JPH01136582A - 速度制御装置 - Google Patents
速度制御装置Info
- Publication number
- JPH01136582A JPH01136582A JP62294092A JP29409287A JPH01136582A JP H01136582 A JPH01136582 A JP H01136582A JP 62294092 A JP62294092 A JP 62294092A JP 29409287 A JP29409287 A JP 29409287A JP H01136582 A JPH01136582 A JP H01136582A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- motor
- load
- detector
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Velocity Or Acceleration (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は速度制御装置に係り、特に、連結体を介して駆
動される負荷の速度に含まれる機械的固有振動を抑制し
、円滑な駆動を行う速度制御装置（］） に関する。
動される負荷の速度に含まれる機械的固有振動を抑制し
、円滑な駆動を行う速度制御装置（］） に関する。
特願昭５９−２４７２５４に記載されている従来の方法
は、負荷（縮小投影露光装置のステージ、工作機械のテ
ーブル等）の速度を示す負荷速度検出器の出力と、これ
を駆動するモータの速度を示す駆動速度検出器（例えば
タコゼネ等）の出力の差を検出することにより、負荷の
機械的振動を抽出し、これを制御入力端にフィードバッ
クして、負荷の機械的固有振動に因る振動を抑制し、振
動のない、円滑な駆動を行うものである。
は、負荷（縮小投影露光装置のステージ、工作機械のテ
ーブル等）の速度を示す負荷速度検出器の出力と、これ
を駆動するモータの速度を示す駆動速度検出器（例えば
タコゼネ等）の出力の差を検出することにより、負荷の
機械的振動を抽出し、これを制御入力端にフィードバッ
クして、負荷の機械的固有振動に因る振動を抑制し、振
動のない、円滑な駆動を行うものである。
第３図は、公知例から引用した従来技術の実施例である
。モータ２は、継手及び送りネジ３を通じて、移動台４
を駆動する。モータ２は、サーボアンプ１、モータ２、
タコゼネ５が構成する速度制御系により、速度指令υＣ
に追従した速度で駆動される。モータ２の実際の速度、
すなわち駆動速度はタコゼネ５の出力υＤとして得られ
る。レーザ干渉計６は、移動台４が移動した距離に比例
した数のパルスを出力するので、これをＦ／Ｖ（周波数
／ＤＣ電圧）変換すれば、負荷速度υしを得る。負荷速
度υＬと駆動速度υＤの差（υＬ−υＤ）を検出すると
、これはモータ２、継手及び送りネジ３、移動台４が構
成する系の機械的固有振動に起因する振動を抽出した信
号となる。これを、増巾器７、フィルタ８を通じて制御
入力端に図示の如く加えれば、移動台４は、振動が抑制
され、円滑な駆動が行われる。
。モータ２は、継手及び送りネジ３を通じて、移動台４
を駆動する。モータ２は、サーボアンプ１、モータ２、
タコゼネ５が構成する速度制御系により、速度指令υＣ
に追従した速度で駆動される。モータ２の実際の速度、
すなわち駆動速度はタコゼネ５の出力υＤとして得られ
る。レーザ干渉計６は、移動台４が移動した距離に比例
した数のパルスを出力するので、これをＦ／Ｖ（周波数
／ＤＣ電圧）変換すれば、負荷速度υしを得る。負荷速
度υＬと駆動速度υＤの差（υＬ−υＤ）を検出すると
、これはモータ２、継手及び送りネジ３、移動台４が構
成する系の機械的固有振動に起因する振動を抽出した信
号となる。これを、増巾器７、フィルタ８を通じて制御
入力端に図示の如く加えれば、移動台４は、振動が抑制
され、円滑な駆動が行われる。
従来技術が必要とする負荷速度検出器としては、上記公
知例のレーザ干渉計の外、磁気スケールや光学スケール
等が考えられる。
知例のレーザ干渉計の外、磁気スケールや光学スケール
等が考えられる。
しかるに、このような検出器を備えた装置は稀であり、
一般的ではない。また、この種の検出器は高価であり、
取り付けるのも容易ではないので、振動抑制のみを目的
として、これを設備するのは経済的でない。
一般的ではない。また、この種の検出器は高価であり、
取り付けるのも容易ではないので、振動抑制のみを目的
として、これを設備するのは経済的でない。
このように、負荷の実際の速度を経済的に検出すること
が困難だということから、上記従来技術は、その適用が
狭い範囲に限られるという問題があった。
が困難だということから、上記従来技術は、その適用が
狭い範囲に限られるという問題があった。
本発明は、レーザ干渉計、磁気スケール、光学スケール
等、分解能の高い位置検出器の使用を前提としない、適
用範囲の広い振動抑制制御を安価に提供することを目的
とする。
等、分解能の高い位置検出器の使用を前提としない、適
用範囲の広い振動抑制制御を安価に提供することを目的
とする。
上記目的は、従来技術が負荷の機械的振動を検出するた
めに負荷速度検出器を用いたのに対し、負荷加速度検出
器を用いることにより達成される。
めに負荷速度検出器を用いたのに対し、負荷加速度検出
器を用いることにより達成される。
第４図を使用して、移動台に固定した加速度検出器によ
り、移動台の加速度を検出する手段を説明する。移動台
４に質量ｍの微小な物体４１を、弾性体４２を介して固
定する。移動台４が加速度αＩ、で移動すると、これに
固定された微小物体４１もまた加速度αＬで移動する。
り、移動台の加速度を検出する手段を説明する。移動台
４に質量ｍの微小な物体４１を、弾性体４２を介して固
定する。移動台４が加速度αＩ、で移動すると、これに
固定された微小物体４１もまた加速度αＬで移動する。
微小物体４１に加速度αＬを与える力ｆ＝ｍαＬは、移
動台４より弾性体４２を介して微小物体４１に伝えられ
るので、弾性体４２には加速度αしに比例した変位Δを
生じる。この変位を、抵抗線ひずみゲージを弾性体４２
にはりつける（図示省略）等の手段により計測すれば、
移動台３５の加速度αしが得られる。
動台４より弾性体４２を介して微小物体４１に伝えられ
るので、弾性体４２には加速度αしに比例した変位Δを
生じる。この変位を、抵抗線ひずみゲージを弾性体４２
にはりつける（図示省略）等の手段により計測すれば、
移動台３５の加速度αしが得られる。
このようにして得た加速度αに比例した電気信号を積分
回路により積分すれば負荷速度信号υしが求まるので、
以下、従来技術と同様にして負荷の機械振動を抽出する
ことができる。
回路により積分すれば負荷速度信号υしが求まるので、
以下、従来技術と同様にして負荷の機械振動を抽出する
ことができる。
また、加速度検出器は、種々の動作原理のものが市販さ
れているので、これらを使用することができる。
れているので、これらを使用することができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。モー
タ２は、継手及び送りネジ３を通じて、移動台４を駆動
する。モータ２は、サーボアンプ１、モータ２、タコゼ
ネ５が構成する速度指令υＣに追従した速度で駆動され
る。モータ２の実際の速度、すなわち駆動速度はタコゼ
ネ５の出力υＤとして得られる。この駆動速度υＤは、
例えば第２図中υＤで示す線図のようであるとする。
タ２は、継手及び送りネジ３を通じて、移動台４を駆動
する。モータ２は、サーボアンプ１、モータ２、タコゼ
ネ５が構成する速度指令υＣに追従した速度で駆動され
る。モータ２の実際の速度、すなわち駆動速度はタコゼ
ネ５の出力υＤとして得られる。この駆動速度υＤは、
例えば第２図中υＤで示す線図のようであるとする。
移動台４に固定された加速度検出器１ｏは、移動台４の
加速度αＬを検出する。αＬは、モータ２、継手及び送
りネジ３、移動台４が構成する系の機械的固有振動に起
因する振動を含み、例えば第２図中αしで示す波形のも
のである。負荷加速度信号αしを積分器１１で積分する
と負荷速度υしを得る。この波形を第２図中υＬで示す
。上記２信号υＩ１．υＤの差（υＬ−υＤ）を検出す
ると、これは機械的固有振動に起因する移動台の振動を
抽出した信号である。これを第２図中（υＬ−υＤ）で
示す。この信号を、適切なゲインの増巾器７、適当に選
んだ時定数のフィルタ８を通じて、制御入力端に図示の
如き極性で、つまりモータが機械振動を追いかける向き
に帰還すれば、移動台４は、振動が抑制され、円滑な駆
動が行われる。
加速度αＬを検出する。αＬは、モータ２、継手及び送
りネジ３、移動台４が構成する系の機械的固有振動に起
因する振動を含み、例えば第２図中αしで示す波形のも
のである。負荷加速度信号αしを積分器１１で積分する
と負荷速度υしを得る。この波形を第２図中υＬで示す
。上記２信号υＩ１．υＤの差（υＬ−υＤ）を検出す
ると、これは機械的固有振動に起因する移動台の振動を
抽出した信号である。これを第２図中（υＬ−υＤ）で
示す。この信号を、適切なゲインの増巾器７、適当に選
んだ時定数のフィルタ８を通じて、制御入力端に図示の
如き極性で、つまりモータが機械振動を追いかける向き
に帰還すれば、移動台４は、振動が抑制され、円滑な駆
動が行われる。
第１−図で示した実施例は、移動台がＸ軸だけの移動を
行う場合であるが、この移動台の上にＹ軸方向の移動を
行う移動台を搭載した、ＸＹＺ軸の移動台の場合におい
ても、本発明は同様に適用することができる。すなわち
、第４図を使用してすでに説明した加速度検出器の原理
から明らかなように、Ｘ、Ｙ各軸の加速度をそれぞれ独
立して解出することができるので、それぞれを積分して
、Ｘ、Ｙ各軸の速度制御系に帰還すればよい。
行う場合であるが、この移動台の上にＹ軸方向の移動を
行う移動台を搭載した、ＸＹＺ軸の移動台の場合におい
ても、本発明は同様に適用することができる。すなわち
、第４図を使用してすでに説明した加速度検出器の原理
から明らかなように、Ｘ、Ｙ各軸の加速度をそれぞれ独
立して解出することができるので、それぞれを積分して
、Ｘ、Ｙ各軸の速度制御系に帰還すればよい。
第５図は、第２の実施例を示す図である。腕５１の先端
は、モータ５２によって図のＯ方向に、モータ５３によ
って図のψ方向に動くように構成されている。この場合
にも、腕５１の先端付近に取り付けた加速度検出器５４
．５５によって、θおよびψ方向の角加速度を検出し、
それぞれを積分して、０．Ｔ各々のモータの速度制御系
に帰還することにより、Ｏ２ψ各方向の運動に対して、
振動抑制制御が行われる。
は、モータ５２によって図のＯ方向に、モータ５３によ
って図のψ方向に動くように構成されている。この場合
にも、腕５１の先端付近に取り付けた加速度検出器５４
．５５によって、θおよびψ方向の角加速度を検出し、
それぞれを積分して、０．Ｔ各々のモータの速度制御系
に帰還することにより、Ｏ２ψ各方向の運動に対して、
振動抑制制御が行われる。
第６図は、第３の実施例を示す図である。腕６１は、モ
ータ６２によって軸６３のまわりに回転し、腕６４は、
腕６１の先端に設置されたモータ６５によって、軸６６
のまわりに回転するように構成されている。この場合に
も、腕６１．６４各々の先端に取り付けた加速度検出器
６７．６８の出力を積分して、それぞれを、モータ６２
゜６５の速度制御系に帰還することにより、腕６４の先
端の運動に対して振動抑制制御が行われる。
ータ６２によって軸６３のまわりに回転し、腕６４は、
腕６１の先端に設置されたモータ６５によって、軸６６
のまわりに回転するように構成されている。この場合に
も、腕６１．６４各々の先端に取り付けた加速度検出器
６７．６８の出力を積分して、それぞれを、モータ６２
゜６５の速度制御系に帰還することにより、腕６４の先
端の運動に対して振動抑制制御が行われる。
以上の実施例によれば、移動台やロボットの腕等の機械
的固有振動に起因する機械振動を抑制した、円滑な速度
制御を行い得る効果がある。
的固有振動に起因する機械振動を抑制した、円滑な速度
制御を行い得る効果がある。
本発明によれば、移動体の振動を検出するのに、小形、
軽量、安価で、振動を抑制したいところの部位に容易に
取り付けることのできる加速度検出器を用いるので、適
用範囲の広い振動抑制制御を経済的に行うことができる
効果がある。
軽量、安価で、振動を抑制したいところの部位に容易に
取り付けることのできる加速度検出器を用いるので、適
用範囲の広い振動抑制制御を経済的に行うことができる
効果がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は本発明の
一実施例の各部の信号波形図、第３図は従来技術による
一実施例の構成図、第４図は加速度検出器の一例を示す
図、第５図および第６図は本発明の第２および第３の実
施例の構成図である。
一実施例の各部の信号波形図、第３図は従来技術による
一実施例の構成図、第４図は加速度検出器の一例を示す
図、第５図および第６図は本発明の第２および第３の実
施例の構成図である。
Claims (1)
- １、連結体を介して負荷を駆動するモータ、その速度を
検出する速度検出器、速度指令と上記速度検出器出力と
の差を増巾して上記モータを駆動するサーボアンプ、に
よつて上記速度指令に応じて上記負荷の速度を制御する
速度制御装置において、負荷の加速度を検出する負荷加
速度検出器を設け、上記負荷加速度検出器の出力を積分
した信号と上記駆動速度検出器の出力の差を上記サーボ
アンプの入力に、増幅器及びフィルタを介してフィード
バックする如く構成したことを特徴とする速度制御装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62294092A JPH01136582A (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 速度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62294092A JPH01136582A (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 速度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01136582A true JPH01136582A (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=17803184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62294092A Pending JPH01136582A (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 速度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01136582A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0599020A1 (en) * | 1992-09-30 | 1994-06-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for controlling the positioning and reducing vibration in a machine tool system |
| WO2006129612A1 (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-07 | Mitsubishi Electric Corporation | 電動機制御装置 |
| JP2010507489A (ja) * | 2006-10-23 | 2010-03-11 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 工作機械 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57208891A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-22 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Control system of motor driven machine |
| JPS61125615A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | Hitachi Ltd | 速度制御装置 |
| JPS61178666A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Yokogawa Electric Corp | 振動式加速度計 |
| JPS62254676A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−ボ装置の制御方法 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP62294092A patent/JPH01136582A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57208891A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-22 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Control system of motor driven machine |
| JPS61125615A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | Hitachi Ltd | 速度制御装置 |
| JPS61178666A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Yokogawa Electric Corp | 振動式加速度計 |
| JPS62254676A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−ボ装置の制御方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0599020A1 (en) * | 1992-09-30 | 1994-06-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for controlling the positioning and reducing vibration in a machine tool system |
| US5432422A (en) * | 1992-09-30 | 1995-07-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for controlling the positioning and reducing vibration in a machine tool system |
| WO2006129612A1 (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-07 | Mitsubishi Electric Corporation | 電動機制御装置 |
| KR100923822B1 (ko) * | 2005-05-31 | 2009-10-27 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 전동기 제어 장치 |
| US7868577B2 (en) | 2005-05-31 | 2011-01-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric motor control apparatus |
| JP4879173B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2012-02-22 | 三菱電機株式会社 | 電動機制御装置 |
| JP2010507489A (ja) * | 2006-10-23 | 2010-03-11 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 工作機械 |
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