。その
ため、アンローダマガジンに収納された半導体デバイス
は、長時間そのままにしないように注意が必要であっ
た。
【０００６】従来、その対策として行われてきたのは、
制御の最適化や架台の材質を人造石にする等のことであ
った。しかし、モータで駆動体を駆動する場合、駆動に
必要な力を出しているモータも反作用として同じ力を受
けて加速されるので、架台の揺れは防止できなかった。
制御の最適化や架台の材質を人造石にする等のことであ
った。しかし、モータで駆動体を駆動する場合、駆動に
必要な力を出しているモータも反作用として同じ力を受
けて加速されるので、架台の揺れは防止できなかった。
【０００７】本発明の課題は、架台の振動を防止できる
半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びＸＹテーブ
ルを提供することにある。
半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びＸＹテーブ
ルを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、モータにより駆動体を駆動す
る半導体製造装置におけるモータ駆動装置において、前
記モータのモータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向
に移動可能に架台上に設け、前記モータの直線可動部と
前記駆動体を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モー
タ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記
駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成したこと
を特徴とする。
の本発明の第１の手段は、モータにより駆動体を駆動す
る半導体製造装置におけるモータ駆動装置において、前
記モータのモータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向
に移動可能に架台上に設け、前記モータの直線可動部と
前記駆動体を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モー
タ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記
駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成したこと
を特徴とする。
【０００９】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、モータにより駆動体を駆動する半導体製造装置
におけるモータ駆動装置において、前記モータのモータ
本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台
上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結
し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動
体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動によ
る反力を打ち消すように構成し、前記モータにより前記
駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにし
たことを特徴とする。
手段は、モータにより駆動体を駆動する半導体製造装置
におけるモータ駆動装置において、前記モータのモータ
本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台
上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結
し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動
体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動によ
る反力を打ち消すように構成し、前記モータにより前記
駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにし
たことを特徴とする。
【００１０】上記課題を解決するための本発明の第３の
手段は、前記第１及び第２の手段において、前記駆動体
を駆動した時に前記モータ本体が反対方向に移動するの
を元の位置に戻すダンパーを前記モータ本体に設けたこ
とを特徴とする。
手段は、前記第１及び第２の手段において、前記駆動体
を駆動した時に前記モータ本体が反対方向に移動するの
を元の位置に戻すダンパーを前記モータ本体に設けたこ
とを特徴とする。
【００１１】上記課題を解決するための本発明の第４の
手段は、前記第１、第２及び第３の手段において、前記
架台又は前記駆動体には、前記架台に対する前記駆動体
の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段を付加
し、前記架台又は前記モータ本体には、前記架台に対す
る前記モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速
度検知手段を付加したことを特徴とする。
手段は、前記第１、第２及び第３の手段において、前記
架台又は前記駆動体には、前記架台に対する前記駆動体
の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段を付加
し、前記架台又は前記モータ本体には、前記架台に対す
る前記モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速
度検知手段を付加したことを特徴とする。
【００１２】上記課題を解決するための本発明の第５の
手段は、モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置
を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動
装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置に
よる第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブル
が設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移
動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達する
と共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方
向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを
連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブ
ルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１
モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方
向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時
に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆
動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び
第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した
ことを特徴とする。
手段は、モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置
を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動
装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置に
よる第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブル
が設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移
動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達する
と共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方
向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを
連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブ
ルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１
モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方
向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時
に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆
動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び
第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した
ことを特徴とする。
【００１３】上記課題を解決するための本発明の第６の
手段は、モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置
を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動
装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置に
よる第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブル
が設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移
動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達する
と共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方
向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを
連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブ
ルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１
モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方
向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時
に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆
動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び
第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、
前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及び第２
駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにし
たことを特徴とする。
手段は、モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置
を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動
装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置に
よる第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブル
が設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移
動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達する
と共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方
向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを
連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブ
ルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１
モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方
向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時
に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆
動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び
第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、
前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及び第２
駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにし
たことを特徴とする。
【００１４】上記課題を解決するための本発明の第７の
手段は、前記第５及び第６の手段において、前記第１駆
動体及び第２駆動体を駆動した時に対応するモータ本体
が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを前
記第１及び第２モータ本体に設けたことを特徴とする。
手段は、前記第５及び第６の手段において、前記第１駆
動体及び第２駆動体を駆動した時に対応するモータ本体
が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを前
記第１及び第２モータ本体に設けたことを特徴とする。
【００１５】上記課題を解決するための本発明の第８の
手段は、前記第５及び第６の手段において、前記架台又
は前記第１駆動体と前記架台又は第２駆動体には、前記
架台に対する前記第１駆動体及び第２駆動体の位置及び
速度を検知するための駆動体検知手段をそれぞれ付加
し、前記架台又は前記第１及び第２モータ本体には、前
記架台に対する前記モータ本体の速度を検知するための
モータ本体速度検知手段をそれぞれ付加したことを特徴
とする。
手段は、前記第５及び第６の手段において、前記架台又
は前記第１駆動体と前記架台又は第２駆動体には、前記
架台に対する前記第１駆動体及び第２駆動体の位置及び
速度を検知するための駆動体検知手段をそれぞれ付加
し、前記架台又は前記第１及び第２モータ本体には、前
記架台に対する前記モータ本体の速度を検知するための
モータ本体速度検知手段をそれぞれ付加したことを特徴
とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の基本的な一実施の形態を
図１及び図２により説明する。まず、図１に示すリニア
モータ駆動装置１の構成について説明する。架台２には
モータ保持台３が固定され、モータ保持台３にはリニア
モータ４が保持されている。リニアモータ４は、周知の
如く、永久磁石５を有するモータ本体６と、コイル７を
有する直線可動部８とからなっている。モータ本体６
は、直線可動部８の駆動軸方向に移動可能にガイドレー
ル９を介してモータ保持台３に設けられている。
図１及び図２により説明する。まず、図１に示すリニア
モータ駆動装置１の構成について説明する。架台２には
モータ保持台３が固定され、モータ保持台３にはリニア
モータ４が保持されている。リニアモータ４は、周知の
如く、永久磁石５を有するモータ本体６と、コイル７を
有する直線可動部８とからなっている。モータ本体６
は、直線可動部８の駆動軸方向に移動可能にガイドレー
ル９を介してモータ保持台３に設けられている。
【００１７】直線可動部８には駆動体１０が固定されて
いる。駆動体１０は直線可動部８の駆動軸方向と同方向
に移動可能にガイドレール１１を介して駆動体保持台１
２に設けられており、駆動体保持台１２は架台２に固定
されている。ここで、モータ本体６の重量は、直線可動
部８と駆動体１０との重量より大きくなっている。
いる。駆動体１０は直線可動部８の駆動軸方向と同方向
に移動可能にガイドレール１１を介して駆動体保持台１
２に設けられており、駆動体保持台１２は架台２に固定
されている。ここで、モータ本体６の重量は、直線可動
部８と駆動体１０との重量より大きくなっている。
【００１８】モータ保持台３には、モータ本体６の速度
を検知するためのモータ本体速度検知センサ１５が取付
けられ、駆動体保持台１２には、駆動体１０の位置及び
速度を検知するための駆動体センサ１６が取付けられて
いる。またモータ保持台３には、駆動体１０を駆動した
時にモータ本体６が駆動体１０と反対方向に移動するの
を元の位置に戻すダンパー１７が取付けられている。
を検知するためのモータ本体速度検知センサ１５が取付
けられ、駆動体保持台１２には、駆動体１０の位置及び
速度を検知するための駆動体センサ１６が取付けられて
いる。またモータ保持台３には、駆動体１０を駆動した
時にモータ本体６が駆動体１０と反対方向に移動するの
を元の位置に戻すダンパー１７が取付けられている。
【００１９】図２は図１に示すリニアモータ駆動装置の
制御ブロック図を示す。制御装置からの位置指令信号２
０と、駆動体センサ１６からの駆動体位置信号２１は、
位置加算回路２２にて加減算される。この加減算された
位置指令信号２３は、第１の速度生成回路２４により速
度が生成されて速度指令信号２５が出力される。即ち、
駆動体センサ１６からの駆動体位置信号２１は制御装置
からの位置指令信号２０にフィードバックされる。
制御ブロック図を示す。制御装置からの位置指令信号２
０と、駆動体センサ１６からの駆動体位置信号２１は、
位置加算回路２２にて加減算される。この加減算された
位置指令信号２３は、第１の速度生成回路２４により速
度が生成されて速度指令信号２５が出力される。即ち、
駆動体センサ１６からの駆動体位置信号２１は制御装置
からの位置指令信号２０にフィードバックされる。
【００２０】また速度指令信号２５と、駆動体位置信号
２１を第２の速度生成回路２６によって生成された駆動
体速度信号２７と、モータ本体速度検知センサ１５によ
り生成されたモータ本体速度信号２８とは、速度加算回
路２９によって加減算される。この加減算された速度指
令信号３０は、電圧変換回路３１により電圧に変換さ
れ、増幅回路３２を経てリニアモータ４に供給される。
駆動体速度信号２７及びモータ本体速度信号２８は速度
指令信号２５にフィードバックされる。
２１を第２の速度生成回路２６によって生成された駆動
体速度信号２７と、モータ本体速度検知センサ１５によ
り生成されたモータ本体速度信号２８とは、速度加算回
路２９によって加減算される。この加減算された速度指
令信号３０は、電圧変換回路３１により電圧に変換さ
れ、増幅回路３２を経てリニアモータ４に供給される。
駆動体速度信号２７及びモータ本体速度信号２８は速度
指令信号２５にフィードバックされる。
【００２１】次に作用について説明する。制御装置から
駆動体１０を所定位置に移動させる位置指令信号２０
は、第１の速度生成回路２４により速度指令信号２５が
生成され、この速度指令信号２５は電圧変換回路３１に
よって電圧に変換され、増幅回路３２によって増幅され
てリニアモータ４のコイル７に供給される。コイル７に
電圧が供給されると、その電圧による電流の方向によっ
て直線可動部８はその駆動軸方向に加速されて移動し、
駆動体１０はガイドレール１１にガイドされて同方向に
移動する。またモータ本体６はガイドレール９に沿って
移動可能に設けられているので、直線可動部８及び駆動
体１０の駆動の反作用として同じ力を受けて駆動体１０
と反対方向に加速されて移動する。
駆動体１０を所定位置に移動させる位置指令信号２０
は、第１の速度生成回路２４により速度指令信号２５が
生成され、この速度指令信号２５は電圧変換回路３１に
よって電圧に変換され、増幅回路３２によって増幅され
てリニアモータ４のコイル７に供給される。コイル７に
電圧が供給されると、その電圧による電流の方向によっ
て直線可動部８はその駆動軸方向に加速されて移動し、
駆動体１０はガイドレール１１にガイドされて同方向に
移動する。またモータ本体６はガイドレール９に沿って
移動可能に設けられているので、直線可動部８及び駆動
体１０の駆動の反作用として同じ力を受けて駆動体１０
と反対方向に加速されて移動する。
【００２２】この場合、駆動体１０の位置は駆動体セン
サ１６により検知され、駆動体位置信号２１は位置加算
回路２２に入力されて位置指令信号２０にフィードバッ
クされ、また駆動体位置信号２１は第２の速度生成回路
２６により駆動体速度信号２７が生成されて速度加算回
路２９に入力され、速度生成回路２４の速度指令信号２
５にフィードバックされ駆動体１０を所定位置に移動さ
せるようにリニアモータ４のコイル７に電圧が供給され
る。
サ１６により検知され、駆動体位置信号２１は位置加算
回路２２に入力されて位置指令信号２０にフィードバッ
クされ、また駆動体位置信号２１は第２の速度生成回路
２６により駆動体速度信号２７が生成されて速度加算回
路２９に入力され、速度生成回路２４の速度指令信号２
５にフィードバックされ駆動体１０を所定位置に移動さ
せるようにリニアモータ４のコイル７に電圧が供給され
る。
【００２３】このように、モータ本体６が駆動体１０の
駆動軸方向と逆方向に移動するので、架台２に与える運
動量は理論的にゼロとなり、架台２の揺れは生じない。
実際には、ガイドレール９に摩擦があるので、架台２に
力は加わるが、その力は非常に小さい。
駆動軸方向と逆方向に移動するので、架台２に与える運
動量は理論的にゼロとなり、架台２の揺れは生じない。
実際には、ガイドレール９に摩擦があるので、架台２に
力は加わるが、その力は非常に小さい。
【００２４】前記したように、モータ本体６は直線可動
部８の駆動軸方向に移動可能となっているので、直線可
動部８及び駆動体１０を加速した時にモータ本体６も加
速される。この時の加速は、直線可動部８を含む駆動体
１０の重量とモータ本体６の重量の逆比になる。例え
ば、直線可動部８を含む駆動体１０の重量が５Ｋｇ、モ
ータ本体６の重量が２５Ｋｇとすると、駆動体１０を１
Ｇで加速した時は、モータ本体６が駆動体１０と逆方向
に（５÷２５）×１Ｇ＝０．２Ｇで加速される。
部８の駆動軸方向に移動可能となっているので、直線可
動部８及び駆動体１０を加速した時にモータ本体６も加
速される。この時の加速は、直線可動部８を含む駆動体
１０の重量とモータ本体６の重量の逆比になる。例え
ば、直線可動部８を含む駆動体１０の重量が５Ｋｇ、モ
ータ本体６の重量が２５Ｋｇとすると、駆動体１０を１
Ｇで加速した時は、モータ本体６が駆動体１０と逆方向
に（５÷２５）×１Ｇ＝０．２Ｇで加速される。
【００２５】その結果、駆動体１０とモータ本体６の相
対加速度は１．２Ｇとなるので、直線可動部８とモータ
本体６の間に発生する相対速度も駆動体１０の速度より
も２割大きくなる。即ち、駆動体センサ１６が駆動体１
０を検知している速度よりも直線可動部８とモータ本体
６の相対速度が２割大きくなったのに、駆動体センサ１
６は駆動体１０のみを検知しているので、その２割の相
対速度を無視してコイル７に電圧を加えている。ところ
が、コイル７からは相対速度に比例した起電力が発生す
るので、駆動体センサ１６から与えられた信号を基に作
った印加電圧では、コイル７に与えるべき電圧には２割
不足することになる。
対加速度は１．２Ｇとなるので、直線可動部８とモータ
本体６の間に発生する相対速度も駆動体１０の速度より
も２割大きくなる。即ち、駆動体センサ１６が駆動体１
０を検知している速度よりも直線可動部８とモータ本体
６の相対速度が２割大きくなったのに、駆動体センサ１
６は駆動体１０のみを検知しているので、その２割の相
対速度を無視してコイル７に電圧を加えている。ところ
が、コイル７からは相対速度に比例した起電力が発生す
るので、駆動体センサ１６から与えられた信号を基に作
った印加電圧では、コイル７に与えるべき電圧には２割
不足することになる。
【００２６】これを補償するのがモータ本体速度検知セ
ンサ１５である。即ち、モータ本体６の速度はモータ本
体速度信号２８により検知され、モータ本体速度信号２
８が速度加算回路２９に入力されて速度指令信号２５と
駆動体速度信号２７に加算され、速度指令信号３０とな
って電圧変換回路３１に入力され、増幅回路３２で増幅
されてコイル７に電圧が供給される。これにより、コイ
ル７に与えるべき不足電圧が補償される。
ンサ１５である。即ち、モータ本体６の速度はモータ本
体速度信号２８により検知され、モータ本体速度信号２
８が速度加算回路２９に入力されて速度指令信号２５と
駆動体速度信号２７に加算され、速度指令信号３０とな
って電圧変換回路３１に入力され、増幅回路３２で増幅
されてコイル７に電圧が供給される。これにより、コイ
ル７に与えるべき不足電圧が補償される。
【００２７】ところで、モータ本体６は移動可能となっ
ているので、仮に駆動体１０の駆動と関係なく駆動体１
０が停止している時にモータ本体６が揺らされた場合、
例えばモータ本体６を手で動かした時は、駆動体センサ
１６は駆動体１０の所定位置を検知しているので、回路
からは停止信号、即ち０Ｖが出力されようとする。モー
タ本体速度検知センサ１５が無い場合は、駆動体１０は
モータ本体６と相対的に停止、即ちモータ本体６の動き
に連れて一緒に動こうとする。その結果、位置がずれて
元の位置に戻ろうとするので、速度指令と位置指令に食
い違いが起こり、駆動体１０はその中間の動き、即ちモ
ータ本体６を手で動かしている動きよりも小さいながら
モータ本体６の動きに相似の動きを行う。その程度は速
度帰還、位置帰還の利得で決まる。
ているので、仮に駆動体１０の駆動と関係なく駆動体１
０が停止している時にモータ本体６が揺らされた場合、
例えばモータ本体６を手で動かした時は、駆動体センサ
１６は駆動体１０の所定位置を検知しているので、回路
からは停止信号、即ち０Ｖが出力されようとする。モー
タ本体速度検知センサ１５が無い場合は、駆動体１０は
モータ本体６と相対的に停止、即ちモータ本体６の動き
に連れて一緒に動こうとする。その結果、位置がずれて
元の位置に戻ろうとするので、速度指令と位置指令に食
い違いが起こり、駆動体１０はその中間の動き、即ちモ
ータ本体６を手で動かしている動きよりも小さいながら
モータ本体６の動きに相似の動きを行う。その程度は速
度帰還、位置帰還の利得で決まる。
【００２８】このように、外力でモータ本体６が動かさ
れる場合でも、モータ本体速度検知センサ１５から回路
に加算された信号がモータ本体６の動きに比例した電圧
をコイル７に与えるように働くので、モータ本体６と駆
動体１０の相対速度によって発生した電圧は、モータ本
体速度検知センサ１５からのモータ本体速度信号２８に
よってコイル７に逆方向に印加される。その結果、コイ
ル７の電流発生は無くなり力は発生せず、駆動体１０は
モータ本体６の動きに影響されなくなる。
れる場合でも、モータ本体速度検知センサ１５から回路
に加算された信号がモータ本体６の動きに比例した電圧
をコイル７に与えるように働くので、モータ本体６と駆
動体１０の相対速度によって発生した電圧は、モータ本
体速度検知センサ１５からのモータ本体速度信号２８に
よってコイル７に逆方向に印加される。その結果、コイ
ル７の電流発生は無くなり力は発生せず、駆動体１０は
モータ本体６の動きに影響されなくなる。
【００２９】図３は図１に示す基本構造のリニアモータ
駆動装置１を２台組み合わせてＸＹテーブルを構成した
ものである。そこで、図１と同じ又は相当部材には同一
符号を付し、その符号の後に２軸のＸ軸及びＹ軸を示す
Ｘ、Ｙを付し、その詳細な説明は省略する。
駆動装置１を２台組み合わせてＸＹテーブルを構成した
ものである。そこで、図１と同じ又は相当部材には同一
符号を付し、その符号の後に２軸のＸ軸及びＹ軸を示す
Ｘ、Ｙを付し、その詳細な説明は省略する。
【００３０】一方のＸ軸に配設されたリニアモータ駆動
装置１Ｘの駆動体１０Ｘ上には、ガイドレール１１Ｘと
直交するＹ軸方向に延在して配置された一対のガイドレ
ール４０が固定されている。この一対のガイドレール４
０の内側には、駆動体１０Ｘの駆動軸方向（Ｘ軸方向）
と直交するＹ軸方向に直線的に移動可能に上部テーブル
４１が支持されている。
装置１Ｘの駆動体１０Ｘ上には、ガイドレール１１Ｘと
直交するＹ軸方向に延在して配置された一対のガイドレ
ール４０が固定されている。この一対のガイドレール４
０の内側には、駆動体１０Ｘの駆動軸方向（Ｘ軸方向）
と直交するＹ軸方向に直線的に移動可能に上部テーブル
４１が支持されている。
【００３１】上部テーブル４１上には、駆動体１０Ｘの
駆動軸方向（Ｘ軸方向）に延在するガイド部材４２が固
定されている。ガイド部材４２の直上には、他方のＹ軸
に配設されたリニアモータ駆動装置１Ｙの駆動体１０Ｙ
の端部が位置するように配設されている。そして、駆動
体１０Ｙの移動を上部テーブル４１に伝達すると共に、
上部テーブル４１が駆動体１０Ｘとの移動方向に移動可
能に、駆動体１０Ｙに固定された連結部材４３がガイド
部材４２に嵌挿されている。なお、駆動体１０Ｘと上部
テーブル４１との構造、上部テーブル４１と駆動体１０
Ｙとの連結手段（ガイド部材４２、連結部材４３）は、
例えば特公昭５９−５２５４０号公報に示すように公知
である。
駆動軸方向（Ｘ軸方向）に延在するガイド部材４２が固
定されている。ガイド部材４２の直上には、他方のＹ軸
に配設されたリニアモータ駆動装置１Ｙの駆動体１０Ｙ
の端部が位置するように配設されている。そして、駆動
体１０Ｙの移動を上部テーブル４１に伝達すると共に、
上部テーブル４１が駆動体１０Ｘとの移動方向に移動可
能に、駆動体１０Ｙに固定された連結部材４３がガイド
部材４２に嵌挿されている。なお、駆動体１０Ｘと上部
テーブル４１との構造、上部テーブル４１と駆動体１０
Ｙとの連結手段（ガイド部材４２、連結部材４３）は、
例えば特公昭５９−５２５４０号公報に示すように公知
である。
【００３２】そこで、リニアモータ４Ｘが制御装置から
与えられる指令に基づいて駆動されると、駆動体１０Ｘ
はＸ軸方向に移動し、上部テーブル４１も共に同方向に
移動する。この時、上部テーブル４１のＸ軸方向の移動
に対しては、ガイド部材４２が連結部材４３に沿ってＸ
軸方向に移動できるようになっているので、駆動体１０
Ｙには何等の影響も与えない。同様に、リニアモータ４
Ｙが制御装置から与えられる指令に基づいて駆動される
と、駆動体１０ＹはＹ軸方向に移動し、この動作は連結
部材４３及びガイド部材４２を介して上部テーブル４１
を駆動体１０Ｘに直交したＹ軸方向の移動動作となる。
与えられる指令に基づいて駆動されると、駆動体１０Ｘ
はＸ軸方向に移動し、上部テーブル４１も共に同方向に
移動する。この時、上部テーブル４１のＸ軸方向の移動
に対しては、ガイド部材４２が連結部材４３に沿ってＸ
軸方向に移動できるようになっているので、駆動体１０
Ｙには何等の影響も与えない。同様に、リニアモータ４
Ｙが制御装置から与えられる指令に基づいて駆動される
と、駆動体１０ＹはＹ軸方向に移動し、この動作は連結
部材４３及びガイド部材４２を介して上部テーブル４１
を駆動体１０Ｘに直交したＹ軸方向の移動動作となる。
【００３３】前記したように、駆動体１０ＸがＸ軸方向
に駆動されると、図１の基本構造で説明したように、モ
ータ本体６Ｘは駆動体１０Ｘの駆動の反作用として駆動
体１０Ｘと反対方向に加速されて移動する。このため、
架台２に運動量は与えられなく、架台２の揺れは生じな
い。駆動体１０ＹがＹ軸方向に駆動された場合も同様で
ある。
に駆動されると、図１の基本構造で説明したように、モ
ータ本体６Ｘは駆動体１０Ｘの駆動の反作用として駆動
体１０Ｘと反対方向に加速されて移動する。このため、
架台２に運動量は与えられなく、架台２の揺れは生じな
い。駆動体１０ＹがＹ軸方向に駆動された場合も同様で
ある。
【００３４】本実施の形態に示すＸＹテーブルの場合
は、２台のリニアモータ駆動装置１Ｘ、１Ｙを有するの
で、図２に示す制御ブロックはそれぞれのリニアモータ
駆動装置１Ｘ、１Ｙに対して設けることは言うまでもな
い。そして、図１の基本構造で説明したように、駆動体
１０Ｘ、１０Ｙを駆動した場合におけるコイルに与える
べき不足電圧は、対応したモータ本体速度検知センサ１
５の作用によって補償される。
は、２台のリニアモータ駆動装置１Ｘ、１Ｙを有するの
で、図２に示す制御ブロックはそれぞれのリニアモータ
駆動装置１Ｘ、１Ｙに対して設けることは言うまでもな
い。そして、図１の基本構造で説明したように、駆動体
１０Ｘ、１０Ｙを駆動した場合におけるコイルに与える
べき不足電圧は、対応したモータ本体速度検知センサ１
５の作用によって補償される。
【００３５】図１に示すリニアモータ駆動装置１及び図
３に示すＸＹテーブルを例えばボンディング装置に適用
した場合の構成を簡単に説明する。ダイボンディング装
置の場合は、他端にコレットを有するアームを図１に示
すリニアモータ駆動装置１の駆動体１０に上下動可能に
設ける。ワイヤボンディング装置の場合は、ボンディン
グ装置ヘッドを図３に示すＸＹテーブルの上部テーブル
４１の上面に搭載する。
３に示すＸＹテーブルを例えばボンディング装置に適用
した場合の構成を簡単に説明する。ダイボンディング装
置の場合は、他端にコレットを有するアームを図１に示
すリニアモータ駆動装置１の駆動体１０に上下動可能に
設ける。ワイヤボンディング装置の場合は、ボンディン
グ装置ヘッドを図３に示すＸＹテーブルの上部テーブル
４１の上面に搭載する。
【００３６】なお、上記実施の形態においては、リニア
モータ４、４Ｘ、４Ｙを用いた場合について説明した
が、パルスモータ、ＤＣモータ、ＡＣモータ等を用いた
場合にも適用できることは言うまでもない。
モータ４、４Ｘ、４Ｙを用いた場合について説明した
が、パルスモータ、ＤＣモータ、ＡＣモータ等を用いた
場合にも適用できることは言うまでもない。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、モータにより駆動体を
駆動するモータ駆動装置において、前記モータのモータ
本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台
上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結
し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動
体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動によ
る反力を打ち消すように構成したので、架台の振動を防
止できる。
駆動するモータ駆動装置において、前記モータのモータ
本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台
上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結
し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動
体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動によ
る反力を打ち消すように構成したので、架台の振動を防
止できる。
【図１】本発明の半導体製造装置におけるモータ駆動装
置の基本構造の一実施の形態を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図である。
置の基本構造の一実施の形態を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図である。
【図２】制御ブロック図である。
【図３】図１のモータ駆動装置を２台組み合わせて構成
した半導体製造装置におけるＸＹテーブルの一実施の形
態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
した半導体製造装置におけるＸＹテーブルの一実施の形
態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
１、１Ｘ、１Ｙ リニアモータ駆動装置 ２ 架台 ３ モータ保持台 ４ リニアモータ ４Ｘ Ｘ軸用のリニアモータ（第１のリニアモータ） ４Ｙ Ｙ軸用のリニアモータ（第２のリニアモータ） ６ モータ本体 ８ 直線可動部 ９ ガイドレール １０、１０Ｘ、１０Ｙ 駆動体 １１、１１Ｘ、１１Ｙ ガイドレール １２、１２Ｘ、１２Ｙ 駆動体保持台 １５ モータ本体速度検知センサ １６ 駆動体センサ １７ ダンパー ２０ 位置指令信号 ２１ 駆動体位置信号 ２２ 位置加算回路 ２３ 位置指令信号 ２４ 第１の速度生成回路 ２５ 速度指令信号 ２６ 第２の速度生成回路 ２７ 駆動体速度信号 ２８ モータ本体速度信号 ２９ 速度加算回路 ３０ 速度指令信号 ３１ 電圧変換回路 ３２ 増幅回路 ４０ ガイドレール ４１ 上部テーブル ４２ ガイド部材 ４３ 連結部材
Claims (8)
- 【請求項１】 モータにより駆動体を駆動する半導体製
造装置におけるモータ駆動装置において、前記モータの
モータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能
に架台上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体
を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前
記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆
動による反力を打ち消すように構成したことを特徴とす
る半導体製造装置におけるモータ駆動装置。 - 【請求項２】 モータにより駆動体を駆動する半導体製
造装置におけるモータ駆動装置において、前記モータの
モータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能
に架台上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体
を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前
記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆
動による反力を打ち消すように構成し、前記モータによ
り前記駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるよ
うにしたことを特徴とする半導体製造装置におけるモー
タ駆動装置。 - 【請求項３】 前記駆動体を駆動した時に前記モータ本
体が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを
前記モータ本体に設けたことを特徴とする請求項１又は
２記載の半導体製造装置におけるモータ駆動装置。 - 【請求項４】 前記架台又は前記駆動体には、前記架台
に対する前記駆動体の位置及び速度を検知するための駆
動体検知手段を付加し、前記架台又は前記モータ本体に
は、前記架台に対する前記モータ本体の速度を検知する
ためのモータ本体速度検知手段を付加したことを特徴と
する請求項１、２又は３記載の半導体製造装置における
モータ駆動装置。 - 【請求項５】 モータにより駆動体を駆動するモータ駆
動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モー
タ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動
装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テ
ーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動
体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝
達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との
移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動
体とを連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹ
テーブルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前
記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と
反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動
した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記
第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動
体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構
成したことを特徴とする半導体製造装置におけるＸＹテ
ーブル。 - 【請求項６】 モータにより駆動体を駆動するモータ駆
動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モー
タ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動
装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テ
ーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動
体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝
達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との
移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動
体とを連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹ
テーブルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前
記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と
反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動
した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記
第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動
体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構
成し、前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及
び第２駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるよ
うにしたことを特徴とする半導体製造装置におけるＸＹ
テーブル。 - 【請求項７】 前記第１駆動体及び第２駆動体を駆動し
た時に対応するモータ本体が反対方向に移動するのを元
の位置に戻すダンパーを前記第１及び第２モータ本体に
設けたことを特徴とする請求項５又は６記載の半導体製
造装置におけるＸＹテーブル。 - 【請求項８】 前記架台又は前記第１駆動体と前記架台
又は第２駆動体には、前記架台に対する前記第１駆動体
及び第２駆動体の位置及び速度を検知するための駆動体
検知手段をそれぞれ付加し、前記架台又は前記第１及び
第２モータ本体には、前記架台に対する前記モータ本体
の速度を検知するためのモータ本体速度検知手段をそれ
ぞれ付加したことを特徴とする請求項５又は６記載の半
導体製造装置におけるＸＹテーブル。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10183246A JP2981999B1 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル |
| TW088108266A TW417217B (en) | 1998-06-16 | 1999-05-20 | Motor driving unit and X-Y table in semiconductor manufacturing device |
| KR1019990022013A KR100335673B1 (ko) | 1998-06-16 | 1999-06-14 | 반도체 제조장치에 있어서의 모터구동장치 및 ｘｙ 테이블 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10183246A JP2981999B1 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2981999B1 JP2981999B1 (ja) | 1999-11-22 |
| JP2000003920A true JP2000003920A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=16132342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10183246A Expired - Lifetime JP2981999B1 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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| KR (1) | KR100335673B1 (ja) |
| TW (1) | TW417217B (ja) |
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| US7885021B2 (en) | 2004-10-27 | 2011-02-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Six degree of freedom (DOF) actuator reaction mass |
| JP2012114359A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Kaijo Corp | Ｘｙステージ |
| JP2015170612A (ja) * | 2014-03-04 | 2015-09-28 | 株式会社新川 | ボンディング装置 |
| US9324679B2 (en) | 2012-02-29 | 2016-04-26 | Fasford Technology Co., Ltd. | Two-shaft drive mechanism and die bonder |
| KR20220020784A (ko) * | 2020-08-12 | 2022-02-21 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | 다이 본딩 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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| JP2014056979A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 水平軸駆動機構、２軸駆動機構及びダイボンダ |
| KR101520401B1 (ko) | 2015-01-13 | 2015-05-15 | 재단법인차세대융합기술연구원 | 이동 가능한 테이블 시스템 |
| KR101989120B1 (ko) | 2017-08-04 | 2019-06-13 | 이노6 주식회사 | 이동 가능한 테이블 시스템 |
| KR20190083193A (ko) | 2018-01-03 | 2019-07-11 | 이노6 주식회사 | 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템 |
| KR102070756B1 (ko) | 2018-03-15 | 2020-01-29 | 이노6 주식회사 | 다축 구조 스테이지 |
| KR102407790B1 (ko) | 2020-11-05 | 2022-06-13 | 이노6 주식회사 | 반발력 저감 테이블 시스템 |
| KR102602634B1 (ko) | 2021-02-25 | 2023-11-16 | 이노6 주식회사 | 힌지구조를 갖는 스테이지 |
| KR20240077989A (ko) | 2022-11-25 | 2024-06-03 | 이노로보틱스 주식회사 | 베이스 평탄 조절 조립체 |
| KR20240099580A (ko) | 2022-12-22 | 2024-07-01 | 이노로보틱스 주식회사 | Uvw 스테이지 |
-
1998
- 1998-06-16 JP JP10183246A patent/JP2981999B1/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-05-20 TW TW088108266A patent/TW417217B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-06-14 KR KR1019990022013A patent/KR100335673B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
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