FI120102B - Enkristall odlingsförfarande - Google Patents

Claims (6)

1. Förfarande för odling av monokristall, väri a} signal en bringas att infalla pä en smalt väts-keyta av rämaterial för monokristall insatt i degel; 5 b): den smälta vätskeytans position mats g en ora de- tektering av en reflekterad signal, som kommer fran ifrä-gavarande suvaita vätskeyta;: och e) for köntrollering av vätskeytans position höjs degeln enligt den. uppmätta positioners awikelse frän in-· 10 ställningspositioiisvärdet, k ä n n e t e e k n a t av att d) degeln höjs med en konstant höjningshastighet för degeln, ifall den smälta vätskeytans position är tikattan som inställnihgspositionsvärdet, 15 e) degelns ho jningshastighet sätts att vara ifrä- gavarande konstanta hastighet, som minskas med ett fast korrigeringsvärde för nämnda konstanta hastighet, ifall den smälta vätskeytans position är högre än inställnings-posi tionsvärdet, 20 f) degelns höjningshastighet sätts att vara ifrä- gävarande konstanta hastighet, som ökas med ett fast korrigeringsvärde för nämnda konstanta hastighet, ifall den smälta vätskeytans position är lägre än inställningsposi-tionsvärdet. 25

2. Förfarande enligt patentkrav 1, kannet eek- nat av att i steg e), f) sinks eller höjs korrigerings-värdet stegvis, tills nämnda position motsvarar install-ningspositionsvärdet, varvid efter varje sänknings-/höjningssteg väntas den tid som gär ät tili inställnings-30 tiden.

3. Förfarande enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k -n a t av att signalen bestar av ett laserijus.

4. Förfarande enligt patentkrav 1, kannetee k — nät av att i steg e), f) bildas en övre och nedre posi-35 tion, när positionen är ovanom eller nedanom toleransvär- 1 det (0,1 mm) för vätskeytans övergäng.

5. Förfarande enligt pa tent kr av 1, kannet e c k -nat av att näinnda konstanta hastighet iiar deiinierats att vara fröets höjningshastigiiet ganger degelns höjnings-förhällande. 5

6. Förfarande enligt patentkrav 2, känneteck- n a t av att näinnda korrigeringsvärde för sänkning och höjning av den kons tanta hastigheten förstoras ögIi minskas med en fast korrigeringsprocent för nämnda konsteilta has-tigliet ganger mängden upprepningar, alltid när näinnda 10 sänkning och höjning görs tills man uppnär korrigeringens gränsvärdc.